一種蒸鍍用掩模板的製作方法

2023-06-11 00:06:36

本實用新型涉及一種掩模板，具體涉及一種蒸鍍用掩模板。

背景技術：

有機電致發光元件有玻璃基板上形成透明電極的陽極和鋁過鎂合金等金屬電極的陰極之間還有包括發光層的有機層的疊加層結構。蒸鍍中製作有機電致發光元件時，利用包含為實現赤、青、綠的三種顏色，對應各層要求的一定圖形的開口部的蒸鍍掩模板。

蒸鍍是真空腔內將基板(玻璃基板)面向蒸鍍面下部放置，將蒸鍍掩模板放在基板的蒸鍍面和蒸發源之間後，加熱蒸發源，蒸發蒸鍍材料，通過掩模板的開口部附著在基板表面進行，這樣的蒸鍍掩模板現在普遍使用以鎳做成的掩模板。量產用全彩掩模板很明顯的變大，掩模板也更常放在下面。為完善前面現象，拉伸掩模板託盤使其和掩模板接觸。這樣的操作是為防止下降，不只是單純的從掩模板的四面施加拉力，而是要考慮到使用的掩模板的非線性零率、泊松比、剪切彈性模數等的物理特性，張力的施加方法、託盤的物性、厚度、尺寸等。但是因考慮此類要素，將掩模板安裝到掩模板託盤上，施加拉力的時候，根據拉力，掩模板孔的大小比開始時要大，有機物質也不會按照設計的圖形蒸鍍到基板上，會導致圖形不良的情況發生。

技術實現要素：

本實用新型提供一種蒸鍍用掩模板，解決了現有的蒸鍍掩膜板在工作時，因考慮到各種因素，而需要對掩模板施加一定的拉力，從而導致掩模板孔的大小發生改變，進而影響蒸鍍到基板上的圖形的問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了如下的技術方案：

本實用新型一種蒸鍍用掩模板，包括蒸鍍用掩模板、掩模板孔部、緩衝用孔部和稜形緩衝用孔部，所述蒸鍍用掩模板上設有第一開口部和第二開口部，第一開口部包括若干個所述掩模板孔部，第二開口部包括若干個所述緩衝用孔部，所述掩模板孔部均設置在若干個所述緩衝用孔部中間。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述掩模板孔部與緩衝用孔部之間的距離為5-30mm。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述緩衝用孔部包括所述稜形緩衝用孔部，且所述稜形緩衝用孔部均設置在所述蒸鍍用掩模板的四周。

本實用新型所達到的有益效果是：通過在蒸鍍用掩模板上設置多個緩衝用孔部，並將掩模板孔部設置在多個緩衝用孔部之間，使得當掩模板受到拉力作用時，外層的緩衝用孔部能夠隔斷掩模板孔部受到的拉力，從而避免了因拉力作用導致掩模板孔部的圖形不良的情況發生；且緩衝用孔部可以設置成不同的形狀，使緩衝用孔部不僅能夠隔斷垂直於掩模板孔部的長的一面，還可以隔斷掩模板孔部短層面的豎直方向上受到的拉力。

附圖說明

附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，並且構成說明書的一部分，與本實用新型的實施例一起用於解釋本實用新型，並不構成對本實用新型的限制。

在附圖中：

圖1是本實用新型一種蒸鍍用掩模板的結構圖；

圖2是本實用新型的帶有稜形緩衝用孔部的掩模板結構圖；

圖中：1、蒸鍍用掩模板；2、掩模板孔部；3、緩衝用孔部；4、稜形緩衝用孔部。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的優選實施例進行說明，應當理解，此處所描述的優選實施例僅用於說明和解釋本實用新型，並不用於限定本實用新型。

實施例：如圖1-2所示，本實用新型一種蒸鍍用掩模板，包括蒸鍍用掩模板1、掩模板孔部2、緩衝用孔部3和稜形緩衝用孔部4，所述蒸鍍用掩模板1上設有第一開口部和第二開口部，第一開口部包括若干個所述掩模板孔部2，第二開口部包括若干個所述緩衝用孔部3，所述掩模板孔部2均設置在若干個所述緩衝用孔部3中間。

所述掩模板孔部2與緩衝用孔部3之間的距離為5-30mm，該距離為掩模板孔部2與緩衝用孔部3之間的最佳距離值，便於使掩模板孔部2不受到拉力的作用。

所述緩衝用孔部3包括所述稜形緩衝用孔部4，且所述稜形緩衝用孔部4均設置在所述蒸鍍用掩模板1的四周，稜形緩衝用孔部4的設置，便於當掩模板的橫向和縱向都受到拉力作用時，稜形緩衝用孔部4可以隔斷掩模板孔部2橫向和縱向上的拉力，確保掩模板孔部2不會變形。

具體的，在使用時，掩模板孔部2是為使腔體內將升華的有機物質能夠按照設計的圖形蒸鍍到對著蒸鍍用掩模板1的基板上，按一定形態形成的開口部；緩衝用孔部3是為使施加在蒸鍍用掩模板1的拉力對掩模板孔部2的影響最小，要在掩模板孔部2周圍一定距離上形成的開口部，即緩衝用孔部3，是阻止因施加在蒸鍍用掩模板1的拉力引起的衝擊傳到掩模板孔2上的緩衝作用；圖1中因緩衝用孔部3隔離對應部位的拉力，實際上為防止掩模板孔部2的形狀和原來成型的形狀變得不一樣，因留出了隔離傳給掩模板孔部2周圍的拉力的緩衝用孔部3，緩衝用孔部3可以在掩模板的機能不受影響的範圍內隨意變換形狀和大小，但是，緩衝用孔部3的形成必須使掩模板孔部2不直接受影響；圖2中為隔斷不僅在垂直於掩模板孔部2的長的一面上施加的拉力，還隔斷掩模板孔部2的短層面的豎直方向上施加的拉力，掩模板孔部2的外角部分上形成的緩衝用孔部3為角度呈直角形狀的四個稜的緩衝用孔部3，即稜形緩衝用孔部4。

該種蒸鍍用掩模板，通過在蒸鍍用掩模板1上設置多個緩衝用孔部3，並將掩模板孔部2設置在多個緩衝用孔部3之間，使得當掩模板受到拉力作用時，外層的緩衝用孔部3能夠隔斷掩模板孔部2受到的拉力，從而避免了因拉力作用導致掩模板孔部2的圖形不良的情況發生；且緩衝用孔部3可以設置成不同的形狀，使緩衝用孔部3不僅能夠隔斷垂直於掩模板孔部2的長的一面，還可以隔斷掩模板孔部2短層面的豎直方向上受到的拉力。

最後應說明的是：以上所述僅為本實用新型的優選實施例而已，並不用於限制本實用新型，儘管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，對於本領域的技術人員來說，其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特徵進行等同替換。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。