掩膜殼體、掩膜盒、圖案轉錄方法及顯示裝置的製造方法

2023-06-24 03:09:51 4

專利名稱：掩膜殼體、掩膜盒、圖案轉錄方法及顯示裝置的製造方法
技術領域：
本發明涉及一種用於光掩膜(下面也稱為掩膜)的掩膜殼體、掩膜盒、 圖案轉錄方法和顯示裝置的製造方法，特別是涉及一種在液晶顯示面板(LCDP)或等離子體顯示面板(PDP)等的製造工序中使用的，運送大 型光掩膜並且在使用光掩膜時，便於對曝光裝置拆裝，並可抑制拆裝時的 粒子汙染或破損等的掩膜殼體、掩膜盒、圖案轉錄方法和顯示裝置的製造方法。
背景技術：
近年來，在LCDP或PDP等顯示裝置的製造工序中，面板面數的增 加作為製造成本降低的方法，被一般化，面板用母基板的尺寸越來越大。 與此同時，在LCDP或PDP等顯示裝置的製造工序中，圖案轉錄中使用 的光掩膜也越來越大。另外，上述大型化的光掩膜，當從掩膜製造商運輸 到掩膜用戶那裡時，為了保護運輸時不受衝擊，以收置固定在掩膜殼體 (maskcase)內部的狀態運輸。作為用於運送、保管光掩膜等掩膜的掩膜殼體，開發出有各種構造的 掩膜殼體。例如，在特開2005-173556號公報中，公開了一種大型精密薄片狀(半〉 製品用密封容器的技術，這種密封容器，由具有彼此抵接的周緣凸緣部的 主體部與蓋體部構成，用於在內部收置大型精密薄片狀(半)製品，其特 徵在於主體部與蓋體部分別由設置了熱可塑性樹脂薄片的加固用肋的真 空或壓空成型體構成。該較輕量的大型精密薄片狀(半)製品用密封容器，以不會對大型精 密薄片狀(半)製品施加不適當的應力、安全且保持氣密的狀態，進行收 置*支持，運送。另外，製造光掩膜等掩膜的掩膜製造商，在將製造的掩膜等收置在上 述掩膜殼體中的狀態下，交貨給掩膜用戶。另一方面，掩膜用戶使用從掩膜製造商交納的光掩膜，將期望的圖案 轉錄到被轉錄體上，製造顯示裝置等。在該製造工序中，掩膜用戶以將光掩膜收置在專用掩膜盒(mask cassette)中的狀態運送到曝光機(例如掩 膜直線對準儀)，或將使用後的光掩膜從曝光機運送到其它設備。另外， 大型曝光裝置以將光掩膜設置在專用掩膜盒中的狀態，在裝置內部運送。 上述專用掩膜盒，對應於曝光裝置等，使用各種構造的掩膜盒。 例如，特開2000-19720號公報中，公開了一種基板交換裝置的技術， 該基板交換裝置的技術在液晶顯示元件或半導體元件的製造工序中使用， 自動交換給曝光裝置或檢查裝置等的掩膜、網線或玻璃基板等(統稱為掩 膜)。另外，該文獻中記載了一種防塵用掩膜盒，其在往曝光裝置等的掩 膜交換過程中使用，裝配可讀取的管理代碼。該掩膜盒由掩膜盒蓋、和以定位的狀態載置掩膜的、大致矩形平板狀 的掩膜盒盤構成。另外，上述基板交換裝置具備掩膜運送機構，該掩膜運送機構保持住 從掩膜盒取出的掩膜狀態，移動到曝光裝置，在曝光裝置的大致平板狀的 搭載臺上，搭載掩膜。但是，如上所述，掩膜製造商以將光掩膜等掩膜收置在掩膜殼體中的 狀態，將掩膜交貨給掩膜用戶。因此，掩膜用戶為了使用交納的掩膜，首 先要從掩膜殼體中取出掩膜，換入專用的掩膜盒中之後，使用。但是，隨著液晶顯示器(LCD)、平板顯示器(FPD)、等離子體面 板顯示器(PDP)、薄膜電晶體基板(TFT)、濾色鏡(CF)等的大型化， 在其製造中越來越多地使用例如約500mmx750mm或以上的這種大型光 掩膜，大型化的傾向更加顯著。而且，若用人手執行大型且重量大的光掩 膜的操作，則作業者的負載大。尤其是，掩膜用戶如上所述，必需執行如下作業，即從掩膜製造商處 收貨形成期望圖案的光掩膜，從運輸用掩膜殼體中將其取出，換入曝光裝 置用的掩膜盒中。