測試探針卡的製作方法
2023-05-29 22:15:01
測試探針卡的製作方法
【專利摘要】本實用新型提出一種測試探針卡，在所述探針卡上具有多個探針，所述測試探針卡上還包括第一定位槽和第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽的開口的形狀不同。本實用新型測試探針卡採用定位槽代替現有技術中的定位孔，由於定位槽為非通孔，因此，杜絕了探針卡在安裝過程中的一切誤操作，提高了整個測試系統的安全性和有效性。
【專利說明】測試探針卡
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體【技術領域】，特別涉及一種測試探針卡。
【背景技術】
[0002]測試探針卡的應用面在半導體領域是非常廣泛的。半導體測試過程中，探針卡是連接測試設備和被測對象(晶片、測試結構)的重要媒介。
[0003]常用的測試探針卡照片的正面圖如圖1所示，探針卡的中心區為探針區14，具有若干探針11，在探針卡10上具有長方形定位孔12和圓形定位孔13，左右兩側的定位孔的形狀不同，可以防止探針卡在安裝過程左右顛倒。在測試設備探針卡的安裝託盤上設置對應於定位孔的左右兩個定位銷，防止探針卡在測試過程出現移動。圖2為圖1中沿剖面線AB的剖視圖，由圖2可見，圖1中的左右兩個定位孔均為通孔。目前定位孔的設計無法避免探針卡正反面安裝倒置的情況發生。若是由於誤操作導致探針卡安裝倒置，測試設備和探針臺都檢測不出來，這就存在一定的風險，可能導致整個測試系統出現接觸、機械碰撞等質量和安全方面的問題，從而使得測試無法順利進行甚至是探針卡和測試設備出現損壞的結果，而且重新安裝探針卡也會增加操作時間。
實用新型內容
[0004]為了克服已有技術中存在的至少一個問題，本實用新型提出一種能夠有效避免安裝時發生倒置情況的測試探針卡。
[0005]為了實現上述目的，本實用新型提出一種測試探針卡，在所述探針卡上具有多個探針，所述測試探針卡上還包括第一定位槽和第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽的開口的形狀不同。
[0006]可選的，所述第一定位槽和所述第二定位槽的深度範圍為所述測試探針卡的厚度的 50% 至 80%ο
[0007]可選的，所述第一定位槽的深度為所述測試探針卡的厚度的75%。
[0008]可選的，所述第二定位槽的深度為所述測試探針卡的厚度的75%。
[0009]可選的，所述第一定位槽的開口為長方形，所述第二定位槽的開口為圓形。
[0010]可選的，所述長方形的長大於所述圓形的直徑，所述長方形的寬小於所述圓形的直徑。
[0011]可選的，在所述探針卡的中心區域設有探針區，所述探針位於所述探針區。
[0012]可選的，所述第一定位槽的開口的中心點和所述第二定位槽開口的中心點分別位於所述測試探針卡的中心點的兩側，且上述三個中心點位於同一直線上。
[0013]本實用新型測試探針卡的有益效果主要表現在:本實用新型測試探針卡採用定位槽代替現有技術中的定位孔，由於定位槽為非通孔，因此，杜絕了探針卡在安裝過程中的一切誤操作，提高了整個測試系統的安全性和有效性。【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]圖1為現有技術中測試探針卡的主視圖。
[0015]圖2為圖1中沿剖面線AB方向的剖視圖。
[0016]圖3為本實用新型測試探針卡的主視圖。
[0017]圖4為圖3中沿剖面線⑶方向的剖視圖。
【具體實施方式】
[0018]下面結合實施例和附圖對本實用新型作進一步的描述。
[0019]請參考圖3和圖4，圖3為本實用新型測試探針卡的主視圖，圖4為圖3中沿剖面線CD方向的剖視圖，圖中的測試探針卡20，在探針卡20上具有多個探針21，在所述探針卡20的中心區域設有探針區24，所述探針20位於所述探針區24。
[0020]測試探針卡20上還包括第一定位槽22和第二定位槽23，所述第一定位槽22和所述第二定位槽23的開口的形狀不同，第一定位槽22的開口為長方形,所述第二定位槽23的開口為圓形。第一定位槽22和第二定位槽23的開口在形狀不同的前提下，還可以是橢圓形、梯形或者其他形狀。本實施例中，長方形的長大於所述圓形的直徑，所述長方形的寬小於所述圓形的直徑。第一定位槽22的開口的中心點和所述第二定位槽23開口的中心點分別位於所述測試探針卡20的中心點的兩側，且上述三個中心點位於同一直線上。第一定位槽22和所述第二定位槽23的深度範圍為所述測試探針卡20的厚度的50%至80%。第一定位槽22的深度為所述測試探針卡20的厚度的75%。第二定位槽22的深度為所述測試探針卡20的厚度的75%。
[0021]用定位槽代替原先的通孔，定位槽的設計限制了測試探針卡在安裝過程中，只能採取正確的安裝方式，如果測試探針卡在安裝過程中被倒置了，則會出現無法安裝的情況，完全杜絕了安裝過程中的誤操作。另外，該設計可以直接用於目前測試設備上，無需改變測試設備探針卡卡託的設計，實用性強。
[0022]定位槽，S卩非通孔型定位孔設計涵蓋了所有形狀的定位槽，用於區分探針卡的正面和反面從而避免安裝過程中導致的正、反面倒置。非通孔型定位孔的形狀並不局限於本實施例中的圓柱型(開口為圓形的第二定位槽)或者長方體型(開口為長方形的第一定位槽)，也包括其他形狀:如半球形，錐形，多面體形等。
[0023]另外，該設計的應用並不局限於圓形的探針卡產品。定位槽設計涵蓋了所有外觀形狀的探針卡；同樣涵蓋了其他方位上的定位槽，如探針卡的定位槽位於探針卡的側面，或者是定位槽位於探針卡的反面等。
[0024]雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其並非限定本實用新型。本實用新型所屬【技術領域】中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和範圍內，當可作各種的更動與潤飾。因此，本實用新型的保護範圍當視權利要求書所界定者為準。
【權利要求】
1.一種測試探針卡，在所述探針卡上具有多個探針，其特徵在於，所述測試探針卡上還包括第一定位槽和第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽的開口的形狀不同。
2.根據權利要求1所述的測試探針卡，其特徵在於:所述第一定位槽和所述第二定位槽的深度範圍為所述測試探針卡的厚度的50%至80%。
3.根據權利要求2所述的測試探針卡，其特徵在於，所述第一定位槽的深度為所述測試探針卡的厚度的75%。
4.根據權利要求2或3所述的測試探針卡，其特徵在於，所述第二定位槽的深度為所述測試探針卡的厚度的75%。
5.根據權利要求1所述的測試探針卡，其特徵在於:所述第一定位槽的開口為長方形，所述第二定位槽的開口為圓形。
6.根據權利要求5所述的測試探針卡，其特徵在於:所述長方形的長大於所述圓形的直徑，所述長方形的寬小於所述圓形的直徑。
7.根據權利要求1所述的測試探針卡，其特徵在於:在所述探針卡的中心區域設有探針區，所述探針位於所述探針區。
8.根據權利要求1所述的測試探針卡，其特徵在於:所述第一定位槽的開口的中心點和所述第二定位槽開口的中心點分別位於所述測試探針卡的中心點的兩側，且上述三個中心點位於同一直線上。
【文檔編號】G01R1/073GK203772909SQ201420076803
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2014年2月21日 優先權日:2014年2月21日
【發明者】王小寶, 周柯 申請人:上海華力微電子有限公司