射頻匹配網絡的模糊邏輯調諧的製作方法
2023-05-29 21:30:41
專利名稱：射頻匹配網絡的模糊邏輯調諧的製作方法
技術領域：
本發明涉及等離子體發生裝置，詳細地說，涉及自動射頻(RF)匹配網絡，所述自動RF匹配網絡使等離子體反應室或類似的非線性負載的阻抗與RF發生器或類似的RF源的恆定的輸出阻抗(例如50歐姆)匹配。更詳細地說，本發明涉及模糊邏輯技術，所述模糊邏輯技術能夠同時利用與匹配網絡相聯繫的相位誤差信號和幅度誤差信號來控制匹配網絡內的兩個或更多的可調諧元件。
在典型的RF等離子體發生器配置中，高功率RF源產生預定頻率，即13.56兆赫的RF波，沿著功率導管向等離子體室提供這種RF波。一般還以固定的已知阻抗，例如50歐姆提供RF功率。因為在RF功率源和等離子體室之間一般具有嚴重的阻抗失配，所以在這兩者之間插入阻抗匹配網絡。在等離子體室內具有非線性，這使得對於一種等離子體處理過程難於以一些固定的位置來簡單地調整阻抗匹配網絡。在匹配網絡的輸入端設置相位/幅度度誤差檢測器，所述相位/幅度度誤差檢測器產生表示阻抗誤差的幅度和相位誤差的兩種(或更多種)誤差信號。幅度誤差是標稱輸入阻抗(一般是50歐姆)的幅度與實際輸入阻抗的幅度之間的差值。相位誤差是標稱輸入阻抗的相位(一般是零度)與實際輸入阻抗的相位之間的差值。誤差信號也指示幅度誤差和相位誤差的方向或符號(+或-)。
傳統的匹配網絡使用這兩個誤差信號來控制兩個可變調諧元件相位誤差用來控制一個調諧元件，而幅度誤差用來控制另一個調諧元件。相位/幅度度誤差信號驅動與可變電容器或者也許是可變電感器的調諧鐵心相聯繫的馬達。當達到匹配狀態時，誤差信號降到低電平或零電平。
傳統的系統在許多條件下在迅速達到匹配阻抗方面遇到困難。一個主要的問題是目前的結構沒有注意到這樣的事實，就是各調諧元件同時影響兩種誤差信號。因為這種影響，誤差信號可能驅動一個或兩個調諧元件離開匹配或調諧點。這延長了調諧過程，並導致緩慢而不可靠的調諧。因為相位/幅度度誤差信號並不總是單獨提供將匹配網絡驅動到調諧點的足夠信息，所以產生了另一個問題。這意味著匹配網絡可能具有「迷失狀態」(lost condition)，這時將不能達到阻抗匹配。第三個問題是由調諧元件的給定移動產生的誤差信號隨調諧元件的位置而改變。換句話說，如果調諧元件接近其量程的最小端，位置上10％的改變可能產生50％的誤差信號幅度的改變，但如果調諧元件接近其量程的最大端，同樣的10％的改變可能只產生5％的誤差信號幅度的改變。這導致控制迴路的穩定性隨調諧元件的位置而改變。然而，在目前，甚至沒有實際的系統將調諧元件(例如轉子)的位置作為輸入來跟蹤。
解決所述第一個問題的交叉點方法以前曾被提出來，但是對於兩個調諧元件中的每一個仍然只使用單個誤差信號。另一個問題是這種方法需要硬性固定的閾限，而不是逐漸轉變。
迷失恢復方法曾被建議用來解決上述第二個問題，即「迷失狀態」問題。在這種方法中，系統檢測到阻抗匹配已經無望，於是將調諧元件移到預定的「迷失恢復」位置，從所述位置出發，它可以調諧到匹配。這種方法在恢復阻抗匹配時耗費大量時間，還不能在調諧範圍的每種負載下工作。
業界似乎沒有認識到在其範圍內的誤差信號的非線性所導致的第三個問題。利用一種以上的誤差信號來控制各調諧元件的必要性也沒有被認識到，也沒有建議組合多種誤差信號來控制與阻抗匹配網絡相聯繫的各調諧元件的任何過程。