這在考慮到上述大型光掩膜是非常精緻的製品，必需對 型則越難以處理等情況時，存在作業者承受 的負擔過大的問題。發明內容鑑於上述問題，本發明的目的在於提供一種掩膜殼體、掩膜盒、圖案 轉錄方法和顯示裝置的製造方法，可容易地執行將掩膜從掩膜殼體換入掩 膜盒中的作業。為了實現上述目的，本發明的掩膜殼體，可運送地收置光掩膜、和掩 膜盒，該掩膜盒在搭載所述光掩膜來使用的裝置(例如製造裝置和/或檢查 裝置等)中使用，並載置所述光掩膜來使用，其中當從所述掩膜殼體中 取出所述光掩膜時，以所述光掩膜被載置於所述掩膜盒的狀態取出。據此，掩膜用戶的作業者，無需例如將從掩膜製造商處以收置在掩膜 殼體中的狀態交貨的掩膜換入曝光裝置等的作業，所以在大幅度減輕作業 者的負荷的同時，作業性提高。另外，可大幅度降低換入作業中誤損傷掩膜的危險性，可安全地執行 作業。並且，若掩膜大型化，則還設想導入專用的處理裝置等，來安全地執 行上述換入作業，而即使不導入這種處理裝置等，也可安全地執行換入作 業。另外，在本發明中，作為掩膜，包含光掩膜(photo mask)、網線(reticle)、 光掩膜半成品(photo mask blank)、玻璃基板等。另外，作為製造裝置，包含電子器件製造用的曝光裝置、掩膜提供裝 置、基板交換裝置、掩膜運送裝置等。再有，所謂"載置"除僅載置外，還包含以定位的狀態支持，或以定 位的狀態收置，保持，或以保持的狀態收置等。因此，設置在具有各種各 樣的構造的掩膜盒中，也包含於"載置"。另外，例如掩膜製造商也可以 將掩膜保持在掩膜盒中的狀態下收置，以將該掩膜盒保持在掩膜殼體中的 狀態收置，將該掩膜殼體交貨給掩膜用戶，掩膜用戶對各掩膜盒從掩膜殼 體中取出掩膜，直接提供給曝光裝置等。另外，所謂掩膜盒，是指製造裝置和/或檢查裝置中使用、至少載置光 掩膜的盒，例如有為了以載置上述掩膜盒的狀態搭載於裝置、或取出而使 用的掩膜盒盤、或可拆裝的掩膜搭載臺等。包含指定給曝光裝置等、或構 成附屬品的部件。另外，本發明的掩膜殼體，優選具備保持所述光掩膜的掩膜保持部 件；保持所述掩膜盒的盒保持部件；設置了所述掩膜保持部件和盒保持部 件的殼體主體；以及，可自由拆裝地裝配於該殼體主體上並覆蓋所述光掩 膜的殼體蓋。據此，可不在掩膜中產生損傷或粒子汙染地，以密閉的狀態，穩定固 定收置掩膜和掩膜盒。由此，即便在空中或陸地等運輸掩膜的情況下，也 可抑制掩膜在掩膜盒內部振動、破損、或因摩擦而產生粒子，進而對精緻 形成的圖案造成損傷等問題。另外，本發明的掩膜殼體，優選以與所述掩膜盒非接觸的狀態支持所 述光掩膜，當取出所述光掩膜時，使所述掩膜盒沿規定方向移動，則所述 光掩膜被載置於所述掩膜盒。據此，由於掩膜保持部件可保持與掩膜盒非接觸狀態的掩膜，所以可 更可靠地防止掩膜盒與掩膜摩擦產生粒子等問題。優選具有掩膜支持銷，當收置所述光掩膜時用於支持該光掩膜，在使 所述掩膜盒沿規定方向移動時，該掩膜支持銷引導該移動。再有，該掩膜 支持銷優選貫通掩膜盒的一部分，來支持掩膜。據此，可簡化構造，實現製造原價的成本下降，同時，當從掩膜殼體 取出掩膜盒時，可容易地使掩膜載置於掩膜盒中。另外，所述掩膜保持部件，還可保持載置於所述掩膜盒的狀態的所述 光掩膜。據此，通過解除由掩膜保持部件實現的保持狀態，掩膜被設置在掩膜 盒中，所以可容易地進行作業。另外，為了實現上述目的，本發明的掩膜盒在搭載光掩膜來使用的裝 置、例如製造裝置及/或檢查裝置等中，載置光掩膜來使用，其中，具備貫 通孔或開口部，用於在將所述光掩膜和掩膜盒收置於掩膜殼體中時，讓為 了保持或支持光掩膜而設置在掩膜殼體中的保持或支持部件到達所述光 掩膜。 