用於非晶矽薄膜均勻鍍膜的沉積夾具的製作方法
2023-06-11 18:08:01
用於非晶矽薄膜均勻鍍膜的沉積夾具的製作方法
【專利摘要】本發明涉及鍍膜裝置，尤其涉及用於非晶矽薄膜均勻鍍膜的沉積夾具。本發明採取如下技術方案：包含一個以上的相鄰分布的鋁板，所述鋁板兩面的下方各自有一組高度相同的固定滾輪。所述一組以上的鋁板之間距離相同。採用如上技術方案的本發明，具有如下有益效果：待鍍膜的單面導電玻璃通過固定滾輪滾進去，固定即穩定，保證多組導電玻璃放置的一致性，保證非晶矽薄膜厚度的均一性，同時節省操作時間，提高產品質量。
【專利說明】用於非晶矽薄膜均勻鍍膜的沉積夾具
【技術領域】
[0001]本發明涉及鍍膜裝置，尤其涉及用於非晶矽薄膜均勻鍍膜的沉積夾具。
【背景技術】
[0002]日前，矽基薄膜太陽能電池，採用等離子體增強型化學氣相沉積(PECVD)獲取單結或多結的光電轉換P-1-N膜層，在薄膜太陽能電池製造行業通用這種射頻電容耦合平行電極板反應室。行業內通常把具有支撐框架的電極稱為「夾具」，並把裝在反應室內或腔內進行等離了體化學氣相沉積的裝置稱為「沉積盒」。該夾具被廣泛應用於非晶矽、非晶矽鍺、碳化矽、氮化矽、氧化矽等材料薄膜的沉積。矽基薄膜太陽能電池是太陽能行業的一個重要分支，夾具成為了該行業的核心設備之一。如何高速沉積成為晶化矽基薄膜技術成為能夠成功服務於產業的關鍵。
[0003]但是，目前的薄膜夾具需要將待鍍膜的導電玻璃一個個夾起來，浪費了大量的操作時間，並且各個導電玻璃最後的鍍膜效果也不均勻，大大影響了生產效率和生產質量。
【發明內容】
[0004]發明的目的:為了提供一種鍍膜均勻， 不用夾持，安裝方便，取導電玻璃方便的用於非晶矽薄膜均勻鍍膜的沉積夾具。
[0005]為了達到如上目的，本發明採取如下技術方案:包含一個以上的相鄰分布的鋁板，所述鋁板兩面的下方各自有一組高度相同的固定滾輪。
[0006]本發明進一步技術方案在於，所述一組以上的鋁板之間距離相同。
[0007]本發明進一步技術方案在於，所述一個以上的相鄰分布的招板的下方有電極固定條，所述一個以上的相鄰分布的鋁板正負極交替分布。
[0008]本發明進一步技術方案在於，還包含將一個以上的相鄰分布的鋁板包圍起來的上板、兩側的夾具側板、後板。
[0009]本發明進一步技術方案在於，所述夾具下方有輪子部分。
[0010]本發明進一步技術方案在於，所述固定滾輪為陶瓷結構。
[0011]本發明進一步技術方案在於，所述同一組高度相同的固定滾輪與各自所依附的鋁板的間距一致。
[0012]採用如上技術方案的本發明，具有如下有益效果:待鍍膜的單面導電玻璃通過固定滾輪滾進去，固定即穩定，保證多組導電玻璃放置的一致性，保證非晶矽薄膜厚度的均一性，同時節省操作時間，提高產品質量。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]附圖為發明的結構示意圖；
[0014]其中:1.招板部分；2.上板；3.夾具側板；4.輪子部分；5.後板；6.前門部分；
7.電極固定條；8.固定滾輪。【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖對本發明的實施例進行說明，實施例不構成對本發明的限制:
[0016]包含一個以上的相鄰分布的鋁板，所述鋁板兩面的下方各自有一組高度相同的固定滾輪8。
[0017]高度相同可以保證整個導電玻璃放置位置平穩，放入方便。
[0018]所述一組以上的鋁板之間距離相同。
[0019]所述一個以上的相鄰分布的鋁板的下方有電極固定條7，所述一個以上的相鄰分布的鋁板正負極交替分布。
[0020]還包含將一個以上的相鄰分布的鋁板包圍起來的上板2、兩側的夾具側板3、後板
5。
[0021]所述夾具下方有輪子部分4。
[0022]所述固定滾輪8為陶瓷結構。
[0023]本處的陶瓷還可以被其他類似材質替代,本處的舉例僅僅為示例,不對本發明的具體實施造成限制。
[0024]所述同一組高度相同的固定滾輪8與各自所依附的鋁板的間距一致。
[0025]以上顯示和描述了本發明的基本原理、主要特徵和本發明的優點。本領域的技術人員應該了解本發明不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本發明的原理，在不脫離本發明精神和範圍的前提下，本發明還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的範圍內。
【權利要求】
1.用於非晶矽薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特徵在於，包含一個以上的相鄰分布的鋁板，所述鋁板兩面的下方各自有一組高度相同的固定滾輪(8)。
2.如權利要求1所述的用於非晶矽薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特徵在於，所述一組以上的鋁板之間距離相同。
3.如權利要求1所述的用於非晶矽薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特徵在於，所述一個以上的相鄰分布的鋁板的下方有電極固定條(7)，所述一個以上的相鄰分布的鋁板正負極交替分布。
4.如權利要求1所述的用於非晶矽薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特徵在於，還包含將一個以上的相鄰分布的鋁板包圍起來的上板(2 )、兩側的夾具側板(3 )、後板(5 )。
5.如權利要求1所述的用於非晶矽薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特徵在於，所述夾具下方有輪子部分(4)。
6.如權利要求1所述的用於非晶矽薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特徵在於，所述固定滾輪(8)為陶瓷結構。
7.如權利要求1所述的用於非晶矽薄膜均勻鍍膜的沉積夾具，其特徵在於，所述同一組高度相同的固定滾輪(8 )與各自所依附的鋁板的間距一致。
【文檔編號】C23C16/458GK103774119SQ201210399041
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2012年10月19日 優先權日:2012年10月19日
【發明者】陳五奎, 雷曉全, 李文江, 王斌, 王富軍 申請人:陝西拓日新能源科技有限公司