在許多應用場合中採用模糊邏輯作為控制算法，模糊邏輯具有根據一套簡單的原則、將複雜的多維處理簡化為較直接的算法的優點。模糊邏輯基於Lotfi A.Zadeh教授在本世紀六十年代發明的數學分支--模糊集理論(Fuzzy Set Theory)。模糊邏輯通過利用最小量代碼將輸入映射到輸出，提供可靠、非線形、有效的控制方法。模糊邏輯和模糊控制的基礎已經在數學和工程文獻的許多處給出解釋。模糊邏輯控制過程基本上可以用一些步驟或階段來描述。首先，過程控制工程師建立一些重疊模糊集，比如「大、正」、「中、正」、「零」或小、「中、負」和「大、負」。在第一階段，即「模糊化」階段，一些清新的、離散的輸入值被模糊化，也就是說，它們被轉化為重疊模糊集內的適當程度的從屬關係(membership)。然後，在規則應用階段，規則用來定義輸入變量和輸出變量的關係。以「模糊推理函數」來提供這些規則，並且這些規則表示一種對於過程工程師很直觀的關係。這可能是一系列IF-AND-THEN語句，或者可能由直接的表、網格或矩陣構成。輸出或逆模糊化階段將模糊變量轉換為清新的輸出值，所述輸出值用作諸如可變電容器的動片等控制裝置的控制值或信號。
以前沒有人考慮採用模糊邏輯來控制阻抗匹配網絡的調諧，以前也沒有人認為模糊邏輯的應用可以解決上述三個問題。
本發明的目的在於提供控制RF匹配網絡的調諧的方案，所述方案避免調諧元件的單個變量控制、「迷失狀態」和調諧範圍內的非線性等問題，並且所述方案迅速、可靠、易於實施且易於調節。
根據本發明的一個方面，採用模糊邏輯方法來調配RF匹配網絡，所述類型的RF匹配網絡具有加載給定頻率和給定阻抗的RF功率的輸入端，以及將所述功率加載到諸如RF等離子體室的具有非恆定阻抗的RF負載的輸出端。匹配網絡具有相位-幅度誤差檢測器，後者提供分別相關於標稱與實際輸入相角之間的差值，即，ΔΦ以及標稱與實際阻抗的差值ΔZ的相位誤差信號和幅度誤差信號。匹配網絡至少具有包括用來改變其阻抗的驅動元件的第一可變阻抗，以及包括用來改變其阻抗的驅動元件的第二可變阻抗。模糊邏輯控制技術包括以下步驟向模糊邏輯控制器提供相位誤差和幅度誤差信號，其中每一個誤差信號具有幅度和方向。然後根據在一個或多個模糊集內的從屬關係把所述誤差信號各自加到模糊邏輯推理函數，所述模糊集可能是重疊的模糊集。每個誤差信號的值，即大小和方向享有一個、兩個或多個重疊模糊集的從屬關係。根據所述第一和第二誤差信號享有其從屬關係的模糊集，把模糊邏輯規則加到相位誤差和幅度誤差信號。根據用於每個相位誤差信號與幅度誤差信號的模糊邏輯規則得到多個驅動信號值。所述驅動信號值根據誤差信號享有其從屬關係的各自的模糊推理函數而被加權。然後，加權後的驅動信號值被組合，產生第一可變阻抗裝置驅動元件的輸出驅動信號。類似的過程產生第二可變阻抗的輸出驅動信號。根據模糊邏輯規則，相位誤差信號和幅度誤差信號聯合使用，以獲得每種所述輸出驅動信號。
可以把模糊邏輯規則表示為N×M的驅動電流值矩陣，其中N是所述第一誤差信號的模糊集的數量，而M是所述第二誤差信號的模糊集的數量。這裡，要得出各驅動電流值，存在應用第一誤差信號和第二誤差信號的給定的規則集。
根據本發明的另一方面，提供一種用來調諧RF匹配網絡的模糊邏輯控制器，其中，匹配網絡位於所加的給定頻率和給定阻抗的RF功率的源與諸如RF等離子體室之類的具有非恆定阻抗的RF負載之間。如前所述，相位-幅度度誤差檢測器產生分別相關於輸入阻抗中的相位誤差和幅度誤差的相位誤差信號和幅度誤差信號。匹配網絡還至少包括具有用來改變其阻抗的驅動元件的第一可變阻抗以及具有用來改變其阻抗的驅動元件的第二可變阻抗。模糊邏輯控制器具有接收相位誤差信號和幅度誤差信號的值的輸入端。控制器根據一些重疊模糊集將這些誤差信號的值加到模糊邏輯推理函數。