洗滌劑、洗滌方法及洗滌裝置的製作方法

2023-06-09 09:04:31 1

專利名稱：：洗滌劑、洗滌方法及洗滌裝置的製作方法
技術領域：
：本發明涉及一種取代氟裡昂(フロン)系溶劑和含氯系溶劑等的洗滌劑、洗滌方法及洗滌裝置。
背景技術：
：HIC、模件、實裝基板等電子部件、電晶體用引線框架或環箍等金屬薄膜、軸承或精密微細部件等，在其製造工序中往往附著以抗蝕劑、焊劑、焊膏、切削油、淬火油、壓延油、壓型油、衝切油、拉拔油、裝配用油、拉絲油等水系或溶劑系的工作油、或者塵埃等為主的各種汙染物。例如，製造印刷線路板的工序大體上可分為製造基板本身(光板)的工序和在該基板上實裝IC和電子零件的工序，而在製造光板的工序中，會粘附一些在印刷、蝕刻作業中使用的主要是酸、鹼等汙染物，而在實裝工序中會粘附一些在焊接實裝零件時使用的焊錫、焊劑等汙染物。特別必須除去的汙染物質是焊劑中的活性劑，以及由該活性劑與母材的氧化膜反應的生成物CuCl2和(RCOO)2Cu等有機酸鹽。由於這些物質是極性物質，因此它們殘留時，因吸溼就會引起洩漏、流動、絕緣電阻降低、管腳與配線的腐蝕等問題。另外，在半導體的製造工序中，離子性物質的混入成為重大的問題，例如被稱為「鈉恐慌」。另外，對於金屬加工零件來說，由於上述那些汙染成分的殘留，從而引起腐蝕和變色等問題。由於這些原因，上述那些汙染物質在進入下一道工序之前或在製造時必須除去。以往，作為上述汙染成分的洗滌劑，廣泛地使用以氟裡昂113為代表的氟裡昂系溶劑，以及三氯乙烷、三氯乙烯、四氯乙烯、四氯化碳等有機溶劑。但是在最近發現，氟裡昂的放出與臭氧層的破壞有關，並給人體和生物系統帶來深刻的影響。因此，對臭氧層破壞係數高的氟裡昂12和氟裡昂113等正在世界規模上按全面禁止的方向發展。另外，三氯乙烯和四氯乙烯等含氯系有機溶劑還存在引起土壤和地下水等的汙染等環境問題，因此對其使用的限制也按強化的方向發展。在這種情況下，當務之急是削減上述含氯系有機溶劑的使用量並開發一種能夠完全廢除含氯系有機溶劑的代替洗滌劑。作為代替的洗滌劑，要求具有提高脫脂力和乾燥性以及難燃性或不燃性等的性能，例如，氟裡昂113與異丙醇或丁酮的混合物等各種混合物，或者氟裡昂234與乙醇之類的脂肪族低級醇的共沸組合物等，以及異丙醇之類的醇系、丙酮之類的酮系或者醚系，都正在進行對它們單獨使用的研究。上述的含氯系有機溶劑與其他有機溶劑的混合物或共沸組合物，雖然由於合併使用含氯系以外的有機溶劑而削減了含氯系有機溶劑的使用量，但是沒有達到全面廢除的目的。例如，即便使用其臭氧層破壞係數比氟裡昂113小的氟裡昂234，也不能達到對臭氧層完全沒有破壞，因此不能完全滿足對代替洗滌劑的要求特性。另一方面，醇系、酮系、醚系等不屬於含氯系的有機溶劑會導致塑料等被洗滌物品的劣化，因此在實用性方面有問題。而且，這些有機溶劑都是可燃性的，因此在保管和使用上都存在危險性，並且還有些是對人體具有強毒性的化合物，因此在進行作業時存在對作業人員帶來不良影響的可能性。因此，現在人們正在對許多工業製品的洗滌進行試驗，以換成水洗滌、鹼洗滌、溶劑洗滌。例如，現在提出的用於印刷線路板等物品洗滌的主要代替洗滌方法有用純水除去水溶性焊劑的水系洗滌方法、在用溶劑除去焊劑後用水漂洗的準水系洗滌方法以及使用烴系溶劑等有機溶劑的溶劑系洗滌方法等。可是，上述的水系洗滌方法或準水系洗滌方法雖然可期望在除去極性物質方面達到高性能，但是它們的利用會帶來如下的問題，也就是由於玻璃環氧基板或紙酚醛樹脂基板等吸水或被水浸透而使其表面絕緣電阻等電阻降低。另外，對它們的精密洗滌存在乾燥性等方面的問題，由於產生鏽、變色、乾燥汙斑等而造成乾燥後的外觀和性能降低。考慮洗滌後的電學性能和乾燥性能等方面時，還是希望使用烴系溶劑等無極性的溶劑來洗滌。但是，烴系溶劑等無極性物質對於離子性物質和極性物質以及牢固性的汙染物不能期望能達到較好的洗淨性。也就是說，由於洗滌所必需的性能與乾燥所必需的性能之間包含著相反的要素，因此，對於許多工業製品的洗滌，雖試圖改為水洗滌、鹼洗滌、溶劑洗滌，但是對於電子部件和精密部件等的代替洗滌方法的選定是極為困難的，這就是目前的現狀。如上所述，在以往的代替氟裡昂洗滌的洗滌方法中，雖然水系洗滌或準水系洗滌在除去極性物質方面可期待能達到優良的性能，但是存在導致電學性能低下和乾燥後外觀和性能低下的問題。另一方面，使用烴系溶劑等無極性溶劑的洗滌，不能期待對離子性物質和極性物質以及牢固性汙染物能達到洗淨性，這是其存在的問題。因此，人們強烈地希望開發一種對離子性物質和極性物質等各種汙染成分能發揮優良洗淨性，並且能夠滿足維持乾燥後被洗物品的外觀和性能的乾燥性要求的洗滌方法。對於這些要求，以低分子聚有機矽氧烷為代表的聚矽氧烷系溶劑是一類乾燥性優良的非水系溶劑，此外它對環境和人體的安全性也很高，而且可以進行精密洗滌，因此有希望作為代替溶劑。有關聚矽氧烷系溶劑的各種性能示於表1中。表1*1溶劑浸蝕、膨脹的影響。*2在廢水處理時使活性炭、逆滲透膜、離子交換等設備膨脹，處理操作有困難。*3由於與水共沸，因此難以通過蒸餾進行分離。○無毒性、不違反規定、無各種不良影響，各種性能良好。△處於○和×之間的中間性能。×有毒性、不符合規定、有各種不良影響，各種性能不良。如表1所示，除了低分子矽氧烷化合物以外，滷代烴系溶劑的其他代替品存在洗滌對象物在乾燥時產生汙斑等的問題。另外，在使用水系洗滌劑的洗滌系統中，在對用過的水進行廉價的廢水處理、防止洗滌對象物生鏽、電學可靠性降低等技術問題上不能滿意地解決。對於這些問題，以低分子聚有機矽氧烷為代表的低分子矽氧烷化合物的特徵是乾燥性優良、對環境和人體的安全性高，而且可以用於各種洗滌領域的精密洗滌。然而，由於它存在易燃性的問題，因此希望實施安全的對策。另一方面，在將含氯系有機溶劑的代替洗滌劑作為工業洗滌劑利用的場合，必須充分地考慮作為洗滌最終階段的乾燥過程。關於乾燥性的問題，優選是利用溶劑蒸氣的蒸氣乾燥方法。蒸氣乾燥的乾燥速度快，而且被洗滌物品的完美性良好，因此可以進行精密洗滌。理想的洗滌劑雖象氟裡昂113和三氯乙烷等那樣，從洗滌開始直至乾燥的整個過程都可用一種液體，但是氟裡昂113和三氯乙烷等正如上述那樣會導致環境破壞，因此，現在人們正在對一類不會引起環境破壞而且乾燥性優良，由不燃性溶劑與可燃性溶劑混合組成的工業用洗滌劑進行研究。然而，作為上述不燃性溶劑的全氟代烴類或全氟醚類，雖然對人體的毒性低，而且由於不含氯而不會引起臭氧層的破壞，但是它們對油脂類等汙物完全沒有洗淨能力，而且即使與其他有機溶劑混合也缺乏相溶性，因此，它們以單獨狀態或者與其他有機溶劑混合也不易使洗淨力提高。而且，這些溶劑不僅價格高，而且由於它們是乾燥性較好的溶劑，蒸氣壓高，因此由於蒸發引起的液體損失多，存在成本高的問題。另外，作為上述那樣的洗滌組合物，特別優選的是共沸或擬共沸組合物。共沸組合物在沸騰時不會引起分餾，因此在該情況下，由可燃性溶劑帶來的著火性可以消除。而且，對於已混入汙物成分的洗滌劑來說，即使利用蒸氣洗滌裝置也不會引起其組成的變化，從而可以進行再生，這是其優點。作為上述那樣的組合物，例如在特開平6-71238號公報中記載的由全氟代烴類或全氟醚類與六甲基二矽氧烷相互溶解而形成的均一混合組合液。但是在要求高度洗淨性的場合，這種混合組合液的脫脂力不夠好，而且，在要求從洗滌開始直至乾燥的整個過程採用一種液體進行方面仍有進一步改善的必要。另一方面，作為共沸或共沸組合物，例如在特表平6-509836公報中記載了2-三氟甲基-1，1，1，2-四氟丁烷與甲醇、乙醇或異丙醇的共沸混合組合物，在特開平5-339275公報和特開平6-88098號公報中記載了由六甲基二矽氧烷與甲醇、2-丙醇或乙醇組成的共沸或擬共沸組合物。然而，上述的共沸或擬共沸組合物每一種都使用甲醇、乙醇、異丙醇之類的親水性高的極性溶劑，因此，在要求高度洗淨性的情況下，有時對油性汙染物的洗淨性不夠理想，而且在進行連續洗滌的情況下，作為洗滌劑在使用中容易含有水分，因此容易在洗滌物品上產生汙斑，另外，當被洗物品是金屬時，存在容易生鏽的問題。而且，上述的共沸組合物或擬共沸組合物在不燃性和乾燥性方面也希望加以改善。如上所述，在由一些能夠取代含氯系有機溶劑的現有共沸或擬共沸組合物等組成的洗滌劑中，沒有一種能夠同時滿足脫脂性和乾燥性要求的洗滌劑，另外，在洗滌劑的難燃化乃至不燃化方面也不夠理想。因此，人們強烈地要求一種不會引起臭氧層的破壞和塑料劣化等問題，並且能象氟裡昂113或1，1，1-三氯乙烷等那樣從洗滌開始直至乾燥的整個過程都能用一種液體進行，同時能極力地抑制使用過程中的組成變化，而且能夠達到難燃化或不燃化的共沸或擬共沸組合物，以及以這些組合物作為有效成分的洗滌劑。可是，作為現有滷代烴系溶劑的使用方法之一，在電鍍工序之後或在使用水系洗滌劑之後，進行以沒有汙斑的乾燥為目的的「除水乾燥」。在現有的這類用途中，通常是使用醇類，特別是IPA(異丙醇)，但是由於其蒸發熱大，因此容易產生乾燥汙斑，而且由於從空氣中吸溼而使乾燥汙斑變得更顯著，這是其缺點。另外，IPA等醇類由於與水共沸，因此不能通過蒸餾來分離再生，從而不得不放棄使用，另外，由於其蒸氣密度低，揮發損失大，並且存在乾燥速度慢，即使在蒸氣洗滌之後也必須根據情況進行熱風乾燥等問題。作為解決上述問題的方法，有人提出了採用全氟己烷和三氟乙醇的混合體系來除水洗滌的方法，但是，該混合體系包含沒有親水性的全氟己烷，因此存在缺乏除水性的問題。主要的是由於全氟己烷與三氟乙醇在液體狀態下是不相溶的，因此在液體管理上就有困難，同時，由於凝縮液在乾燥對象物的表面上不均勻地滴落，因此存在容易產生乾燥汙斑的問題。再有，雖然有人嘗試使用三氟乙醇作為脫脂洗滌劑，但是由於三氟基團的電子吸引效果而顯示非常強的極性，因此對油脂和松香等缺乏溶解力，從而不適用於這樣的目的。本發明針對這樣的課題而作出，其第1個目的是提供一種適用於洗滌印刷線路板或實裝部件等電子部件或金屬部件等，並且能夠獲得與使用氟裡昂系溶劑或含氯系溶劑的洗滌方法相匹敵的對各種汙染成分的除去性和乾燥性的洗滌方法、洗滌劑和洗滌裝置。本發明的第2個目的是提供一種可以安全而且有效地使用具有易燃性的低分子矽氧烷化合物的洗滌方法和洗滌裝置。本發明的第3個目的是提供一種以共沸或擬共沸組合物作為有效成分的洗滌劑，所說的組合物不會引起臭氧層的破壞或塑料的劣化，而且對各種汙染物顯示出高的洗淨性和優良的洗淨質量，並且其乾燥速度快，能夠最大程度地抑制使用過程中組成的變化，而且可以達到難燃化或不燃化，或者能夠抑制水分的混入。本發明的第4個目的是提供一種能與使用氟裡昂系或含氯系溶劑的除水乾燥效果相匹敵，並且能夠獲得符合要求的乾燥速度或在乾燥後不殘留汙斑等的乾燥質量或乾燥性等的除水乾燥方法和除水乾燥裝置。發明的公開本發明的第1洗滌方法的特徵是該方法包含使用一種溶解度參數在9以上，或者介電常數在4以上的極性洗滌劑來洗滌洗滌對象物的工序，以及從下列工序中選擇的至少一個工序使用一種由溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑與溶解度參數不足9和介電常數不足4的洗滌劑的混合洗滌劑來漂洗上述洗滌對象物的工序和乾燥工序。在本發明中作為對象的汙染物涉及工作油、潤滑脂、石蠟、焊劑等必須洗去的所有汙染物，附著有這些汙染物的材料或者在其至少一部分表面上具有與汙染物接觸的部分的材料均可作為本發明的洗滌對象物。對於洗滌對象物的材質沒有特別限制，例如可以舉出金屬、半金屬、陶瓷、塑料材料等。例如，作為金屬或半金屬，可以例示鐵、鋁、矽、銅、不鏽鋼等；作為陶瓷，可以例示氮化矽、碳化矽、氧化鋁、玻璃、磁器等；作為塑料，可以例示聚醯胺、聚醯亞胺、環氧樹脂、聚烯烴、聚酯、丙烯酸樹脂等；或者也可以是這些材料的複合材料。具體地有印刷線路板或實裝部件等電子部件、電器部件、半導體部件、液晶部件、金屬部件、表面處理部件、精密儀器部件、光學部件、玻璃部件、陶瓷部件、塑料部件等。應予說明，在本說明書中，所謂洗滌是指使附著在洗滌對象物上的汙染物的濃度變成最小或者將其除去的工序。另外，所謂漂洗是指使附著在洗滌對象物上的洗滌劑濃度變成最小或者將其除去的工序。進而，所謂乾燥是指將洗滌劑或漂洗劑從洗滌對象物上蒸發或將其除去的工序。作為乾燥方法，可以舉出自然乾燥、真空乾燥、熱風乾燥、蒸氣乾燥以及採用蒸氣壓更高的溶劑進行置換的方法等。下面說明第一洗滌方法中使用的洗滌劑。所謂在第一洗滌方法中使用的極性洗滌劑是指由極性分子組成的洗滌劑。作為與極性有關的因子有溶解度參數(以下以δ表示)、介電常數、偶極矩、分子極化率、離解常數、分子折射率等。在本發明中，只要是其δ值在9以上或介電常數在4以上，即可作為極性洗滌劑使用。另外，極性洗滌劑的偶極矩優選在1～5D的範圍內。以1～1.5D的範圍為限定領域。在本發明中所說的溶解度參數δ由下面式(1)定義。δ＝(ΔE/V)1/2(1)式中，ΔE表示分子凝聚能(Cal/mol)，V表示摩爾體積(ml/mol)。也就是說，δ相當於凝聚能密度的平方根。在混合後體積不發生變化的情況下，將成分1和成分2混合溶解時產生的溶解熱ΔHm由希爾德布蘭德(J.H.Hildebrand)以下面式(2)表示。ΔHm＝Vm(δ1-δ2)2·φ1·φ2(2)式中，Vm表示混合物的總體積(ml)，φ表示體積百分數，下標1、2分別表示成分1和成分2。由式(2)可以看出，對於成分1和成分2來說，δ1-δ2的差值越小，則其溶解熱ΔHm越小，其相溶性也越優。例如，在本發明的洗滌劑和洗滌方法中，汙染物成分與洗滌劑成分的δ值之差在3以下時，即可以很好地將汙染成分溶解除去。上述的溶解度參數δ可以使用蒸發潛熱法和分子引力常數法之中任一種方法求得。關於δ值的測定方法沒有特殊限制，使用任一種方法求得的δ值皆能滿足本發明的條件。一般來說，對於能夠測定沸點的物質，可以使用蒸發潛熱法求得的數值，對於無法測定沸點，或者難以測定的物質，只要是化學結構式為已知的物質，可以使用分子引力常數法求得的數值。蒸發潛熱法是一種通過下述式(3)求出ΔH，再根據該值並通過式(4)求出ΔE，然後通過由式(1)導出的式(5)求出δ值的方法。該方法可以最直接地正確計算出δ值。ΔH25＝23.7Tb+0.020Tb2-2950(3)ΔE＝ΔH-RT(4)δ＝(ΔE/V)1/2＝{(d/M)△E}1/2(5)式中，Tb表示沸點(K)；R表示氣體常數(1986cal/mol)；T表示絕對溫度(K)；d表示密度(g/ml)；M表示分子量(g/mol)。例如，在屬於工作機油的基礎油之一的液體石蠟的情況下，其主成分為C10H22時，M＝142.29，Tb＝200℃(＝478K)，d＝0.896(g/ml)，據此可得出ΔH25＝23.7×473+0.020×4732-2950＝12192.5ΔE＝12192.5-1.986×298＝11600.7δ＝{(0.896/142.29)×11600.7}1/2＝8.55對於含有氫鍵的化合物的溶解度參數(δc)的情況，這樣求得的δ值應加上以下的校正值，也就是說，對於醇類，δc＝δ+1.4；對於酯類，δc＝δ+0.6；對於酮類，δc＝δ+0.5。應予說明，當沸點在373K以上時，沒有必要進行校正。分子引力常數法是一種根據構成化合物分子的各官能團(原子或原子團)的特性值，也就是分子引力(G)的總和與摩爾體積，求出δ值的方法，該方法適用於對那些不同於溶劑類的，難以蒸發的樹脂等計算δ值。根據分子引力常數法，δ值可按式(6)求得。δ＝∑G/V＝d·∑G/M(6)式中，G相當於分子凝聚能與摩爾體積的乘積(摩爾體積凝聚能)，Small等發表了有關的G值。例如，作為工作機油的高壓潤滑油添加劑一例使用的硫化油脂中的硫的情況下，M＝32.07，d＝2.07(g/ml)，按照Small計得的G值為225[(cal-ml)1/2mol]，據此求得δ＝2.07×225/32.07＝14.5另外，混合物的δm通常可以以相對於各成分的δ摩爾分數的加權平均值形式，通過式(7)求得。δm＝∑Xiδi(7)式中，下標i表示i成分。例如，當硫化油脂中含有0.43mol的作為基礎油的石蠟和1mol的硫時，δm＝{(1/(1+0.43)}×1.45+{0.43/(1+0.43)}×8.58＝12.7在本發明中優選的極性洗滌劑是那些δ值在9～14的範圍內或介電常數在4～45的範圍內的洗滌劑。此處所說的介電常數是在25℃時的數值。特別是對於那些為了除去焊劑中的活性劑成分或加工油、切削油等高壓潤滑油添加劑等物質時使用的極性洗滌劑來說，只要其δ在9～14的範圍內或介電常數在4～45的範圍內即可，但優選是其δ值在10～13的範圍內或其介電常數在10～30的範圍內。只要是其δ值在9以上或者介電常數在4以上的極性洗滌劑，皆能夠同時除去焊劑或加工油、切削油中的離子性物質和非離子性的油性物質。另外，只要是其δ值在14以下或者介電常數在45以下的極性洗滌劑，則它們與作為漂洗劑或蒸氣洗滌劑使用的混合洗滌劑中δ值在9以下和介電常數在4以下的洗滌劑成分的相溶性保持良好，因此在漂洗工序或蒸氣乾燥工序中能夠充分地獲得除去極性洗滌劑的效果。作為能夠達到δ值在9～14或介電常數在4～45的範圍內的極性洗滌劑，可以例示那些含有從下列成分中選擇的至少一種成分的洗滌劑醇類、二醇類、酚類、酮類、脂肪酸和酸酐類、酯類、胺類、醯胺類、季銨鹽類、腈類、嗎啉類、亞碸類、磺內酯類、磷酸類以及它們的的衍生物類、N-甲基-2-吡咯烷酮等。具體地說，作為醇類的例子有甲醇、乙醇、丙醇、正己醇、3，5，5-三甲基己醇、2-乙基己醇、正辛醇、正丁醇、環己醇、苯甲醇；作為二醇類的例子有丙二醇單乙醚、丙二醇單丁醚、乙二醇單丁醚及其衍生物；作為酚類的例子有鄰甲酚、間甲酚、對甲酚及其衍生物；作為酮類的例子有苯乙酮、丙酮、丁酮、甲基異丁酮、二異丁酮、環己酮及其衍生物；作為脂肪酸及酸酐類的例子有乙酸、乙酸酐及其衍生物；作為酯類的例子有乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸乙酯、乳酸甲酯、草酸二乙酯衍生物；作為胺類的例子有乙胺、N，N-二甲基硝基胺及其衍生物；作為醯胺類的例子有N，N』-二甲基乙醯胺、N，N』-二甲基甲醯胺、N，N』-二乙基甲醯胺、N-乙基乙醯胺及其衍生物；作為季銨鹽的例子有四甲銨及其衍生物；作為腈類的例子有異丁腈、丙腈、乙腈及其衍生物；作為嗎啉類的例子有乙基嗎啉、N-乙醯基嗎啉、N-甲醯基嗎啉及其衍生物；作為亞碸類的例子有二甲亞碸及其衍生物；作為磺內酯類的例子有丙磺內酯及其衍生物；作為磷酸類的例子有磷酸三乙酯、磷酸三丁酯及其衍生物。這些化合物可以單獨地或組合起來使用。但是，對於酸酐與胺類等會相互發生反應的極性洗滌劑，最好是將它們分別單獨地使用。另外，作為在第1洗滌方法中使用的，其溶解度參數在9以下和介電常數在4以下的洗滌劑，可以例示從低分子矽氧烷類、烴類、氟代烴類、醚類及縮醛類中選擇的至少一種。作為上述的低分子矽氧烷類可以例示由下列物質中選擇的至少一種，即由通式(式中，R可以是相同或不同的，取代或非取代的一價有機基團，1表示0～5的整數)表示的直鏈狀聚有機矽氧烷及其衍生物，以及由通式(式中，R可以是相同或不同的，取代或非取代的一價有機基團，m表示3～7的整數)表示的環狀聚有機矽氧烷及其衍生物。