盒，即便在該掩膜盒收置在掩膜殼體中的狀 態下，也可可靠地保持或支持掩膜。為了實現上述目的，本發明的掩膜盒，以與光掩膜非接觸的狀態收置 於收置所述光掩膜的掩膜殼體，並且，當從所述掩膜殼體中取出所述光掩 膜時，被以所述光掩膜載置於所述掩膜盒的狀態取出，優選具備被引導面， 當取出所述光掩膜時，被使所述掩膜盒沿規定方向移動用的引導部件引 導。這樣，本發明作為掩膜盒也有效，由於無需執行將掩膜換入掩膜盒中 的作業，所以可在大幅度減輕作業者的負荷的同時，作業性提高。另外， 可更可靠地防止掩膜盒與掩膜摩擦產生粒子等問題。另外，優選所述引導部件，是以與所述掩膜盒非接觸的狀態支持所述 光掩膜的掩膜支持銷，並且，所述被引導面，是形成於所述掩膜盒中、所 述掩膜支持銷貫通的貫通孔的孔表面。據此，可簡化構造，可實現製造原價的成本下降。為了實現上述目的，本發明的圖案轉錄方法，具有從用於運送光掩膜的掩膜殼體中取出該光掩膜的工序；和使用載置在所述掩膜盒中而搭載的 所述光掩膜、利用曝光裝置進行圖案轉錄的曝光工序，該方法中當從所述掩膜殼體中取出所述光掩膜時，以所述光掩膜被載置於所述掩膜盒的狀 態取出。這樣，本發明作為圖案轉錄方法也有效，無需執行將掩膜換入掩膜盒 中的作業，所以可在大幅度減輕作業者的負荷的同時，作業性提高。 為了實現上述目的，本發明的顯示裝置的製造方法，具有從用於運送光掩膜的掩膜殼體中取出該光掩膜的工序；和使用載置在所述掩膜盒中而 搭載的所述光掩膜、利用曝光裝置對顯示裝置中使用的被轉錄體進行圖案 轉錄的曝光工序，該方法中當從所述掩膜殼體中取出所述光掩膜時，以所述光掩膜被載置於所述掩膜盒的狀態取出。這樣，本發明還包含顯示裝置的製造方法，無需執行將掩膜換入掩膜 盒中的作業，所以可在大幅度減輕作業者的負荷的同時，作業性提高。
為了實現上述目的，本發明的收置光掩膜的掩膜殼體，其特徵在於-具備保持部件，其維持光掩膜與載置所述光掩膜的掩膜盒的水平方向的位 置關係，同時，相對掩膜殼體固定所述光掩膜和掩膜盒，所述保持部件， 維持所述水平方向的位置關係不變，可拆裝所述光掩膜和所述掩膜盒。為了實現上述目的，本發明的光掩膜設置方法，利用對光掩膜實施制 造或檢查用的處理的裝置，在實施所述處理的規定位置設置光掩膜，包括 如下階段將光掩膜載置在掩膜盒上，固定光掩膜和掩膜盒相對於掩膜盒 的底面方向的位置關係；維持所述位置關係，並在掩膜殼體內的規定位置 固定光掩膜和掩膜盒；將收置掩膜盒的掩膜殼體運送到所述裝置的附近； 維持所述水平方向的位置關係、並以將光掩膜載置在掩膜盒上的狀態，從 掩膜殼體中取出光掩膜和掩膜盒；和在實施所述處理的規定位置，將光掩 膜載置在掩膜盒上來進行設置。如上所述，根據本發明，掩膜用戶，被從將從掩膜製造者處收貨的掩 膜，從掩膜殼體換入掩膜盒中的巨大負荷中解放出來。尤其是在一邊超過 約300mm的大型掩膜中，本發明可實現減輕負荷、安全性大的優點。另 外，能得到往掩膜盒換入時的掩膜的粒子附著、或不當心的破損能大幅度 減少這一出色的效果。


圖1是說明本發明第一實施方式的掩膜殼體的掩膜裝配狀態的示意 圖，(a)表示截面圖，(b)表示A-A截面圖。圖2是說明本發明第一實施方式的掩膜殼體的掩膜保持部件和盒保持 部件的示意放大圖，(a)表示側面圖，(b)表示平面圖。圖3表示說明本發明第一實施方式的掩膜殼體的取下掩膜狀態的示意 截面圖。圖4是說明本發明第二實施方式的掩膜殼體的掩膜裝配狀態的示意 圖，(a)表示截面圖，(b)表示B-B截面圖。圖5是說明本發明第二實施方式的掩膜殼體的掩膜保持部件和盒保持 部件的示意放大圖，(a)表示側面圖，(b)表示平面圖。圖6表示說明本發明第二實施方式的掩膜殼體的取下掩膜狀態的示意 截面圖。