誤差信號的值享有一個、兩個或多個重疊模糊集的從屬關係。將模糊邏輯規則加到相位誤差信號和幅度誤差信號，而所述規則取決於誤差信號享有其從屬關係的模糊集。根據用於誤差信號享有其從屬關係的每個模糊集的模糊邏輯規則得出驅動信號值。根據用於這些誤差信號的值的各模糊推理函數，將驅動信號值加權。然後，加權後的驅動信號值被組合，以便產生第一可變阻抗裝置驅動元件的輸出驅動信號。根據用於相位誤差信號和幅度誤差信號中的每一種信號的另外的模糊邏輯規則，得出另外的驅動信號值。然後，根據另外的各自的模糊推理函數將這些另外的驅動信號加權，加權後的驅動信號值被組合，產生第二可變阻抗裝置驅動元件的輸出驅動信號。
模糊邏輯控制器迅速將調諧元件驅動到匹配阻抗狀態，避免迷失狀態問題。模糊邏輯控制器可以用硬體實現，或者基於諸如數位訊號處理器(DSP)或微處理器之類的編程裝置。模糊邏輯控制器函數可在背景中操作，或者可採用分開的硬體裝置，使DSP去完成諸如信號處理、馬達控制、用戶接口等其它功能。可以用分開的獨立的PC來完成模糊邏輯調諧。
通過採用另外的輸入可以獲得性能上更進一步的增強。例如，可以把調諧元件位置用作把隨位置而變的環路增益線性化的輸入信號。這可以達到更高的總體環路增益和更快的調諧速度。迷失狀態的減少或消除可通過利用附加的傳感器如RF等離子體室內的電壓和電流傳感器、然後將檢測到的電平用作模糊邏輯控制器的另外的輸入信號來實現。
本發明的改進利用模糊邏輯來提供分析多種輸入信號、並產生驅動多個調諧元件的信號的實際方法。在最小的系統中，模糊控制器輸入可包括相位誤差和幅度誤差，模糊輸出可包括所述調諧元件的驅動信號中的一種或兩種都包括。
本發明可以很容易地擴展到對三個或更多可變調諧裝置的控制。
從以下結合附圖對最佳實施例進行的描述，本發明的目的、特徵和優點將變得更為明顯。
圖1是包括具有根據本發明的一個實施例的模糊邏輯控制系統的阻抗匹配網絡的RF等離子體過程的系統方框圖。
圖2是所述實施例的的匹配網絡和控制系統的放大的示意圖。
圖3和4分別是關於阻抗幅度誤差和相角誤差的模糊集的模糊邏輯推理函數或從屬關係函數的曲線圖。
圖5A和5B是根據本發明的實施例的第一與第二可變阻抗調諧驅動信號的模糊邏輯規則應用矩陣。
圖6A和6B是根據本發明的另一個實施例的第一與第二可變阻抗調諧驅動信號的模糊邏輯規則應用矩陣。
圖7說明可以用於本發明的另外的實施例的三維模糊邏輯規則應用矩陣。
參考附圖，從圖1開始，RF等離子體處理系統10作為實施例示出。等離子體發生器12提供預定頻率即13.56MHz的RF電功率。發生器12的輸出端後面跟著諧波/次諧波濾波器14，然後所述濾波器14之後跟著阻抗匹配網絡16，所述阻抗匹配網絡16通過電壓/電流傳感系統18向等離子體室20的輸入端提供所述電功率。匹配網絡16包括其輸入端連接到相位/幅度傳感器24的可控阻抗匹配單元22。所述傳感器提供正比於阻抗匹配單元的標稱輸入阻抗相角和實際相角之間的差值(Φ-Φ0)的相位誤差信號ΔΦ，還提供正比於標稱輸入阻抗和實際輸入阻抗之間的差值(Z-Z0)的幅度誤差信號ΔZ。
模糊邏輯控制器26具有接收相位誤差信號ΔΦ和接收幅度誤差信號ΔZ的輸入端；以及用於控制單元22內相應的第一和第二可變阻抗裝置的相應的控制信號輸出端CS1和CS2。任選的第三控制信號輸出端CS3以虛線示出。附加的傳感器28可以任選地向模糊邏輯控制器26提供另外的輸入信號，例如相位誤差變化的時間變率。模糊邏輯控制器可以是分開的單元，但也可以裝入阻抗匹配網絡16的外殼內。包括模糊邏輯規則矩陣和模糊邏輯推理函數算法的操作代碼可以存儲在控制器26的存儲裝置(未示出)內。所述存儲裝置可以是可編程只讀存儲器，比如E-PROM，能夠存儲下載程序代碼，並提供代碼修正以優化匹配網絡16的調諧。也可能採用「固定匹配」結構，利用誤差信號ΔΦ和ΔZ來控制等離子體發生器12的頻率。
