真空式被銀機的製作方法
2023-06-12 02:23:06
專利名稱:真空式被銀機的製作方法
技術領域:
本實用新型屬於真空鍍膜設備領域,尤其涉及一種用於製造石英晶體諧振器銀電極的真空鍍銀設備。
背景技術:
石英晶體諧振器(簡稱石英晶振,下同)是為各種振蕩電路或時間電路提供基準工作頻率的電子元件。
在製造石英晶振元件的過程中,需要在已經切割好的基材上進行雙面鍍銀,形成雙面電極,鍍銀所用的真空式鍍銀機通常被簡稱為真空式被銀機。
現有的真空式被銀機(如IBC系列真空鍍膜機),在其工作檯上設置有支撐組件、限位組件(均由軸承構成)和被其支撐的從動齒輪圈,由支撐組件和限位組件來限定從動齒輪圈的轉動位置和轉動圓心。在從動齒輪圈上設置有支架,支架上端設置轉籠,轉籠上再設置掩膜板夾具,夾具上固定掩膜板,掩膜板將待鍍銀的基材夾持定位。其從動齒輪圈與由驅動裝置驅動的驅動齒輪嚙合驅動,帶動由支架支撐的整個轉籠組件轉動,完成在基材上形成石英晶振鍍銀電極所需的各種動作(如轉籠的轉動、夾具的翻轉等)。
由於現有設備的從動齒輪圈和驅動齒輪設置在支架的底部,轉籠轉動部分的整體縱向尺寸大,重心高,轉動過程中轉籠震動較大,易使被夾持在掩膜板上的基材發生錯位,導致鍍銀完成後的石英晶振雙面銀電極之間發生相互錯位或定位不準確等問題發生,致使產品的返修率高,成品率低。
同時,由於原有支撐組件和限位組件的位置不合理,進行維修工作不便,維修時間長,影響單機的工作效率。
實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種轉籠在工作中震動小,成品電極定位準確,成品率高,便於維修的真空式被銀機。
本實用新型的技術方案是提供一種真空式被銀機,包括帶有主動齒輪驅動裝置的工作檯和設置於工作檯上方的轉籠,其特徵是在工作檯上設置立柱,立柱的一端固定在工作檯上,其另一端設置有託盤;託盤上設置垂直支撐組件和水平定位組件;轉籠下部設置擋圈和與之一體的從動齒輪圈,擋圈與託盤上的水平定位組件接觸,從動齒輪圈的下側面與託盤上的垂直支撐組件接觸;主動齒輪驅動裝置經穿過託盤的主動齒輪傳動軸與主動齒輪聯接,主動齒輪與位於轉籠下部的從動齒輪圈嚙合;主動齒輪傳動軸經軸承與託盤聯接。
其中,所述的託盤為中空圓盤式託盤,託盤內側設置水平短軸,水平短軸上設置軸承,構成垂直支撐組件;所述的水平短軸沿圓周均布對稱設置。
所述的託盤上沿圓周設置垂直短軸,垂直短軸上設置水平定位輪,構成水平定位組件,所述的垂直短軸沿圓周均布對稱設置。
所述的立柱以託盤圓心為圓心均布對稱設置。
與現有技術比較,本實用新型由於轉籠轉動部分的整體縱向尺寸縮短,重心降低,轉動更穩定,震動減小,石英晶振電極發生錯位和定位不準的機率減少,成品率大大提高;同時,整體結構簡潔,便於整體更換,停機維護、維修工作量減少,有利於提高單機工效,降低綜合製造成本。
以下結合附圖和實施例對本實用新型做進一步說明。
圖1是本實用新型的結構示意圖。
圖中1為工作檯,2為立柱,3為託盤,4為垂直短軸,5為水平定位輪,6為軸承,7為從動齒輪圈,8為擋圈,9為轉籠,10為主動齒輪傳動軸,11為水平短軸,12為主動齒輪傳動軸軸承,13為主動齒輪。
具體實施方式