在上述的式(i)和式(ii)中的R基是一種取代或非取代的一價有機基團，其例子有甲基、乙基、丙基、丁基之類的烷基以及苯基等一價非取代的烴基；三氟甲基、3，3，3-三氟丙基之類的一價取代的烴基等。另外，作為上述式(I)中末端的R基，還可以例示氨基、醯氨基、丙烯酸酯基、硫醇基等，但從保持系統的穩定性、揮發性的觀點考慮，最優選的是甲基。作為低分子矽氧烷的具體例，可以舉出六甲基二矽氧烷、八甲基三矽氧烷、八甲基環四矽氧烷、十甲基環戊矽氧烷等。另外，作為烴類，可以例示正或異構鏈烷烴、烯烴等脂肪族烴化合物以及環烷烴、環烯烴等脂環族烴化合物。另外，作為氟代烴類，可以例示全氟代烴類、氫氟烴類、氫氯氟烴類、氟碘烴類、氟代醚類和氟代醇類等，特別優選是具有難燃性或不燃性的氟代烴類。另外，在氫氯氟烴類中，優選是對臭氧破壞性極小的化合物。作為上述的全氟烴類，例如可以舉出由通式CnF2n+2(式中，n表示4～12的整數)表示的全氟鏈烷烴以及由(r和s表示任意的整數)等表示的全氟聚醚等，以及(C4F9)3N、(C5F11)3N、(C2F5)3N、(C2F5)(C3F8)NF、(CF3)2NC2F5、(CF3)2NC2F4Br、(CF3)2NCF＝CF2、(CF3)2NCF2CF2H、(CF3)2NCF2CF3、C5F10NC2F5、OC4F8NCF2Br等能夠產生三氟代游離基的全氟胺或全氟嗎啉等。另外也可以使用由通式(CxF2x+1)2O(x表示1～7的整數)表示的全氟醚化合物，更具體地可以舉出(CF3CF2)2O等。作為氟代烴類，可以使用由通式CpHqF2p+2-q、CpHqF2p-q、CpHqF2p-2-q(p表示1～10的整數，q表示1～20的整數)表示的化合物，更具體地可以舉出C5H1F11、C5H2F10、C5H3F9、C4H3F7、C6H2F12等。作為氟碘烴類，例如可以舉出CF3CF2CF2I、CH2FI、CF3CF2CF2CF2I、CF2I2、CF3(CF2)4I等。另外，作為氟代醚類，可以使用由通式(CtH2t+1-uFu-)-O-(-CvH2v+1-wFw)(t、u、v和w表示任意的整數，優選是u＝2t+1，w＝0)表示的化合物，更具體地可以舉出C3F7OCH3、C4F9OCH3、C5F11OCH3、C3F7OC2H5、C4F9OC2H5、C5F11OC2H5等。應予說明，在氟代醚類與極性洗滌劑混合作為混合洗滌劑使用時，具有與極性洗滌劑溶解性的自由度大和容易調製混合洗滌劑的特徵。另外，作為上述溶解度參數在9以下和介電常數在4以下的洗滌劑的醚類，可以例示二正丙醚及其衍生物；另外，作為縮醛類，可以例示甲縮醛及其衍生物。其中，作為溶解度參數在9以下和介電常數在4以下的洗滌劑，優選使用低分子矽氧烷類、烴類和氟代烴類。上述的低分子矽氧烷類、烴類、氟代烴類、醚類、縮醛類等可以單獨地或組合地作為溶解度參數在9以下和介電常數在4以下的洗滌劑使用。在表2中示出了溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑的例子，另外在表3中示出了溶解度參數在9以下和介電常數在4以下的洗滌劑的例子，在這兩個表中還同時示出了這些洗滌劑的δ值、介電常數和偶極矩。應予說明，除了表2和表3下面所指出的物質以外，其他的所有介電常數皆是指25℃時的數值。表2極性洗滌劑物質名δ值介電常數偶極矩3，5，5-三甲基己醇10～113-甲氧基-3-甲基-1-丁醇9.3正己醇10.7713.32-甲基環己醇13.3*11.95異戊醇10.014.71.82乙醇12.7823.81.68乙二醇單甲醚11.416.932.04鄰甲酚10.211.51.41乙醯苯10.617.392.96乙酸酐10.320.7*22.82乙酸乙酯9.16.02*11.88異丙醇11.4418.31.68乙胺10.08.7*41.09N，N-二甲基硝基胺13.1N，N-二甲基乙醯胺10.837.783.72N-乙基乙醯胺12.3N，N-二乙基甲醯胺12.1嗎啉10.87.421.50N-乙醯嗎啉11.6N-甲醯嗎啉13.0異丁腈9.820.4*33.61丙腈10.8乙腈11.9二甲亞碸12.048.94.3N-甲基-2-吡咯烷酮11.3乳酸乙酯10.013.1*1乳酸丁酯9.4丙磺內酯4.70磷酸三乙酯3.07*120℃時的值；*219℃時的值；*324℃時的值；*40℃時的值；偶極矩的單位D表3120℃時的值；偶極矩的單位D在第1洗滌方法中，洗滌對象物的洗滌工序使用上述那些極性洗滌劑來進行。因此可以很好地除去包含離子性物質或極性物質以及非離子性的油性物質等在內的各種汙染物。在第1洗滌方法中，在上述的洗滌工序之後，使用由上述極性洗滌劑與溶解度參數在9以下以及介電常數在4以下的洗滌劑，也就是無極性或低極性的洗滌劑(以下稱非極性洗滌劑)，共同形成的混合洗滌劑，對洗滌對象物實施從漂洗的工序(漂洗工序)和乾燥的工序(乾燥工序)二者中選擇的至少一個工序。漂洗工序和乾燥工序可在使用極性洗滌劑的洗滌工序之後連續進行，另外，也可以省去漂洗工序或乾燥工序中的任一個工序。在漂洗工序和/或乾燥工序中使用的混合洗滌劑的特徵是具有不燃性或難燃性。此處所說的不燃性和難燃性是根據易燃性的評價結果按照下述方法來定義。也就是說，各混合洗滌劑的易燃性是按照JIS-K-2265的方法，使用泰格(タゲ)密閉式閃點測定器和克利弗蘭德(クリ-ブランド)開放式閃點測定器來測定其閃點。按照結果作如下定義，也就是使用泰格密閉式和克利弗蘭德開放式二者之中任一種皆無法測出其閃點的稱為不燃性，使用泰格密閉式或克利弗蘭德開放式二者之中只有一種不能測出其閃點的稱為難燃性。由於使用上述的極性洗滌劑與非極性洗滌劑二者的混合洗滌劑作為漂洗劑或蒸氣乾燥劑，因此，除了達到由洗滌工序帶入的極性洗滌劑與漂洗劑或蒸氣洗滌劑進行液體置換和乾燥效果之外，還同時能向極性溶劑中的汙染成分賦予溶解性，因此可以實施一種能同時滿足乾燥特性和汙染物除去性要求的優良的精密洗滌。漂洗工序或乾燥工序中使用的極性洗滌劑不一定與洗滌工序中使用的極性洗滌劑的成分相同，在漂洗工序或乾燥工序中，優選使用那些比洗滌工序中使用的極性洗滌劑具有相對較高蒸氣壓的極性洗滌劑，而且其沸點優選是在上述非極性洗滌劑的沸點以下。另外，在非極性洗滌劑與極性洗滌劑的混合物中，優選極性洗滌劑與非極性洗滌劑二者是互溶的。例如，屬於非極性洗滌劑的氟代烴類與極性洗滌劑沒有互溶性，然而同樣是屬於非極性洗滌劑的低分子聚有機矽氧烷類卻幾乎與所有的極性洗滌劑皆顯示互溶性。另一方面，氟代烴類與低分子聚有機矽氧烷類可以按任意添加比例互溶，故而向該種2成分的非極性洗滌劑中添加適量的極性洗滌劑即可以獲得一種不會發生相分離的均一混合洗滌劑。另外，上述的混合洗滌劑優選是屬於共沸組合物或擬共沸組合物。共沸性的出現可以通過適當地選擇極性洗滌劑的種類與混合比例來獲得。此處，所謂共沸組合物是指液相的組成與氣相的組成一致，可通過組成無變化地蒸餾獲得的混合物。另外，有一種情況是雖然不能形成共沸組合物，但是在由溫度-組成表示的沸點圖中，沸騰曲線與冷凝曲線相互接近，各種成分的揮發性接近，即各種成分的沸點接近，在此情況下液相的組成與氣相的組成相互近似，這種現象稱為凝共沸，能形成這種擬共沸現象的混合物就稱之為擬共沸組合物。在第1洗滌方法使用的混合洗滌劑中，極性洗滌劑的配合量可以根據用於漂洗工序或乾燥工序的哪一個工序中而有所不同，但是只要達到不損害乾燥性程度的必要量即可，優選是相對於洗滌劑的總量為0.1～30重量％的範圍內。只要極性洗滌劑的配合量在0.1～30重量％的範圍內，就能達到既不損害乾燥性，又能順利地除去在洗滌工序帶入的極性洗滌劑中的汙染成分。特別優選的範圍是1～20重量％。在漂洗工序或乾燥工序中使用的混合洗滌劑，特別是在乾燥工序中使用的混合洗滌劑，優選是具有不燃性或難燃性的洗滌劑。以不燃性或難燃性的氟代烴類作為混合洗滌劑的主成分就能賦予不燃性或難燃性。而且，即便是在使用具有易燃性的低分子聚有機矽氧烷類等的情況下，通過使用與難燃性或不燃性的氟代烴類的混合體系，也能向在漂洗工序或乾燥工序中使用的混合洗滌劑賦予難燃性或不燃性的性能。另外，對於在第1洗滌方法中的乾燥工序沒有特別限定，可以舉出使用蒸氣乾燥、熱風乾燥、真空乾燥或自然乾燥的方法，可以根據各種部件的形狀等隨時地將這些方法分開地或組合地使用。特別是在要求精密洗滌性的情況下，優選是進行精加工性比較優良的蒸氣乾燥，在該蒸氣乾燥中優選是使用上述的混合洗滌劑。在作為蒸氣乾燥劑使用的混合洗滌劑中的非極性洗滌劑，優選是以氟代烴類作為主成分的洗滌劑，這樣有利於精密洗滌。另外，如果將氟代烴類與低分子聚有機矽氧烷類組合使用，則可以使它與極性洗滌劑的互溶性更好，因此可以獲得優良的乾燥精加工性。如上所述，在將氟代烴類與低分子聚有機矽氧烷類組合使用時的混合比，優選是按照相對於低分子聚有機矽氧烷類100重量份，氟代烴類的配合比在10～10000重量份的範圍內。由於相對於低分子矽氧烷化合物100重量份，配合10重量份以上的氟代烴類，從而能夠賦予難燃性或不燃性，另一方面，氟代烴類應按10000重量份以下，更優選按20～5000重量份的範圍配合，這樣即可以防止氟代烴類與極性洗滌劑的相分離。在上述的第1洗滌方法中，首先是使用極性洗滌劑來洗滌被洗滌的對象物，然後使用以無極性或極性較低的洗滌劑(非極性洗滌劑)作為主成分的混合洗滌劑來實施漂洗工序或乾燥工序，因此，在以電子部件的精密洗滌為主的所有洗滌作業中，都可以同時地達到洗滌性(汙染物除去性等)和乾燥性兩方面的要求。在使用第1洗滌方法時，洗滌槽或漂洗槽的數目等可以根據附著在洗滌對象物上汙染物的量和種類任意地設定，對此沒有特別限定。另外，漂洗裝置或乾燥裝置可以根據需要來配置，可以以各種形態的洗滌裝置形式利用。另外，在適用於第1洗滌方法的洗滌裝置中，在洗滌裝置、漂洗裝置、乾燥裝置中使用的洗滌劑最好是通過蒸餾再生來再利用。特別是當洗滌槽或漂洗槽是由多個槽組成的情況下，可以將這些槽按級聯(溢流)方式連接起來，利用蒸餾裝置將已被汙染的液體再生，然後再將其返回最終洗滌槽或漂洗槽中，這樣就可以延長液體的壽命。採取這種措施可以大幅度地降低運行費用。另外，當洗滌劑成分是由多種組分組成的混合物的情況下，優選是各成分的沸點儘可能地接近，從組成比的穩定性考慮，在洗滌工序中使用的洗滌劑成分的沸點優選在373K以下。本發明的第2洗滌方法的特徵是它具有一個洗滌工序和從漂洗工序和乾燥工序中選擇的至少一個工序，所說的洗滌工序是使用一種溶解度參數在9以上或者介電常數在4以上的極性洗滌劑來洗滌所說洗滌對象物的工序；所說的漂洗工序和乾燥工序是使用以通式CtFuOCvH2v+1(式中，t、u、v表示任意的整數)表示的氟代醚作為有效成分的洗滌劑來漂洗和乾燥上述洗滌對象物的工序。漂洗工序和/或乾燥工序正如第1洗滌方法中所示那樣，優選是使用一種混合洗滌劑，但是也可使用以氟代醚作為有效成分的洗滌劑來代替混合洗滌劑。當氟代醚與在前工序的洗滌工序中使用的極性洗滌劑組合在一起時的自由度大，可以獲得良好的洗滌性，因此較為有利。作為氟代醚的具體例子，可以舉出C3F7OCH3、C4F9OCHC3、C5F11OCH3、C3F7OC2H5、C4F9OC2H5、C5F11OC2H5等，其中，優選使用C5F11OCH3、C5F11OC2H5在此情況下，優選是將氟代醚類單獨地使用或者將氟代醚類與烴類或者低分子聚有機矽氧烷類混合在一起後使用，氟代醚類的使用量優選為10～100重量％，特別優選為50～100重量％。另外，極性洗滌劑可以使用在第1洗滌方法中示出的洗滌劑。本發明的第3洗滌方法的特徵是使用一種含有低分子矽氧烷化合物以及從氟代烴類和溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑中選擇的至少一種化合物的洗滌劑來進行從洗滌工序、漂洗工序和乾燥工序中選擇的至少一個工序。另外，本發明的第4洗滌方法的特徵是使用一種含有低分子矽氧烷化合物、氟代烴類、溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑的洗滌劑來進行洗滌工序、漂洗工序和乾燥工序。在第3和第4洗滌方法中，作為對象的汙染物、洗滌對象物、洗滌、漂洗和乾燥的定義、溶解度參數和介電常數的定義，以及適用的極性洗滌劑、低分子矽氧烷化合物和氟代烴類的各類等，均與第1洗淨方法中記載的定義相同。在第3和第4洗滌方法使用的洗滌劑中各成分，也就是氟代烴類、低分子矽氧烷化合物以及溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑，分別具有以下所示的比例。也就是說，氟代烴類通常是不燃性液體，而且其蒸發潛熱低，故而乾燥工序中特別適合作為蒸氣洗滌劑使用，但是它對汙染物成分，例如加工油和焊劑等沒有溶解性。另一方面，溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑的性質與氟代烴類相反，也就是它對汙染物成分的溶解性優良，但在乾燥時容易產生汙斑或液體殘留。對於這些性質來說，低分子矽氧烷化合物與氟代烴類和極性洗滌劑二者都具有互溶性，並且其乾燥性也優良。因此，只要向氟代烴類和極性洗滌劑中混合進低分子矽氧烷化合物，就能獲得一種不會發生相分離而且具有各自優點的洗滌劑，也就是一種能同時滿足汙染物除去性和乾燥性要求的洗滌劑。這樣，由於本發明的洗滌劑同時兼備汙染物除去性和乾燥性這兩種性能，因此可以使用於洗滌工序、漂洗工序和乾燥工序中的任一種工序。在第3和第4洗滌方法的洗滌劑中，溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑的配合量可根據使用於洗滌工序、漂洗工序或乾燥工序中的任一種而各有不同，但是相對於洗滌劑的總量，優選是在0.1～30重量％的範圍內。特別是在用於漂洗工序或乾燥工序的情況下，只要達到不損害乾燥性的程度所需的數量即可，如果在0.1～30重量％的範圍內，則能夠同時達到既不損害乾燥性，又能較順利地除去從洗滌工序中帶來的汙染物成分。特別優選的範圍是1～20重量％。另外，氟代烴類的配合比可根據使用於洗滌工序、漂洗工序或乾燥工序中的任一種工序而各有不同，但是相對於低分子矽氧烷化合物100重量份，優選在10～10000重量份的範圍內。相對於低分子矽氧烷化合物100重量份，氟代烴類按10000重量份以下，優選按5000重量份以下的比例配合，就能夠防止氟代烴類與極性洗滌劑的相分離。另外，相對於低分子矽氧烷化合物100重量份，氟代烴類按10重量份以上配合，就能獲得充分的乾燥性。另外，由於使用難燃性或不燃性的氟代烴類，因此儘管使用具有易燃性的低分子矽氧烷化合物，也能向例如漂洗工序和乾燥工序中使用的洗滌劑賦予難燃性或不燃性的性質。為了賦予不燃性的性質，相對於低分子矽氧烷化合物100重量份，氟代烴類應更優選配合400重量份以上。另外，本發明的洗滌劑優選是共沸組合物或擬共沸組合物。只要適當地選擇極性洗滌劑的種類和混合比例，即可使其有共沸性。第3洗滌方法是使用上述的洗滌劑來實施從洗滌工序、漂洗工序和乾燥工序中選擇的至少一個工序的方法。應予說明，在洗滌工序之後可以連續地進行漂洗工序和乾燥工序，也可以省略漂洗工序或乾燥工序。使用本發明的洗滌劑，特別是如第4洗滌方法所示那樣，連續地進行漂洗和乾燥的一系列工序，這樣就可以實現更為優良的洗滌效果。另外，在此情況下，洗滌劑中的各種成分比可以各不相同。另外，在第3和第4洗滌方法中的乾燥工序沒有特別的限定，可以舉出使用熱風乾燥、自然乾燥、真空乾燥或蒸氣乾燥的方法，並且可以根據製品的形狀，隨時地將這些方法分開地或組合地使用。特別是在要求精密洗滌性的情況下，優選是進行精加工性比較優良的蒸氣乾燥，本發明的洗滌劑也適用於這樣的蒸氣乾燥。第3和第4洗滌方法使用能同時滿足乾燥性和汙染物除去性要求的洗滌劑，可以用來實施從洗滌工序、漂洗工序和乾燥工序中選擇的至少一個工序或全部工序，因此，對於以電子部件等的精密洗滌為主的所有各種洗滌，都能同時滿足洗滌性和乾燥性兩方面的要求。在使用第3和第4洗滌方法時，可以使用與第1洗滌方法中所用的洗滌裝置相同的洗滌裝置。本發明的第5洗滌方法的特徵是將一種以低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的混合物為主成分而且具有不燃性或難燃性的混合洗滌劑裝入密閉容器內，然後將混合洗滌劑從該密閉容器吹噴到洗滌對象物上以進行洗滌。本發明者們發現，低分子矽氧烷化合物對氟代烴類顯示很優良的溶解性，而且當它們相互溶解混合在一起時，雖然低分子矽氧烷化合物本身是可燃性的，但是由於與化學惰性的氟代烴類，也就是與不燃性或難燃性的氟代烴類混合，也能向該混合物賦予不燃性或難燃性。然而，另一方面，低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的混合物，按照這種組合未必能顯示共沸性或擬共沸性，例如在開放狀態下使用時，其中的一種成分消耗得比另一種成分多，從而使其組成比發生變化並因此損失了不燃性或難燃性，而且會使洗滌性能降低。針對這一點，本發明人發現，通過將低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的混合物例如灌裝入噴霧罐中使用，就能防止組成比的變化。第5洗滌方法就是根據上述的知識而完成的。低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的具體例與第1洗滌方法中所述具體例相同。應予說明，在氟代烴類中，有一些氟代烴不存在破壞環境和損害健康任一方面的問題，其本身也不燃燒，並且能有效地隔絕周圍氣氛中的氧氣。因此，在本發明的洗滌方法中，選擇一種能夠溶解低分子矽氧烷化合物而且具有不燃性或難燃性的氟代烴類，並且使用由這種氟代烴類與低分子矽氧烷化合物形成的混合物作為主成分的混合洗滌劑。這樣的混合洗滌劑可以作為不燃性或難燃性的洗滌劑使用。上述混合洗滌劑中的氟代烴類的配合比可以根據使用的用途而各有不同，但是相對於低分子矽氧烷化合物100重量份，優選在10～10000重量份的範圍內。相對於低分子矽氧烷化合物100重量份，將氟代烴類按10重量份以上配合就能向混合洗滌劑賦予不燃性或難燃性的性質。相對於低分子矽氧烷化合物100重量份，氟代烴類的配合比優選在20～5000重量份的範圍內。另外，本發明中使用的混合洗滌劑只要是以上述的低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的混合物為主成分即可，它不限於上述混合物單獨的洗滌劑，而且還可以與極性溶劑、烴系溶劑、醚系溶劑、縮醛系溶劑等其他溶劑混合，也可以配合表面活性劑或親水性溶劑等各種添加劑。第5洗滌方法是將上述的混合洗滌劑灌裝入噴霧罐等密閉容器中保存和使用，具體的洗滌操作是將混合洗滌劑從上述的密閉容器吹噴到洗滌對象物上來進行洗滌。如上所述，由於將混合洗滌劑灌裝入噴霧罐等密閉容器中保存和使用，因此可以防止混合洗滌劑中的低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的混合物的組成比變化，從而能在長時間內維持混合洗滌劑的不燃性或難燃性的性質和洗滌性能等。