具體實施方式
圖1是說明本發明第一實施方式的掩膜殼體的掩膜裝配狀態的示意圖，(a)表示截面圖，(b)表示A-A截面圖。另外，圖2是說明本發明第一實施方式的掩膜殼體的掩膜保持部件和 盒保持部件的示意放大圖，(a)表示側面圖，(b)表示平面圖。圖l、 2中，掩膜殼體1由殼體主體2、殼體蓋3、掩膜保持部件4和 盒保持部件5構成，可運送(也包含運輸)地收置光掩膜10與掩膜盒100。另外，雖然在本實施方式中，作為掩膜使用的是顯示裝置製造用的大 型光掩膜IO，但不限於光掩膜IO。殼體主體2為大致矩形狀的平板，在周緣部形成凸部21。凸部21與 殼體蓋3嵌合，執行殼體蓋3的定位。另外,殼體主體2在8處設置有載置掩膜盒100的周緣部的裝配臺22。 在本實施方式中，在矩形光掩膜'10各邊的兩處分別配置有裝配臺22,但 不限於該配置，例如，也可以對應於光掩膜10的形狀或尺寸採用不同的 配置。裝配臺22如圖2所示，形成自由滑動嵌入掩膜保持部件4的引導部 45和盒保持部件5的引導部55的引導溝221，並且，在引導溝221的下 方，形成有溝寬度比引導溝221寬的小車輪(棋子；二法)收置溝222。另外，裝配臺22在光掩膜10側的端部突設掩膜支持銷23。該掩膜支持銷23是頂端部變細的形狀的銷，貫通掩膜盒100的貫通 孔102，將光掩膜10支持為從掩膜盒100浮起的狀態(非接觸狀態)。另 外，掩膜支持銷23嵌入貫通孔102中，當沿取出方向(參照圖3)抬起掩 膜盒100時，方向不錯位地引導掩膜盒100。通過使用掩膜支持銷23作為 支持部件，能夠讓構造簡化，可實現製造原價的成本下降。另外，裝配臺22和掩膜支持銷23的材料通常使用金屬，但例如也可 在掩膜盒100與光掩膜10接觸的部分，安裝由樹脂等材料構成的緩衝部 件(未圖示)。 雖然未圖示，但殼體主體2由周緣部被鋁框架加固的樹脂板構成，以 收置的掩膜的主平面變為鉛直的姿態，在下部兩側設置一對小腳輪，並且， 在兩側的上部及下部裝配把手。另外，殼體主體2，利用螺釘或棘輪、帶 扣鎖等連結部件，裝配殼體蓋3。再有，殼體主體2與殼體蓋3利用0型 圈等密封部件，以密閉的狀態連結。殼體蓋3，是自由拆裝地裝配在殼體主體2上的蓋。該殼體蓋3為覆 蓋殼體主體2的矩形箱狀，由矩形狀的上板、和突設在上板周緣部上的側 板構成。另外，儘管未圖示，但殼體蓋3由周緣部被鋁框架加固的樹脂板構成， 在下部兩側設置一對小腳輪，並且，在兩側的上部及下部裝配把手。 掩膜保持部件4是保持光掩膜10的部件，可自由調整位置地固定在 殼體主體2上。該掩膜保持部件4具備載置於裝配臺22上的擰接部44、 以鉤狀從擰接部44突設的頂端部上形成的載置面41和定位突出部42、和 突設在擰接部44的下面、並與引導溝221嵌合的引導部45。載置面41，與光掩膜10的端面抵接，當掩膜盒1豎立成掩膜主平面 鉛直時，位於下側的載置面41承受光掩膜10的荷重。另外，定位突出部 42具有朝著光掩膜10的方向變寬的斜面。該斜面夾持光掩膜10形成，執 行光掩膜10的定位(與光掩膜10的表面成直角方向的定位)。擰接部44，穿設螺釘43貫通的？L，插入該孔中的螺釘43擰入自由移 動地收置於小車輪收置溝222中的小車輪46中。由此，掩膜保持部件4 在被擰接於裝配臺22上的同時，鬆開螺釘43，由此可沿滑動方向移動。 另外，載置面41和定位突出部42的高度位置，對應於支持在掩膜支持銷 23上的光掩膜10的高度位置，所以通過使掩膜保持部件4沿光掩膜10的方向移動，擰接，可容易地保持光掩膜io。盒保持部件5是保持掩膜盒100的部件，可自由調整位置地固定在殼 體主體2上。該盒保持部件5具備載置於裝配臺22上的擰接部54、以鉤 狀從擰接部54突設的頂端部上形成的保持面51 、和突設在擰接部54的下
