一種掩模板清洗機的夾持機構的製作方法

2023-06-11 00:02:06

一種掩模板清洗機的夾持機構的製作方法
【專利摘要】本發明涉及掩模板清洗機設備，具體地說是一種掩模板清洗機的夾持機構，包括底託，該底託上設有多個高度不同的支撐座，各支撐座圍成夾持區域，每個支撐座上均安裝有擋柱和支柱；尺寸小的掩模板通過高度較矮的支撐座上的支柱支撐，並通過擋柱夾持；尺寸大的掩模板通過高度較高的支撐座上的支柱支撐，並通過擋柱夾持；所述多個高度不同的支撐座設置在底託的邊緣，分為矮支撐座和高支撐座，所述矮支撐座和高支撐座間隔設置。本發明將不同高度的支撐座間隔地設置在底託上，減少了一個底託，實現了將兩種不同尺寸的掩模板安裝於一個夾持機構的目的，並且類似的尺寸差別較大的兩種掩模板夾持機構都可進行類似的設計，降低了製造成本。
【專利說明】一種掩模板清洗機的夾持機構
【技術領域】
[0001]本發明涉及掩模板清洗機設備，具體地說是一種掩模板清洗機的夾持機構。
【背景技術】
[0002]目前，掩模板清洗機的設備主要由主軸機構、旋轉機構、夾持機構、腔體、DIff水系統、高壓水系統、兆聲波系統、毛刷清洗系統、有機溶劑清洗系統、氣液分離系統、排廢系統等組成。清洗時將掩模板裝在夾持機構上，在主軸帶動下旋轉，同時各清洗系統依次對其進行清洗；由於各半導體生產廠的清洗機設備所清洗的掩模板尺寸不同(看尺寸差別大小)，夾持機構也會有差別。此前4英寸和5英寸，5英寸和6英寸的兩種掩模板可分別做成同一夾持機構，兩種大小的掩模板安裝於同一平面；但5英寸和7英寸的掩模板在同一平面上安裝時，7英寸板的下表面會碰到5英寸板的安裝擋柱，會因為幹涉而無法安裝到位。這樣此種尺寸差別的兩類掩模板在同一臺清洗機清洗時，需要更換不同的夾持機構。