本發明的第6洗滌方法的特徵是，使用一種與水具有互溶性，但是與水沒有共沸性，並且其蒸發熱在100Cal/g以下的液體來進行對象物的除水乾燥。本發明者們發現，三氟乙醇的蒸發熱很小，只有84Cal/g，而且，三氟乙醇雖然與水具有互溶性，但與水卻沒有共沸性，這樣，三氟乙醇就能對除水乾燥發揮很大的效果，另外還發現，不限於三氟乙醇，只要是具有同樣性質的液體就能對除水乾燥發揮很大的效果。第6洗滌方法就是基於這樣的發現而完成的。在本發明中作為除水乾燥液使用的液體，首先應是與水具有互溶性，並且是不具有與水共沸性的液體。由於具有這樣的性質，因此既能獲得良好的水置換效果，同時又能通過例如蒸餾操作而容易地與水分離而獲得再生。因此不但可以防止由於水引起的乾燥汙斑等，而且能延長液體的壽命，從而可以大幅度地降低運行費用。另外，在第6洗滌方法中作為除水乾燥液使用的液體，其蒸發熱在100Cal1g以下，由於具有這樣的蒸發熱，因此在置換水後進行揮發時不會從空氣等環境中吸溼，所以不會產生乾燥汙斑等，從而可以獲得很優良的乾燥面，也就是優良的除水乾燥質量。作為能夠滿足上述性質的液體的代表例，可以舉三氟乙醇。三氟乙醇(CF3CH2OH，沸點＝347K，閃點＝303K)的特徵正如上述，能與水完全互溶但不與水共沸，另外其蒸發熱很小，只有84Cal/g，而且其表面張力小，因此能在除水乾燥的對象物表面上均勻地潤溼，從而能獲得良好的乾燥速度和乾燥質量。另外，由於三氟乙醇可用作單獨的除水乾燥液，因此不必進行麻煩的液體管理等。三氟乙醇對於特別難以洗滌的物品之一的透鏡或玻璃的除水乾燥特別有效。在第6洗滌方法中，如上所述，優選是使用三氟乙醇的單獨除水乾燥液，但是為了向三氟乙醇賦予不燃性或難燃性，在溶解允許的範圍內添加氟代烴類也是有效的。此處，作為在三氟乙醇中可以溶解的氟代烴類，可以例示C5H2F10、等全氟烴類和氫氟烴類以及在第1洗滌方法中使用的氟代醚類。在第6洗滌方法中所說的除水乾燥是指通過將對象物浸清在上述那樣的除水乾燥液中、將除水乾燥液吹噴到對象物上、或者將對象物暴露在除水乾燥液的蒸氣中，從而使存在於對象物表面上的水與除水乾燥液置換(水置換)，然後至少是讓其自然乾燥，除此之外也可以同時並用熱風乾燥或真空乾燥以及蒸氣乾燥等。這時，作為蒸氣乾燥液，可以使用三氟乙醇或者三氟乙醇與能夠溶解的全氟代烴類、氫氟烴類、氟代醚類等的混合液等除水乾燥液。或者，如果除水乾燥液是三氟乙醇單獨溶液或三氟乙醇與能夠溶解的全氟代烴類、氫氟烴類、氟代醚類等的混合液，則可以使用上述那樣的三氟乙醇與能夠溶解的全氟代烴類或氫氟烴類等。另外，也可以將低分子矽氧烷化合物作為蒸氣乾燥液使用。作為適用於蒸氣乾燥的低分子矽氧烷化合物，可以舉出，由通式或者由通式表示的聚有機矽氧烷。式中，R表示相同或不同的取代或非取代的1價有機基團。更具體地可以舉出六甲基二矽氧烷(MM)、八甲基三矽氧烷(MDM)、十甲基四矽氧烷(MD2M)、十二甲基五矽氧烷(MD3M)、八甲基環四矽氧烷(D4)、十甲基環五矽氧烷(D5)、十二甲基環六矽氧烷(D6)等。按照第6洗滌方法的除水乾燥方法，不僅包含水置換操作(浸漬、搖動、攪拌、超聲波、噴霧)，也包含乾燥操作(熱風乾燥、旋轉乾燥、蒸氣乾燥、升溫乾燥、真空乾燥等)，可以有效地使用由三氟乙醇等組成的除水乾燥液。本發明的洗滌劑的特徵是含有從低分子矽氧烷化合物以及氟代烴類和溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑中選擇的至少2種。此處所說的低分子矽氧烷化合物、氟代烴類和極性洗滌劑，可以使用上述第1至第5洗滌方法中記載的物質。下面說明在本發明的洗滌劑中，以具有特別好洗滌性和優良乾燥性的共沸組合物和擬共沸組合物作為有效成分的洗滌劑。以第1共沸組合物和擬共沸組合物作為有效成分的洗滌劑的特徵是，其中含有由六甲基二矽氧烷、叔丁醇和以全氟己烷(C6F14)為代表的全氟代烴組成的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分。以第2共沸組合物和擬共沸組合物作為有效成分的洗滌劑的特徵是，其中含有由六甲基二矽氧烷、乙酸異丙酯和以全氟己烷(C6F14)為代表的全氟代烴組成的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分。在作為第1洗滌劑的有效成分的共沸組合物和擬共沸組合物(以下簡稱為第1共沸組合物和擬共沸組合物)中的各種成分的構成比優選為六甲基二矽氧烷2～20重量％、叔丁醇2～20重量％和以C6F14為代表的全氟代烴60～96％的範圍，按照這樣的構成比可以獲得共沸溫度為321～326K(760mmHg)的共沸組合物或擬共沸組合物。另外，共沸組合物的具體組成比可以根據條件而改變。另外，擬共沸組合物是一種在對共沸組合物的特徵沒有實質性損害的範圍內，相對於共沸組合物，還含有1種或2種以上構成成分的組合物，是一種能顯示出幾乎與上述共沸組合物完全同樣特性的組合物。當混合物的沸點低於或高於所有各成分固有的沸點時就表現出共沸性。因此，為了獲得共沸組合物，僅僅簡單地將各種成分混合起來在多數情況下是不能獲得的，當混合物的沸點低於各成分固有的沸點時，可以把按任意比例混合的液體蒸餾，通過將餾分反覆地蒸餾，或者通過設定塔板數的精餾而獲得共沸組合物。如此獲得的共沸組合物(混合物)的特徵是，即使在一定壓力下反覆地蒸餾，也不會發現餾分發生實質性的組成變化。另外，擬共沸組合物也可以按同樣方法獲得。在第1共沸組合物和擬共沸組合物中，叔丁醇的極性較強，雖然它對油脂等顯示較強的溶解力，但是由於其表面張力較大，為20.7dyn/cm(293K)，因此它單獨地不能獲得良好的滲透性。另外，根據作為被洗滌物的塑料的種類和使用條件的不同，存在引起溶劑浸蝕(由於與溶劑接觸而在塑料上產生裂紋的現象)的危險性。與此相反，六甲基二矽氧烷的表面張力小，只有15.9dyn/cm(293K)，滲透性優良，雖然它的貝殼杉脂丁醇溶解值(KB值)小，為15，其洗淨力弱，但是幾乎沒有引起塑料等被洗滌物品劣化的危險。而且，六甲基二矽氧烷與叔丁醇和以C6F14為代表的全氟代烴中任一種都可任意互溶。另一方面，叔丁醇與C6F14之間幾乎完全不能互溶，但是，只要添加入六甲基二矽氧烷，就能使這3種成分相互溶解成為均一的組合物。也就是說，六甲基二矽氧烷具有作為其他2種成分的互溶劑的功能。六甲基二矽氧烷作為互溶劑的效果根據極性溶劑種類的不同而有很大差異。與甲醇或乙醇等低級醇相比，本發明的叔丁醇通過添加六甲基二矽氧烷就能使其與以C6F14為代表的全氟代烴的溶解性顯著提高。由於以C6F14為代表的全氟代烴沒有洗淨力，因此以它單獨作為洗滌劑是不適宜的，但是它的蒸發潛熱約為21Cal/g，這一數值要比叔丁醇(約131Cal/g)或六甲基二矽氧烷(約50Cal/g)小得多，因此它具有乾燥性優良的特徵。而且，全氟代烴是不燃性液體，因此在將它與屬於易燃性液體的叔丁醇和六甲基二矽氧烷混合時，與這兩種易燃性液體的單獨物或混合物相比，其閃點提高了，從而達到了難燃化，並且根據不同情況，也有可能達到不燃化。由於第1共沸組合物和擬共沸組合物是由上述的六甲基二矽氧烷與叔丁醇和以C6F14為代表的全氟代烴組成的共沸組合物或擬共沸組合物，因此能發揮這些成分各自的特徵。也就是說，這種共沸組合物和擬共沸組合物，由於叔丁醇而對油脂等具有較高的溶解力，由於六甲基二矽氧烷而具有優良的滲透性，以及由於以C6F14為代表的全氟代烴而兼備優良的乾燥特性，並且能從溶解開始至乾燥為止的全過程用一種液體實現，因此可以說是一種適合作為洗滌劑的優良組合物。也就是說，作為能從洗滌開始直至乾燥的全部過程用一種液體實現的洗滌劑，同時具有脫脂性和乾燥性，且在使用中沒有實質性的液體組成變化，並且能夠通過蒸餾等予以再生，這些都是重要的條件。這種洗滌劑在760mmHg的壓力和321～326K的溫度下具有共沸的性質，故在使用中沒有實質性的液體組成變化，並且可以通過蒸餾等進行再生。從而可以獲得一種例如從洗滌開始直至乾燥的全過程用一種液體實現的洗滌劑。另外，在作為第2洗滌劑的有效成分的共沸組合物和擬共沸組合物(以下簡稱為第2共沸組合物和擬共沸組合物)中，各種成分的構成比優選為六甲基二矽氧烷2～20重量％、乙酸異丙酯2～20重量％和以C6F14為代表的全氟代烴60～96重量％的範圍。按照這樣的構成比可以獲得共沸溫度為323～328K(760mmHg)的共沸組合物或擬共沸組合物。另外，共沸組合物的具體組成比可以根據條件而改變。第2共沸組合物和擬共沸組合物也可以按照與第1共沸組合物和擬共沸組合物同樣的方法製得。在第2共沸組合物和擬共沸組合物中，乙酸異丙酯的極性較強，雖然它對油脂等顯示較強的溶解力，但是由於其表面張力較大，為22.1dyn/cm(295K)，因此它單獨地不能獲得良好的滲透性。另外，根據作為被洗滌物的塑料的種類和使用條件的不同，存在引起溶劑浸蝕的危險性。如上所述，以C6F14為代表的全氟代烴的蒸發潛熱約為21Cal/g，這一數值要比乙酸異丙酯(約77Cal/g)或六甲基二矽氧烷(約50Cal/g)小得多，因此它具有乾燥性優良的特徵。而且，通過把以C6F14為代表的全氟代烴與屬於易燃性液體的乙酸異丙酯和六甲基二矽氧烷混合，可以使其與後二者的單獨物或混合物相比，閃點提高，從而能夠達到難燃化，並且根據不同情況，也有可能達到不燃化。另外，六甲基二矽氧烷除了具有上述的特徵外，它與乙酸異丙酯和以C6F14為代表的全氟代烴中任一種皆能任意互溶。另一方面，乙酸異丙酯與C6F14之間幾乎完全不能互溶，但是，通過添加入六甲基二矽氧烷，就能使這3種成分相互溶解成為均一的組合物。也就是說，六甲基二矽氧烷具有作為其他2種成分的互溶劑的功能。六甲基二矽氧烷作為互溶劑的效果隨極性溶劑種類的不同而有很大差異。與甲醇或乙醇等低級醇相比，本發明的乙酸異丙醇通過添加六甲基二矽氧烷就能使它與以C6F14為代表的全氟代烴的溶解性顯著提高。由於本發明的洗滌組合物是由上述的六甲基二矽氧烷與乙酸異丙酯和以C6F14為代表的全氟代烴組成的共沸組合物或擬共沸組合物，因此能發揮這些成分各自的特徵。也就是說，對於以第2共沸組合物和擬共沸組合物作為有效成分的洗滌組合物來說，由於乙酸異丙酯而對油脂等具有較強的溶解力，由於六甲基二矽氧烷而具有優良的滲透性，以及由於以C6F14為代表的全氟代烴而兼備優良的乾燥特性，並且能從溶解開始至乾燥為止的全過程用一種液體實現，因此可以說是一種適合作為洗滌劑的優良組合物。如上所述，由於本發明的洗滌劑兼備汙染物除去性和乾燥性兩種性能，因此可以作為從洗滌開始至乾燥為止的全過程用一種液體實現的洗滌劑使用，並且可以在洗滌工序、漂洗工序和乾燥工序的任一個工序中以單獨的狀態使用。另外，在本發明的洗滌劑中，作為基本成分無含氯系有機溶劑，因此不會導致臭氧層的破壞，另外，正如對共沸組合物和擬共沸組合物的說明中所詳述的那樣，能夠最大限度地抑制使用中的組成變化，並能夠達到難燃化乃至不燃化。以第3共沸組合物和擬共沸組合物作為有效成分的洗滌劑的特徵在於，其中含有由六甲基二矽氧烷、叔丁醇和以全氟庚烷(C7F16)為代表的全氟代烴組成的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分。以第4共沸組合物和擬共沸組合物作為有效成分的洗滌劑的特徵在於，其中含有由六甲基二矽氧烷、乙酸異丙酯和以全氟庚烷(C7F16)為代表的全氟代烴組成的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分。在作為第3洗滌劑的有效成分的共沸組合物和擬共沸組合物(以下簡稱為第3共沸組合物和擬共沸組合物)中，各種成分的構成比優選為六甲基二矽氧烷2～25重量％、叔丁醇5～25重量％和以C7F16為代表的全氟代烴60～90重量％的範圍，按照這樣的構成比可以獲得共沸溫度為337～344K(760mmHg)的共沸組合物或擬共沸組合物。另外，共沸組合物的具體組成比可以根據條件而改變。另外，擬共沸組合物是一種在對共沸組合物的特徵沒有實質性損害的範圍內，相對於共沸組合物，另外含有1種或2種以上構成成分的組合物，是一種能顯示出與上述共沸組合物幾乎完全同樣特性的組合物。第3共沸組合物和擬共沸組合物可以與第2共沸組合物和擬共沸組合物同樣地通過多級精餾法獲得。在第3共沸組合物和擬共沸組合物中，六甲基二矽氧烷與叔丁醇可在室溫下任意互溶，而與以C7F16為代表的全氟代烴可在308K以上任意互溶，另一方面，叔丁醇與C7F16之間幾乎完全不能互溶，但是只要添加入六甲基二矽氧烷，在加熱時就能使這3種成分相互溶解成為均一的組合物。也就是說，六甲基二矽氧烷具有作為其他2種成分的互溶劑的功能。六甲基二矽氧烷作為互溶劑的效果根據極性溶劑種類的不同而有很大差異。與甲醇或乙醇等低級醇相比，本發明的叔丁醇通過添加六甲基二矽氧烷就能使其與以C7F16為代表的全氟代烴的溶解性顯著提高。由於以C7F16為代表的全氟代烴沒有洗淨力，因此以它單獨作為洗滌劑是不適宜的，但是它的蒸發潛熱約為21Cal/g，這一數值要比叔丁醇(約131Cal/g)或六甲基二矽氧烷(約50Cal/g)小得多，因此它具有乾燥性優良的特徵。而且，全氟代烴是不燃性液體，因此在將它與屬於易燃性液體的叔丁醇和六甲基二矽氧烷混合時，與這兩種易燃性液體的單獨物或混合物相比，其閃點提高了，從而達到了難燃化，並且根據不同情況，也有可能達到不燃化。由於第3共沸組合物和擬共沸組合物是由上述的六甲基二矽氧烷與叔丁醇和以C7F16為代表的全氟代烴組成的共沸組合物或擬共沸組合物，因此能發揮這些成分各自的特徵。也就是說，這種共沸組合物和擬共沸組合物，由於叔丁醇而對油脂等具有較強的溶解力，由於六甲基二矽氧烷而具有優良的滲透性，以及由於以C7F16為代表的全氟代烴而兼備優良的乾燥特性，能從洗滌開始至乾燥為止的全過程用一種液體實現，因此可以說是一種適合作為洗滌劑的優良組合物。另外，在作為第4洗滌劑的有效成分的共沸組合物和擬共沸組合物(以下簡稱為第4共沸組合物和擬共沸組合物)中，各種成分的構成比優選為六甲基二矽氧烷2～25重量％、乙酸異丙酯2～25重量％和以C7F16為代表的全氟代烴50～90重量％的範圍。按照這樣的構成比可以獲得共沸溫度為337～345K(760mmHg)的共沸組合物或擬共沸組合物。另外，共沸組合物的具體組成比可以根據條件而改變。第4共沸組合物和擬共沸組合物也可以按照與第3共沸組合物和擬共沸組合物同樣的方法製得。在第4共沸組合物和擬共沸組合物中，由於以C7F16為代表的全氟代烴與屬於易燃性液體的乙酸異丙酯和六甲基二矽氧烷混合，因此可以使其與後二者的單獨物或混合物相比，閃點提高，能夠達到難燃化，並且根據不同情況，也有可能達到不燃化。另外，六甲基二矽氧烷除了具有上述的特徵外，它能與乙酸異丙酯在室溫下任意互溶，並能與以C7F16為代表的全氟代烴在308K以上任意互溶。另一方面，乙酸異丙酯與C7F16之間幾乎完全不能互溶，但是，通過添加入六甲基二矽氧烷，就能在加熱時使這3種成分相互溶解成為均一的組合物。也就是說，六甲基二矽氧烷具有作為其他2種成分的互溶劑的功能。六甲基二矽氧烷作為互溶劑的效果隨極性溶劑種類的不同而有很大差異。與甲醇或乙醇等低級醇相比，本發明的乙酸異丙酯通過添加六甲基二矽氧烷就能使它與以C7F16為代表的全氟代烴的溶解性顯著提高。由於本發明的洗滌組合物是由上述的六甲基二矽氧烷與乙酸異丙酯和以C7F16為代表的全氟代烴組成的共沸組合物或擬共沸組合物，因此能發揮這些成分各自的特徵。也就是說，第2共沸組合物和擬共沸組合物，由於乙酸異丙酯而對油脂等具有較強的溶解力，由於六甲基二矽氧烷而具有優良的滲透性，以及由於以C7F16為代表的全氟代烴而兼備優良的乾燥特性，能使從溶解開始至乾燥為止的全過程用一種液體實現，因此可以說是一種適合作為洗滌劑的優良組合物。如上所述，由於本發明的洗滌劑兼備汙染物除去性和乾燥性兩種性能，因此可以作為從洗滌開始至乾燥為止的全過程用一種液體實現的洗滌劑使用，並且可以在洗滌工序、漂洗工序和乾燥工序的任一個工序中以單獨的狀態使用。另外，在本發明的洗滌劑中，作為基本成無含氯系有機溶劑，因此不會導致臭氧層的破壞，另外，正如對共沸組合物和擬共沸組合物的說明中所詳述的那樣，能夠最大限度地抑制使用中的組成變化，從而能夠達到難燃化乃至不燃化。以第5共沸組合物和擬共沸組合物作為有效成分的不燃性洗滌劑的特徵在於，其中含有由六甲基二矽氧烷、叔丁醇和以全氟嗎啉為代表的全氟代烴組成的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分。以第6共沸組合物和擬共沸組合物作為有效成分的不燃性洗滌劑的特徵在於，其中含有由六甲基二矽氧烷、乙酸異丙酯和以全氟嗎啉為代表的全氟代烴組成的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分。可以在作為第5或第6洗滌劑有效成分的共沸組合物和擬共沸組合物(以下簡稱第5和第6共沸組合物和擬共沸組合物)中使用的全氟嗎啉，優選為全氟-N-烷基嗎啉。更優選為以化學式C5F11NO表示的全氟-N-甲基嗎啉。在第5共沸組合物和擬共沸組合物中，各成分的構成比優選為六甲基二矽氧烷1～20重量％、叔丁醇1～20重量％和全氟嗎啉60～98重量％的範圍，按照這樣的構成比可以獲得共沸溫度為313～322K(760mmHg)的共沸組合物或擬共沸組合物。另外，共沸組合物的具體組成比可以根據條件而改變。另外，擬共沸組合物是一種在對共沸組合物的特徵沒有實質性損害的範圍內，相對於共沸組合物，還含有1種或2種以上構成成分的組合物，是一種能顯示出與上述共沸組合物幾乎完全同樣特性的組合物。第5共沸組合物和擬共沸組合物可以與第1共沸組合物和擬共沸組合物同樣地通過分級精餾法獲得。在第5共沸組合物和擬共沸組合物中，全氟嗎啉沒有洗淨力，因此不適合作為洗滌劑，但是它的蒸發潛熱為約21Cal/g，這一數值要比叔丁醇(約131Cal/g)或六甲基二矽氧烷(約50Cal/g)小得多，因此它的乾燥速度快。而且，全氟嗎啉是不燃性液體，通過將其與易燃性液體混合，與僅僅由易燃性液體構成的情況相比，可以提高閃點，進而能夠達到不燃性。另外，六甲基二矽氧烷與叔丁醇和全氟嗎啉(C5F11NO)中任一種都能任意互溶。另一方面，叔丁醇與全氟嗎啉幾乎完全不互溶。因此，通過添加入六甲基二矽氧烷，就能使這3種成分相互溶解成為均一的組合物。也就是說，六甲基二矽氧烷對其他2種成分起一種「互溶劑」的作用。六甲基二矽氧烷作為「互溶劑」的效果隨極性溶劑的不同而有很大差異。叔丁醇與甲醇或乙醇等低級醇相比，通過添加六甲基二矽氧烷，能使其與全氟嗎啉的溶解性顯著改善。由於第5共沸組合物和擬共沸組合物是由六甲基二矽氧烷、叔丁醇和全氟嗎啉配合而成，因此它能發揮各種成分的優點。在第6共沸組合物和擬共沸組合物中，各種成分的構成比優選為六甲基二矽氧烷1～20重量％、乙酸異丙酯1～20重量％和全氟嗎啉60～98重量％的範圍，按照這樣的構成比可以獲得共沸溫度為315～322K(760mmHg)的共沸組合物或擬共沸組合物。另外，共沸組合物的具體組成比可以根據條件而改變。另外，擬共沸組合物是一種在對共沸組合物的特徵沒有實質性損害的範圍內，相對於共沸組合物，還含有1種或2種以上構成成分的組合物，是一種能顯示出與上述共沸組合物幾乎完全同樣特性的組合物。