面、與引導溝221嵌合的引導部55。保持面51，是朝著掩膜盒100，向斜上方傾斜的斜面。該保持面51 與載置於裝配臺22上的掩膜盒100的上側角部線接觸，將掩膜盒100壓 接於裝配臺22上，來保持掩膜盒100。擰接部54穿設有螺釘53貫通的孔，插入該孔中的螺釘53擰入小車 輪56中，該小車輪56可自由移動地收置於小車輪收置溝222中。由此， 盒保持部件5在被擰接於裝配臺22上的同時，鬆開螺釘53，由此可沿滑 動方向移動。另外，由於載置面51的高度位置對應於載置在裝配臺22上 的掩膜盒100的高度位置，所以通過使盒保持部件5沿掩膜盒100的方向 移動，擰接，可容易地保持掩膜盒100。掩膜盒100在製造裝置和/或檢查裝置(未圖示)中搭載掩膜時使用， 這裡示為矩形狀的平板，在對應於掩膜支持銷23的位置上，穿設有貫通 孔102。另外，掩膜盒100對應於各貫通孔102,突設定位銷IOI，該定位 銷101對載置於掩膜盒100上面的光掩膜10進行定位。另外，在本實施方式的掩膜盒100中，通過載置光掩膜IO，進而，利 用定位銷101定位，從而設置光掩膜IO，但設置的方式不限於該構成。另外，掩膜盒100、掩膜保持部件4和盒保持部件5的材料通常使用 金屬，但例如也可在與掩膜盒100或光掩膜10接觸的部分裝配由樹脂等 材料構成的緩衝部件(未圖示)。說明上述構成的掩膜殼體1的動作。首先，掩膜殼體1在圖1 (a)所示的狀態下，收置光掩膜10與掩膜 盒IOO。另外，掩膜殼體l在被運輸時，通常以豎立的狀態運輸。 接著，參照附圖來說明從掩膜殼體1中取出光掩膜10的動作。 圖3表示說明本發明第一實施方式的掩膜殼體的、取下掩膜狀態的示 意截面圖。圖3中，交貨給掩膜用戶的掩膜殼體l，首先被放置成掩膜主平面水 平，從圖l (a)的狀態，取下殼體蓋3。接著，鬆開各螺釘43和螺釘53， 沿滑動方向移動掩膜保持部件4和盒保持部件5，直到不幹擾與向上方取 出的掩膜盒IOO的位置。
接著，掩膜盒ioo被作業者向取出方向(正上方向)抬高。此時，由於掩膜支持銷23引導掩膜盒100，直到掩膜盒100與光掩膜10抵接並被 定位銷101定位，所以不會對光掩膜10產生異常衝擊，可使掩膜盒100 順利地與光掩膜IO抵接。g卩，作業者按照定位銷101的引導，僅通過緩 慢抬高掩膜盒100，光掩膜10就可在通過定位銷101定位的狀態下載置於 掩膜盒100上。由此，當光掩膜10從掩膜殼體1中取出時，以光掩膜IO 被設置在掩膜盒100中的狀態，光掩膜10被取出。另外，設置在掩膜盒100中的光掩膜10在曝光裝置等中使用，例如，當要保管到下一製造日時，通過返回上述步驟，可容易且安全地將光掩膜10收置在掩膜殼體1中。S卩，作業者若使設置了光掩膜10的掩膜盒100 下降，使得掩膜支持銷23貫通於貫通孔102，則由於掩膜支持銷23沿正 下方向引導掩膜盒100，所以不對光掩膜10產生異常衝擊，可從掩膜盒 100浮起，使掩膜盒100順利地載置於裝配臺22上。即，作業者只需按照 定位銷101的引導，通過使掩膜盒100緩慢下降，就可用掩膜支持銷23 支持光掩膜IO，並且，使掩膜盒100載置於裝配臺22上。如上所述，根據本實施方式的掩膜殼體1，掩膜用戶的作業者，由於 無需執行例如將從掩膜製造商處以收置於掩膜殼體1的狀態收貨的光掩膜 10，換入曝光裝置等的掩膜盒100中的作業(由於可極容易且安全地執行換入作業)，所以大幅度減輕作業者的負荷，同時，作業性也得到提高。 