【發明內容】

[0003]為了解決不同尺寸掩模板需要更換不同夾持機構進行清洗的問題，本發明的目的在於提供一種可夾持兩種不同尺寸掩模板的掩模板清洗機的夾持機構。
[0004]本發明的目的是通過以下技術方案來實現的:
[0005]本發明包括底託，該底託上設有多個高度不同的支撐座，各支撐座圍成夾持區域，每個支撐座上均安裝有擋柱和支柱；尺寸小的掩模板通過高度較矮的支撐座上的支柱支撐，並通過擋柱夾持；尺寸大的掩模板通過高度較高的支撐座上的支柱支撐，並通過擋柱夾持。
[0006]其中:所述多個高度不同的支撐座設置在底託的邊緣，分為矮支撐座和高支撐座，所述矮支撐座和高支撐座間隔設置；
[0007]所述底託為四邊形，在四邊形的四個頂點處分別設有高支撐座，相鄰兩高支撐座之間均設有矮支撐座，即四邊形的四條邊上均設有矮支撐座；
[0008]所述底託為正方形，每個矮支撐座均處於所在正方形邊的中間；相對的兩高支撐座之間的連線相互垂直，相對的兩矮支撐座之間的連線相互垂直，並且相對的兩矮支撐座之間的連線與相對的兩高支撐座之間的連線夾角為45° ;
[0009]各支撐座上的支柱位於擋柱的內側；所述各支撐座上的擋柱為兩個,支柱為一個，擋柱的高度高於支柱的高度；各支撐座分別通過筋板連接在底託內部中心與主軸連接處。
[0010]本發明的優點與積極效果為:
[0011]1.本發明將不同高度的支撐座間隔地設置在底託上，減少了一個底託，實現了將兩種不同尺寸的掩模板安裝於一個夾持機構的目的，並且類似的尺寸差別較大的兩種掩模板夾持機構都可進行類似的設計，降低了製造成本。
[0012]2.本發明在生產中做兩種不同尺寸掩模板的清洗轉換時，不必更換夾持機構，節省時間，提聞了效率。[0013]3.因支撐臺下的底託與主軸安裝時有對中的精度要求，如經常拆裝易造成配合表面的磨損進而影響到精度；因此，本發明可避免此原因導致的底託損壞，降低維修成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本發明的立體結構示意圖；
[0015]圖2為本發明夾持5英寸掩模板時的示意圖；
[0016]圖3為本發明夾持7英寸掩模板時的示意圖；
[0017]其中:1為底託，2為矮支撐座，3為擋柱，4為高支撐座，5為支柱，6為5英寸掩模板，7為7英寸掩模板，8為筋板。
【具體實施方式】
[0018]下面結合附圖對本發明作進一步詳述。
[0019]如圖1所示，本發明包括底託1，該底託I上設有多個高度不同的支撐座，即支撐座分為矮支撐座2和高支撐座4，矮支撐座2和高支撐座4間隔設置在底託I的邊緣，各支撐座圍成夾持區域，每個支撐座上均安裝有擋柱3和支柱5 ;尺寸小的掩模板通過矮支撐座2上的支柱5支撐，並通過擋柱3夾持；尺寸大的掩模板通過高支撐座4上的支柱5支撐，並通過擋柱3夾持。
[0020]底託I為四邊形，在四邊形的四個頂點處分別設有高支撐座4，相鄰兩高支撐座4之間均設有矮支撐座2，即四邊形的四條邊上均設有矮支撐座2。本實施例的底託I為正方形，每個矮支撐座2均處於所在正方形邊的中間；相對的兩高支撐座4之間的連線相互垂直，相對的兩矮支撐座2之間的連線相互垂直，並且相對的兩矮支撐座2之間的連線與相對的兩高支撐座4之間的連線夾角為45°。各支撐座分別通過筋板8連接在底託I內部中心與主軸連接處，以增加支撐強度。
[0021 ] 每個矮支撐座2和每個高支撐座4的表面上均設有兩個擋柱3和一個支柱5，支柱5位於檔柱3的內側，擋柱3的高度高於支柱5的高度。
[0022]本實施例的矮支撐座2的高度為10mm，高支撐座4的高度為20mm，這樣各矮支撐座2所形成的支撐臺與各高支撐座4所形成的支撐臺之間就有了一個IOmm的落差。如圖2所示，當清洗5英寸掩模板6時，將5英寸掩模板6放在各矮支撐座2上支柱5的頂端，並由各矮支撐座2上的兩個擋柱3夾持。如圖3所示，當清洗7英寸掩模板7時，將7英寸掩模板7放在各高支撐座4上支柱5的頂端，並由各高支撐座4上的兩個擋柱3夾持。高支撐座4裝上7英寸掩模板7時，板的下表面要高出矮支撐座4上的擋柱2mm，不再引起幹涉。
[0023]本發明從安裝便利性和生產效率考慮，將兩種不同尺寸的掩模板安裝於一個夾持機構上。本發明不僅適於清洗機5英寸與7英寸掩模板清洗時的安裝，也可推廣到兩種尺寸差別較大無法在同一平面上安裝的掩模板安裝機構。
【權利要求】
1.一種掩模板清洗機的夾持機構，其特徵在於:包括底託(1)，該底託(I)上設有多個高度不同的支撐座，各支撐座圍成夾持區域，每個支撐座上均安裝有擋柱(3)和支柱(5);尺寸小的掩模板通過高度較矮的支撐座上的支柱(5)支撐，並通過擋柱(3)夾持；尺寸大的掩模板通過高度較高的支撐座上的支柱(5)支撐，並通過擋柱(3)夾持。
2.按權利要求1所述掩模板清洗機的夾持機構，其特徵在於:所述多個高度不同的支撐座設置在底託(I)的邊緣，分為矮支撐座(2)和高支撐座(4)，所述矮支撐座(2)和高支撐座(4)間隔設置。
3.按權利要求2所述掩模板清洗機的夾持機構，其特徵在於:所述底託(I)為四邊形，在四邊形的四個頂點處分別設有高支撐座(4)，相鄰兩高支撐座(4)之間均設有矮支撐座(2 )，即四邊形的四條邊上均設有矮支撐座(2 )。
4.按權利要求3所述掩模板清洗機的夾持機構，其特徵在於:所述底託(I)為正方形，每個矮支撐座(2)均處於所在正方形邊的中間；相對的兩高支撐座(4)之間的連線相互垂直，相對的兩矮支撐座(2)之間的連線相互垂直，並且相對的兩矮支撐座(2)之間的連線與相對的兩高支撐座(4)之間的連線夾角為45°。
5.按權利要求1或2所述掩模板清洗機的夾持機構，其特徵在於:各支撐座上的支柱(5)位於擋柱(3)的內側。
6.按權利要求5所述掩模板清洗機的夾持機構，其特徵在於:所述各支撐座上的擋柱(3)為兩個，支柱(5)為一個，擋柱(3)的高度高於支柱(5)的高度。
7.按權利要求1或2所述掩模板清洗機的夾持機構，其特徵在於:各支撐座分別通過筋板(8)連接在底託(I)內部中心與主軸連接處。
【文檔編號】B08B7/04GK103586246SQ201210292317
【公開日】2014年2月19日 申請日期:2012年8月16日 優先權日:2012年8月16日
【發明者】海樹巖 申請人:瀋陽芯源微電子設備有限公司