一種翻轉臺的製作方法
2023-05-31 04:53:46 1
一種翻轉臺的製作方法
【專利摘要】本實用新型涉及到矽片的製造領域，公開了一種翻轉臺。該翻轉臺包括：承載矽片的載臺，且載臺上設置有與每個矽片對應的多個通孔，且每個通孔內穿設有用於頂起矽片的頂針；驅動頂針伸縮的驅動裝置；翻轉裝置，包括：拾取臂，驅動拾取臂繞其軸線轉動的旋轉驅動裝置；其中，拾取臂上設置有與每個矽片對應的至少一個吸取口，每個吸取口與真空泵連接。在上述技術方案中，通過採用翻轉裝置對矽片進行翻轉，使得矽片在加熱時，無需從爐內取出，直接可以翻轉，從而提高了矽片加熱的效率，同時，避免了人工翻轉矽片造成的時間浪費以及由於人工翻轉易造成的矽片破損等情況的出現，提高了矽片加熱後的成品率。
【專利說明】一種翻轉臺
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及到矽片的製造領域，尤其涉及到一種翻轉臺。
【背景技術】
[0002]現有技術中在矽片加工時，矽片需要平放在襯底上(程行列分布)送入爐內加工，其間需要將襯底上的矽片翻面後再送入爐內加工。一般採用人工將襯底上的矽片翻面，效率低、易碎、易汙染。
實用新型內容
[0003]本實用新型提供了一種翻轉臺，用以提高矽片加工的效率，避免矽片加工時的損壞，提尚了成品率。
[0004]本實用新型提供了一種翻轉臺，該翻轉臺包括:
[0005]承載矽片的載臺，且載臺上設置有與每個矽片對應的多個通孔，且每個通孔內穿設有用於頂起矽片的頂針；
[0006]驅動所述頂針伸縮的驅動裝置；
[0007]翻轉裝置，包括:拾取臂，驅動所述拾取臂繞其軸線轉動的旋轉驅動裝置；其中，所述拾取臂上設置有與每個矽片對應的至少一個吸取口，每個吸取口與真空泵連接。
[0008]在上述具體技術方案中，通過採用翻轉裝置對矽片進行翻轉，使得矽片在加熱時，無需從爐內取出，直接可以翻轉，從而提高了矽片加熱的效率，同時，避免了人工翻轉矽片造成的時間浪費以及由於人工翻轉易造成的矽片破損等情況的出現，提高了矽片加熱後的成品率。
[0009]優選的，還包括驅動所述翻轉裝置滑動的第一氣缸，所述翻轉裝置沿其吸附的所述矽片的排列方向滑動；所述旋轉驅動裝置固定在所述第一氣缸的伸縮杆上。通過第一氣缸驅動拾取臂滑動，提高了工作效率。
[0010]優選的，所述旋轉驅動裝置為旋轉氣缸，所述拾取臂與所述旋轉氣缸的連杆同軸固定連接。旋轉氣缸結構簡單，方便驅動拾取臂轉動。
[0011]優選的，與每個矽片對應的至少一個吸取口通過真空軟管與所述真空泵連接。保證了吸取口在隨拾取臂翻轉時能夠與真空泵連通。
[0012]優選的，所述每個真空軟管上設置有開關控制閥。通過開關控制閥來控制吸取口與真空泵的連通情況。
[0013]優選的，所述吸取口通過卡環固定在所述拾取臂。保證了吸取口能夠穩定的固定在拾取臂上。
[0014]優選的，所述多個頂針固定在位於所述載臺下方的支撐板，所述驅動裝置驅動所述支撐板伸縮。保證了多個頂針能夠同步伸縮。
[0015]優選的，所述驅動裝置為第二氣缸，所述支撐板與所述第二氣缸的活塞杆固定連接。通過氣缸驅動頂針的伸縮，使得驅動結構簡單，成本低廉。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型實施例提供的翻轉臺的結構示意圖。
[0017]附圖標記:
[0018]10-載臺11-通孔12-頂針
[0019]13-支撐板20-驅動裝置 30-矽片
[0020]40-翻轉裝置41-拾取臂42-旋轉驅動裝置
[0021]43-第一氣缸44-吸取口
【具體實施方式】