另外，可大幅度降低換入作業中誤損傷掩膜10的危險性，安全地執 行作業。另外，通過設置掩膜保持部件4和盒保持部件5，能可靠地保持光掩 膜10和掩膜盒100，所以即便在空中或陸地等運輸光掩膜10的情況下， 也可避免光掩膜10破損、或因摩擦而產生大量粒子，進而對精緻形成的 圖案造成損傷等問題。再有，由於掩膜殼體1設置掩膜支持銷23，以從掩膜盒100浮起的狀 態、換言之、與掩膜盒非接觸的狀態支持光掩膜10，並且，沿規定方向引 導掩膜盒IOO，所以運送中光掩膜10不與掩膜盒100接觸。由此，可進一 步可靠地防止掩膜盒100與光掩膜10磨擦產生粒子等問題。如上所述， 可在運送中利用掩膜殼體直接保持固定光掩膜，並且以最小限度的接觸面 積保持，同時，當取出光掩膜時，利用從掩膜殼體中取出掩膜盒的動作， 可實現自動將光掩膜設置在掩膜盒中的形態。由此，作業者通過從掩膜殼 體中取出光掩膜，可使在掩膜盒中進行設置之類的作業大幅度降低。並且, 由於從掩膜殼體中取出光掩膜、往掩膜殼體收置光掩膜時，光掩膜始終受 掩膜盒保護，所以可大幅度抑制傷痕或破損的發生。上述方案，尤其是在一邊超過1000mm的大型掩膜中具有顯著效果。 [掩膜殼體的第二實施方式]圖4是說明本發明第二實施方式的掩膜殼體的掩膜裝配狀態的示意 圖，(a)表示截面圖，(b)表示B-B截面圖。另外，圖5是說明本發明第二實施方式的掩膜殼體的掩膜保持部件和 盒保持部件的示意放大圖，(a)表示側面圖，(b)表示平面圖。圖4、 5中，第二實施方式的掩膜殼體la與第一實施方式的掩膜殼體 1相比，掩膜盒100a具有以定位的狀態收置光掩膜10的構造，與此同時， 掩膜保持部件4a、盒保持部件5a及構造不同。其它構成要素基本與第一 實施方式一樣。因此，圖4、圖5中，對與圖l、 2—樣的構成部分附加相同符號，省 略其詳細說明。 掩膜盒100a，在製造裝置和/或檢查裝置(未圖示)中，搭載掩膜時 使用，這裡示為矩形狀的平板，在周緣部突設在定位的同時收置光掩膜IO 的壁部113。該壁部113，為大致矩形環狀的形狀，從下向上，依次具備 載置光掩膜10的周緣部的載置面111、與光掩膜10的側面抵接進行定位 的定位面112、和為了容易地收置光掩膜IO而傾斜的引導面114。另外，掩膜盒100a，在對應於掩膜保持部件4a的位置上，形成開口 部115。由此，掩膜盒100a中，為了保持載置於載置面111上的光掩膜 10，掩膜保持部件4a能夠移動。掩膜保持部件4a是保持光掩膜10的部件，可自由調整位置地固定在 殼體主體2上。由於該掩膜保持部件4a,使載置面41和定位突出部42的 高度位置對應於收置在掩膜盒100a中的光掩膜10的高度位置，所以通過 利用開口部115，使掩膜保持部件4a沿光掩膜10的方向移動，擰接，從 而可容易地保持光掩膜10。 盒保持部件5a是保持掩膜盒100a的部件，可自由調整位置地固定在 殼體主體2上。由於該盒保持部件5a，使保持面51的高度位置對應於掩 膜盒100a的壁部113的高度位置，所以通過使盒保持部件5a沿掩膜盒100a 的方向移動，擰接，可容易地保持掩膜盒100a。另外，保持面51與掩膜 盒100a的壁部113的上側角部線接觸，將掩膜盒100a壓接於裝配臺22 上，來保持掩膜盒100a。說明上述構成的掩膜殼體la的動作。首先，掩膜殼體la在圖4 (a)所示的狀態下，收置光掩膜10與掩膜 盒畫a。接著，參照附圖來說明從掩膜殼體la中取出光掩膜10的動作。 圖6表示說明本發明第二實施方式的掩膜殼體的、取下掩膜狀態的示 意截面圖。