圖1中,在帶有主動齒輪驅動裝置(圖中未示出)的工作檯1上設置立柱2,立柱的一端固定在工作檯上,其另一端設置有中空圓盤式託盤3;託盤上設置垂直支撐組件和水平定位組件;其中託盤內側設置水平短軸11,水平短軸上設置軸承6,構成垂直支撐組件,在託盤上沿圓周設置垂直短軸4,垂直短軸上設置水平定位輪5,構成水平定位組件。
轉籠9的下部設置擋圈8和與之一體的從動齒輪圈7,擋圈與託盤上水平定位組件中的水平定位輪5接觸,從動齒輪圈的下側面與託盤上垂直支撐組件中的軸承6接觸;主動齒輪與位於轉籠下部的從動齒輪圈7嚙合,主動齒輪驅動裝置(圖中未示出)經穿過託盤的主動齒輪傳動軸10與主動齒輪13聯接;主動齒輪傳動軸經軸承12與託盤3聯接。
其中,上述的水平短軸和所述的垂直短軸沿圓周均布對稱設置,上述的從動齒輪圈和主動齒輪均為外齒式齒輪,上述的立柱以託盤圓心為圓心均布對稱設置。
本實用新型由於轉籠轉動部分的整體縱向尺寸縮短,重心降低,轉動更穩定,震動減小,石英晶振電極發生錯位和定位不準的機率減少,成品率較原來提高了70%。同時,設備的整體結構簡潔,便於更換,其停機維護、維修工作量減少,單機工作效率提高,降低了產品的綜合製造成本,經濟效益明顯提高。
本實用新型可廣泛用於對石英晶振元件進行真空鍍銀的各種真空式被銀機。
權利要求1.一種真空式被銀機,包括帶有主動齒輪驅動裝置的工作檯和設置於工作檯上方的轉籠,其特徵是在工作檯上設置立柱,立柱的一端固定在工作檯上,其另一端設置有託盤;託盤上設置垂直支撐組件和水平定位組件;轉籠下部設置擋圈和與之一體的從動齒輪圈,擋圈與託盤上的水平定位組件接觸,從動齒輪圈的下側面與託盤上的垂直支撐組件接觸;主動齒輪驅動裝置經穿過託盤的主動齒輪傳動軸與主動齒輪聯接,主動齒輪與位於轉籠下部的從動齒輪圈嚙合;主動齒輪傳動軸經軸承與託盤聯接。
2.按照權利要求1所述的真空式被銀機,其特徵是所述的託盤為中空圓盤式託盤,託盤內側設置水平短軸,水平短軸上設置軸承,構成垂直支撐組件。
3.按照權利要求2所述的真空式被銀機,其特徵是所述的水平短軸沿託盤圓周均布對稱設置。
4.按照權利要求1所述的真空式被銀機,其特徵是所述的託盤上沿圓周設置垂直短軸,垂直短軸上設置水平定位輪,構成水平定位組件。
5.按照權利要求3所述的真空式被銀機,其特徵是所述的垂直短軸沿圓周均布對稱設置。
6.按照權利要求1所述的真空式被銀機,其特徵是所述的立柱以託盤圓心為圓心均布對稱設置。
專利摘要真空式被銀機,屬於真空鍍膜設備領域。包括帶有主動齒輪驅動裝置的工作檯和設置於工作檯上方的轉籠,其特徵是在工作檯上設置一端固定在工作檯上,另一端設置有託盤的立柱,託盤上設置垂直支撐組件和水平定位組件,轉籠下部設置擋圈和與之一體的從動齒輪圈,擋圈與託盤上的水平定位組件接觸,從動齒輪圈的下側面與託盤上的垂直支撐組件接觸,主動齒輪驅動裝置經穿過託盤的傳動軸與主動齒輪聯接,主動齒輪與位於轉籠下部的從動齒輪圈嚙合,傳動軸經軸承與託盤聯接。由於其轉籠轉動部分的整體縱向尺寸短,重心低,轉動穩定,震動小,石英晶振成品率高,整體結構簡潔,便於更換,單機工作效率高,降低了產品的綜合製造成本,經濟效益明顯提高。
文檔編號C23C14/16GK2658163SQ20032011103
公開日2004年11月24日 申請日期2003年10月11日 優先權日2003年10月11日
發明者王慶剛 申請人:淄博金裡電子有限公司