[0022]以下結合附圖對本實用新型的具體實施例進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用於說明和解釋本實用新型，並不用於限制本實用新型。
[0023]如圖1所示，圖1示出了本實用新型實施例提供的一種翻轉臺的結構示意圖。
[0024]本實用新型實施例提供了一種翻轉臺，該翻轉臺包括:
[0025]承載矽片30的載臺10，且載臺10上設置有與每個矽片30對應的多個通孔11，且每個通孔11內穿設有用於頂起矽片30的頂針12 ;
[0026]驅動頂針12伸縮的驅動裝置20 ；
[0027]翻轉裝置40，包括:拾取臂41，驅動拾取臂41繞其軸線轉動的旋轉驅動裝置42 ;其中，拾取臂41上設置有與每個矽片30對應的至少一個吸取口 44，每個吸取口 44與真空泵連接。
[0028]在上述具體實施例中，通過採用翻轉裝置40對多個矽片30同時進行翻轉，使得矽片30在加熱時，無需從爐內取出，即可實現直接翻轉，從而提高了矽片30加熱的效率，同時，避免了人工翻轉矽片30造成的時間浪費以及由於人工翻轉易造成的矽片30破損等情況的出現，提高了矽片30加熱後的成品率。
[0029]具體的，上述載臺10可以採用現有技術中的載臺進一步加工出與頂針12配合的通孔來製作，從而降低了本設備的成本。在載臺10上承載多個矽片30進行加熱，其中多個矽片30採用陣列式排列，或者成單排排列。當加熱完成後，矽片30需要翻過來時，通過穿設在載臺10上的頂針12將矽片30頂起，翻轉裝置40的拾取臂41位於一排矽片30的上方，並且使得吸取口 44與矽片30位置對應，以保證能夠吸附起矽片，之後真空泵開始吸氣，矽片30被吸取口 44吸住。在吸取口 44將矽片30吸牢後，頂針12回到初始位置，旋轉驅動裝置42開始驅動拾取臂41旋轉，並繞拾取臂41的軸線轉動180°，從而帶動矽片30翻轉。完成翻轉後，頂針12伸出，支撐起其對應的矽片30，真空泵開始吹氣，使得矽片30與吸取口 44脫離接觸，矽片30落在頂針12上。之後撤走翻轉裝置40，頂針12回到初始位置，矽片30回落到載臺10上繼續進行加熱，完成整個矽片30翻轉的過程。通過上述描述可以看出，通過翻轉裝置40與頂針12的配合實現了在爐內對多個矽片30進行翻轉，並且，在採用上述翻轉結構時，可以對多個矽片30同時進行翻轉，提高了工作效率。
[0030]其中的旋轉驅動裝置42為旋轉氣缸，並且拾取臂41與旋轉氣缸的連杆同軸固定連接。從而使得旋轉氣缸的連杆在旋轉時，能夠帶動拾取臂41同軸轉動，並且該旋轉氣缸結構簡單，便於驅動。此外，拾取臂41上的吸取口 44通過卡環固定在拾取臂41上，使得吸取口 44能夠穩定的固定在拾取臂41上，並在拾取臂41旋轉時，能夠帶動吸取口 44同步轉動，為了保證吸取口 44在旋轉時，其能夠保證與真空泵連通，較佳的，吸取口 44與真空泵通過真空軟管連接，作為一種較佳的方案，與每個矽片30對應的至少一個吸取口 44與真空泵通過真空軟管連接，從而保證了吸取同一個矽片30的多個吸取口 44在吸氣及吹氣時，能夠同步進行，同時，採用這種結構也減少了真空軟管的數量，便於設置。並且，在每個真空軟管上設置有開關控制閥。從而能夠控制吸取口 44的使用狀態，在不需要使用該吸取口 44時，可以通過開關控制閥將吸取口 44關閉，避免浪費。
[0031]其中的多個頂針12固定在位於載臺10下方的支撐板13，驅動裝置20驅動支撐板13伸縮。從而能夠保證多個頂針12能夠同步伸縮，保證了矽片30在翻轉時的統一性。其中的驅動裝置20為第二氣缸，支撐板13與第二氣缸的活塞杆固定連接。通過氣缸的活塞杆的伸縮保證了頂針12能夠完成將矽片30頂起及放下的過程。
