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真空腔檢漏設備的製作方法

2023-07-02 14:14:51

專利名稱:真空腔檢漏設備的製作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種氣體撿漏設備,具體的涉及一種真空腔檢漏設備。
背景技術:
X螢光光譜儀(XRF)由激發源(X射線管)和探測系統構成。X射線管產生入射X 射線(一次X射線),激發被測樣品。受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線, 並且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這 些放射出來的二次X射線的能量及數量。然後,儀器軟體將探測系統所收集到的信息轉換 成樣品中各種元素的種類及含量。元素的原子受到高能輻射激發而引起內層電子的躍遷,同時發射出具有一定特殊 性波長的X射線,根據莫斯萊定律,螢光X射線的波長λ與元素的原子序數Z有關,其數學 關係如下λ = K (Z-S) -2式中K和S是常數。而根據量子理論,X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流,每個光具有的 言旨量為E = hv = h C/λ式中,E為X射線光子的能量,單位為keV ;h為普朗克常數;ν為光波的頻率;C為 光速。因此,只要測出螢光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類,這就是螢光 X射線定性分析的基礎。此外,螢光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關係,據此,可 以進行元素定量分析。X螢光光譜儀根據各元素的特徵X射線的強度,也可以獲得各元素的含量信息。近年來,X螢光光譜分析在各行業應用範圍不斷拓展,已成為一種廣泛應用於冶 金、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個領域,特別是在RoHS檢測領域應用得最多也 最廣泛。大多數分析元素均可用其進行分析,可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品,分析範 圍為Be到U。並且具有分析速度快、測量範圍寬、幹擾小的特點。我們現有生產的X螢光光譜儀(EDX3600B和EDX3600H)都是用抽真空的方式對樣 品進行測試的。該兩款儀器所用的真空腔是使用焊接件加工而成的,這樣就存在密封的問 題及洩露的隱患。由於沒有專門的檢測設備,真空腔體在加工回來後無法對其進行密封性測試,致 使生產上在裝配時有可能將存在漏氣的真空腔體裝配在儀器上,在儀器基本上裝配完成 後,對其進行抽真空測試,如存在真空腔體密封性不好,而這時整機裝配也接近完成,就要 對其拆卸更換,浪費生產時間,同時也給公司造成損失。

實用新型內容為了克服現有技術的不足,本實用新型的目的在於提供一種真空腔撿漏設備,該 檢漏設備可以簡單有效的完成真空腔體在裝配前的檢漏工作,以避免整機裝配完後,才發 現真空腔存在漏氣的情況。為解決上述技術問題,實現上述技術效果,本實用新型採用如下技術方案一種真空腔檢漏設備,其包括一氣體充注裝置,所述氣體充注裝置連接一軟管,所 述軟管連接一剛性管,所述剛性管可通過連接部件與待測真空腔體連接;還包括一真空腔 體安置容器,所述真空腔體安置容器中可盛放一定量的液體,所述剛性管鋪設於所述真空 腔體安置容器中。優選的,所述連接部件為三通件或彎頭件。本實用新型的工作方式如下將密封好的真空腔體通過連接部件連接到所述剛性管上,然後將其放入裝有肥皂 水或清水的真空腔體安置容器中,打開氣體充注裝置的閥門,使氣體往腔體中充氣,當充氣 壓力值大於0. 15兆帕後,注意觀察真空腔體表面,如有氣泡冒出,則說明該部分焊接密封 性存在問題,反之則密封性良好。本實用新型具有如下優點本實用新型的設備製作簡易方便,成本低廉,便於操作,能夠很好的檢測腔體的密 封性能,且一次可以同時檢測多個腔體的密封性能,提高檢測效率。經實踐發現,本實用新 型的真空腔檢漏設備能夠有效解決X螢光光譜儀生產上由於無法事先檢測真空腔氣密性, 誤裝而影響生產效率的問題,可推廣使用。