圖6中，交貨給掩膜用戶的掩膜殼體la首先被水平放置，從圖4(a) 的狀態，取下殼體蓋3。接著，鬆開各螺釘43，沿滑動方向移動掩膜保持 部件4a，直到不與向上方取出的掩膜盒100a幹擾的位置。通過該動作， 解除掩膜保持部件4a的保持狀態，所以可以在由定位面112定位光掩膜 10的狀態下將其載置於掩膜盒100a。之後，鬆開各螺釘53，沿滑動方向移動盒保持部件5a，直到不與向 上方取出的掩膜盒100a幹擾的位置。利用該動作，解除盒保持部件5a的 保持狀態，所以可從掩膜殼體la中容易並且安全地取出以定位狀態收置 於掩膜盒100a中的光掩膜10。另外，設置在掩膜盒100a中的光掩膜IO在曝光裝置等中使用，例如， 當保管到下一製造日時，通過返回上述步驟，可容易且安全地將光掩膜10 收置在掩膜殼體la中。即，作業者將載置了光掩膜10的掩膜盒100a載 置於裝配臺22上(為了確定該載置位置，也可設置定位部件(未圖示)。 接著，由盒保持部件5a保持掩膜盒100a，之後，由掩膜保持部件4a保持 光掩膜10，從而可安全且容易地將光掩膜10收置在掩膜殼體la中。
如上所述，根據本實施方式的掩膜殼體la，可得到與掩膜殼體1大致 一樣的效果，再有，由於通過解除由掩膜保持部件4a實現的保持狀態， 光掩膜10被設置在掩膜盒100a中，所以可容易地進行作業。 [掩膜盒的一實施方式]另外，本發明作為掩膜盒也有效。本發明的掩膜盒為與上述掩膜盒100 大致一樣的構造，是具有被引導面(圖2 (a)所示的貫通孔102的孔表面) 的結構，其當取出光掩膜10時，被用於使掩膜盒100沿規定方向移動用 的掩膜支持銷23引導。這樣，本發明作為掩膜盒100也有效，由於無需將光掩膜10換入掩 膜盒100中的作業，所以大幅度減輕作業者的負荷，同時，作業性提高。 另外，可更可靠地防止掩膜盒100與光掩膜10摩擦產生粒子等問題。 [圖案轉錄方法的一實施方式]另外，本發明作為圖案轉錄方法也有效。本發明的圖案轉錄方法，具 有從用於運送光掩膜10的掩膜殼體1中取出光掩膜10的工序；和使用載 置在所述掩膜盒100中而搭載的所述掩膜10、利用曝光裝置進行圖案轉錄 的曝光工序，該方法中，當從掩膜殼體1中取出光掩膜10時，以光掩膜 10被設置於掩膜盒100的狀態取出。這樣，本發明作為圖案轉錄方法也有效，由於無需將光掩膜10換入 掩膜盒100中的作業，所以大幅度減輕作業者的負荷，同時，作業性提高。 [顯示裝置的製造方法的一實施方式]另外，本發明作為顯示裝置的製造方法也有效。本發明的顯示裝置的 製造方法，具有從用於運送光掩膜10的掩膜殼體1中取出光掩膜10的工 序；和使用載置在所述掩膜盒100中而搭載的所述掩膜10、利用曝光裝置 圖案轉錄到顯示裝置中使用的被轉錄體上的曝光工序，該方法中，當從掩 膜殼體1中取出掩膜10時，以光掩膜10被設置於掩膜盒100中的狀態取 出。這樣，本發明作為顯示裝置的製造方法也有效，無需將光掩膜10換 入掩膜盒100中的作業，所以大幅度減輕作業者的負荷，同時，作業性提 高。以上示出最佳實施方式，來對本發明的掩膜殼體、掩膜盒、圖案轉錄 方法和顯示裝置的製造方法進行了說明，但本發明的掩膜殼體、掩膜盒、 圖案轉錄方法和顯示裝置的製造方法不限於上述實施方式，當然可在本發 明的範圍內進行各種變更實施。例如，也可構造成掩膜保持部件與盒保持部件一體連結。本發明也可適用於用於保管掩膜的掩膜殼體，尤其適用於LCDP或 PDP等製造工序中使用的大型掩膜。
權利要求
1、一種掩膜殼體，可運送地收置光掩膜、和掩膜盒，該掩膜盒在搭載所述光掩膜來使用的裝置中使用，並載置所述光掩膜來使用，其中當從所述掩膜殼體中取出所述光掩膜時，以所述光掩膜被載置於所述掩膜盒的狀態取出。
