一種新型提拉頭的晶轉結構的製作方法

2023-06-07 01:08:16

專利名稱：一種新型提拉頭的晶轉結構的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及單晶爐的零部件，尤其涉及一種提拉頭的晶轉結構。
背景技術：
單晶爐是單晶體的生長設備，按照晶體生長方法可分為提拉法單晶爐、坩堝下降法單晶爐和區熔法單晶爐，其中提拉法單晶爐是目前晶體生長方法中最為常用的一種方法。提拉頭是提拉法單晶爐最為重要的組成部分，安裝在單晶爐上爐筒的頂端，主要實現高低速籽晶升降與旋轉功能。現有提拉頭的晶轉結構，如圖1所示，包括籽晶腔1'、籽晶升降動力源2'、晶轉電機3'、同步皮帶輪4'、同步皮帶輪5'、同步皮帶6'、晶轉磁流體7' 和晶轉主軸8'，晶轉磁流體7'安裝在單晶爐的付室平板9'上，籽晶腔1'設於晶轉磁流體7'的上方，晶轉主軸8'的一端固定在籽晶腔的底部、另一端穿過晶轉磁流體7'至付室平板9'內，且晶轉主軸8'的另一端通過軸承10'安裝在晶轉磁流體7'內，籽晶腔1' 內設有供籽晶繩卷繞的籽晶升降卷揚器，籽晶升降動力源2'與籽晶升降卷揚器電連接，且籽晶腔1'與晶轉主軸8'相連接的一側面上向外凸設有與晶轉主軸8相垂直設置的安裝塊11'，晶轉電機3'安裝在提拉頭上，同步皮帶輪4'固裝在晶轉電機3'的輸出軸上，同步皮帶輪5'固定在晶轉主軸8'上，並處於籽晶腔1與晶轉磁流體7'之間，同步皮帶6' 繞設在同步皮帶輪4'和同步皮帶輪5'上。使用時，若開啟晶轉電機3'，晶轉電機3'可帶動同步皮帶輪4'轉動，同步皮帶輪4'的轉動可帶動同步皮帶輪5'轉動，同步皮帶輪 5'的轉動可使晶轉主軸8'作旋轉運動，晶轉主軸8'的旋轉運動可使籽晶腔Γ作旋轉運動，從而實現籽晶腔1'內的籽晶繩作旋轉運動；若開啟籽晶升降動力源2'，籽晶升降動力源2'給籽晶腔1'內的籽晶升降卷揚器提供電源，籽晶升降卷揚器開始工作，籽晶升降卷揚器的轉動可使卷繞在籽晶升降卷揚器上的籽晶繩作上下升降運動。現有這種提拉頭的晶轉結構，由於籽晶升降動力源2'是模塊式組合結構，其存在體積大，重量重的缺點，使籽晶升降動力源2'的重心嚴重偏離晶轉主軸8'，這樣籽晶腔 1'在作旋轉運動時易產生晶轉離心力；然而，現有的提拉頭的晶轉結構，其籽晶腔1'的底部具有晶轉磁流體7'進行支撐，籽晶腔1'的頂部無支撐結構，則籽晶腔1'在作旋轉運動時產生的晶轉離心力較大，使籽晶腔1在作旋轉運動的同時會發生振動，從而影響單晶體的生長質量。

實用新型內容本實用新型的目的是提供一種新型提拉頭的晶轉結構，避免了籽晶腔在作旋轉運動的同時會發生振動的現象。本實用新型的技術方案是這樣的一種新型提拉頭的晶轉結構，包括籽晶腔、籽晶升降動力源、晶轉主軸、晶轉電機及傳動機構，該晶轉主軸安裝在籽晶腔的底部，該籽晶腔內設有籽晶升降卷揚器，籽晶升降動力源與該籽晶升降卷揚器電連接，籽晶腔的底部設有與晶轉主軸相垂直設置的安裝塊，該籽晶升降動力源安裝在此安裝塊上；還包括有上支撐板和連接柱，上述上支撐板設於單晶爐的付室平板的上方，且上述連接柱的一端固定在上 述上支撐板上，上述連接柱的另一端固定在單晶爐的付室平板上，上述上支撐板、上述連接 柱與單晶爐的付室平板形成有供上述籽晶腔和上述籽晶升降動カ源放置的腔室，上述晶轉 主軸的自由端活動嵌裝在單晶爐的付室平板內，上述籽晶腔上設有與上述晶轉主軸相對立 設置的上支撐軸，上述上支撐軸活動嵌裝在上述上支撐板內，且上述上支撐軸的自由端伸 出上述上支撐板外與傳動機構的輸出端連接，上述傳動機構的輸入端與上述晶轉電機的輸 出軸連接，上述晶轉電機安裝在提拉頭上並處於上述腔室外。