一種高精度晶圓背刻對中系統的校正裝置製造方法
2023-05-26 15:16:21 1
一種高精度晶圓背刻對中系統的校正裝置製造方法
【專利摘要】一種高精度晶圓背刻對中系統的校正裝置，包括晶圓、雷射、雷射保護板和底光、對中臺、校正玻璃板、十字薄膜、相機保護板、工業相機、電腦顯示屏、ROBOT搬運手，工業相機安裝在對中臺上方，雷射安裝在對中臺下方，雷射保護板安裝在雷射和對中臺之間，相機保護板安裝在工業相機和對中臺之間，ROBOT搬運手安裝在對中臺前方，電腦顯示屏放置在對中臺外側，十字薄膜粘貼在電腦顯示屏上，晶圓和校正玻璃板分別放置在對中臺上。雷射在校正玻璃板的塗黑上刻劃十字，工業相機捕捉十字的圖像，計算工業相機與雷射之間的偏差，送雷射，校正雷射與相機之間的系統偏差。目測電腦屏幕上十字薄膜和校正玻璃板圖像這兩個十字，直觀地觀測補償效果。
【專利說明】一種高精度晶圓背刻對中系統的校正裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及晶圓背刻技術的校正裝置，尤其是涉及一種基於CCD影像定位檢測的高精度晶圓背刻對中系統的校正裝置。
【背景技術】
[0002]雷射作為一種新工業加工技術，在計算機控制下可以在各種材料表面刻劃圖案和文字。雷射刻劃標誌可以控制在線寬十幾個微米之內，其重複性達到幾個微米，並可在電腦控制下，接受外部軟體指令，調整標刻圖案的位置和角度。
[0003]CCD工業相機可以捕捉微米級解析度的圖像，並計算出圖像間的微米級的位置偏差，為高精度的應用奠定了理論和硬體基礎。
[0004]當CCD工業相機安裝在晶圓的正面，雷射安裝在晶圓背面，由於機加工誤差和安裝誤差，相機和雷射的零位基準不可能合一。
[0005]由於工業相機和雷射分布在晶圓兩側，通常技術無法檢測工業相機與雷射的零位基準之間的偏差，包括在後續的生產中，雷射的漂移，或相機捕捉圖像的計算誤差，等諸多因素造成雷射刻劃的偏離，均無法得到檢測和及時的校正。
[0006]本專利用雷射在校正玻璃板上刻劃圖案，輔助以底光，結合工業相機捕捉校正玻璃板上刻劃的圖案，校正工業相機參數位置，為雷射背刻圖案提供高精度的定位。
實用新型內容
[0007]本實用新型的目的是利用玻璃片的透光特性，利用雷射在校正玻璃板上刻劃圖案，輔助以底光，結合工業相機捕捉校正玻璃板上刻劃的圖案，校正工業相機參數位置，為雷射背刻圖案提供高精度的定位，同時在電腦屏幕粘貼十字薄膜，利用電腦屏幕的尺寸，直觀的觀測校正的效果。
[0008]本實用新型的目的可以通過以下技術方案來實現:
[0009]I)本實用新型包括:晶圓、雷射、雷射保護板和底光、對中臺、校正玻璃板、十字薄膜、相機保護板、工業相機、電腦顯示屏、ROBOT搬運手，其中校正玻璃板正面貼黑色即時貼，中間開窗標示塗黑位置，手工在底面45度塗滿單層黑色，十字薄膜為列印有十字對中線的薄膜，用於目測系統校正的結果，十字薄膜粘貼在電腦顯示屏上，十字對中線與電腦顯示屏中心重合。
[0010]2)雷射以本身原點對校正玻璃板的塗黑刻劃十字線，工業相機捕捉該十字線的圖像，計算出圖像中雷射刻劃的十字線與工業相機圖像中心的偏差，得到工業相機與雷射的系統偏差，雷射再以本身原點經系統偏差補償後對校正玻璃板上開窗位置的塗黑再次刻劃十字線，工業相機捕捉新十字線的圖像，目測電腦顯示屏上雷射刻劃的新十字線和十字薄膜上的十字對中線間的偏差，可以直觀的觀測補償的效果。