圖1是本實用新型的真空腔檢漏設備一實施例的結構示意圖。圖中標號說明1.氣體充注裝置,2.軟管,3.直通件,4.剛性管,5.真空腔體安置 容器,6.三通件,7.待測真空腔體,8.彎頭件。
具體實施方式
以下結合附圖,對本實用新型的優選實施例進行詳細的介紹。請參見圖1所示,一種真空腔檢漏設備,包括一氣體充注裝置1,所述氣體充注裝 置1連接一軟管2,所述軟管2連接一剛性管4,所述剛性管4通過連接部件可與待測真空 腔體7連接;還包括一真空腔體安置容器5,所述真空腔體安置容器5中可盛放一定量的肥 皂水或清水,所述剛性管4鋪設於所述真空腔體安置容器5中。進一步的,所述軟管2通過一直通件3連接所述剛性管4。進一步的,所述剛性管4的管路上至少安裝有一三通件6,所述三通件6的一端用 於連接待測真空腔體7。進一步的,所述剛性管4的尾端連接一彎頭件8的一端,所述彎頭件8的另一端用 於連接待測真空腔體7。優選的,所述直通件3為卡套式直通;優選的,所述三通件6為卡套式三通;[0032]優選的,所述彎頭件8為卡套式彎頭;優選的,所述氣體充注裝置1為氮氣瓶。優選的,所述剛性管4為不鏽鋼鋼管。以上對本實用新型實施例所提供的真空腔檢漏設備儀進行了詳細介紹,對於本 領域的一般技術人員,依據本實用新型實施例的思想,在具體實施方式
及應用範圍上均會 有改變之處,因此凡依本實用新型設計思想所做的任何改變都在本實用新型的保護範圍之 內。
權利要求1.一種真空腔檢漏設備,包括一軟管(2),所述軟管(2)連接一剛性管(4),所述剛性管 (4)通過連接部件可與待測真空腔體(7)連接;一真空腔體安置容器(5),所述真空腔體安 置容器(5)中可盛放一定量的液體,所述剛性管(4)鋪設於所述真空腔體安置容器(5)中, 其特徵在於還包括一氣體充注裝置(1),所述氣體充注裝置(1)連接所述軟管(2)。
2.根據權利要求1所述的真空腔檢漏設備,其特徵在於所述軟管(2)通過一直通件 ⑶連接所述剛性管⑷。
3.根據權利要求2所述的真空腔檢漏設備,其特徵在於所述直通件(3)為卡套式裝置。
4.根據權利要求1所述的真空腔檢漏設備,其特徵在於所述剛性管(4)的管路上至 少安裝有一三通件(6),所述三通件(6)的一端用於連接待測真空腔體(7)。
5.根據權利要求4所述的真空腔檢漏設備,其特徵在於所述三通件(6)為卡套式三
6.根據權利要求1所述的真空腔檢漏設備,其特徵在於所述剛性管(4)的尾端連接 一彎頭件(8)的一端,所述彎頭件(8)的另一端用於連接待測真空腔體(7)。
7.根據權利要求6所述的真空腔檢漏設備,其特徵在於所述彎頭件(8)為卡套式彎頭。
8.根據權利要求1至7中任意一項所述的真空腔檢漏設備,其特徵在於所述氣體充 注裝置(1)為氮氣瓶。
9.根據權利要求1至7中任意一項所述的真空腔檢漏設備,其特徵在於所述剛性管 (4)為不鏽鋼鋼管。
10.根據權利要求1至7中任意一項所述的真空腔檢漏設備,其特徵在於所述液體為 肥皂水或清水。
專利摘要本實用新型公開了一種真空腔檢漏設備,其包括一氣體充注裝置,所述氣體充注裝置連接一軟管,所述軟管連接一剛性管,所述剛性管可通過連接部件與待測真空腔體連接;其還包括一真空腔體安置容器,所述真空腔體安置容器中可盛放一定量的液體,所述剛性管鋪設於所述真空腔體安置容器中。本實用新型的設備用於真空腔氣密性的檢漏過程,設備製作簡易方便,成本低廉,便於操作,能夠很好的檢測腔體的氣密性能,且一次可以同時檢測多個腔體的氣密性能,提高檢測效率。
文檔編號G01M3/10GK201788062SQ20102028131
公開日2011年4月6日 申請日期2010年8月4日 優先權日2010年8月4日
發明者奚君軒, 應剛 申請人:江蘇天瑞儀器股份有限公司

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