上述上支撐板上開設有供上述上支撐軸嵌入安裝的上安裝孔，上述上支撐軸通過 上軸承安裝在此上安裝孔內，單晶爐的付室平板上開設有供上述晶轉主軸嵌入安裝的下安 裝孔，上述晶轉主軸通過下軸承安裝在此下安裝孔內。上述連接柱為圓柱體。上述傳動機構包括輸出齒輪和傳動齒輪，上述輸出齒輪安裝在上述晶轉電機的輸 出軸上，上述傳動齒輪安裝在上述上支撐軸的自由端上，且上述傳動齒輪與上述輸出齒輪 相嚙合。採用上述方案後，本實用新型的ー種新型提拉頭的晶轉結構，由於籽晶腔上設有 與晶轉主軸相對立的上支撐軸，且上支撐軸嵌裝在上支撐板上，這樣，籽晶腔的頂部可由上 支撐軸支撐，而且籽晶腔的底部由晶轉主軸支撐，使籽晶腔在作旋轉運動時所產生的晶轉 離心カ較小，避免了籽晶腔在作旋轉運動的同時會發生振動的現象，確保了單晶體的生長
ik裡。

圖1為現有技術的局部剖示圖；圖2為本實用新型的局部剖示圖。圖中籽晶腔 1'安裝塊11'籽晶升降動カ源2'晶轉電機3'同步皮帶輪 4'同步皮帶輪 5'同步皮帶 6'晶轉磁流體 7'晶轉主軸 8'付室平板9'軸承10'籽晶腔 1上支撐軸11軸承 111安裝塊12籽晶升降動カ源2晶轉主軸3軸承 31晶轉電機4輸出軸 41上支撐板5通孔 51連接柱6傳動機構 7輸出齒輪71傳動齒輪 72付室平板8通孔8具體實施方式
本實用新型的一種新型提拉頭的晶轉安裝結構，如圖2所示，包括籽晶腔1、籽晶升降動力源2、晶轉主軸3、晶轉電機4、上支撐板5、連接柱6和傳動機構7，其中傳動機構1 包括輸出齒輪71和傳動齒輪72，連接柱6為圓柱體，上支撐板5設於單晶爐的付室平板8 的上方，且連接柱6的上端固定在上支撐板1的下底面上，連接柱6的下端固定在單晶爐的付室平板8上，上支撐板5、連接柱6與單晶爐的付室平板8形成有腔室，籽晶腔1和籽晶升降動力源2均設於此腔室內，且籽晶腔1的底部固定有晶轉主軸3，付室平板8上開設有供晶轉主軸3的自由端伸入的通孔81，且該晶轉主軸3的自由端通過套設在晶轉主軸3上的軸承31來安裝在此通孔81內，籽晶腔1的頂部設有與晶轉主軸3相對立設置的上支撐軸 11，上支撐板5上開設有供此上支撐軸11的自由端伸入的通孔51，該上支撐軸11的自由端通過套設在上支撐軸11上的軸承111來安裝在此通孔51內，且該上支撐軸11的自由端端部伸出此通孔51外，該傳動齒輪72固裝在該上支撐軸11的自由端端部上，該傳動齒輪 72與該輸出齒輪71相嚙合，且該輸出齒輪71固裝在晶轉電機4的輸出軸41上，該籽晶腔 1內設有供籽晶繩卷繞的籽晶升降卷揚器(圖中未示出)，籽晶升降動力源2與該籽晶升降卷揚器電連接，且籽晶腔1的下部左側向外凸設有與晶轉主軸3相垂直設置的，並與籽晶腔 1 一體成型的安裝塊12，該籽晶升降動力源2安裝在此安裝塊12上。