圖2表示匹配網絡單元22和模糊邏輯控制器26的細節，由此可以解釋本發明的操作。匹配網絡單元22包括多個用來進行調諧以便在RF發生器12的50歐姆和RF等離子體室20的未知阻抗之間建立阻抗匹配的可變阻抗裝置。除了固定阻抗(未示出)，還可以有第一調諧電容器C1和第二電容器C2。也可以任選地有第三調諧電容器C3和/或可調電感器L。第一和第二調諧電容器各自分別具有調諧元件馬達M1和M2。如果需要另外的調諧元件，第三調諧元件馬達M3可以提供給第三電容器C3。馬達(未示出)也可以提供給可調電感器L的調諧鐵心。
此外，模糊邏輯控制器26對輸入信號實行三種操作，所述輸入信號這裡以相位誤差信號ΔΦ、阻抗幅度誤差信號ΔZ和任何另外的誤差信號，比如來自附加傳感器28的誤差信號的形式示出。所述各誤差信號首先應用於模糊化階段29，此時，所述各誤差信號分別加到模糊推理函數30、32、34。這些函數這裡以重疊的三角或梯形斜坡函數序列的形式示出，並給以簡短的細節描述。然後，在規則評估階段35，根據在模糊化階段29中、所述各誤差信號中每種信號都享有從屬關係的模糊集來應用預定的規則。這些可表示為IF-AND-THEN邏輯語句，比如IF相位誤差信號為大、負，AND IF幅度誤差為中、正，THEN將大、正驅動信號用作CS1，將中、負驅動信號用作CS2。相位誤差和幅度誤差的模糊集從屬關係的所有組合的規則可被考慮為N×M的矩陣規則，其中N是相位誤差的模糊集的數量，M是幅度誤差的模糊集的數量。在逆模糊化階段37，在規則評估階段35得出的幾個驅動信號值被轉換為離散驅動信號值。
在模糊化階段29，如圖3和4所示，對於阻抗幅度誤差ΔZ和相位誤差ΔΦ分別採用斜坡形從屬關係函數或模糊推理函數32和30。如圖所示，這些都是重疊函數，因此各誤差信號值部分是模糊集的成分，而部分又是重疊模糊集的成分。在圖3所示的這個實施例中，幅度誤差ΔZ具有正值，並具有35％的零誤差的從屬關係和65％的中、正誤差的從屬關係。同時，如圖4所示，相位誤差具有負值，並在零誤差模糊集中享有25％的從屬關係，在中、負模糊集中享有75％的從屬關係。這些從屬關係值用於對根據模糊規則應用階段35得出的各驅動信號值進行加權和組合。
在逆模糊化階段37，根據條件幅度誤差為中、正，相位誤差為中、負；幅度誤差為中、正，相位誤差為零；幅度誤差為零，相位誤差為中、負；以及幅度誤差為零，相位誤差為零(對於圖3和4中的實施例)，將加權係數加到所得出的驅動信號值。這些值根據其各自的從屬關係值被加權，並對各驅動信號CS1、CS2、CS3等進行組合。這導致很快將每個調諧裝置調到調諧狀態，並計及每個裝置對相位誤差和幅度誤差信號的影響。每個調諧裝置的移動量也取決於相位誤差和幅度誤差的大小和符號(正或負)。所以所述系統避免了上述現有技術的阻抗匹配網絡的主要缺陷。
