一種光罩盒的承載件的製作方法
2023-06-11 13:13:06 1
專利名稱：一種光罩盒的承載件的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種光罩盒的承載件，特別涉及一種先進焊接曝光屏蔽(Advanced Solder Mask Lithography，ASML)光罩盒的承載件。
近年來潔淨室的概念有著很大的改變，與傳統潔淨室生產的方式相較，最大的不同在於將生產設備置於潔淨室內的觀念轉換成將潔淨室置於生產設備內，製造過程中只要提供一個較小、較乾淨的迷你潔淨室(class1甚至更高)，將晶片與外界微粒較多的環境隔離，這樣外界的潔淨程度可能只要達到class 1000或class 100就可以，可避免需要製造大範圍且高潔淨度的潔淨室，因而降低廠商的生產成本。
實際上，現在晶片廠中不單單只將晶片放入晶片盒中隔離，更需要將光罩隔離在特殊的光罩盒中，以免光罩在傳遞時有微粒附著，進而影響合格率。
圖1所示是已知技術中，光罩盒及光罩夾持器的示意圖。在
圖1中，光罩盒10為標準進出料接口系統(Standard Mechanical Interface，SMIF)的光罩盒，此光罩盒10具有一光罩盒底盤12及一光罩盒外蓋11，可密合形成一迷你無塵空間。在光罩盒底盤12上有四個承載件13a，13b，13c，13d及兩個輔助承載結構14a，14b，用以承載一光罩20，而一附屬於某個半導體機臺的光罩夾持器30，該光罩夾持器30具有一夾持臂31，可在光罩盒外蓋11與光罩盒底盤12分離時插入，將光罩20託起並向後取出，傳遞至半導體機臺上。
圖2A所示是已知技術中，光罩盒底盤的上視圖，而圖2B表示光罩盒底盤的側視圖。如圖2A所示，光罩盒底盤12上的承載件13a，13b，13c，13d及輔助承載結構14a，14b均以薄板構造形成支承部，以求以最小接觸面接觸光罩20，並各有另一薄板構造形成擋止部，將光罩20固定在光罩盒10內。當光罩盒10被放置在SMIF機臺上時，SMIF機臺會將光罩盒10開啟，並將光罩盒底盤12連同光罩20傳送進入一迷你潔淨室內(位於機臺內部)，光罩夾持器30的夾持臂31由圖2A光罩盒底盤的上視圖中的上方伸入，穿過承載件13a，13b，13c，13d的ㄇ形凹槽，將光罩20託起並向後取出。
圖3表示圖2B中，光罩盒承載件的放大側視圖。如圖所示，承載件13具有一結構本體131可安裝在光罩盒底盤12上，一支承部132為一平板構造，可承載光罩20，一延伸擋止部133具有一ㄇ形凹槽134，而ㄇ形凹槽134一側為一懸浮端135，該懸浮端135在靠近支承部132的一面為一擋止面136。此承載件13以此延伸擋止部133的ㄇ形凹槽134一方面可固定光罩20，一方面夾持結構30的夾持臂31可由此ㄇ形凹槽134伸入，由於此夾持結構30可將光罩20抬起，抽離光罩盒10，並將光罩20放到曝光機上曝光定位，其中夾持結構30的夾持臂31與ㄇ形凹槽134的懸浮端135的間隙僅有數毫米(mm)。
圖4表示圖2B中，承載件的懸浮端受力變形的示意圖。在圖4中，因為ㄇ形結構134的懸浮端135很薄，無法承受很大的應力，若光罩盒10在搬運途中受到撞擊或是光罩盒10不慎掉落，懸浮端135很容易受力變形，如圖4所示，這樣夾持臂31就無法伸入ㄇ形結構134，而造成撞機。因為光罩定位的準確與否，牽涉到晶片曝光位置是否正確，曝光不正確，合格率會大幅下降，甚至是整片晶片報廢，因此，現在一般曝光機臺，其光罩夾持結構30所需的精密度通常需要到奈米(nm)等級，只要夾持臂31受到撞擊而產生些許撓曲或偏移，就會大幅影響光罩定位的準確度，甚至使機臺內部重要組件受損，造成更大的損失。
為達成上述目的，本實用新型提供一種光罩盒，包括一底盤、一與該底盤密合的外蓋及多個光罩的承載件，其特徵在於該多個承載件對應安裝於該底盤周邊，均具有一結構本體、一支承部及一延伸擋止部；該結構本體固接於該底盤上；該支承部為一平板構造，連接於該結構本體上以承載光罩；該延伸擋止部與該支承部平行連接在該結構本體的同一平面上，向靠近該支承部的一側延伸形成有一向下的ㄇ形凹槽，該ㄇ形凹槽具有一懸浮端，該懸浮端靠近該支承部一側具有一擋止面，且該懸浮端頂部至該懸浮端底部的截面向該支承部方向逐漸凸出增厚。
上述構想中，該光罩盒還包括多個輔助承載結構，該多個輔助承載結構固接在該底盤上支承該光罩。
上述構想中，該結構本體、該支承部及該延伸擋止部的材質均為塑料。
上述構想中，該擋止面為一平面，該懸浮端的截面形狀為一梯形。
上述構想中，該擋止面為一外凸曲面。
為了達到上述目的，本實用新型又提供一種光罩盒的承載件，其特徵在於包括一結構本體，可安裝於光罩盒上；一支承部，為一平板構造，連接於該結構本體上以承載光罩；一延伸擋止部，與該支承部平行連接在該結構本體的同一平面上，向靠近該支承部一側延伸形成一向下的ㄇ形凹槽，該ㄇ形凹槽具有一懸浮端，該懸浮端靠近該支承部一側具有一擋止面，且該懸浮端頂部至該懸浮端底部的截面向該支承部方向逐漸凸出增厚。