使用時，開啟晶轉電機4，晶轉電機4帶動輸出齒輪71轉動，輸出齒輪71的轉動帶動傳動齒輪72的轉動，傳動齒輪72的轉動可帶動籽晶腔1轉動。本實用新型的一種新型提拉頭的晶轉結構，由於籽晶腔1的上、下兩部分別由上支撐軸11和晶轉主軸3進行支撐， 這樣籽晶腔1在作旋轉運動時所產生的晶轉離心力較小，從而使籽晶腔在作旋轉運動時不會發生振動，保證了單晶體的生長質量。上述實施例和圖式並非限定本實用新型的產品形態和式樣，任何所屬技術領域的普通技術人員對其所做的適當變化或修飾，皆應視為不脫離本實用新型的專利範疇。
權利要求1.一種新型提拉頭的晶轉結構，包括籽晶腔、籽晶升降動力源、晶轉主軸、晶轉電機及傳動機構，該晶轉主軸安裝在籽晶腔的底部，該籽晶腔內設有籽晶升降卷揚器，籽晶升降動力源與該籽晶升降卷揚器電連接，籽晶腔的底部設有與晶轉主軸相垂直設置的安裝塊，該籽晶升降動力源安裝在此安裝塊上；其特徵在於還包括有上支撐板和連接柱，上述上支撐板設於單晶爐的付室平板的上方，且上述連接柱的一端固定在上述上支撐板上，上述連接柱的另一端固定在單晶爐的付室平板上，上述上支撐板、上述連接柱與單晶爐的付室平板形成有供上述籽晶腔和上述籽晶升降動力源放置的腔室，上述晶轉主軸的自由端活動嵌裝在單晶爐的付室平板內，上述籽晶腔上設有與上述晶轉主軸相對立設置的上支撐軸，上述上支撐軸活動嵌裝在上述上支撐板內，且上述上支撐軸的自由端伸出上述上支撐板外與傳動機構的輸出端連接，上述傳動機構的輸入端與上述晶轉電機的輸出軸連接，上述晶轉電機安裝在提拉頭上並處於上述腔室外。
2.根據權利要求1所述的一種新型提拉頭的晶轉結構，其特徵在於上述上支撐板上開設有供上述上支撐軸嵌入安裝的上安裝孔，上述上支撐軸通過上軸承安裝在此上安裝孔內，單晶爐的付室平板上開設有供上述晶轉主軸嵌入安裝的下安裝孔，上述晶轉主軸通過下軸承安裝在此下安裝孔內。
3.根據權利要求1所述的一種新型提拉頭的晶轉結構，其特徵在於上述連接柱為圓柱體。
4.根據權利要求1所述的一種新型提拉頭的晶轉結構，其特徵在於上述傳動機構包括輸出齒輪和傳動齒輪，上述輸出齒輪安裝在上述晶轉電機的輸出軸上，上述傳動齒輪安裝在上述上支撐軸的自由端上，且上述傳動齒輪與上述輸出齒輪相嚙合。
專利摘要本實用新型公開了一種新型提拉頭的晶轉結構，包括籽晶腔、籽晶升降動力源、晶轉主軸、晶轉電機及傳動機構，還包括有上支撐板和連接柱，上支撐板設於付室平板的上方，且連接柱設於上支撐板與付室平板之間，且上支撐板、上述連接柱與付室平板形成有供籽晶腔和籽晶升降動力源放置的腔室，晶轉主軸的自由端活動嵌裝在單晶爐的付室平板內，籽晶腔上設有與晶轉主軸相對立設置的上支撐軸，上支撐軸活動嵌裝在上支撐板內，且上支撐軸的自由端伸出上支撐板外與傳動機構的輸出端連接，傳動機構的輸入端與上述晶轉電機的輸出軸連接。本實用新型的有益效果是避免了籽晶腔在作旋轉運動的同時會發生振動的現象，確保了單晶體的生長質量。
文檔編號C30B15/30GK202099409SQ201120165508
公開日2012年1月4日 申請日期2011年5月20日 優先權日2011年5月20日
發明者高林傑 申請人:高林傑