圖5A和5B是給定阻抗匹配網絡的典型模糊邏輯規則的矩陣。這裡，網格中所用的符號表示加到第一調諧電容器(圖5A)和第二調諧電容器(圖5B)的馬達電流的大小和方向。這些就是PL-大、正；PM-中、正；Ze-零；NM-中、負；以及NL-大、負。在縱軸和橫軸上的標籤表示幅度誤差和相位誤差的模糊集，即NL-大、負；NM-中、負；Ze-零；PM-中、正；及PL-大、正。很顯然，這些矩陣有些不對稱或不平衡，因為它們必須計及如上所述的非線性、交叉和迷失狀態的問題。這些矩陣可以由過程工程師從其中驅動電流值僅取決於一種誤差信號的正交矩陣或對稱矩陣開始很快得出。圖6A和6B中示出一對正交矩陣。具體在說，在交叉和迷失狀態可能發生的情況下，根據工程師的經驗，並對矩陣作出直觀的調整，工程師可以試一下對照合成負載修正的規則集。如果需要，對於每次迭代，通過獲得調諧算法的結果，可以遞增地改變所述矩陣。在合理的試驗次數之內，過程工程師可以得出最佳的成對規則集矩陣，就象圖5A和5B中的一樣。
本發明的模糊邏輯調諧過程無須過分地尋找，也無須碰到上述的問題，就可以迅速獲得良好的阻抗匹配。
在更複雜的環境下，也可能採用三個或更多變量的規則集。例如，圖7說明顯示沿其三個軸的誤差信號變量的可能的規則矩陣，所述誤差信號變量是幅度誤差、相位誤差和相位誤差的變化的時間變率。當然，有許多其他可能性，輸入變量的數量也不限於三個。為了計及隨調諧元件位置改變的誤差信號的差異，可以用輸入信號的形式將調諧電容器C1、C2和C3的馬達位置包括在模糊邏輯控制器中。也可能至少一些模糊集不重疊，或者變量享有三個或更多模糊集的從屬關係，而不是象這裡所示的重疊模糊集。
權利要求
1．一種調配以下類型的RF匹配網絡(22)的模糊邏輯方法，所述類型的RF匹配網絡具有加載給定頻率和給定阻抗的RF功率的輸入端，以及將所述功率加載到具有非恆定阻抗的RF負載(20)的輸出端，所述匹配網絡包括相位-幅度誤差檢測裝置(24)，後者提供分別相關於阻抗相角誤差和阻抗幅度誤差的相位誤差信號和幅度誤差信號(ΔΦ,ΔZ)，所述匹配網絡至少包括具有用來改變其阻抗的驅動元件的第一可變阻抗(C1)，以及具有用來改變其阻抗的驅動元件的第二可變阻抗(C2)，其特徵在於所述方法包括向模糊邏輯控制器(26)提供所述相位誤差信號和所述幅度誤差信號(ΔΦ,ΔZ)，其中每一個所述誤差信號具有幅度和方向；根據多個重疊模糊集，將每個所述誤差信號(ΔΦ,ΔZ)加到模糊邏輯推理函數內，這裡所述誤差信號的值享有一個或多個模糊集的從屬關係；根據所述第一和第二誤差信號享有其從屬關係的模糊集，將模糊邏輯規則加到所述相位誤差和幅度誤差信號(ΔΦ,ΔZ)；根據用於每個相位誤差信號和幅度誤差信號的所述模糊邏輯規則，得出各驅動信號值；根據所述誤差信號享有其從屬關係的各模糊推理函數將所述驅動信號值加權；將加權後的驅動信號值組合，產生所述第一可變阻抗裝置驅動元件(M1)的輸出驅動信號(CS1)。
2．根據權利要求1的調配RF匹配網絡的模糊邏輯方法，其特徵在於還包括根據用於所述第一和第二誤差信號(ΔΦ,ΔZ)中的每一種信號的另外的各模糊邏輯規則，得出各驅動信號值；根據另外的各自的模糊推理函數將所述驅動信號值加權；以及將加權後的驅動信號值組合，產生所述第二可變阻抗裝置驅動元件(M2)的輸出驅動信號(CS2)。
3．根據權利要求2的調配RF匹配網絡的模糊邏輯方法，其特徵在於所述模糊邏輯規則包括N×M驅動電流值矩陣，其中N是所述第一誤差信號的模糊集的數量，而M是所述第二誤差信號的模糊集的數量，並且，每個驅動信號值對應於所述第一誤差信號的給定集和所述第二誤差信號的給定集。
4．根據權利要求1的調配RF匹配網絡的模糊邏輯方法，其特徵在於所述各模糊集分別以下面的值為中心零；中、正值；中、負值；大、正值；以及大、負值。