上述構想中，該結構本體、該支承部及該延伸擋止部的材質為塑料。
上述構想中，該擋止面為一平面，該懸浮端的截面為一梯形。
上述構想中，該擋止面為一外凸曲面。
由上可知，本實用新型可加強光罩盒上承載件的懸浮端的結構強度，從而避免懸浮端變形而造成損失。
為了讓本實用新型的上述和其它目的、特徵、和優點能更明顯易懂，下文特舉一較佳實施例，並配合所附圖標，作詳細說明如下。
圖2A是已知技術中，光罩盒底盤的上視圖。
圖2B是已知技術中，光罩盒底盤的側視圖。
圖3是圖2B中，光罩盒承載件的放大側視圖。
圖4是圖2B中，承載件的懸浮端受力變形的示意圖。
圖5A是本實用新型第一實施例光罩盒承載件的截面圖。
圖5B是本實用新型第二實施例光罩盒承載件的截面圖。
具體實施方式
為了解本實用新型實施例與傳統技術的區別，現分別對本實用新型實施例的改進型光罩盒與已知技術中的光罩盒進行比較。
圖5A是本實用新型第一實施例光罩盒承載件的截面圖。在圖5A中的光罩盒承載件，包括一結構本體531、一支承部532及一延伸擋止部533，其材質均為塑料。結構本體531，可安裝於光罩盒底盤12上，其安裝方式同已知技術中
圖1所示；支承部532，為一平板構造，連接於結構本體531，用以承載光罩20；延伸擋止部533，與支承部532平行連接在結構本體531的同一平面上，並向靠近支承部532側延伸形成一向下的ㄇ形凹槽534，其中ㄇ形凹槽534具有一懸浮端535a，在懸浮端535a靠近支承部532側具有一擋止面536a，且為了增加懸浮端535a的強度，懸浮端535a的底部d1向支承部532方向凸出增厚，使懸浮端頂部d2至懸浮端底部d1的截面厚度漸次增厚，即擋止面536a為一平面，使懸浮端535a的截面形成為一梯形。
圖5B是本實用新型第二實施例光罩盒承載件的截面圖。在圖5B中的光罩盒承載件，包括一結構本體531、一支承部532及一延伸擋止部533，其材質均為塑料。結構本體531，可安裝於光罩盒底盤12上，其安裝方式同已知技術中
圖1所示；支承部532，為一平板構造，連接於結構本體531，用以承載光罩20；延伸擋止部533，與支承部532平行連接在結構本體531的同一平面上，並向靠近支承部532側延伸形成一向下的ㄇ形凹槽534，其中ㄇ形凹槽534具有一懸浮端535b，在懸浮端535b靠近支承部532側具有一擋止面536b，且為了增加懸浮端535b的強度，懸浮端535b的底部d3向支承部532方向凸出增厚，使懸浮端頂部d4至懸浮端底部d3的截面厚度漸進增厚，即擋止面536a為一外凸曲面，使懸浮端535a的截面形成如圖5B所示的形狀。
若在光罩盒10中使用上述兩種光罩承載件，即可加強光罩盒上承載件懸浮端的結構強度，使懸浮端可承受更大的應力，不會因光罩盒10在搬運途中受到撞擊或是不慎掉落，致使懸浮端535受力變形，使夾持臂31無法伸入ㄇ形結構534，而造成夾持臂31受到撞擊而產生撓曲或偏移，影響光罩定位的準確度或使機臺內部重要組件受損，造成重大的損失。
雖然本實用新型已以較佳實施例公開如上，然其並非用以限定本實用新型，任何熟習此技術的人，在不脫離本實用新型的精神和範圍內，當可作一些的變換與修飾，因此本實用新型的保護範圍當視權利要求書為準。
權利要求1.一種光罩盒的承載件，其特徵在於包括一結構本體，安裝於光罩盒上；一支承部，為一平板構造，連接於該結構本體上以承載光罩；一延伸擋止部，與該支承部平行連接在該結構本體的同一平面上，向靠近該支承部一側延伸形成一向下的ㄇ形凹槽，該ㄇ形凹槽具有一懸浮端，該懸浮端靠近該支承部一側具有一擋止面，且該懸浮端頂部至該懸浮端底部的截面向該支承部方向逐漸凸出增厚。
2.如權利要求1所述的光罩盒的承載件，其特徵在於所述的結構本體、該支承部及該延伸擋止部的材質為塑料。
3.如權利要求1所述的光罩盒的承載件，其特徵在於所述的擋止面為一平面，該懸浮端的截面為一梯形。
4.如權利要求1所述的光罩盒的承載件，其特徵在於所述的擋止面為一外凸曲面。
專利摘要本實用新型涉及一種光罩盒的承載件，包括一結構本體，可安裝於光罩盒上；一支承部，為一平板構造，連接於該結構本體上以承載光罩；一延伸擋止部，與該支承部平行連接在該結構本體的同一平面上，向靠近該支承部一側延伸形成一向下的冂形凹槽，該冂形凹槽具有一懸浮端，該懸浮端靠近該支承部一側具有一擋止面，且該懸浮端頂部至該懸浮端底部的截面向該支承部方向逐漸凸出增厚。本實用新型可加強光罩盒上承載件的懸浮端的結構強度，使懸浮端可承受更大的應力，可避免此懸浮端變形而導致機臺撞機，造成嚴重損失。
文檔編號G03F1/66GK2534610SQ0223112
公開日2003年2月5日 申請日期2002年4月17日 優先權日2002年4月17日
發明者張明詔 申請人:旺宏電子股份有限公司