第6共沸組合物和擬共沸組合物可以與第1共沸組合物和擬共沸組合物同樣地通過分級精餾法獲得。在第6共沸組合物和擬共沸組合物中，通過配合屬於不燃性液體的全氟嗎啉，與僅由易燃性液體組成混合物的情況相比，可以提高閃點，進而有可能使其達到不燃性。另外，六甲基二矽氧烷與乙酸異丙酯和全氟嗎啉(C5F11NO)中的任一種都能任意互溶。另一方面，乙酸異丙酯與全氟嗎啉幾乎完全不能互溶。因此，通過配合進六甲基二矽氧烷，就能使這3種成分相互溶解成為均一的組合物。也就是說，六甲基二矽氧烷對其他2種成分起一種「互溶劑」的作用。六甲基二矽氧烷作為「互溶劑」的效果隨極性溶劑的不同而有很大差異。乙酸異丙酯與甲醇或乙醇等低級醇相比，通過添加六甲基二矽氧烷，能使其與全氟嗎啉的溶解性顯著改善。由於第6共沸組合物和擬共沸組合物是由六甲基二矽氧烷、乙酸異丙酯和全氟嗎啉配合而成，因此它能發揮各種成分的優點。本發明的第1至第6洗滌劑，只要是含有上述本發明的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分的洗滌劑即可，不限於單獨由本發明的共沸組合物或擬共沸組合物組成的洗滌劑，在不損害洗滌性和乾燥性的範圍內，可以混合進例如其他的洗滌劑成分或共沸性穩定劑等後使用。可以與其他全氟代烴，例如C6F14、C7F16、C8F18、全氟嗎啉等組合使用，還可以與氫氟烴或氫氯氟烴等氟代烴類組合使用。另外，除了叔丁醇和乙酸異丙酯之外，還可以與醇類、酮類、醚類、酯類、胺類、烴類化合物等組合使用。另外，在本發明的第1至第6洗滌劑中，可以添加用於抑制由紫外線引起洗滌劑成分分解的穩定劑，作為這種穩定劑，例如可以舉出縮水甘油、環氧己烷等環氧化物類；1，4-二噁烷、1，3，5-三噁烷等醚類；1-戊烯、1-己烯等不飽和烴類；丙烯酸甲酸、丙烯酸乙酯等丙烯酸酯等。這些穩定劑優選是按照相當於洗滌劑總量0.1～5重量％左右的比例添加。上述的穩定劑可以單獨地或者按2種以上並用地添加。本發明的洗滌劑對於各種被洗滌物品都能適用，對被洗滌物品的材質沒有特殊限定，例如可以舉出金屬、半金屬、陶瓷、塑料材料等。作為金屬或半金屬，可以例示鐵、鋁、矽、銅、不鏽鋼等；作為陶瓷，可以例示氮化矽、碳化矽、氧化鋁、玻璃、磁器等；作為塑料，可以例示聚醯胺、聚醯亞胺、環氧樹脂、聚烯烴、聚酯、丙烯酸樹脂等，另外，這些材質也可以是複合材料。具體地可以舉出印刷線路板和實裝部件等電子部件、電器部件、半導體部件、金屬部件、表面處理部件、精密儀器部件、光學部件、玻璃部件、陶瓷部件、塑料部件等。以第7共沸組合物和擬共沸組合物作為有效成分的洗滌劑的特徵在於，其中含有由六甲基二矽氧烷和叔丁醇組成的共沸組合物和擬共沸組合物作為有效成分。以第8共沸組合物和擬共沸組合物作為有效成分的洗滌劑的特徵在於，其中含有由六甲基二矽氧烷和乙酸異丙酯組成的共沸組合物和擬共沸組合物作為有效成分。在作為第7洗滌劑有效成分的共沸組合物和擬共沸組合物(以下簡稱為第7共沸組合物和擬共沸組合物)中各成分的構成比優選為六甲基二矽氧烷44～50重量％和叔丁醇50～56重量％的範圍，按照這樣的構成比可以獲得一種共沸溫度為350～355K(760mmHg)的共沸組合物或擬共沸組合物。另外，共沸組合物的具體組成比可隨條件不同而變化。第7共沸組合物和擬共沸組合物可以與第1共沸組合物和擬共沸組合物同樣地通過多級精餾法獲得。在第7共沸組合物和擬共沸組合物中，六甲基二矽氧烷可以與叔丁醇在室溫下任意互溶，因此可以成為均一的組合物。由於第7共沸組合物和擬共沸組合物是由上述的六甲基二矽氧烷與叔丁醇組成的共沸組合物和擬共沸組合物，因此可以發揮這些成分各自的特徵。也就是說，第7共沸組合物和擬共沸組合物同時兼備叔丁醇對油脂等的高溶解力以及六甲基二矽氧烷具有的優良的滲透性和較快的乾燥速度，同時水分的混入量少，而且不會使塑料劣化，因此可以說是適合作為洗滌劑的組合物。另外，在作為第8洗滌劑的有效成分的共沸組合物和擬共沸組合物(以下簡稱為第8共沸組合物和擬共沸組合物)中各成分的構成比優選為六甲基二矽氧烷40～46重量％和乙酸異丙酯54～60重量％的範圍，按照這樣的構成比可以獲得一種共沸溫度為355～358K(760mmHg)的共沸組合物或擬共沸組合物。另外，共沸組合物的具體組成比可隨條件不同而改變。第8共沸組合物和擬共沸組合物可以與第1共沸組合物和擬共沸組合物同樣的方法獲得。在第8共沸組合物和擬共沸組合物中，六甲基二矽氧烷可以與乙酸異丙酯在室溫下任意互溶，因此可以成為均一的組合物。由於是以上述的六甲基二矽氧烷與乙酸異丙酯組成的共沸組合物和擬共沸組合物，因此可以發揮這些成分各自的特徵。也就是說，第8共沸組合物和擬共沸組合物同時兼備乙酸異丙酯對油脂等的高溶解力以及六甲基二矽氧烷具有的優良的滲透性和較快的乾燥速度，同時水分的混入量少，而且不會使塑料劣化，因此可以說是適合作為洗滌劑的組合物。因此，使用這樣的共沸組合物或擬共沸組合物作為洗滌有效成分，可以獲得一種在使用中不會發生實質性液體組成變化，而且脫脂性、洗滌質量、乾燥速度、再性能等均優良的洗滌劑，進而可獲得一種能夠從洗滌開始至乾燥為止用一種液體即可實現的洗滌劑。第7和第8洗滌劑只要是含有上述的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分即可，不限於單獨由本發明的共沸組合物和擬共沸組合物組成的洗滌劑，只要是在不損害洗滌性和乾燥性的範圍內，也可以與例如其他洗滌劑成分或共沸性穩定劑等混合使用。例如，除了叔丁醇和乙酸異丙酯之外，還可以與其他醇類、酮類、醚類、酯類、胺類、烴類化合物等組合使用。另外，作為可以添加入第7和第8洗滌劑中的穩定劑，可以使用上述第1至第6中記載的穩定劑。另外，第7和第8洗滌劑也能適用於上述第1至第6洗滌劑中記載的各種被洗滌物品。以第9共沸組合物和擬共沸組合物作為有效成分的洗滌劑的特徵在於，其中含有由氟代烴類和溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑組成的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分。作為適宜的共沸組合物或擬共沸組合物，可以舉出C4F9OCH395～90重量％和甲醇5～10重量％、C4F9OCH394～89重量％和甲醇或IPA6～11重量％、C4F9OCH387～81重量％和丁酮13～19重量％、C4F9OCH371～64重量％和甲酸乙酯29～36重量％。另外，作為可以向第9洗滌劑中添加的穩定劑，可以使用上述第1至第6中記載的穩定劑。另外，第9洗滌劑也適用於上述第1至第6的洗滌劑中記載的各種被洗滌物品。以上對以第1至第9的共沸組合物和擬共沸組合物作為有效成分的洗滌劑進行了說明，但是，這些共沸組合物或擬共沸組合物除了可用作洗滌劑之外，還可用作例如塗料用溶劑、試劑、各種溶劑等用途，而這些組合物本身也可作為共沸組合物或擬共沸組合物使用。應予說明，在上述第1至第9洗滌劑中使用的重量比例是使用氣相色譜法對混合組合物進行分析，根據獲得的成分的峰面積來定量而得的配合比例。氣相色譜法的測定按以下所示的條件進行。裝置島津製作所制GD-14A(檢測器TC-D)；柱子SUS制2m×3φ，GLサィェンスクロモソルブ(株)WAWDMCS網眼60/80；填充劑SiliconSE-3010％；注入溫度250℃；TC-D溫度250℃；初期溫度50℃；初期保持時間0分鐘；升溫速度10℃/分鐘；最終溫度250℃；最終保持時間0分鐘；電流100mA；載氣和流速He，49ml/分鐘；衰減64。下面說明本發明中的洗滌裝置。第1洗滌裝置，其特徵在於，它具有洗滌裝置本體和組成控制機構，所說洗滌裝置本體是使用在含有低分子矽氧烷化合物的洗滌劑中混合有不燃性或難燃性的氟代烴類而形成的混合洗滌劑，對洗滌對象物進行從洗滌、漂洗和蒸氣乾燥中選擇的至少一個工序的裝置；所說組成控制機構用於控制上述混合洗滌劑中的上述低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的組成比的機構。在第1洗滌裝置中使用的低分子矽氧烷化合物和氟代烴類，可以使用與上述第1洗滌方法中說明的低分子矽氧烷化合物和氟代烴類相同的化合物。另外，本發明中使用的含有低分子矽氧烷化合物的洗滌劑不限於上述低分子矽氧烷化合物單獨的洗滌劑，它也可以是由低分子矽氧烷化合物與極性溶劑、烴系溶劑、醚系溶劑、縮醛系溶劑等其他溶劑混合而成的洗滌劑，或者是配合有表面活性劑或親水性溶劑等各種添加劑的洗滌劑。上述的低分子矽氧烷化合物具有閃點，在使用含有這樣的低分子矽氧烷化合物的洗滌劑時，必須採取包含防止或抑制火災或者滅火等安全措施。因此在表4中示出了代表性的低分子矽氧烷化合物的閃點和沸點。表4此處應說明，為了使可燃性的溶劑燃燒，必須要有可燃物(能燃燒的物質)、氧(氧化劑等)、熱源(點火的能量)，它們被稱為燃燒的3要素。為了進行燃燒，這3個要素必須同時存在，缺少其中的任一要素都不能引起燃燒，即使已經燃燒也不可能繼續。在可燃性液體開始燃燒時，存在引火的物質和自燃的物質。所謂引火，是指在向可燃性液體的表面上施加一個小的起動火舌而將可燃性液體加熱時，由於該熱源的作用而產生火焰並開始燃燒的現象。這是由於，通過加熱而使得在液體的表面上產生可燃性氣體(蒸氣)，當可燃性氣體與氧的混合組成達到燃燒範圍的下限濃度時，能夠引起著火的最低溫度就被稱為引火溫度或閃點。所謂自燃，是指即使沒有熱源，由於物質的氧化熱而自身產生火焰並開始燃燒的現象，引起該現象的最低溫度被稱之為自燃溫度或自燃點。因此，為了安全地使用具有易燃性的溶劑，必須滿足以下3個條件中的至少一個條件。(1)在溶劑的蒸氣濃度低於燃燒範圍下限的條件下使用，不要加熱到閃點以上。(2)防止熱源(例如電火花、摩擦等)的發生。(3)隔絕氧的來源，以及(4)採取滅火對策，以便進一步提高安全性。採取上述用於防止和撲滅可燃性溶劑燃燒的措施對於可燃性溶劑的安全使用是有效的，但是在本發明中，通過在含有低分子矽氧烷化合物的洗滌劑中混合進不燃性或難燃性的氟代烴類來向洗滌劑(混合洗滌劑)本身賦予不燃性或難燃性，從而能夠安全地使用易燃性的低分子矽氧烷化合物。也就是說，在氟代烴類中，有一部分氟代烴不存在破壞環境和損害健康的問題，其本身不燃燒，並且能有效地隔絕環境氣氛中的氧。因此，在使用低分子矽氧烷化合物時，先選擇一種能夠溶解低分子矽氧烷化合物而且其本身是不燃性或難燃性的氟代烴類，將這種氟代烴類混合進含有低分子矽氧烷化合物的洗滌劑中，將其作為混合洗滌劑使用。可將這樣的混合洗滌劑用作不燃性或難燃性洗滌劑。上述混合洗滌劑中的不燃性或難燃性的氟代烴類的配合比，根據在洗滌、漂洗或蒸氣乾燥的任一工序中使用而有所不同，但是優選的配比為，相對於低分子矽氧烷化合物100重量份，氟代烴類在10～10000重量份的範圍內。只要按照相對於低分子矽氧烷化合物100重量份，配合氟代烴類10重量份以上，即可以向混合洗滌劑賦予不燃性或難燃性的性質。更優選相對於低分子矽氧烷化合物100重量份，氟代烴類的配比在20～5000重量份的範圍內。對於氟代烴類來說，根據其分子結構的不同而可獲得具有各種不同沸點的產品，但是本發明中使用的氟代烴類優選基本上是那些沸點在含有低分子矽氧烷化合物的洗滌劑的使用溫度以下的化合物。但是考慮到氟代烴類由揮發引起的消耗，在實用上也可以是其沸點與低分子矽氧烷化合物的使用溫度大體上相等的化合物。可是，上述那樣的低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的混合物，根據使用條件等，使得其中一種成分的消耗比另一種成分的消耗多，因此發生了組成比的變化，從而存在損害不燃性或難燃性的危險。因此在本發明的洗滌裝置中具有一個用於控制混合洗滌劑中低分子矽氧烷化合物與氟代烴類組成比的組成控制機構。為了控制低分子矽氧烷化合物和氟代烴類的組成比，首先必須連續地或斷續地測定混合洗滌劑中的低分子矽氧烷化合物和氟代烴類的組成比。然後，在組成比超出預定範圍的情況下，可以通過追加供給不足的成分來不斷地維持不燃性或難燃性。由於低分子矽氧烷化合物和氟代烴類的混合物的比重、折射率、沸點或露點隨其組成比而變化，從而可以容易地測定低分子矽氧烷化合物和氟代烴類的組成比。另外，構成低分子矽氧烷化合物的化學結構骨架的Si-O鍵在波數1100cm-1處存在非常高吸光度的特有的紅外吸收。因此，通過基於混合洗滌劑蒸氣中的Si-O鍵來測定紅外吸收的情況，就能測定低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度，從而能夠掌握低分子矽氧烷化合物和氟代烴類的組成比。矽氧烷濃度的測定是使用分散型或非分散型紅外線分光光度計，利用內標法或校正曲線法等可以很容易地測定，並很容易地將測得的結果反饋給洗滌劑供給裝置。也就是說，第1洗滌裝置中的組成比控制機構可由下列裝置構成，例如用於測定混合洗滌劑中的低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的組成比的裝置、根據該組成比測定裝置的測定結果向混合洗滌劑中供給低分子矽氧烷化合物或氟代烴類的供料裝置。作為組成比測定裝置，除了可以使用紅外線分光光度計之外，還可以例示用於測定混合洗滌劑的比重、折射率、沸點和凝固點中至少一種參數的裝置等。作為低分子矽氧烷化合物之一例的六甲基二矽氧烷的比重、折射率、沸點以及作為氟代烴類之一例的全氟代烴C6F14的比重、折射率、沸點示於表5中。另外，上述的低分子矽氧烷化合物和氟代烴類的混合物的沸點和露點隨組成比的變化情況示於圖9中，上述混合物的比重隨組成比的變化情況示於圖10中，而上述混合物的折射率隨組成比變化的情況示於圖11中。表5從圖9、圖10和圖11可以看出，通過測定低分子矽氧烷化合物和氟代烴類的混合物的比重、折射率、沸點或露點，可以容易地掌握其組成比。如上所述，在構成使用具有閃點的低分子矽氧烷化合物作為洗滌劑的洗滌裝置時，通過將不燃性或難燃性的氟代烴類混合進低分子矽氧烷化合物後再使用，可以向洗滌劑本身賦予不燃性或難燃性的性質，從而能夠確保安全性。然後通過再設置一種控制低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的組成比的機構來進一步提高確保上述安全性的可靠性，並且能夠有效地使用低分子矽氧烷化合物。本發明的洗滌裝置如果同時並用基於上述(1)～(4)的4個條件的常規的防止和抑制火災的措施或者滅火措施等安全對策，可以進一步提高其安全性。第2洗滌裝置是一種使用含有低分子矽氧烷化合物的洗滌劑的洗滌裝置，其特徵在於，它具備一種根據低分子矽氧烷化合物中的Si-O鍵的紅外吸收來測定由洗滌劑產生的低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度的測定裝置。進而，其特徵還在於，它具備洗滌劑的溫度調節裝置。第3洗滌裝置是一種使用含有低分子矽氧烷化合物的洗滌劑的洗滌裝置，其特徵在於，在從洗滌裝置的內部、洗滌裝置的周圍、構成洗滌裝置的裝置的內部和構成裝置的周圍中選擇的至少一處充入或配置不燃性或難燃性的氟代烴類的氣體或液體。第4洗滌裝置是一種使用含有低分子矽氧烷化合物的洗滌劑的洗滌裝置，其特徵在於，它具備將一種由不燃性或難燃性的氟代烴類的氣體或液體組成的滅火劑噴射到洗滌裝置的至少一部分的噴射裝置。其特徵還在於，它具備用於驅動上述滅火劑噴射裝置的、從火焰檢測器、溫度檢測器和壓力檢測器中選擇的至少一種檢測器。第2至第4的洗滌裝置都是使用含有低分子矽氧烷化合物的洗滌劑的洗滌裝置，此處所說的洗滌劑是指含有下列洗滌劑的物質，所說洗滌劑包括在將附著在洗滌對象物上的汙染成分的濃度降低至最小或將其除去時使用的洗滌劑、在將附著在洗滌對象物上的洗滌劑的濃度降低至最小或將其除去時使用的漂洗用洗滌劑以及在將洗滌劑或漂洗用洗滌劑從洗滌對象物上蒸發或除去時使用的蒸氣洗滌劑。作為在第2至第4洗滌裝置中使用的低分子矽氧烷化合物，可以使用與上述第1洗滌方法中說明的低分子矽氧烷化合物相同的物質。另外，本發明中使用的洗滌劑不限於低分子矽氧烷化合物單獨的洗滌劑，它也可以是由低分子矽氧烷化合物與極性溶劑、烴系溶劑、醚系溶劑、縮醛系溶劑等其他溶劑組成的混合洗滌劑，或者是配合有表面活性劑或親水性溶劑等各種添加劑的洗滌劑等。本發明在使用以低分子矽氧烷化合物為主成分的洗滌劑的情況下特別有效。如表4所示，上述那些低分子矽氧烷化合物都具有閃點，因此在使用含有這些低分子矽氧烷化合物的洗滌劑時，必須採取包含防止或抑制火災或者滅火等的上述4項安全措施。首先，根據第1條件，為了在溶劑的閃點以下使用該溶劑，只要對溶劑進行溫度控制即可。但是，對於低分子矽氧烷化合物僅僅進行溫度控制還不夠充分，還必須將低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度控制在燃燒範圍以外。為此，考慮到構成低分子矽氧烷化合物的結構骨架的Si-O鍵在波數1100cm-1處存在吸光度非常高的特有的紅外吸收，因此，通過測定基於這種Si-O鍵的作用所引起的紅外吸收的情況，就可以測出低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度。第2洗滌裝置設置有一種根據上述Si-O鍵在波數1100cm-1處的紅外吸收程度來測定低分子矽氧烷化合物蒸氣濃度的測定裝置，這種低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度測定裝置具有非常高的靈敏度，因此能夠高精度地將低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度控制在燃燒範圍之外。進而，由於並用檢測靈敏度高的低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度測定裝置和氧濃度測定裝置，使得含有易燃性的低分子矽氧烷化合物的洗滌劑處於燃燒範圍之外，因此可以更加安全地使用。另外，由於低分子矽氧烷化合物的比熱小，因此可以通過例如模糊(ファジ一)控制等，很容易地在低分子矽氧烷化合物的閃點以下進行所說的洗滌操作。其次，根據第2條件，為了防止熱源的產生，在使用洗滌劑的作業現場嚴格禁火，而且安裝在洗滌裝置上的電器設備皆採用無觸點的繼電器，以及採用耐壓防爆式的電動機等措施，這些都是常規的措施，但是，儘管採取這些措施也不能完全防止熱源的產生。另外，根據第3條件，必須將氧隔絕，為此，通常已知的方法是充入氮或氬等惰性氣體，作為惰性氣體，也可以使用氦、氖、氪、氙、氡等。然而，這些在已往採用的惰性氣體的氣體密度低，容易通過擴散而洩漏，因此非常不經濟，同時，還必須在具有氣密性的洗滌裝置的內部保持正壓狀態，也就是要不斷地供給惰性氣體。本發明者們進行了深入的研究，結果發現，低分子矽氧烷化合物對全氟代烴類、氫氟烴類、氫氯氟烴類、氟碘烴類、氟代醇類、氟代醚類等氟代烴類顯示很高的溶解性，並且某些能夠完全相互溶解，由於上述氟代烴類的液體和氣體通常是不燃性或難燃性的，因此將這類不燃性或難燃性的氟代烴類的氣體或液體充入或配置在洗滌裝置的內部或周圍，或者構成該洗滌裝置的裝置內部或周圍，就能將熱源與洗滌劑或其蒸氣隔絕，並將氧隔絕。