一種柔性基板製備結構的製作方法

2023-06-15 17:55:56 1

一種柔性基板製備結構的製作方法
【專利摘要】本實用新型的結構包括一玻璃襯底，所述玻璃襯底包括一正面與一背面，所述玻璃襯底的正面與背面上分別塗布有PI材料。本實用新型的製備結構通過在玻璃襯底的雙面都塗覆PI材料，雙面的PI材料會產生應力相互抵消，克服了因PI應力過大導致玻璃翹曲問題。
【專利說明】一種柔性基板製備結構

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及柔性基板技術，尤其涉及一種柔性基板的製備結構。

【背景技術】
[0002]柔性屏幕具有可彎曲甚至摺疊，輕薄，攜帶方便，工業可設計自由度大等特點，讓屏幕可以自由彎曲已經成為未來各種智能應用的屏幕的發展趨勢。而柔性顯示屏製備過程中最為關鍵技術之一是具有柔性可撓曲的基板生產，柔性基板質量好壞決定柔性屏幕後續各道製程能否順利進行，進而決定整個柔性屏幕的質量。
[0003]目前對於柔性基板的製備技術世界各地的面板廠商以及科研院所都在加緊研發之中，並且世界統一的技術標準還沒有被制定，因此大量科研資源都在投入其中，以加速技術儲備，搶佔技術制高點和市場份額
[0004]目前柔性PI基板製備主要是通過選用合適的PI材料然後塗布在事先準備好的剛性玻璃襯底正面上，待製備完成之後再通過剝離技術將其與玻璃分離開來即完成。現行做法主要缺陷包括以下兩點，首先，柔性PI基板產生的應力過大，塗布在玻璃襯底單面上會導致玻璃基板發生不同程度的翹曲，從而導致後續關於柔性屏幕的各道製程無法正常進行，例如光刻曝光無法正常抓取對位Mark，因此無法控制曝光精度等。其次，PI柔性基板產率較低，玻璃基板成本較高，只在每片玻璃正面塗布PI，如果出現問題則整個報廢了，無疑降低了產率，增加了生產成本。
實用新型內容
[0005]為解決上述技術問題，本實用新型提出了一種柔性基板製備結構，其可以克服因PI應力過大導致玻璃翹曲問題，從而增加了柔性PI基板良率並降低了生產成本。
[0006]本實用新型的結構包括一玻璃襯底，所述玻璃襯底包括一正面與一背面，所述玻璃襯底的正面與背面上分別塗布有PI材料。
[0007]本實用新型的製備結構通過在玻璃襯底的雙面都塗覆PI材料，雙面的PI材料會產生應力相互抵消，克服了因PI應力過大導致玻璃翹曲問題。
[0008]本實用新型的進一步改進在於:所述PI材料的塗布範圍距離所述玻璃基板的邊緣l-10mm。該改進可以避免在玻璃襯底的一個面上塗布PI材料時，汙染襯底玻璃另一個面。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型柔性基板製備結構的立體示意圖。
[0010]圖2為本實用新型柔性基板製備結構的剖切示意圖。

【具體實施方式】
[0011]參閱圖1、2所示，本實用新型的柔性基板製備結構主要包括一基板I以及分別塗布與基板I的正面與背面上的PI材料2、3，其具體製備步驟包括:
[0012]第一步:將剛性玻璃襯底I的背面首先使用基板標準清洗工藝清洗乾淨之後，將玻璃襯底I翻轉過來，然後再次使用基板標準清洗工藝將玻璃襯底I的正面同樣清洗乾淨後，將玻璃襯底I轉移至塗布機載臺之上。
[0013]第二步:根據PI柔性基板膜厚要求，可以選擇旋轉塗布法(spin-coating),採用100rpm-400rpm轉速；也可以使用噴塗式塗布法(spray-coating)方法,採用噴嘴吐出量速度0.4cc/s-lcc/s,噴嘴移動速度5mm/sec-15mm/sec，將準備好並完成除泡動作的PI液塗布在襯底玻璃正面，塗布範圍應該距離襯底玻璃邊緣1-lOmm，以避免汙染襯底玻璃背面。
[0014]第三步:將塗布好的玻璃襯底I平移至真空乾燥箱，設定真空度從常壓將至5Pa，真空乾燥時間5-50min，真空乾燥完成後，再平移至熱板上，熱板從室溫以升溫速率為3-80C /min升至100°C -200°C，繼續維持100°C -200°C恆溫前烘預處理60min，然後自然冷卻至室溫
[0015]第四步:前烘處理完成以後，將玻璃襯底I翻轉後再次移至塗布機臺，選擇與正面相同的塗布工藝流程在襯底玻璃反面塗布PI薄膜，之後平移至熱板，選擇同樣真空乾燥和前烘參數設置，將背面PI薄膜進行同樣預處理。
[0016]第五步:將雙面PI薄膜都已前烘完成的襯底薄膜移至真空烘箱然後使用150°C，350°C，450°C在壓強為10-l-10-5Pa真空環境中分別烘烤0.5_2小時，其中各段升溫速率為1-1O0C /min，然後冷卻至室溫，量測PI膜厚在10-25 μ m，PI薄膜厚度均一性小於3%。
[0017]第六步:完成高溫後烘的PI基板，使用非接觸式光學檢測PI膜厚以及玻璃翹曲檢查，清洗後繼續柔性顯示屏幕製程。
[0018]以上結合附圖實施例對本實用新型進行了詳細說明，本領域中普通技術人員可根據上述說明對本實用新型做出種種變化例。因而，實施例中的某些細節不應構成對本實用新型的限定，本實用新型將以所附權利要求書界定的範圍作為本實用新型的保護範圍。
【權利要求】
1.一種柔性基板製備結構，包括一玻璃襯底，所述玻璃襯底包括一正面與一背面，其特徵在於所述玻璃襯底的正面與背面上分別塗布有？1材料。
2.如權利要求1所述的柔性基板製備結構，其特徵在於:所述？I材料的塗布範圍距離所述玻璃基板的邊緣卜川臟。
3.如權利要求1所述的柔性基板製備結構，其特徵在於:所述？I材料是透過旋轉塗布法塗布在所述襯底玻璃正面與背面。
4.如權利要求1所述的柔性基板製備結構，其特徵在於:所述？I材料是透過噴塗式塗布法塗布在所述襯底玻璃正面與背面。
5.如權利要求1所述的柔性基板製備結構，其特徵在於:所述？I材料的膜厚在10-25 9 爪。
6.如權利要求1至5中任意一項所述的柔性基板製備結構，其特徵在於:所述？I材料的膜厚均一性小於3%。
【文檔編號】G09F9/00GK204149605SQ201420381259
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年7月10日 優先權日:2014年7月10日
【發明者】夏先海, 魯佳浩, 寇浩, 陳一鳴 申請人:上海和輝光電有限公司