[0032]此外，作為一種優選的技術方案，該翻轉臺還包括驅動翻轉裝置40滑動的第一氣缸43，翻轉裝置40沿其吸附的矽片30的排列方向滑動；旋轉驅動裝置42固定在第一氣缸43的伸縮杆上。通過採用第一氣缸43驅動翻轉裝置40滑動，使得翻轉裝置40在完成矽片30翻轉後方便移開。
[0033]繼續參考圖1，下面結合附圖1對本實施例提供的翻轉臺的一種優選實施例進行詳細的說明。
[0034]在進行翻轉時，多個片矽片30放置於載臺10上，位於載臺10下面的頂針12穿過載臺10將矽片30頂起。
[0035]預先安置於載臺10 —側的第一氣缸43的活塞杆上固定有旋轉驅動裝置42，該旋轉驅動裝置42為旋轉氣缸，旋轉氣缸同軸連接有旋轉臂。在頂針12將矽片30頂起時，第一氣缸43驅動拾取臂41開始向載臺10方向移動，並將拾取臂41送到載臺10與被頂起的矽片30之間。
[0036]頂針12落下，同時拾取臂41上的吸取口 44開始吸氣，將落下的矽片30固定住。
[0037]旋轉氣缸帶動拾取臂41及矽片30開始做旋轉動作，轉動180度後，停止。
[0038]頂針12再次升起，吸取口 44開始吹氣，矽片30落於頂針12上。同時第一氣缸43驅動拾取臂41恢復到初始狀態。
[0039]頂針12下落，矽片30落於襯底上。
[0040]通過上述描述可以看出，通過第一氣缸43進一步的提高了整個設備的機械化程度，方便了矽片30在加熱時的翻面工作，同時，降低了矽片30在翻面時的意外損壞，提高了成品率。
[0041]顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和範圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬於本實用新型權利要求及其等同技術的範圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
【權利要求】
1.一種翻轉臺，其特徵在於，包括: 承載矽片的載臺，且載臺上設置有與每個矽片對應的多個通孔，且每個通孔內穿設有用於頂起矽片的頂針； 驅動所述頂針伸縮的驅動裝置； 翻轉裝置，包括:拾取臂，驅動所述拾取臂繞其軸線轉動的旋轉驅動裝置；其中，所述拾取臂上設置有與每個矽片對應的至少一個吸取口，每個吸取口與真空泵連接。
2.如權利要求1所述的翻轉臺，其特徵在於，還包括驅動所述翻轉裝置滑動的第一氣缸，所述翻轉裝置沿其吸附的所述矽片的排列方向滑動；所述旋轉驅動裝置固定在所述第一氣缸的伸縮杆上。
3.如權利要求1所述的翻轉臺，其特徵在於，所述旋轉驅動裝置為旋轉氣缸，所述拾取臂與所述旋轉氣缸的連杆同軸固定連接。
4.如權利要求1所述的翻轉臺，其特徵在於，與每個矽片對應的至少一個吸取口通過真空軟管與所述真空泵連接。
5.如權利要求4所述的翻轉臺，其特徵在於，所述每個真空軟管上設置有開關控制閥。
6.如權利要求1?5任一項所述的翻轉臺，其特徵在於，所述吸取口通過卡環固定在所述拾取臂。
7.如權利要求1所述的翻轉臺，其特徵在於，所述多個頂針固定在位於所述載臺下方的支撐板，所述驅動裝置驅動所述支撐板伸縮。
8.如權利要求6所述的翻轉臺，其特徵在於，所述驅動裝置為第二氣缸，所述支撐板與所述第二氣缸的活塞杆固定連接。
【文檔編號】H01L21/67GK204230214SQ201420768712
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年12月8日 優先權日:2014年12月8日
【發明者】趙鑫, 陳宇, 苗為民, 李健, 趙冠超, 楊榮, 李立偉, 孟原 申請人:新奧光伏能源有限公司