第3洗滌裝置是一種基於上述知識的裝置，在該洗滌裝置的內部、洗滌裝置的周圍、構成洗滌裝置的裝置內部和構成裝置的周圍等區域中的至少一個區域充入或配置有不燃性或難燃性的氟代烴類的氣體或液體。由於上述的洗滌裝置是指包含各種周邊裝置在內的裝置，因此，上述洗滌裝置的構成裝置不限於洗滌槽和乾燥裝置等主要裝置，它還包含液體再生裝置、控制設備、驅動設備等電器裝置的周邊裝置在內。另外，下文所述的裝置包含洗滌裝置及其構成裝置在內。通過將上述不燃性或難燃性氟代烴類的例如氣體充入電器裝置等產生熱源的裝置內，可以防止熱源的產生。通過將不燃性或難燃性氟代烴類的例如氣體充入洗滌裝置的內部或周圍，或者洗滌裝置的構成設備的內部或周圍，就能隔絕氧氣侵入裝置內部，並且可以容易地將該裝置內部低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度稀釋到燃燒界限以外。由於氟代烴類的蒸氣壓高，容易氣化，因此，通過將其配置在裝置的內部或周圍，即可獲得如上所述的效果，並且能把從洗滌槽或配管等洩漏的低分子矽氧烷化合物吸收到氟代烴類的液體中而使其不燃化或難燃化，從而能夠更安全地使用洗滌裝置。而且，在用氟代烴類使裝置內部保持正壓狀態時，由於氟代烴類的蒸氣密度高，難以擴散，因此由於洩漏而造成的損失少，所以是經濟的，同時還由於能夠提高裝置內部的氣密性，因此具有防止氧氣從外部周圍氣氛侵入裝置內的效果。雖然在上述說明中只說明了主要是使用氟代烴類氣體的情況，但是也可以將不燃性或難燃性氟代烴類的液體充入包含例如洗滌槽在內的各種構成裝置的周圍，換言之，構成裝置也可以是浸漬在不燃性或難燃性氟代烴類的液體中的狀態，從而可以將低分子矽氧烷化合物與熱源或氧氣隔絕。第3洗滌裝置就是包含這種狀態的裝置。另外，也可以並用以往使用的惰性氣體。作為在第3洗滌裝置中使用的不燃性或難燃性的氟代烴類，可以使用與上述第1洗滌方法中說明的氟代烴類相同的物質。關於第4條件，作為常規的滅火措施，已知的有冷卻滅火法、窒息滅火法、除去滅火法、稀釋滅火法等，例如，窒息滅火法是一種通過將蒸氣密度比氧氣大的二氧化碳等惰性氣體直接覆蓋在燃燒物的表面上，從而隔絕氧氣供給的滅火方法，但是，如上所述，低分子矽氧烷化合物對氟代烴類具有很高的溶解性，因此氟代烴類的液體或氣體可作為滅火劑使用。第4洗滌裝置設置有噴射設備，它能將由上述那樣的不燃性或難燃性氟代烴類的氣體或液體構成的滅火劑噴射到洗滌裝置的至少一部分上。由於低分子矽氧烷化合物與氟代烴類顯示很高的溶解性，因此，通過使用由不燃性或難燃性氟代烴類的氣體或液體組成的滅火劑，可以終止燃燒的連鎖反應，或者可以容易地將可燃性的低分子矽氧烷化合物的蒸氣稀釋到燃燒界限之外，並同時能隔絕氧氣，因此能夠滅火。另外，由於其蒸氣比二氧化碳等以往使用的惰性氣體的密度大，因此可有效地隔絕氧氣。而且，由於低分子矽氧烷化合物與氟代烴類顯示很高的溶解性，因此氟代烴類的液體本身可以作為滅火劑使用，從而可以獲得有效的消火方法。作為滅火劑使用的不燃性或難燃性的氟代烴類，可以使用與第3洗滌裝置中所例示同樣的氟代烴類，特別優選是能夠產生滅火效果優良的三氟游離基的氟代烴類。第5洗滌裝置是一種與適用於第6洗滌方法的除水乾燥裝置有關的裝置，其特徵在於，其中具有使用一種與水具有互溶性，但是與水沒有共沸性，而且其蒸發熱在100Cal/g以下的液體的除水乾燥裝置。這種除水乾燥裝置具有使用三氟乙醇等除水乾燥液的除水乾燥設備，並且優選是具有能經常地或斷續地將混入的水和汙染成分從上述的除水乾燥液中除去的設備，例如蒸餾設備。這種蒸餾設備也可以並設一種例如吸氣器之類的減壓裝置。由於附設有除水設備，因此可以進行無乾燥汙斑的最有效的除水乾燥。本發明的除水乾燥方法和除水乾燥裝置，不僅包含水置換操作(浸漬、搖動、攪拌、超聲波、噴霧)，而且也包含乾燥操作(熱風乾燥、離心乾燥、蒸氣乾燥、上提(引上げ)乾燥、真空乾燥等)，可以有效地使用由三氟乙醇等構成的除水乾燥液。對附圖的簡單說明圖1是模式圖，它示出了本發明一個實施例的除水乾燥裝置的構成。圖2是模式圖，它示出了本發明另一個實施例的除水乾燥裝置的構成。圖3是用於對共沸組合物的配合比例進行定量的校正曲線的一例。圖4是低分子矽氧烷化合物的紅外譜圖。圖5是模式圖，它示出了本發明一個實施例的洗滌裝置的構成。圖6是模式圖，它示出了本發明另一個實施例的洗滌裝置的構成。圖7示出了在圖6所示的洗滌裝置中洗滌槽等的變形例。圖8示出了在圖6所示的洗滌裝置中洗滌槽等的另一種變形例。圖9示出了低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的混合物的沸點和露點隨組成比而變化的情況。圖10示出低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的混合物的比重隨組成比變化的情況。圖11示出了低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的混合物的折射率隨組成比而變化的情況。用於實施發明的最佳方案以下根據實施例詳細地解釋本發明。實施例1～34首先描述在第1洗滌方法的漂洗和乾燥工序中使用的混合洗滌劑的具體例以及對其特性評價的結果。首先準備了作為氟代烴類的全氟代烴(C6F14)和作為低分子矽氧烷化合物的六甲基二矽氧烷，將它們按表7和表8所示的混合比(重量比)85/15～30/70的範圍混合，然後向其中配合進表7和表8所示的極性洗滌劑，從而製得各種混合洗滌劑。如此獲得的各種混合洗滌劑對汙染成分的溶解性及其本身的易燃性按如下方法評價。首先，以液體石蠟(粘度30cSt(298K))作為汙染物質的基油，以異硬脂酸作為油性劑、以氯化石蠟(味の素(株)制)作為高壓潤滑油添加劑，以焊劑SR-210(低殘渣型)(商品名，千住金屬制)作為焊劑，將這些物料分別按5重量％的濃度添加入200g的混合洗滌劑中，然後以目視法觀察其狀態並研究其溶解性。對溶解性的評價按如下方式定義，表7和表8中分別記載了各種評價結果。◎添加後，在30秒以內完全溶解○添加後，在30～60秒以內完全溶解△添加後，在60秒以上溶解X汙染物不溶解另外，按照JIS-K-2265的方法，使用泰格密閉式閃點測定器和克利弗蘭德開放式閃點測定器來測定各種混合洗滌劑的閃點，然後據此來評價其易燃性。作為易燃性評價結果的不燃性或難燃性按如下方式定義，表7和表8中分別記載了這些評價結果。不燃使用泰格密閉式和克利弗蘭德開放式閃點測定器均不能測出其閃點者。難燃在泰格密閉式或克利弗蘭德開放式閃點測定器中，其中有一種不能測出其閃點者。表7*MM＝六甲基二矽氧烷PFC＝全氟代烴(C6F14)偶極矩的單位D表8MM＝六甲基二矽氧烷PFC＝全氟代烴(C6F14)偶極矩的單位D實施例35～39和比較例1～3下面描述第1洗滌方法的具體例及其評價結果。在一塊梳形基板(JIS-Z-31972型)上フラクサ-塗布焊劑CRV-5V(RA型，商品名，田村化研製)，在預熱溫度373～393K下除去溶劑，然後在503～533K熔燒30秒。將此梳形基板作為評價用樣品，使用表9所示洗滌劑、漂洗劑和蒸氣洗滌劑，在洗滌溫度313K、超聲波輸出功率400W/28kHz、洗滌時間5分-2槽的條件下將上述梳形基板的焊劑洗去，然後在漂洗時間5分-2槽的條件下進行漂洗，然後進行蒸氣乾燥(只有比較例1採用熱風乾燥)。在經過上述洗滌後，測定離子殘渣、絕緣電阻、白色殘渣和乾燥時間，評價洗淨性和乾燥性。另外，對各種蒸氣洗滌劑按照與實施例1同樣的方法評價其易燃性。將這些評價結果示於表10中。從表10所示評價結果可以看出，與比較例進行的洗滌相比，使用本發明的洗滌劑進行的洗滌顯示出離子殘渣量少、絕緣電阻值高、無白色殘渣、而且乾燥時間短，可以獲得優良的洗淨性和乾燥性。表9內的數值表示重量份。箭頭←表示與左樣相同的內容。表10以後的表也相同。表10用泰格密閉式獲得的值實施例40～46和比較例4～6在一塊大小為30mm×30mm×1mm的鋼板上塗布錠子油3g，在423K的加熱爐中溶燒48小時以製備試驗片。將附著在該試驗片上的油脂洗去(超聲波洗滌)，然後進行漂洗和乾燥，使用表11所示的洗滌劑、漂洗劑和蒸氣洗滌劑，或者按照表11所示的乾燥條件實施，測定洗滌後試驗片上殘留的油量和乾燥時間。將洗滌後的試驗片浸漬於150ml的四氯化碳中，加超聲波以將殘留油分提取出來。使用一種油分濃度測定計((株)堀場製作所制OCMA-220)來測定所獲的提取液以調查殘留的油量。另外，對於各種蒸氣洗滌劑(在進行蒸氣乾燥以外的乾燥時為漂洗劑)與實施例1同樣地進行易燃性的評價。這些評價結果示於表12中。實施例47～50對第2洗滌方法的評價結果與本發明的洗滌劑一起進行描述。以實施例40中使用的試驗片作為評價用試驗片，除了使用表11所示的洗滌劑、漂洗劑、蒸氣乾燥劑之外，其餘按照與實施例40同樣的條件和方法進行洗滌、漂洗和蒸氣乾燥，然後進行洗淨性的評價。評價結果示於表12中。如上所述，使用本發明的洗滌劑、第1和第2洗滌方法，可以獲得能與氟裡昂系溶劑或含氯系溶劑相匹敵的對各種汙染成分的除去性，並且還能獲得良好的乾燥性。因此，可以提供一種能夠取代使用氟裡昂系溶劑或含氯系溶劑的洗滌方法，適用於洗滌印刷線路板、實裝部件等電子部件或金屬部件等物品的洗滌方法。表11>*內的數值表示重量份，*1C5H2F10；*2C6F14漂洗劑的易燃性(閃點按泰格密閉式測定)*2蒸氣洗滌劑的易燃性實施例51～84下面對第3和第4洗滌方法的實施例與本發明的洗滌劑一起進行說明。首先準備好作為氟代烴類的全氟代烴(C6F14)和作為低分子矽氧烷化合物的六甲基二矽氧烷，將它們按表13和表14所示的混合比(重量比)85/15～30/70的範圍混合，並向其中加入表13和表14所示的極性洗滌劑，以此調製成各種洗滌劑。按照與實施例1同樣的條件和方法評價如此獲得的各種洗滌劑的對汙染物成分的溶解性與易燃性。評價結果分別示於表13和表14中。表13*MM＝六甲基二矽氧烷PFC＝全氟代烴(C6F14)偶極矩的單位D*MM＝六甲基二矽氧烷PFC＝全氟代烴(C6F14)偶極矩的單位D實施例85～91和比較例7～12以實施例35中使用的梳形基板作為評價用樣品，使用表15中所示的實施例85～91的各種洗滌劑以及表16中所示的比較例7～12的各種洗滌劑，按照與實施例35同樣的條件和方法進行洗滌和漂洗，按照表15和表16中所示的條件進行乾燥。在以蒸氣乾燥進行乾燥的例子中，使用與洗滌工序中和漂洗工序中使用的洗滌劑同樣組成的洗滌劑作為蒸氣洗滌劑。在比較例11、12中分別使用表16所示的洗滌劑、漂洗劑和蒸氣洗滌劑並同樣地實施從洗滌至乾燥的全過程。在經過上述的洗滌後，測定離子殘渣、絕緣電阻和白色殘渣，以此評價其洗淨性。另外，與實施例1同樣地評價各種洗滌劑的易燃性。將這些評價結果示於表17中。從表17的評價結果可以看出，與比較例的洗滌相比，使用本發明的洗滌劑進行洗滌，離子殘渣量少、絕緣電阻值高而且沒有白色殘渣，可以獲得良好的洗淨性和乾燥性。表15*MM＝六甲基二矽氧烷MDM＝八甲基三矽氧烷表16內的單位表示重量份。表17*1按泰格密閉式式獲得的值*2蒸氣洗滌劑的易燃性(閃點是按泰格密閉式獲得的值)實施例92～106和比較例13～16在一塊大小為30mm×30mm×1mm的鋼板上塗布錠子油3g，在423K的加熱爐中焙燒48小時以製備試驗片。將附著在該試驗片上的油脂洗去(超聲波洗滌)，洗滌時使用表18中所示的實施例92～106的各種洗滌劑和與表16中所示的比較例7～10同樣的洗滌劑(比較例13～16)，然後測定洗滌後殘留在試驗片上的油量。將洗滌後的試驗片浸漬在150ml的四氯化碳中，施加超聲波以提取出殘留的油分。用油分濃度測定計((株)堀場製作所制OCMA-200)測定該提取液，以調查殘留的油量。另外，與實施例51同樣地評價各洗滌劑的易燃性。將這些評價結果示於表19中。如上所述，使用本發明的洗滌劑或第3和第4洗滌方法的洗滌劑，可以獲得能與氟裡昂系溶劑或含氯系溶劑相匹敵的對各種汙染成分的除去性和乾燥性。因此，可以提供一種能在從洗滌或漂洗直至乾燥的寬範圍內的工藝中使用的洗滌劑。另外，由於使用這樣的洗滌劑，因此可以提供一種能夠取代使用氟裡昂系溶劑或含氯系溶劑的洗滌方法合適洗滌方法，以適用於洗滌印刷線路板、實裝部件等的電子部件或金屬部件等物品的。表19殘留的油量(mg/g)易燃性臭氧破壞係數實施例920.005難燃性0930.010難燃性0940.007難燃性0950.009難燃性0.025960.011不燃性0970.009不燃性0980.004298K0990.006296K01000.014不燃性01010.012不燃性01020.008難燃性01030.006難燃性01040.006難燃性01050.009不燃性01060.098難燃性0比較例130.051273K*10140.018284.7K*10150.698不燃性0160.007不燃性0.8*1按泰格密封式獲得的值實施例107下面對第5洗滌方法的實施例與本發明的洗滌劑一起進行說明。首先準備作為低分子矽氧烷化合物的六甲基二矽氧烷和作為氟代烴類的全氟己烷。然後將上述六甲基二矽氧烷30重量份和全氟己烷70重量份混合，以此製備混合洗滌劑。按照JIS-K-2265的方法，通過使用秦格密閉式閃點測定器和克利弗蘭德開放式閃點測定器測定閃點來評價該混合洗滌劑的閃點，據此來確認其不燃性(也就是在泰格密閉式和克利弗蘭德開放式中任何一種皆測不出閃點)。然後，為了防止上述混合洗滌劑的組成比變化，將其灌裝入一種以碳酸氣為噴射劑的噴射罐中。另一方面，準備一種塗布有矽氧烷系壓型油YF33(商品名，東芝矽氧烷(株)制)的不鏽鋼試驗板作為洗滌對象物，將混合洗滌劑由上述噴射罐吹噴到不鏽鋼試驗板上以進行洗滌。在上述的洗滌操作之前和之後分別使用油分計((株)堀場製作所制OCMA-220)進行油分(洗滌之後為殘留油分)的定量，同時進行外觀觀察，以評價其洗淨能力。將這些油分的定量結果與外觀觀察結果示於表20中表20由表20可以確認，由於用噴射罐吹噴了低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的混合洗滌劑，因此可以獲得良好的洗淨性。另外，在將灌裝有上述混合洗滌劑的噴射罐長期保存後再評價該混合洗滌劑的性能時，確認其洗淨性和燃燒性(不燃性)皆沒有變化。實施例108首先，準備作為低分子矽氧烷化合物的八甲基三矽氧烷和作為氟代烴類的C5F11NO以及作為其他成分的異丙醇。然後將10重量份八甲基三矽氧烷、80重量份C5F11NO和10重量份異丙醇一起混合，從而製得混合洗滌劑。按照JIS-K-2265的方法，使用泰格密閉式閃點測定器和克利弗蘭德開放式閃點測定器測定該混合洗滌劑的閃點，以此評價其閃點並確認其不燃性(也就是在泰格密閉式和克利弗蘭德開放式中任何一種皆測不出閃點)。然後，為了防止上述混合洗滌劑的組成比變化，將其灌裝入一種以N2氣作為噴射劑的噴射罐中。另一方面，準備一塊塗布有作為油性劑的異硬脂酸的銅試驗板作為洗滌對象物，將混合洗滌劑由上述噴射罐噴射到銅試驗板上以進行洗滌。接著，在上述的洗滌操作之前和之後，分別使用油分計((株)堀場製作所制OCMA220)進行油分(洗滌之後為殘留油分)的定量，同時進行外觀觀察，以評價其洗淨能力。將這些油分的定量結果與外觀觀察結果示於表21中。表21由表21可以確認，由於用噴射罐吹噴了低分子矽氧烷化合物、氟代烴類和異丙醇的混合洗滌劑，因此可以獲得良好的洗淨性。另外，在將灌裝有上述混合洗滌劑的噴射罐長期保存後再評價該混合洗滌劑的性能時，確認其洗淨性和燃燒性(不燃性)皆沒有變化。如上所述，按照第5洗滌方法，把低分子矽氧烷化合物與氟代烴類混合而獲得了不燃性或難燃性的混合洗滌劑，並灌裝入密閉容器中保存和使用，故不會損害混合洗滌劑的不燃性或難燃性的性質和洗淨性能等，因此可以在長時間內安全而且有效地使用含有低分子矽氧烷化合物的混合洗滌劑。實施例109和比較例17、18下面對第6洗滌方法的實施例與本發明的洗滌劑一起進行說明。將一塊研磨水洗後的玻璃透鏡浸漬於三氟乙醇中，以便將附著的純水除去。然後，按照5mm/分鐘的提升速度將透鏡一邊提升，一邊乾燥。在進行這種除水乾燥後，按照下述方法求出水分除去率，同時以目視法和掃描型電子顯微鏡觀察乾燥後的狀態(表面狀態和乾燥汙斑的有無)，以此進行乾燥後的外觀檢查。將這些評價結果示於表22中。水分除去率按下述方法測定，首先把經過三氟乙醇除水乾燥後的透鏡移放入無水乙醇中以使殘留的水分溶解，按照卡爾-費希爾法定量分析該水分(Ag)，另一方面，按照同樣的方法定量分析沒有進行過三氟乙醇除水乾燥時的水分(Bg)，然後根據下式求出水分除去率。水分除去率(％)＝{(B-A)/B}×100另外，作為與本發明的比較例，將與實施例1同樣的除水乾燥對象物(玻璃透鏡)用CFC113/表面活性劑系(非離子表面活性劑0.5重量份)進行除水和用CFC113進行提升乾燥(比較例17)，以及用IPA進行除水乾燥(比較例18)。然後，與實施例109同樣地算出水分除去率和進行乾燥後的外觀檢查。將這些結果一起示於表22中。表22實施例110和比較例19、20下面對第6洗滌方法和第5洗滌裝置一起進行說明。首先，作為本發明一個實施例的除水乾燥裝置，準備了圖1所示構成的裝置。圖1所示的除水乾燥裝置具有水洗工序A和除水乾燥工序B兩部分設備，其中，水洗工序A包含2槽的水洗槽101、101；除水乾燥工序B包含除水乾燥槽104，其作用是收容由三氟乙醇組成的除水乾燥液102，利用加熱器103來使三氟乙醇102升溫氣化，從而產生三氟乙醇102的蒸氣102a。除水乾燥槽104內的除水乾燥液102每過1小時即送入蒸餾器105中，在其中通過蒸餾操作除去水分而獲得再生後，再送回除水乾燥槽104內重新用於產生蒸氣102a。在圖1所示的除水乾燥裝置中，由於由三氟乙醇組成的除水乾燥液102蒸氣的作用，從而能夠進行水置換和乾燥。使用上述圖1所示的除水乾燥裝置，對作為除水乾燥對象物106的鍍鉻處理後的玻璃濾光片(10片/每筐)連續進行100次的水洗A和除水乾燥B的操作。對於第100次的除水乾燥品，與實施例109同樣地算出水分除去率和進行乾燥後的外觀檢查。這些評價結果示於表23中。另外，作為與本發明對比的比較例，除了使用全氟己烷與三氟乙醇的混合液作為除水乾燥液之外，與實施例109同樣地使用圖1所示的除水乾燥裝置，對一種與實施例110同樣的鍍鉻處理後的玻璃濾光片連續進行100次的水洗和除水乾燥操作(比較例19)。另外，除了使用IPA作為除水乾燥液以外，同樣地對鍍鉻處理後的玻璃濾光片連續進行100次的水洗和除水乾燥操作(比較例20)。對這些第100次的除水乾燥品與實施例109同樣地算出水分除去率和進行乾燥後的外觀檢查。將這些評價結果合併於表23中。表23由表23可以看出，按照使用三氟乙醇作為除水乾燥液的實施例110，在進行100次的除水乾燥後，其水分除去率和乾燥質量皆優良，與此相反，按照使用全氟己烷與三氟乙醇的混合液的比較例19，不僅乾燥質量低，而且其水分除去率也低；另外，按照使用IPA的比較例20，由於乾燥汙斑的產生而使乾燥質量低。可以認為，這是由於水不能從IPA中除去；從而導致水在IPA中積蓄，進而使IPA的蒸發熱增高的緣故。