[0011]3)電腦計算出圖像中雷射刻劃的新十字線與相機圖像中心十字線的偏差，得到補償後的十字線偏差，該偏差如不滿足設備精度要求，對中臺移動到校正玻璃板下一個開窗塗黑位置，重複前面的步驟，直至補償後的十字線偏差滿足設備精度要求。
[0012]該實用新型具有以下特點:
[0013]1、成本低，使用便捷，精度高，可直接彌補相機和雷射安裝缺陷，提高應用精度。
[0014]2、可多次反覆使用，對於補償結果可以直觀的了解。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]圖1為本實用新型的一種高精度晶圓背刻對中系統的校正裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結合附圖和具體實施對本實用新型進行詳細說明。
[0017]如圖1所示，一種高精度晶圓背刻對中系統的校正裝置，該裝置包括晶圓1、雷射2、雷射保護板和底光3、對中臺4、校正玻璃版5、十字薄膜6、相機保護板7、工業相機8、電腦顯示屏9、ROBOT搬運手10，其中校正玻璃板5正面貼黑色即時貼，中間開窗標示塗黑位置，手工在底面45度單面塗滿黑色，十字薄膜為列印有十字對中線的薄膜，工業相機8安裝在對中臺4上方，雷射2安裝在對中臺4下方，雷射保護板和底光3安裝在雷射2和對中臺4之間，相機保護板7安裝在工業相機8和對中臺4之間，ROBOT搬運手10安裝在對中臺4前方，電腦顯示屏9放置在對中臺4外側，十字薄膜6粘貼在電腦顯示屏9上，晶圓I和校正玻璃板5分別放置在對中臺4上。
[0018]準備過程中，對中臺打開，相機保護板關閉，雷射保護板關閉。
[0019]1.ROBOT搬運手10送校正玻璃板5上對中臺4 ；
[0020]2.雷射保護板3打開，雷射2在校正玻璃板5上刻同組圖案；
[0021]3.雷射保護板和底光3關閉，開底光，相機保護板7打開，工業相機8檢查校正玻璃板5上的圖案，計算工業相機8與雷射2之間的系統偏差；
[0022]4.工業相機8送數據給雷射2，雷射2保存數據並再次刻劃校正玻璃板5。
[0023]5.移動對中臺4，循環2#?4#步驟，使用第二個標刻位，檢測校正結果。
[0024]6.十字薄膜定位溝槽或圖像線條。
【權利要求】
1.一種高精度晶圓背刻對中系統的校正裝置，該裝置包括晶圓、雷射、雷射保護板和底光、對中臺、校正玻璃板、十字薄膜、相機保護板、工業相機、電腦顯示屏、ROBOT搬運手，其中校正玻璃板正面貼黑色即時貼，中間開窗標示塗黑位置，手工在底面45度塗滿單層黑色，十字薄膜為列印有十字對中線的薄膜，其特徵是:工業相機安裝在對中臺上方，雷射安裝在對中臺下方，雷射保護板和底光安裝在雷射和對中臺之間，相機保護板安裝在工業相機和對中臺之間，ROBOT搬運手安裝在對中臺如方，電腦顯不屏放置在對中臺外側，十字薄I旲粘貼在電腦顯示屏上，晶圓和校正玻璃板分別放置在對中臺上。
2.根據權利要求書I所述的一種高精度晶圓背刻對中系統的校正裝置，其特徵是:雷射在校正玻璃板的塗黑上刻劃十字，工業相機捕捉該十字的圖像，計算工業相機與雷射之間的系統偏差，輸送給雷射，自動校正雷射圖像與相機安裝的系統偏差。
3.根據權利要求書I所述的一種高精度晶圓背刻對中系統的校正裝置，其特徵是:目測電腦屏幕，檢查十字薄膜上的十字和校正玻璃板背刻的圖像這兩個十字的重合情況，直觀的觀測補償的效果。
【文檔編號】B23K26/362GK204262587SQ201420458897
【公開日】2015年4月15日 申請日期:2014年8月14日 優先權日:2014年6月12日
【發明者】盧冬青 申請人:上海功源自動化技術有限公司