5．一種用來調配RF匹配網絡(22)的模糊邏輯控制器(26)，其中，所述匹配網絡位於所加的給定頻率和給定阻抗的RF功率的源(12)與具有非恆定阻抗的RF負載(20)之間，所述匹配網絡(22)包括提供分別相關於阻抗相角誤差和阻抗幅度誤差的相位誤差信號和幅度誤差信號(ΔΦ,ΔZ)的相位-幅度誤差檢測裝置(24)，所述匹配網絡(22)還至少包括具有用來改變其阻抗的驅動元件的第一可變阻抗(C1)以及具有用來改變其阻抗的驅動元件的第二可變阻抗(C2)；模糊邏輯控制器包括接收所述相位誤差信號和幅度誤差信號的值的輸入裝置；其特徵在於輸入部分(29)根據一些重疊模糊集(30,32,34)將所述誤差信號的值加到模糊邏輯推理函數，其中誤差信號(ΔΦ,ΔZ)的值享有一個或多個模糊集的從屬關係；第二部分(34)根據所述誤差信號享有其從屬關係的模糊集將模糊邏輯規則加到所述相位誤差信號和幅度誤差信號；第三部分(35)根據所述誤差信號享有其從屬關係的每個集的所述模糊邏輯規則得出驅動信號值；根據所述誤差信號的值的各自的模糊推理函數將所述驅動信號值加權；以及將所述加權後的驅動信號值組合，產生所述第一可變阻抗裝置驅動元件的輸出驅動信號(CS1)。
6．根據權利要求5的模糊邏輯控制器，其特徵在於還包括根據用於所述相位誤差信號和幅度誤差信號(ΔΦ,ΔZ)中的每一種信號的另外的模糊邏輯規則獲得另外的驅動信號值(CS2)的裝置；所述第三部分根據另外的各自的模糊推理函數將所述另外的驅動信號值加權；將這些加權後的驅動信號值組合，產生所述第二可變阻抗裝置驅動元件(CS2)的輸出驅動信號。
7．一種調配以下類型的可調RF裝置的模糊邏輯方法，所述類型的RF裝置具有加載給定頻率和給定阻抗的RF功率的輸入端以及包括提供第一誤差信號和第二誤差信號的誤差檢測器裝置的輸出端，所述可調RF裝置至少包括具有用來改變其阻抗的驅動元件的第一可變阻抗以及具有用來改變其阻抗的驅動元件的第二可變阻抗，其特徵在於所述方法包括向模糊邏輯控制器(26)提供所述第一和所述第二誤差信號(ΔΦ,ΔZ)，其中各所述誤差信號具有幅度和方向；根據多個重疊模糊集，將每個所述誤差信號加到模糊邏輯推理函數(29)，並產生對應於一個或多個模糊集內的所述誤差信號值的重疊的從屬關係的數量的從屬關係值；根據所述第一和第二誤差信號享有其從屬關係的模糊集，將模糊邏輯規則(35)加到所述第一和第二誤差信號；根據用於所述第一和第二誤差信號中的每一種信號的所述模糊邏輯規則得出多個驅動信號值；根據所述誤差信號的各自的從屬關係值將所述驅動信號值加權；將所述加權後的各驅動信號值組合，產生所述第一可變阻抗裝置驅動元件的輸出驅動信號。
8．根據權利要求7的調配可調RF裝置的模糊邏輯方法，其特徵在於還包括根據用於所述第一和第二誤差信號(ΔΦ,ΔZ)中每一種信號的另外的各模糊邏輯規則，得出多個另外的驅動信號值；根據另外的各自的模糊推理函數將所述另外的驅動信號值加權；以及將這些加權後的另外的驅動信號值組合，產生所述第二可變阻抗裝置驅動元件(C2)的輸出驅動信號(CS2)。
全文摘要
用於阻抗匹配網絡的模糊邏輯控制器(26)將相誤差信號和幅誤差信號(△Φ,△Z)模糊化。根據多個模糊集(30,32,34)將誤差信號加到模糊邏輯推理函數(29)。誤差信號的值在一個或多個模糊集內享有一定程度的從屬關係。把模糊邏輯規則加到相位和幅度誤差信號。在逆模糊化階段(37),得出用來移動可變阻抗的調諧元件的驅動信號值。根據誤差信號享有其從屬關係的各模糊推理函數將驅動信號值加權。然後將加權後的驅動信號值組合,產生輸出驅動信號。
文檔編號H05H1/46GK1215284SQ9811964
公開日1999年4月28日 申請日期1998年9月15日 優先權日1997年9月15日
發明者S·哈納特 申請人:恩尼技術公司