實施例111～114和比較例21、22作為本發明另一個實施例的除水乾燥裝置，使用圖2所示構成的裝置。圖2所示的除水乾燥裝置具有水洗工序A、除水工序C和蒸氣乾燥工序D三部分設備，其中，水洗工序A包含2槽的水洗槽201、201；除水工序C包含用於收容由三氟乙醇組成的除水乾燥液202的2槽型浸漬除水槽207、207，將除水乾燥的對象物206浸漬於除水槽乾燥液202中以進行除水(水置換)；蒸氣乾燥工序D包含蒸氣乾燥槽208，其作用是收容由三氟乙醇組成的除水乾燥液202，利用加熱器203來使三氟乙醇202升溫氣化，從而產生三氟乙醇202的蒸氣202a。浸漬除水槽207和蒸氣乾燥槽208內的除水乾燥液202二者都連續地送入蒸餾器205，在其中通過蒸餾操作除去水分而獲得再生後，再送回蒸氣乾燥槽208內重新用於產生蒸氣202a。使用上述圖2所示的除水乾燥裝置，對研磨後的多角稜鏡(30片/每筐)連續進行300次的水洗A、除水C和蒸氣乾燥D的工序。所用的蒸氣乾燥時間為5分鐘。對於第300次的除水乾燥品，與實施例109同樣地算出其水分除去率和進行乾燥後的外觀檢查。另外，按照圖2，實施例112是在除水工序C中使用三氟乙醇並在蒸氣乾燥工序D中使用氫氟乙醚；實施例113是在除水工序C中使用三氟乙醇與氫氟乙醚的混合物並在蒸氣乾燥工序D中使用氫氟乙醚；實施例114是在除水工序C中使用三氟乙醇並在蒸氣乾燥工序D中使用六甲基二矽氧烷，它們皆與實施例109同樣地進行除水乾燥。將這些評價結果示於表24中。另外，作為與本發明對比的比較例，除了使用CFC113/表面活性劑系(非離子型表面活性劑0.5重量份)作為除水液以及使用CFC113作為蒸氣乾燥液以外，其餘與實施例111同樣地使用圖2所示的除水乾燥裝置，對與實施例111同樣的研磨後的多角稜鏡連續地進行300次的水洗、除水和蒸氣乾燥工序。進行反覆的除水乾燥(比較例21)。另外，除了使用IPA作為除水乾燥液以外，其餘同樣地對研磨後的多角稜鏡連續地進行300次的水洗、除水和蒸氣乾燥工序(比較例22)。對這些第300次的水洗乾燥品，與實施例1同樣地算出水分除去率和進行乾燥後的外觀檢查。將這些評價結果合併示於表24中。表24TFEA三氟乙醇HFE氫氟乙醚MM六甲基二矽氧烷從表24可以看出，按照使用三氟乙醇作為除水液和乾燥液的實施例111，即使在經過300次的除水乾燥後，除水效率和乾燥質量都很優良，與此相反，按照使用IPA的比較例22，可以用目視法看出，由於產生乾燥汙斑而使得乾燥質量低下。如實施例114所示，在蒸氣乾燥工序D中使用六甲基二矽氧烷的情況下，六甲基二矽氧烷與三氟乙醇的沸點接近，因此兩相在此以上的溫度下具有能夠完全互溶的共溶點，為了在室溫下進行相分離，將蒸氣乾燥槽208內的除水乾燥液202轉移到別的槽中進行冷卻，利用比重分離法將三氟乙醇從六甲基二矽氧烷中分離出來，回收三氟乙醇，根據需要通過在蒸餾器205中將水分除去以將其再生使用。與此同時，分離出的六甲基二矽氧烷可以直接地再使用，或者根據需要用蒸餾器精製後再使用。三氟乙醇與六甲基二矽氧烷的分離除了比重分離以外，也可以使用過濾器分離，但優選還是通過蒸餾分離。這樣，將浸漬除水槽207的除水乾燥液三氟乙醇)在蒸餾器205中除去水分後再生使用，蒸氣乾燥槽208內的除水乾燥液(六甲基二矽氧烷)在該槽或在別的槽中通過比重分離三氟乙醇後再使用，分離出的三氟乙醇再送往浸漬除水槽207或蒸餾器205。如上所述，使用第6洗滌方法中所說的除水乾燥方法和除水乾燥裝置，可以獲得良好的除水乾燥性，並且能夠通過例如蒸餾操作而容易地將水分離，因此能夠同時達到沒有乾燥汙斑等的良好的除水乾燥質量和降低除水乾燥的費用兩方面的目的。因此可以提供一種能夠獲得與使用氟裡昂系或含氯系溶劑的除水乾燥工序相匹敵甚至更優的乾燥速度和乾燥質量的除水乾燥方法。實施例115、比較例23～27下面說明以本發明的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分的洗滌劑及其洗淨性。首先，將市售的六甲基二矽氧烷TSF451-0.65(商品名，東芝矽氧烷(株)制(純度99％以上))、叔丁醇和以C6F14為代表的全氟代烴PF-5060(商品名，住友3M社制)按體積比1∶1∶1的比例裝入一個蒸餾瓶中，利用理論塔板數為30的精餾塔在常壓下進行蒸餾。由這種蒸餾操作獲得了在321～326K共沸的餾分。使用由該共沸餾分組成的組合物作為洗滌劑。對上述的共沸餾分進行氣相色譜分析，根據獲得的峰面積之比來定量實際的配合比例時，所獲的結果為六甲基二矽氧烷5.7重量％、叔丁醇5.0重量％、C6F1489.3重量％。氣相色譜分析按以下條件進行。(氣相色譜分析條件)裝置島津製作所制GD-14A(TC-D)，柱子SUS制2m×3mmφ(GLサィェンスクロモソルブ(株)WAWDMCS，網眼60/80)，填充劑SiliconeSE-3010％，進樣溫度523K，TC-D溫度523K，初期溫度323K，初期保持時間0分鐘，升溫速度10K/分鐘，最終溫度523K，最終保持時間0分鐘，電流100mA，FRCRHe40ml，衰減64以下詳細地描述根據氣相色譜的峰面積測定配合比例的方法。當上述組合物是由六甲基二矽氧烷、叔丁醇和以C6F14表示的全氟代烴3種成分組成的共沸化合物時，選擇正己烷作為氣相色譜分析中的標準物質，將3成分的混合液10.333g和正己烷2.0704g的混合液用氣相色譜分析法進行分析。根據分析結果，獲得各成分的面積比為六甲基二矽氧烷7.635％叔丁醇7.795％全氟代烴49.848％正己烷34.322％在將所獲的峰面積按總面積為100％進行歸一化後，獲得六甲基二矽氧烷7.67％叔丁醇7.83％全氟代烴50.04％正己烷34.46％然後，由3成分混合液的各成分與標準物質正己烷組成2成分的混合物，使其配合比例作各種變化，分別進行色譜分析，據此研究配合比例(重量％(wt％))與GC峰面積(％)的關係(校正曲線)。圖3示出了各成分的校正曲線。乙酸異丙酯的校正曲線也就是實施例116中所說的校正曲線。在六甲基二矽氧烷與正己烷的情況下，所獲的峰面積(％)為六甲基二矽氧烷∶正己烷＝7.67∶34.46，在這兩種成分中正己烷的峰面積(％)為(34.46/(34.46+7.67))×100＝81.48％將該值導入圖3中所示六甲基二矽氧烷的校正曲線，獲得其實際的配合量為78.0wt％，根據這一數值，六甲基二矽氧烷的量X(g)根據如下關係式2.0704/(2.0704+X)×100＝78.0可求得X＝0.5839g，因此六甲基二矽氧烷的配合比例(重量％)為(0.5839/10.333)×100＝5.7wt％按照同樣的方法，求得叔丁醇的配合比例為5.0wt％，全氟代烴的配合比例為89.3wt％，從而達到了定量。應予說明，在本說明書中的組合物，對每一種混合組合物都按上述條件進行色譜分析，根據獲得的成分的峰面積來表示定量的配合比例。將一種銅製的金屬部件20P(外殼部件)浸漬於工作油G-6040(商品名，日本工作油制)中，將其作為被洗滌物，使用如上所述那樣獲得的洗滌劑將其洗滌，然後評價其洗滌後的狀態。洗滌按以下的步驟實施。也就是首先在有上述洗滌劑的第1洗滌槽中，一邊照射超聲波，一邊在約303K的條件下洗滌上述被洗滌物，然後在收容有同一組成洗滌劑的第2洗滌槽中，一邊在室溫下照射超聲波，一邊進行再次洗滌和漂洗，最後在第3洗滌槽中將同一組成的洗滌劑加熱沸騰，通過將被洗滌物暴露於產生的蒸氣中而使其乾燥。在上述工序中，用目視法和顯微鏡觀察洗滌後的精加工性，並在洗滌後的樣品中任意取2個作為樣品，用300ml四氯化碳提取殘留的油分，使用堀場油分濃度計OCMA-220進行定量。另外，將1個清潔的金屬部件浸漬在313K的洗滌劑中，將其取出後進行自然乾燥，測定部件達到完全乾燥時所需的時間。另外，按照克利弗蘭德開放式法測定洗滌劑的閃點。將這些測定結果與臭氧破壞係數一起示於表25中。另外，作為與本發明比較的比較例，分別使用叔丁醇單獨的洗滌劑(比較例23)、六甲基二矽氧烷TSF451-0.65單獨的洗滌劑(比較例24)、全氟代烴PF-5060單獨的洗滌劑(比較例25)、由1，1，1-三氯乙烷組成的洗滌劑(比較例26)，與上述實施例同樣地進行洗滌，評價其洗淨性並同樣地測定其乾燥時間和閃點。另外，測定在未洗滌情況下(比較例27)的殘留油份。其結果一併示於表25中。表25*1評價基準○＝用目視和顯微鏡觀察，均無殘渣。△＝用顯微鏡觀察，有殘渣×＝用目視和顯微鏡觀察，均有殘渣。*2按克利弗蘭德開放式測定。從表25所示的測定結果可以看出，上述實施例115的洗滌劑，其洗淨性(脫脂性)優良，並且具有與1，1，1-三氯乙烷同等或更優良的乾燥性。另外，在燃燒性方面，其閃點比叔丁醇或六甲基二矽氧烷的閃點高，因此可確認達到了難燃化。實施例116、比較例28首先，將市售的六甲基二矽氧烷TSF451-0.65(商品名，東芝矽氧烷(株)制(純度99％以上))、乙酸異丙酯和以C6F14為代表的全氟代烴PF-5060(商品名，住友3M社制)按體積比1∶1∶1的比例裝入一個蒸餾瓶中，利用理論塔板數為30的精餾塔在蒸氣壓下進行蒸餾。按照這種蒸餾操作，獲得了在323～328K共沸的餾分。使用由該共沸餾分組成的組合物作為洗滌劑。對上述的共沸餾分進行氣相色譜分析，根據獲得的峰面積之比來定量實際的配合比例，所獲的結果為六甲基二矽氧烷4.9重量％、乙酸異丙酯5.3重量％、C6F1489.8重量％。氣相色譜法的條件和定量方法如上所述。將一種銅製的金屬部件20P(外殼部件)浸漬於工作油G-6040(商品名，日本工作油制)中，將其作為被洗滌物，使用如上所述那樣獲得的洗滌劑將其洗滌，然後評價其洗滌後的狀態。洗滌按照與實施例115同樣的條件實施，洗滌後用目視法和顯微鏡觀察其精加工性，並按照與實施例115同樣的條件測定洗滌後的殘留油分量。另外，與實施例115同樣地測定乾燥時間和按克利弗蘭德開放式測定閃點。將這些測定結果與臭氧破壞係數一起示於表26中。另外，作為與本發明比較的比較例，使用乙酸異丙酯單獨的洗滌劑(比較例28)，與上述實施例同樣地進行洗滌，評價其洗淨性並同樣地測定其乾燥時間和閃點。將這些結果一併示於表26中。另外，比較例24～27的結果也一起示於表26中，以供比較之用。表26從表26所示的測定結果可以看出，使用上述實施例116的洗滌劑，所獲的洗淨性(脫脂性)優良，並且顯示出與1，1，1-三氯乙烷同等或更優良的乾燥性。另外，在燃燒性方面，其閃點比乙酸異丙酯或六甲基二矽氧烷的閃點高，因此可確認達到了難燃化。如上所述，本發明的共沸組合物和擬共沸組合物不會破壞臭氧層，而且對各種汙染成分顯示出高的洗淨性和優良的乾燥特性。實施例117除了使用以C7F16為代表的全氟代烴PF-5070(商品名，住友3M社制)代替全氟代烴以外，使用同樣的配合方式，按照與實施例115同樣的條件和方法進行蒸餾，獲得337～344K的共沸餾分。使用由該共沸餾分組成的組合物作為洗滌劑。按照與實施例115同樣的條件和方法對上述共沸餾分的實際配合比例進行定量，結果為六甲基二矽氧烷10.6重量％、叔丁醇11.8重量％、C7F1677.6重量％。以下對根據氣相色譜的峰面積比對配合比例進行定量的方法進行詳細描述。當上述組合物是一種由六甲基二矽氧烷、叔丁醇和以C7F16為代表的全氟代烴這3種成分組成的共沸混合物時，為了進行氣相色譜分析，選擇正己烷作為標準物質，對3成分混合液10.0084g與正己烷2.0074g的混合液進行氣相色譜分析。通過分析獲得的各成分的峰面積為六甲基二矽氧烷12.408％叔丁醇15.795％全氟代烴41.628％正己烷30.101％將所獲的面積比按總面積為100％進行歸一化後，從而獲得六甲基二矽氧烷12.42％叔丁醇15.81％全氟代烴41.66％正己烷30.12％然後，使用圖3所示的校正曲線，按照與實施例115同樣的方法對各成分的配合比例進行定量，獲得上述結果。使用如此獲得的洗滌劑，按照與實施例115同樣的條件、方法進行洗滌、漂洗、乾燥和評價。將這些結果與臭氧破壞係數一起示於表27中。另外，在實施例115中使用的比較例也一併示於表27中。表27*1評價基準○＝用目視和顯微鏡觀察，均無殘渣。△＝用顯微鏡觀察，有殘渣×＝用目視和顯微鏡觀察，均有殘渣。*2按克利弗蘭德開放式測定。從表27所示的測定結果可以看出，使用上述實施例117的洗滌劑，所獲的洗淨性(脫脂性)優良，並且顯示出與1，1，1-三氯乙烷同等或更優良的乾燥性。另外，在燃燒性方面，其閃點比叔丁醇或六甲基二矽氧烷的閃點高，因此可以確認達到了難燃化。實施例118首先，將市售的六甲基二矽氧烷TSF451-0.65(商品名，東芝矽氧烷(株)制(純度99％以上))、乙酸異丙酯和以C7F16為代表的全氟代烴PF-5070(商品名，住友3M社制)按體積比1∶1∶1的比例裝入一個蒸餾瓶中，利用理論塔板數為30的精餾塔在蒸氣壓下進行蒸餾。由這種蒸餾操作獲得了在337～345K共沸的餾分。使用由該共沸餾分組成的組合物作為洗滌劑。對上述的共沸餾分進行氣相色譜分析，根據獲得的峰面積之比來定量實際的配合比例，所獲的結果為六甲基二矽氧烷10.5重量％、乙酸異丙酯10.7重量％、C7F1678.8重量％。氣相色譜分析所用的條件同上。將一種銅製的金屬部件20P(外殼部件)浸漬於工作油G-6040(商品名，日本工作油制)中，將其作為被洗滌物，使用如上所述那樣獲得的洗滌劑將其洗滌，然後評價其洗滌後的狀態。洗滌按照與實施例115同樣的條件實施，洗滌後用目視法和顯微鏡觀察其精加工性，並按照與實施例115同樣的條件測定洗滌後的殘留油分量。另外，與實施例115同樣地測定乾燥時間和按克利弗蘭德開放式測定閃點。將這些測定結果與臭氧破壞係數一起示於表28中。另外，作為與本發明比較的比較例的結果也一起示於表28中。表28從表28所示的測定結果可以看出，使用上述實施例118的洗滌劑，所獲的洗淨性(脫脂性)優良，並且顯示出與1，1，1-三氯乙烷同等或更優良的乾燥性。另外，在燃燒性方面，其閃點比乙酸異丙酯或六甲基二矽氧烷的閃點高，因此可以確認達到了難燃化。如上所述，本發明的共沸組合物和擬共沸組合物不破壞臭氧層，對各種汙染物成分表現出高洗淨性和優良的乾燥特性。實施例119、比較例29～33除了使用全氟嗎啉(商品名PF-5052，住友3M社制)代替全氟代烴以外，使用與實施例115同樣的組合，按照與實施例115同樣的條件和方法進行蒸餾，獲得了在313～322K共沸的餾分。使用由該共沸餾分組成的組合物作為洗滌劑。按照與實施例115同樣的條件和方法對上述共沸餾分的實際配合比例進行定量，結果為六甲基二矽氧烷5.4重量％、叔丁醇5.2重量％、全氟嗎啉89.4重量％。在鋼板上塗布錠子油，將其置於150℃的加熱爐中焙燒48小時，製造試驗片並將其作為被洗滌物。使用上述的洗滌劑將附著在該試驗片上的油脂洗去(超聲波洗滌)，洗滌後進行評價。作為洗滌方法，將洗滌組合物裝入第1槽中，一邊用超聲波照射，一邊在約30℃下洗滌所說的被洗滌物，洗滌後，再在裝有同一組成洗滌劑的第2洗滌槽中在室溫下一邊用超聲波照射，一邊進行再次洗滌/漂洗，最後在第3洗滌槽中將具有同一組成的洗滌劑加熱沸騰，利用產生的蒸氣將被洗滌物乾燥。用顯微鏡觀察洗滌後的精加工性，同時測定殘留油分量。用300ml四氯化碳來提取洗滌後樣品殘留的油分15分鐘，然後用堀場油分濃度計OCMA-220來定量測定殘留油分量。另外，作為比較例，將洗滌劑中的單一構成成分按照同樣的步驟進行洗滌和乾燥，進行比較評價，另外，按照克利弗蘭德開放式分別地測定這些洗滌劑的閃點。其結果示於表29中。從表29的結果可以看出，使用上述實施例119的洗滌劑，從洗滌後的外觀上看不到殘渣，乾燥性也優良，殘留油分量極少，是一種不燃性、對臭氧層沒有破壞的洗滌劑。表29*1評價基準○＝用目視和顯微鏡觀察，均無殘渣。△＝用顯微鏡觀察，有殘渣。×＝用目視和顯微鏡觀察，均有殘渣。*2評價基準○＝將試驗片從蒸氣洗滌槽中取出後至完全乾燥所需的時間不到1分鐘。×＝將試驗片從蒸氣洗滌槽中取出後至完全乾燥所需的時間在2分鐘以上。*3按克利弗蘭德開放式測定。實施例120、比較例34除了以乙酸異丙酯代替叔丁醇以外，使用與實施例119同樣的配合方式，按照與實施例119同樣的條件和方法進行蒸餾，獲得了在315～322K共沸的餾分。使用由該共沸餾分組成的組合物作為洗滌劑。按照與實施例115同樣的條件和方法對上述共沸餾分的實際配合比例進行定量，結果為六甲基二矽氧烷3.7重量％、乙酸異丙酯4.8重量％、全氟嗎啉91.5重量％。使用所獲的洗滌劑，按照與實施例119同樣的條件和方法評價其洗淨性。結果示於表30中。表30*1評價基準○＝用目視和顯微鏡觀察，均無殘渣。△＝用顯微鏡觀察，有殘渣，×＝用目視和顯微鏡觀察，均有殘渣。*2評價基準○＝將試驗片從蒸氣洗滌槽中取出後至完全乾燥所需的時間不到1分鐘。×＝將試驗片從蒸氣洗滌槽中取出後至完全乾燥所需的時間在2分鐘以上。*3按克利弗蘭德開放式測定。從表30的結果可以看出，使用上述實施例120的洗滌劑，從洗滌後的外觀上看不到殘渣，乾燥性也優良，殘留油分量極少，是一種不燃性的，對臭氧層沒有破壞的洗滌劑。由本發明的共沸組合物組成的洗滌劑，不會破壞臭氧層，是一種不燃性的洗滌劑，其洗淨力優良，在使用中由於蒸發引起的組成變化很小，乾燥速度也快，在作為洗滌劑使用時能夠發揮優良的效果。實施例121、比較例35～38首先，將一種氣體色譜純度99.5％的六甲基二矽氧烷與氣體色譜純度99.5％的叔丁醇按重量比1∶1的比例混合，將該混合物200g裝入一個蒸餾瓶中，利用理論塔板數為30的精餾塔在常壓下進行蒸餾。由這種蒸餾操作獲得了在350～355K共沸的餾分。使用由該共沸餾分組成的組合物作為洗滌劑。將上述共沸餾分用氣體色譜法分析，根據獲得的峰面積來定量實際的配合比，結果是六甲基二矽氧烷47重量％、叔丁醇53重量％。應說明，氣相色譜分析的條件與實施例115的相同。在表31中分別示出了上述實施例121的洗滌劑、作為其起始成分的六甲基二矽氧烷和叔丁醇的表面張力(298K)和KB值。表31另外，作為與本發明比較的比較例，分別準備了使用三氯乙烷的洗滌劑(比較例35)、使用異丙醇的洗滌劑(比較例36)、使用甲醇的洗滌劑(比較例37)和使用乙醇的洗滌劑(比較例38)。使用上述實施例121和比較例35～38的各種洗滌劑，按照以下條件評價其洗淨性和乾燥性等。作為被洗淨物準備的玻璃透鏡、聚碳酸酯(PC)和鋁，在其上面造成汙染，也就是在玻璃透鏡和聚碳酸酯上塗布芯盒油，在鋁上塗布切削油，按照以下的步驟將它們洗滌。首先，在裝有實施例121的洗滌劑的第1洗滌槽中在照射超聲波的條件下脫脂，然後在裝有同一組成洗滌劑的第2洗滌槽中再次在照射超聲波的條件下脫脂，接著在裝有同一組成洗滌劑的第3洗滌槽中在照射超聲波的條件下進行漂洗，最後使用323K以下的溫風進行乾燥。另外，對於比較例35和比較例36中的各種洗滌劑，分別進行了同樣的洗滌操作。為了評價上述洗滌工序後的精加工狀態，進行外觀觀察和對汙染物塗布前和洗滌後的接觸角進行測定。將這些結果示於表32中。表32*○＝洗淨性良好；×＝有乾燥汙斑。從表32可以看出，使用實施例121的洗滌劑可以獲得比使用現有技術的三氯乙烷(比較例35)和異丙醇(比較例36)更優良的洗淨效果。