2、 根據權利要求1所述的掩膜殼體，其特徵在於 具備保持所述光掩膜的掩膜保持部件； 保持所述掩膜盒的盒保持部件；設置了所述掩膜保持部件和盒保持部件的殼體主體；以及， 可自由拆裝地裝配於該殼體主體上並覆蓋所述光掩膜的殼體蓋
3、 根據權利要求1或2所述的掩膜殼體，其特徵在於-以與所述掩膜盒非接觸的狀態支持所述光掩膜，當取出所述光掩膜時，使所述掩膜盒沿規定方向移動，則所述光掩膜被載置於所述掩膜盒
4、 根據權利要求3所述的掩膜殼體，其特徵在於 具有掩膜支持銷，當收置所迷光掩膜時用於支持該光掩膜，在使所述掩膜盒沿規定方向移動時，該掩膜支持銷引導該移動
5、 根據權利要求2所述的掩膜殼體，其特徵在於-所述掩膜保持部禪,葆釋載置於所述掩膜盒的狀態的所述光掩膜
6、 一種掩膜盒，在搭載光掩膜來使用的裝置中載置光掩膜來使用， 其特徵在於具備貫通孔或開口部，用於在將所述光掩膜和掩膜盒收置於掩膜殼體 中時，讓為了保持或支持光掩膜而設置在掩膜殼體中的保持或支持部件到 達所述光掩膜
7、 一種掩膜盒，以與光掩膜非接觸的狀態收置於收置所述光掩膜的 掩膜殼體，並且，當從所述掩膜殼體中取出所述光掩膜時，被以所述光掩 膜載置於所述掩膜盒的狀態取出，其特徵在於-具備被引導面，當取出所述光掩膜時，被使所述掩膜盒沿規定方向移 動用的引導部件引導
8、 根據權利要求7所述的掩膜盒，其特徵在於 所述引導部件，是以與所述掩膜盒非接觸的狀態支持所述光掩膜的掩 膜支持銷，並且，所述被引導面，是形成於所述掩膜盒中、所述掩膜支持 銷貫通的貫通孔的孔表面。
9、 一種圖案轉錄方法，具有從用於運送光掩膜的掩膜殼體中取出該 光掩膜的工序；和使用載置在所述掩膜盒中而搭載的所述光掩膜、利用曝光裝置進行圖 案轉錄的曝光工序，該方法中當從所述掩膜殼體中取出所述光掩膜時，以所述光掩膜被載置於所述 掩膜盒的狀態取出。
10、 一種顯示裝置的製造方法，具有從用於運送光掩膜的掩膜殼體中 取出該光掩膜的工序；和使用載置在所述掩膜盒中而搭載的所述光掩膜、利用曝光裝置對顯示 裝置中使用的被轉錄體進行圖案轉錄的曝光工序，該方法中當從所述掩膜殼體中取出所述光掩膜時，以所述光掩膜被載置於所述 掩膜盒的狀態取出。
11、 一種收置光掩膜的掩膜殼體，其特徵在於-具備保持部件，其維持光掩膜與載置所述光掩膜的掩膜盒的水平方向 的位置關係，同時，相對掩膜殼體固定所述光掩膜和掩膜盒，所述保持部件，維持所述水平方向的位置關係不變，可拆裝所述光掩 膜和所述掩膜盒。
12、 一種光掩膜設置方法，利用對光掩膜實施製造或檢査用的處理的 裝置，在實施所述處理的規定位置設置光掩膜，包括如下階段-將光掩膜載置在掩膜盒上，固定光掩膜和掩膜盒相對於掩膜盒的底面 方向的位置關係；維持所述位置關係，並在掩膜殼體內的規定位置固定光掩膜和掩膜盒；將收置掩膜盒的掩膜殼體運送到所述裝置的附近； 維持所述水平方向的位置關係、並以將光掩膜載置在掩膜盒上的狀 態，從掩膜殼體中取出光掩膜和掩膜盒；和在實施所述處理的規定位置，將光掩膜載置在掩膜盒上來進行設置。
全文摘要
本發明涉及一種掩膜殼體，該掩膜殼體(1)是一種可運送地收置光掩膜(10)和掩膜盒(100)的掩膜殼體，具備掩膜保持部件(4)和盒保持部件(5)，當從掩膜盒(100)中取出光掩膜(10)時，以光掩膜(10)被設置於掩膜盒(100)的狀態取出。
文檔編號B65D85/86GK101152919SQ20071016300
公開日2008年4月2日 申請日期2007年9月28日 優先權日2006年9月29日
發明者井村和久 申請人:Hoya株式會社