在鋼板上塗布錠子油，然後在423K的加熱爐中焙燒48小時，製成試驗片，將這些試驗片作為被洗滌物。將該試驗片按以下所示步驟洗滌。首先，在裝有實施例121的洗滌劑的第1洗滌槽中一邊照射超聲波，一邊在室溫下洗滌，然後在裝有同一組成洗滌劑的第2洗滌槽中一邊照射超聲波，一邊在室溫漂洗，最後在裝有同一組成洗滌劑的第3洗滌槽中將洗滌劑加熱沸騰，使被洗滌物暴露在產生的蒸氣中以將其乾燥。另外，對於比較例37和比較例38的各種洗滌劑也同樣地分別進行洗滌。為了評價上述洗滌工序後的精加工狀態，進行外觀觀察和對殘留油分量的測定。為了對殘留油分量進行定量，在洗滌後用300ml四氯化碳提取殘留的油分，然後用堀場油分濃度計OCMA-220進行定量。將這些結果示於表33中。表33實施例121比較例37比較例38參考(未洗滌)外觀◎△△-殘留油分量(mg/cm2)0.120.560.413.22*◎＝無汙染物殘留；△＝有汙染物殘留。將10片尺寸70×70×1mm的玻璃板裝入網筐中，使用由月桂酸鈉5重量％、聚氧乙烯辛基苯基醚5重量％和水90重量％組成的洗滌劑洗滌後，採用自來水漂洗，再用純水進行漂洗。分別使用實施例121的洗滌劑、比較例37的洗滌劑和比較例38的洗滌劑各1000ml，對經過上述漂洗後的玻璃板分別進行除水洗滌後，將其從各洗滌劑中取出，在常溫下風乾。在將上述玻璃板100片分別進行除水洗滌時，進行對各洗滌劑的觀察，測定溶解入各洗滌劑中的水分量，並對玻璃板的洗滌質量(外觀)進行觀察。使用卡爾-費歇水分計來測定水分含量。這些結果示於表34中。表34實施例121比較例37比較例38洗滌劑的狀態水沉降分離無特別變化無特別變化水分量(％)0.352.42.7玻璃的外觀良好端部有汙斑端部有汙斑從表34可以看出，使用實施例121的洗滌劑，水分的混入量少，並且能夠防止汙斑的產生。實施例122首先，將一種氣相色譜純度為99.5％的六甲基二矽氧烷與氣相色譜純度為99.5％的乙酸異丙酯按重量比1∶1的比例混合，將此混合物200g裝入蒸餾瓶中，利用理論塔板數為30的精餾塔在常壓下進行蒸餾。按照這種蒸餾操作，獲得了在353～358K共沸的餾分。使用這種共沸餾分的組合物作為洗滌劑。使用氣相色譜法對上述共沸餾分進行分析，根據獲得的峰面積比來定量實際的配合比例，其結果為六甲基二矽氧烷43重量％、乙酸異丙酯57重量％。應說明，氣相色譜法的條件同上。表35中示出上述實施例122的洗滌劑，作為其起始成分的六甲基二矽氧烷和乙酸異丙酯的表面張力(298K)和KB值。表35使用上述實施例122的洗滌劑，與實施例121同樣地評價其洗淨性和乾燥性。使用實施例122的洗滌劑，對玻璃透鏡、聚碳酸酯(PC)和鋁進行洗滌，然後按照與實施例121洗淨評價1相同的條件評價其精加工狀態。所獲的外觀觀察結果以及在汙染物塗布前和洗滌後對接觸角的測定結果示於表36中。另外，比較例35、36各洗滌劑的結果也一起示於表36中以供參考。表36*○＝洗淨性良好；×＝有乾燥汙斑。從表36可以看出，使用實施例122的洗滌劑進行洗滌，可獲得比使用現有技術的三氯乙烷(比較例35)或異丙醇(比較例36)更好的效果。使用實施例122的洗滌劑進行對試驗片(在鋼板上塗布錠子油、焙燒)進行洗滌，按照與實施例121的洗滌評價2相同的條件評價其精加工性。所獲的外觀觀察結果與殘留油分量的測定結果示於表37中。另外，使用比較例37、38各種洗滌劑獲得的結果也一起示於表37中以供參考。表37*◎＝無汙染物殘留；△＝有汙染物殘留。使用實施例122的洗滌劑進行對玻璃板進行除水洗滌，然後按照與實施例121的洗淨評價3相同的條件觀察洗滌劑的狀態、各洗滌劑中水分量的測定結果以及玻璃板的洗滌質量(外觀)的觀察結果，將這些結果示於表38中。另外，使用比較例37、38的各種洗滌劑獲得的結果也一起示於表38中以供參考。表38從表38可以看出，使用實施例122的洗滌劑，水分的混入量少，並且能夠防止汙斑的產生。如上所述，本發明的共沸組合物和擬共沸組合物不會引起臭氧層的破壞或塑料的劣化，對於各種汙染物具有很好的洗淨性和優良的洗滌質量，而且其乾燥速度快，能極力地抑制使用中和再生中的組成變化，並且能夠抑制水分的混入。因此，使用由這樣的共沸組合物或擬共沸組合物組成的本發明的洗滌劑，不會引起臭氧層的破壞或塑料的劣化，在進行脫脂洗滌、除水洗滌、蒸氣洗滌等各種洗滌時不會產生汙斑或生鏽等，而且在從洗滌開始至乾燥的全過程中能用一種溶液實現。另外，由於能極力地抑制組成的變化，因此溶液的管理容易，同時可以容易地回收和使用。實施例123下面參照附圖來說明涉及本發明第1洗滌裝置的實施例。圖5表示本發明一個實施例的洗滌裝置的構成圖。該圖中所示的洗滌裝置大體上由洗滌工序A、漂洗工序B和乾燥工序C構成主要部分(裝置本體)。另外附屬的設備有蒸餾再生機構D、組成控制機構E、預防的安全機構F和滅火機構G。另外，操作可燃性溶劑的工序，也就是洗滌工序A、漂洗工序B和乾燥工序C，除了用於讓洗滌對象物501出入的部分外，其他部分設置成被一個罩子502覆蓋著的結構，同時在允許洗滌對象物501出入的部分分別設置一個密閉門503，從而能使洗滌工序A、漂洗工序B和乾燥工序C都配置在密閉的空間內。在洗滌工序A的洗滌槽511中，按所需量裝有由烴系溶劑組成的洗滌劑512，洗滌時，將洗滌對象物501浸漬在烴系洗滌劑512中，從而除去附著在洗滌對象物501上的汙染物成分。在該洗滌工序A中洗滌槽511的數目可根據汙染物的種類和量，以及對洗滌時間或洗滌質量等的要求來設定，它可以是單槽或多槽。該實施例的洗滌裝置具有2個洗滌槽511、511，另外，使用ナフテゾ-ルM(商品名，日本石油化學(株)制)作為烴系洗滌劑512。另外，根據需要，可以在洗滌槽511的底部設置超聲波發生裝置513。在漂洗工序B的漂洗槽521中，按預定量裝入漂洗用混合洗滌劑522，該混合洗滌劑522是由例如屬於低分子矽氧烷化合物的六甲基二矽氧烷與屬於惰性氟代烴類的全氟代烴PF5060(沸點＝329K；商品名，住友3M社制)混合而成。在該實施例中，使用一種按30重量份具有閃點的六甲基二矽氧烷和70重量份全氟代烴PF5060的比例配合而成的漂洗用混合洗滌劑522，由於在該混合洗滌劑522中使用了全氟代烴，因此可以確保不燃性或難燃性。將洗滌後的洗滌對象物501浸漬於上述的漂洗用混合洗滌劑522中，使附著在洗滌對象物501上的汙染物成分除去。洗滌工序B中的洗滌槽521的數目可以與洗滌工序A同樣地根據洗滌時間和洗滌質量等要求來設定，它可以是單槽，也可以是多槽。該實施例的洗滌裝置具有2個漂洗槽521、521，在這兩個漂洗槽521、521之間，連接有溢流管524。另外，根據需要，可以在漂洗槽521的底部設置超聲波發生裝置523。乾燥工序C的蒸氣洗滌槽531中，填充有一種與上述漂洗用混合洗滌劑具有相同組成的蒸氣洗滌用混合洗滌劑532，利用加熱器533來使蒸氣洗滌用混合洗滌劑532升溫氣化，從而產生蒸氣532a。然後將漂洗後的洗滌對象物501置於蒸氣洗滌用混合洗滌劑532的蒸氣532a中暴露預定的時間，由於蒸氣洗滌劑532的蒸氣532a冷凝在洗滌對象物501的表面上而將漂洗用混合洗滌劑522除去，同時，把由於冷凝潛熱而被加熱升溫的洗滌對象物501從蒸氣洗滌槽531中提起，它在提起的過程中，在為防止蒸氣532a的揮散而設置的冷卻管534構成的冷卻區中停一段時間，以使得在冷卻的同時，完全除去洗滌對象物501表面上的殘留液而達到乾燥。另外，在蒸氣洗滌槽53l中設置有一個在圖中沒有示出的液面計，以便於監視由於揮發等原因所引起的蒸氣洗滌用混合洗滌劑532的減少量。於是，當蒸氣洗滌用混合洗滌劑532減少到一定量以下時就會發出例如警報等訊號。在漂洗槽521和蒸氣洗滌槽531的上部內壁面上，如上所述分別設置有冷卻管534、534，因此可使漂洗用混合洗滌劑522和蒸氣洗滌用混合洗滌劑532的蒸氣冷凝而液化，從而能夠防止這些蒸氣散逸到漂洗槽521和蒸氣洗滌槽531以及洗滌裝置的外部。伴隨著蒸氣乾燥的同時，汙染物成分或烴系洗滌劑512經附著在洗滌對象物501上的漂洗用混合洗滌劑522而被帶入蒸氣洗滌槽531內的蒸氣洗滌用混合洗滌劑532中。由於這些汙染物成分或烴系洗滌劑512積蓄在蒸氣洗滌槽531內，從而對蒸氣532a的發生產生不良的影響，為此，可以通過溢流配管541將它們與蒸氣洗滌用混合洗滌劑532一起送往蒸餾再生機構D。另外，附著在洗滌對象物501上的烴系洗滌劑512被帶入漂洗槽521中，從而汙染了漂洗用混合洗滌劑522並在其中積累。為此，同樣地通過溢流配管542將漂洗槽521內的漂洗用混合洗滌劑522送往蒸餾再生機構D中。蒸餾再生機構D從漂洗槽521和蒸氣洗滌槽531中回收為汙染物成分和烴系洗滌劑512汙染的漂洗用混合洗滌劑522和蒸氣洗滌用混合洗滌劑532(它們為同一組成的混合洗滌劑)，通過蒸餾器543而進行蒸餾再生。由蒸餾器543氣化的液體通過配管544而被送往蒸氣洗滌槽531，重新作為蒸氣532a利用。蒸餾後產生的殘渣，通過配管545而被排出到系統外。另外，通過設置在蒸氣洗滌槽531的上部內壁面上的冷卻管534的作用而被冷凝並因此被精製的蒸氣漂洗用混合洗滌劑532通過配管535而返回流入下遊側的漂洗槽521中。這樣，通過冷凝而被精製的漂洗用混合洗滌劑522與同一組成的蒸氣洗滌用混合洗滌劑532一起被導入漂洗槽521中，從而使得在漂洗槽521內漂洗用混合洗滌劑522中的汙染物濃度維持在一定水平以下。另外，如上所述，被汙染的漂洗用混合洗滌劑522通過溢流配管542被送入蒸餾再生機構D中，因此能夠使漂洗槽521內部的物料收支保持一定。組成控制機構E的作用是使漂洗用混合洗滌劑522和蒸氣洗滌用混合洗滌劑532的組成保持一定，它由組成變化監視部分、成分調整部分和控制部分共同構成。控制部分可以根據需要採用模糊控制方式。作為組成比測定裝置的組成變化監視部分，具有用於測定蒸氣洗滌用混合洗滌劑532的沸點或露點的溫度傳感器551、552、553、554。沸點是由設置在蒸氣洗滌槽531內的蒸氣洗滌用混合洗滌劑532內的溫度傳感器551測定或由設置在蒸餾器543內的溫度傳感器552測定。另外，露點是由設置在蒸氣洗滌槽531內的蒸氣532a部分的溫度傳感器553測定，或由設置在蒸餾器543內的蒸氣部分的溫度傳感器554測定。該實施例的洗滌裝置能測定上述所有4點的溫度，即使發現其中的任何一點的溫度異常，也會發出信號並據此追加配合不足的成分。成分調整部分具有用於貯存氟代烴類(在該實施例中為全氟代烴PF5060)的貯罐555和低分子矽氧烷化合物(在該實施例中為六甲基二矽氧烷)的貯罐556，並分別設置有自動開關閥557、558。於是，根據來自上述組成變化監視部分的信號，向漂洗槽521中供給不足的成分，而控制部分則根據來自組成變化監視部分的信號，指示成分調整部分的自動開關閥557、558進行開關操作。本實施例的洗滌裝置具有上述那樣的組成控制機構E，因此可以使已賦予不燃性或難燃性的混合洗滌劑522、532的組成比保持一定。藉助於這一機構，從而能夠防止例如由於其中一種成分的消耗較多而使組成比發生變化，並因此防止失去上述不燃性或難燃性的性質。因此，可以經常安全地使用具有閃點的低分子矽氧烷化合物。在上述實施例中，作為組成比測定裝置的組成變化監視部分由用於測定蒸氣洗滌用混合洗滌劑532的沸點和露點的溫度傳感器551、552、553、554構成，但是也可以由用於測定混合洗滌劑的比重或折射率的傳感器，以及用於根據Si-O鍵的紅外吸收來測定混合洗滌劑的蒸氣中的低分子矽氧烷化合物濃度的傳感器等構成。用於測定混合洗滌劑的比重或折射率的傳感器可以設置在用於將混合洗滌劑從蒸氣洗滌槽531輸送到漂洗槽521的配管535中。另外，基於Si-O鍵的紅外吸收傳感器可以設置在例如蒸氣洗滌槽531中。使用這些傳感器，也能獲得與用於測定沸點或露點的組成變化監視部分同樣的效果。預防的安全機構F具有低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度檢測傳感器561、氧濃度檢測傳感器562、根據例如這些傳感器561、562的檢測結果而動作的惰性氣體清洗機構563、液漏檢知警報發生機構564。通過惰性氣體清洗機構563將惰性的氮氣或全氟代烴氣體等導入洗滌裝置內，將低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度稀釋，從而將該濃度維持在燃燒範圍之外。另外，也可以使惰性氣體清洗機構563經常動作，從而能夠使洗滌裝置工作期間包含有洗滌槽511、漂洗槽521和蒸氣洗滌槽531等各槽內的氣氛氣及其上部氣氛氣的裝置內部保持為用惰性氣體加壓(正壓)的狀態。預防的安全機構F，除了上述的設備外，還具有圖中沒有示出的液溫調節機構或過升溫時自動停止的機構等，另外，使用的電氣設備可採用無接點繼電器，而對於具有接點的繼電器則採取空氣清洗接點的措施，另外，對電動機類等採用耐壓防爆型。而且，設置了一個接油盤565，.以便在低分子矽氧烷化合物從洗滌槽511、漂洗槽521和蒸氣洗滌槽531的各槽洩漏時不讓液體漏出和擴大到地面上，同時由於油凝集劑566的作用而使漏出的液體固化。滅火機構G例如具有CO2自動滅火器571，在洗滌裝置內配置有用於驅動該CO2自動滅火器571的火焰傳感器572和溫度傳感器573。當火焰傳感器572和溫度傳感器573檢知有火災時，CO2滅火劑就從自動滅火器571的各個滅火噴嘴571a中噴射出來。另外，伴隨著自動滅火器571的動作，排氣管504停止通氣，同時在導管504內的擋板574和密閉門503自動地關閉，因此將外部環境的氣體隔絕，從而防止氧氣進入裝置內。由於上述那樣的預防安全機構F和滅火機構G的作用，可以預防低分子矽氧烷化合物發生火災，而且即使在萬一發生火災的情況下也能夠自動地滅火，因此可以更安全地使用低分子矽氧烷化合物。上述實施例的洗滌裝置是一個在洗滌工序B和乾燥工序C中使用低分子矽氧烷化合物的實例，但是本發明對此沒有限定，只要在洗滌工序A、漂洗工序B和乾燥工序C的任一個工序中使用低分子矽氧烷化合物即能發揮本發明的效果。另外，當只有輕度汙染的情況下，本發明可以適用於省去洗滌工序而僅包含漂洗工序和乾燥工序的洗滌裝置，或者適用於只包含洗滌、漂洗或乾燥工序的單一洗滌裝置。如上所述，使用本發明的洗滌裝置，將氟代烴類配合到具有閃點的低分子矽氧烷化合物中即能向其賦予不燃性或難燃性，同時，通過控制該組成比而能防止不燃性或難燃性的損失，因此能夠安全並且有效地使用含有低分子矽氧烷化合物的洗滌劑。實施例124下面參照涉及本發明的第2～第4洗滌裝置的實施例。圖6示出本發明一個實施例的洗滌裝置的構成。在該圖中示出的洗滌裝置大體上具有作為主要部分的洗滌工序A、漂洗工序B和乾燥工序C。除此之外，還附屬設置有預防的安全機構D、滅火機構E和蒸餾再生機構F。另外，凡是操作可燃性的低分子矽氧烷化合物的工序，也就是洗滌工序A、漂洗工序B和乾燥工序C，全體都被一個罩子601覆蓋著而成為密封的結構，另外，在洗滌對象物602出入的部分設置二重門603、604，從而使得操作可燃性低分子矽氧烷化合物的工序成為氣密性結構。在洗滌工序A的洗滌槽611中，按所需量裝入以屬於低分子矽氧烷化合物的例如八甲基環四矽氧烷作為主成分的聚矽氧烷系洗滌劑612，通過將洗滌對象物602浸漬在聚矽氧烷系洗滌劑612中而將附著在洗滌對象物602上的汙染物成分除去。在洗滌工序A中洗滌槽611的數目可以根據汙染物的種類或數量以及對洗滌時間或洗滌質量等的要求來設定，它可以是單槽，也可以是多槽。另外，根據需要，可以在洗滌槽611的底部設置超聲波發生裝置613。在漂洗工序B的漂洗槽621中按所需量裝入屬於低分子矽氧烷化合物的例如八甲基環四矽氧烷單獨的聚矽氧烷系洗滌劑622，將洗滌後的洗滌對象物602浸漬在聚矽氧烷系漂洗洗滌劑622中，從而使附著在洗滌對象物602上的洗滌劑成分除去。在漂洗工序B中洗滌槽621的數目與洗滌工序A同樣地可根據洗滌時間和洗滌質量的要求等設定，它可以是單槽，也可以是多槽。另外，根據需要，可以在漂洗槽621的底部設置超聲波發生裝置623。在洗滌槽611和漂洗槽621中，作為預防安全機構D的一部分，分別將液溫傳感器641插入設置在聚矽氧烷系洗滌劑612和聚矽氧烷系漂洗洗滌劑622中。於是，根據這些液溫傳感器641的測定結果，通過圖中沒有示出的液溫調整機構而使聚矽氧烷系洗滌劑612和聚矽氧烷系漂洗用洗滌劑622經常地保持在其閃點以下的溫度。另外，聚矽氧烷系洗滌劑612和聚矽氧烷系漂洗洗滌劑622分別通過過濾器614、624並藉助於電動機615、625進行循環。乾燥工序C的蒸氣洗滌槽631中裝入由屬於低分子矽氧烷化合物的例如六甲基二矽氧烷組成的蒸氣洗滌劑632，利用加熱器633來使蒸氣洗滌劑632升溫氣化，從而產生蒸氣洗滌劑632的蒸氣632a。然後將漂洗後的洗滌對象物602置於蒸氣洗滌劑632的蒸氣632a中暴露預定的時間，由於蒸氣洗滌劑632的蒸氣632a冷凝在洗滌對象物602的表面上而將聚矽氧烷系漂洗洗滌劑622除去，同時由於冷凝潛熱而將洗滌對象物602加熱升溫而使其乾燥。在洗滌槽611、漂洗槽621和蒸氣洗滌槽631的上部內壁面上分別設置有冷卻管616、626、634，藉此使低分子矽氧烷化合物的蒸氣冷卻液化，從而能防止這些蒸氣散逸到洗滌裝置的外部。預防的安全機構D具有一個惰性氣體清掃機構642，它能通過噴入惰性氟代烴氣體，例如全氟代烴C4F10氣體而使得包含洗滌槽611、漂洗槽621和蒸氣洗滌槽631的各槽內的氣氛氣及其上部的氣氛氣的裝置內成為加壓狀態，並且能使裝置內氣氛氣處於低分子矽氧烷化合物燃燒界限之外，而且還能隔絕氧氣進入該裝置內。另外，伴隨著惰性氣體清洗機構642的動作，二重門603、604二者也一起關閉，從而阻斷了外部的氣氛氣，防止氧氣進入裝置內。另外，預防的安全機構D具有低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度傳感器643和氧氣濃度傳感器644，這兩個傳感器與惰性氣體清掃機構642的控制部645相連接。當低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度和氧氣濃度超出控制範圍時，控制部645發出警報蜂鳴，並同時由惰性氣體清掃機構642增大清洗供氣量，從而能使低分子矽氧烷化合物的蒸氣處於燃燒界限之外。依靠這些裝置即能使裝置內低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度維持在燃燒範圍之外。利用這樣的預防安全機構D可以安全地使用聚矽氧烷系洗滌劑612、聚矽氧烷系漂洗洗滌劑622和聚矽氧烷系蒸氣洗滌劑632。另外，低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度傳感器643可採用測定由於低分子矽氧烷化合物中Si-O鍵引起的紅外吸收的傳感器，因此能高靈敏度地檢測出低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度，從而能夠更可靠地確保其安全性。預防的安全機構D，除了上述的設備外，還具有過升溫時的自動停止機構、漏液檢知警報發生機構646等，而且所用的電器設備採用無接點的繼電器，對於具有接點的繼電器採取以空氣清洗接點的措施，另外，對電動機類等採用耐壓防爆型的產品。另外，設置接油盤647，以便在低分子矽氧烷化合物從洗滌槽611、漂洗槽621和蒸氣洗滌槽631的各槽漏出時，保證液體不會漏出擴大到地面上，並且因油凝集劑648的作用而使漏出的液體固化。另外，也可以使用不燃性或難燃性的氟代烴類代替油凝集劑648作為低分子矽氧烷化合物的吸收劑。另外，在預防的安全機構D中，也可以不用上述的惰性氣體清洗機構642，或者在合併使用惰性氣體清洗機構642的同時，例如圖7所示那樣，使洗滌槽611、漂洗槽621和蒸氣洗滌槽631等各槽成為可密閉的槽649，同時設置密閉槽649的升降機構，除了在洗滌對象物602出入時之外，密閉槽649均浸漬於不燃性或難燃性的氟代烴類，例如氫氟烴C5H2F10的液體650中。由於採用了這樣的結構，因此可以安全地使用聚矽氧烷系洗滌劑612、聚矽氧烷系漂洗洗滌劑622和聚矽氧烷系蒸汽洗滌劑632，而且，在萬一發生漏液時，也能確保使低分子矽氧烷化合物被氟代烴液體650吸收，從而確保了安全性。另外，由於將氟代烴液體650的上部結構製成密封結構，因此可以進一步地提高其安全性。進而，也可象例如圖8所示那樣，將洗滌槽611、漂洗槽621和蒸氣洗滌槽631的各槽製成雙重結構的型式，並在外槽651與各槽611、621、631之間充入由不燃性或難燃性的氟代烴類組成的填充劑652。由於採取了這種措施，即使萬一發生漏液事故，也能使低分子矽氧烷化合物被由氟代烴類組成的填充劑652吸收，從而能確保安全性。滅火機構E具有使用不燃性或難燃性的氟代烴類，例如氟碘烴CF2I2作為滅火劑的自動滅火器661。另外，為了驅動自動滅火器661，在裝置內配置有火焰傳感器662、溫度傳感器663和壓力傳感器664。當火焰傳感器662、溫度傳感器663和壓力傳感器664檢知發生火災時，就立即從自動滅火器661的各個滅火噴嘴661a中噴出由氟碘烴CF2I2組成的滅火劑。作為滅火劑，例如可以使用氟碘烴CF2I2的液體本身。另外，伴隨著自動滅火器661的動作，雙重門603、604二者也同時關閉，因此隔絕了外部的氣氛氣並因此阻止氧氣進入裝置內，從而能更進一步地提高了滅火效果。利用上述那樣的滅火機構E，即使在低分子矽氧烷化合物萬一發生火災時也能有效地滅火，因此可以安全地使用聚矽氧烷洗滌劑612、聚矽氧烷系漂洗洗滌劑622和聚矽氧烷系蒸氣洗滌劑632。可是，由於附著在洗滌對象物602上的聚矽氧烷系漂洗劑622被帶入蒸氣洗滌槽631中，它汙染了蒸氣洗滌劑632並在其中積蓄。因此，將蒸氣洗滌槽631中使用的聚矽氧烷系蒸氣洗滌劑632經由配管671送往蒸餾再生機構F的蒸餾器672中進行精製和淨化。經過如此再生的聚矽氧烷系蒸氣洗滌劑632經由配管673返回到蒸氣洗滌槽631中。另外，附著在洗滌對象物602上的汙染物或洗滌劑通過蒸餾分離後，經由配管674廢棄。即使在這樣的蒸餾再生機構F的各種裝置中，通過充填入不燃性或難燃性的氟代烴類等措施，也能確保安全性。應予說明，上述實施例的洗滌裝置是在洗滌工序A、漂洗工序B和乾燥工序C等各工序中使用低分子矽氧烷化合物的例子，但是本發明對此沒有限定，只要在洗滌工序A、漂洗工序B和乾燥工序C中任一個工序中使用低分子矽氧烷化合物時，即能發揮本發明的效果。另外，本發明也適用於洗滌、漂洗或乾燥的單一洗滌裝置，而且不僅在洗滌操作(搖動、攪拌、超聲波、噴霧等)工序中，而且在包含乾燥操作(熱風乾燥、離心乾燥、蒸氣乾燥、上提(引上げ)乾燥、真空乾燥等)在內的工序中均能安全而有效地使用低分子矽氧烷化合物。如上所述，利用本發明的洗滌裝置，可以安全而且容易地使用具有閃點的低分子矽氧烷化合物。例如，利用第2洗滌裝置，可以高精度地將低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度控制在燃燒範圍之外，因此可以確保安全性。另外，利用第3洗滌裝置，可以防止電火花等熱源的發生，另外，由於能夠將低分子矽氧烷化合物與氧氣隔絕，因此可以安全地實施洗滌作業。另外，利用第4洗滌裝置，即使在萬一發生火災時也能進行滅火，因此可以進一步提高其安全性。產業上利用的可能性如上所述，本發明的洗滌劑、洗滌方法和洗滌裝置可以代替氟裡昂系溶劑或含氯系溶劑等，並且作為不會引起環境破壞的洗滌劑、洗滌方法和洗滌裝置，可適用於以電子部件或精密部件等為主的許多工業製品。權利要求1.一種洗滌方法，其特徵在於，該方法具備一個使用溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑來洗滌洗滌對象物的洗滌工序；以及從使用溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑與溶解度參數不足9和介電常數不足4的洗滌劑組成的混合洗滌劑來漂洗和乾燥上述洗滌對象物的漂洗工序和乾燥工序中選擇的至少一個工序。2.如權利要求1所述的洗滌方法，其特徵在於，上述的極性洗滌劑是一種溶解度參數為9～14或介電常數為4～45的極性洗滌劑。3.如權利要求1所述的洗滌方法，其特徵在於，上述的混合洗滌劑是一種具有不燃性或難燃性的洗滌劑。4.如權利要求1所述的洗滌方法，其特徵在於，所述乾燥工序使用上述的混合洗滌劑來進行蒸氣乾燥的工序。5.如權利要求1所述的洗滌方法，其特徵在於，上述溶解度參數不足9和介電常數不足4的洗滌劑是從低分子矽氧烷類、烴類、氟代烴類、醚類和縮醛類中選擇的至少一種化合物。6.如權利要求1所述的洗滌方法，其特徵在於，上述混合洗滌劑含有0.1～30重量％的上述極性洗滌劑。7.如權利要求5所述的洗滌方法，其特徵在於，上述烴類是從脂肪族烴和脂環族烴中選擇的至少一種烴。8.如權利要求5所述的洗滌方法，其特徵在於，上述氟代烴類是一種含有由通式CtFuOCvH2v+1(式中，t、u、v表示任意的整數)表示的氟代醚的洗滌劑。9.一種洗滌方法，其特徵在於，它具備下列工序使用一種溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑來洗滌洗滌對象物的工序，以及從使用一種含有以通式CtFuOCvH2v+1(式中，t、u、v表示任意的整數)表示的氟代醚作為有效成分的的洗滌劑來漂洗和乾燥上述洗滌對象物的漂洗工序和乾燥工序中選擇的至少一個工序。10.一種洗滌方法，其特徵在於，該方法使用含有低分子矽氧烷化合物、從氟代烴類和溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑中選擇的至少一種的洗滌劑來進行從洗滌工序、漂洗工序和乾燥工序中選擇的至少一個工序。11.如權利要求10所述的洗滌方法，其特徵在於，上述的洗滌劑含有上述的低分子矽氧烷化合物、上述的氟代烴類和上述的極性洗滌劑。12.一種洗滌方法，其特徵在於，使用一種含有低分子矽氧烷化合物、氟代烴類和溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑的洗滌劑來進行洗滌工序、漂洗工序和乾燥工序。13.如權利要求11或12所述的洗滌方法，其特徵在於，上述的乾燥工序是採用熱風乾燥、自然乾燥、真空乾燥或蒸氣乾燥的方法來進行。14.一種洗滌方法，其特徵在於，將一種以低分子矽氧烷化合物和氟代烴類的混合物作為主成分，而且具有不燃性或難燃性的混合洗滌劑裝入密閉容器內，然後將上述混合洗滌劑從上述密閉容器吹噴到洗滌對象物上以進行洗滌。15.一種除水乾燥方法，其特徵在於，使用一種與水具有相溶性，但是與水沒有共沸性，而且其蒸發熱在100cal/g以下的液體來給對象物進行除水乾燥。16.如權利要求15所述的除水乾燥方法，其特徵在於，其中所說的液體為三氟乙醇。17.如權利要求15所述的除水乾燥方法，其特徵在於，其中所說的液體為三氟乙醇與氟代醚的混合溶劑。18.如權利要求15所述的除水乾燥方法，其特徵在於，在該方法中，在使用三氟乙醇的單獨溶劑或者使用三氟乙醇與氟代醚的混合溶劑進行除水後，再使用氟代醚進行蒸氣乾燥。19.如權利要求15所述的除水乾燥方法，其特徵在於，在該方法中，使用三氟乙醇與氟代醚的共沸組合物進行蒸氣乾燥。20.如權利要求15所述的除水乾燥方法，其特徵在於，在該方法中，使用低分子矽氧烷化合物進行蒸氣乾燥。21.如權利要求5、10、12、14或20所述的洗滌方法，其特徵在於，在該方法中，上述的低分子矽氧烷化合物是從由通式(式中，R可以相同或不同地表示取代或非取代的1價有機基團，1表示0～5的整數)表示的直鏈狀聚有機矽氧烷及其衍生物，以及由通式(式中，R可以相同或不同地表示取代或非取代的1價有機基團，m表示3～7的整數)表示的環狀聚有機矽氧烷及其衍生物中選擇的至少一種低分子聚有機矽氧烷類。22.如權利要求5、10、12或14所述的洗滌方法，其特徵在於，上述的氟代烴類是從全氟代烴類、氫氟烴類、氫氯氟烴類、氟碘烴類和氟代醇類中選擇的至少一種。23.如權利要求1、9、10或12所述的洗滌方法，其特徵在於，其中所說的極性洗滌劑含有從醇類、二醇類、酚類、酮類、脂肪酸和酸酐類、酯類、胺類、醯胺類、季銨鹽類、腈類、嗎啉類、亞碸類、磺內酯類、磷酸類以及這些化合物的衍生物類、N-甲基-2-吡咯烷酮中選擇的至少一種成分。24.一種洗滌劑，其特徵在於，其中含有從低分子矽氧烷化合物、氟代烴類和溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑中選擇的至少2種物質。25.一種洗滌劑，其特徵在於，其中含有低分子矽氧烷化合物、從氟代烴類和溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑中選擇的至少1種物質。26.如權利要求24或25所述的洗滌劑，其特徵在於，其中含有上述低分子矽氧烷化合物、上述氟代烴類和上述極性洗滌劑。27.如權利要求24至26中任一項所述的洗滌劑，其特徵在於，其中所說含有上述氟代烴類、上述低分子矽氧烷化合物和上述極性洗滌劑的洗滌劑是一種具有不燃性或難燃性的洗滌劑。28.如權利要求24或25所述的洗滌劑，其特徵在於，其中所說含有上述氟代烴類、上述低分子矽氧烷化合物和上述極性洗滌劑的洗滌劑是一種共沸或擬共沸組合物。29.如權利要求24或25所述的洗滌劑，其特徵在於，其中所說氟代烴類是從全氟代烴類、氫氟烴類、氫氯氟烴類、氟碘烴類和氟代醇類、氟代醚類中選擇的至少一種。30.如權利要求24或25所述的洗滌劑，其特徵在於，其中所說低分子矽氧烷化合物是從由通式(式中，R可以相同或不同地表示取代或非取代的1價有機基團，1表示0～5的整數)表示的直鏈狀聚有機矽氧烷及其衍生物，以及由通式(式中，R可以相同或不同地表示取代或非取代的1價有機基團，m表示3～7的整數)表示的環狀聚有機矽氧烷及其衍生物中選擇的至少一種低分子聚有機矽氧烷類。31.如權利要求24或25所述的洗滌劑，其特徵在於，其中所說極性洗滌劑含有從醇類、二醇類、酚類、酮類、脂肪酸和酸酐類、酯類、胺類、醯胺類、季銨鹽類、腈類、嗎啉類、亞碸類、磺內酯類、磷酸類、以及這些化合物的衍生物類、N-甲基-2-吡咯烷酮中選擇的至少一種成分。32.如權利要求24或25所述的洗滌劑，其特徵在於，其中所說的氟代烴類相對於上述低分子矽氧烷化合物100重量份，按照10～10000重量份的範圍配合，而且上述的極性洗滌劑相對於洗滌劑的總量，其含量在0.1～30重量％的範圍內。33.如權利要求24或25所述的洗滌劑，其特徵在於，其中所說的氟代烴類是從全氟己烷、全氟庚烷和全氟嗎啉中選擇的至少一種全氟代烴；上述的低分子矽氧烷化合物是六甲基二矽氧烷；上述的極性洗滌劑是從叔丁醇和乙酸異丙酯中選擇的至少1種極性洗滌劑。34.如權利要求33所述的洗滌劑，其特徵在於，含有由上述全氟代烴、上述六甲基二矽氧烷和上述極性洗滌劑組成的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分。35.如權利要求33所述的洗滌劑，其特徵在於，其中含有由上述六甲基二矽氧烷和上述極性洗滌劑組成的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分。36.如權利要求33所述的洗滌劑，其特徵在於，其中含有由上述全氟己烷和全氟嗎啉中選擇的至少一種全氟代烴60～96重量％、上述六甲基二矽氧烷2～20重量％和上述極性洗滌劑2～20重量％組成的組合物作為有效成分。37.如權利要求33所述的洗滌劑，其特徵在於，其中所說的全氟嗎啉是全氟烷基嗎啉。38.如權利要求37所述的洗滌劑，其特徵在於，其中所說的全氟烷基嗎啉是全氟-N-甲基嗎啉。39.如權利要求33所述的洗滌劑，其特徵在於，其中含有由上述全氟庚烷50～90重量％、上述六甲基二矽氧烷5～25重量％、上述極性洗滌劑5～25重量％構成的組合物作為有效成分。40.如權利要求33所述的洗滌劑，其特徵在於，其中含有由上述六甲基二矽氧烷44～50重量％和上述叔丁醇50～56重量％構成的組合物作為有效成分。41.如權利要求33所述的洗滌劑，其特徵在於，其中含有由上述六甲基二矽氧烷40～46重量％和上述乙酸異丙酯54～60重量％構成的組合物作為有效成分。42.如權利要求24或25所述的洗滌劑，其特徵在於，其中含有由上述氟代烴類和上述溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑構成的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分。43.如權利要求24或25所述的洗滌劑，其特徵在於，其中含有由上述氟代烴類和上述低分子矽氧烷化合物構成的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分。44.如權利要求43所述的洗滌劑，其特徵在於，上述的氟代烴類是從全氟代烴類、氫氟烴類、氫氯氟烴類、氟碘烴類和氟代醇類、氟代醚類中選擇的至少1種氟代烴類；上述的低分子矽氧烷化合物是從六甲基二矽氧烷、八甲基三矽氧烷、八甲基環四矽氧烷中選擇的至少一種低分子矽氧烷化合物。45.一種共沸組合物或擬共沸組合物，它由從全氟己烷、全氟庚烷和全氟嗎啉中選擇的至少一種全氟代烴、六甲基二矽氧烷、叔丁醇或乙酸異丙酯構成。46.一種共沸組合物或擬共沸組合物，它由六甲基二矽氧烷、叔丁醇或乙酸異丙酯構成。47.一種共沸組合物或擬共沸組合物，它由氟代醚、溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑組成。48.一種洗滌裝置，其特徵在於，它具備洗滌裝置本體和組成控制機構，其中，所說洗滌裝置本體使用一種由含有低分子矽氧烷化合物的洗滌劑與不燃性或難燃性的氟代烴類混合而成的混合洗滌劑來實施對洗滌對象物的洗滌、漂洗和蒸氣乾燥工序中的至少一個工序；所說組成控制機構控制上述混合洗滌劑中的上述低分子矽氧烷化合物與氟代烴類的組成比。49.如權利要求48所述的洗滌裝置，其特徵在於，其中所說的組成控制機構具有用於測定上述混合洗滌劑中的上述低分子矽氧烷化合物和氟代烴類的組成比的測定裝置，以及根據上述組成比測定裝置的測定結果向上述混合洗滌劑中供給上述低分子矽氧烷化合物或上述氟代烴類的裝置。50.如權利要求48所述的洗滌裝置，其特徵在於，其中所說的組成比測定裝置具有用於測定上述混合洗滌劑的比重、折射率、沸點和露點中的至少一種參數的測定設備。51.如權利要求48所述的洗滌裝置，其特徵在於，其中所說的組成比測定裝置具有根據上述低分子矽氧烷化合物中的Si-O鍵的紅外吸收來測定上述混合洗滌劑的蒸氣中上述低分子矽氧烷化合物濃度的測定設備。52.一種洗滌裝置，它是一種使用含有低分子矽氧烷化合物的洗滌劑的洗滌裝置，其特徵在於，它具備一種根據上述低分子矽氧烷化合物中的Si-鍵的紅外吸收來測定由上述洗滌劑產生的上述低分子矽氧烷化合物的蒸氣濃度的設備。53.如權利要求52所述的洗滌裝置，其特徵在於，它還具備上述洗滌劑的溫度調節設備。54.一種洗滌裝置，它是一種使用含有低分子矽氧烷化合物的洗滌劑的洗滌裝置，其特徵在於，在上述洗滌裝置的內部、上述洗滌裝置的周圍、構成上述洗滌裝置的裝置內部和上述構成裝置的周圍中的至少一處填充或者配置不燃性或難燃性的氟代烴類的氣體或液體。55.一種洗滌裝置，它是一種使用含有低分子矽氧烷化合物的洗滌劑的洗滌裝置，其特徵在於，它具備一種向上述洗滌裝置的至少一部分噴射一種由不燃性或難燃性的氟代烴類的氣體或液體組成的滅火劑的噴射裝置。56.如權利要求55所述的洗滌裝置，其特徵在於，該洗滌裝置還具備驅動上述滅火劑噴射設備的火焰檢測設備、溫度檢測設備和壓力檢測設備中的至少一種設備。57.如權利要求48、52、54或55所述的洗滌裝置，其特徵在於，其中所說的低分子矽氧烷化合物是從由通式(式中，R可以相同或不同地表示取代或非取代的1價有機基團，1表示0～5的整數)表示的直鏈狀聚有機矽氧烷及其衍生物，以及由通式(式中，R可以相同或不同地表示取代或非取代的1價有機基團，m表示3～7的整數)表示的環狀聚有機矽氧烷及其衍生物中選擇的至少一種低分子聚有機矽氧烷類。58.如權利要求48、54或55所述的洗滌裝置，其特徵在於，其中所說的不燃性或難燃性的氟代烴類是從全氟代烴類、氫氟烴類、氫氯氟烴類、氟碘烴類和氟代醇類中選擇的至少一種氟代烴類。59.一種除水乾燥裝置，其特徵在於，其中具有一種使用與水具有互溶性，但是與水沒有共沸性，而且其蒸發熱在100cal/g以下的液體的除水乾燥設備。60.如權利要求59的所述的除水乾燥裝置，其特徵在於，其中所說的液體是三氟乙醇。61.如權利要求59或60的所述的除水乾燥裝置，其特徵在於，其中還具有用於經常地或斷續地從上述液體中除去混入的水的設備。全文摘要本發明涉及一種可以取代氟裡昂系溶劑或含氯系溶劑等的洗滌劑、洗滌方法和洗滌裝置。特別是涉及一種在洗滌印刷線路板或實裝部件等電子部件或金屬部件等時,能夠獲得與使用氟裡昂系溶劑或含氯系溶劑的洗滌方法相匹敵的對各種汙染物的除去性和乾燥性的洗滌方法、洗滌劑和洗滌裝置。作為洗滌劑的有溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑或者由溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑與溶解度參數不足9和介電常數不足4的洗滌劑形成的混合洗滌劑、以含有低分子矽氧烷化合物的共沸組合物或擬共沸組合物作為有效成分的洗滌劑。另外,作為洗滌方法的特徵是,它具備下列工序,即:使用溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑來洗滌洗滌對象物的工序;使用溶解度參數在9以上或介電常數在4以上的極性洗滌劑與溶解度參數不足9和介電常數不足4的洗滌劑的混合洗滌劑來對上述洗滌對象物進行漂洗工序和乾燥工序中的至少一個工序。文檔編號C11D7/28GK1170374SQ95196867公開日1998年1月14日申請日期1995年10月19日優先權日1994年10月19日發明者熊谷勝,下澤宏,小國尚之,稻田實,齊藤信宏,山藤茂夫,清水千之,梅原一紀申請人:株式會社東芝,東芝矽株式會社