RF激勵全金屬CO<sub>2</sub>波導雷射器的製作方法
2023-09-23 03:37:15
專利名稱：RF激勵全金屬CO2波導雷射器的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種雷射發生器。
背景技術：
目前，國內外中小功率RF激勵波導(X)2雷射器採用風冷或在諧振腔外鑲嵌銅管水冷的方式進行雷射器工作物質的散熱，由於銅管不能與金屬腔體良好的接觸，並且接觸面積較小，所以會產生一定的熱阻，導熱效果不理想，對雷射器件的工作性能和壽命產生較大的影響。
發明內容本實用新型的發明目的在於提供一種能夠有效地將工作氣體產生的熱量快速傳導出腔外，降低和穩定工作氣體的溫度，改善雷射器的工作特性，提高了雷射器輸出功率和穩定性的RF激勵全金屬C02波導雷射器。本實用新型是這樣實現的，包括雷射腔體、設置在雷射腔體內的電感、連接在電感下面的金屬板上電極、連接在金屬板上電極下面的金屬板(放電區側擋板)、連接在金屬板下面的金屬板下電極，金屬板包括兩塊以上的子金屬板側擋板，在子金屬板間設置有放電區，雷射腔體容腔內的除電感、金屬板上電極、金屬板、金屬板下電極、放電區外的部分為密閉的儲氣室，儲氣室內是能放電發出雷射的氣體，其特別之處在於在儲氣室的外側的上下四個角的雷射腔體的腔壁內設置有循環水冷卻通道，在雷射腔體的外側壁上設置有散熱翼片。工作時，一是將雷射工作氣體的一部分熱量通過散熱片直接散熱出去；二是通過雷射器的內部水冷循環系統，有效地將工作氣體產生的熱量快速吸收散出，達到很高的散熱效果， 增大和穩定了雷射器的輸出功率和工作性能。這裡循環水冷卻通道呈圓柱形，相應的儲氣室的外側的上下四個角的腔壁呈圓弧形，這樣，既增大了腔壁吸取工作氣體產生的熱量的面積，同時，有利於迅速地將熱能傳遞到通道內的冷卻水上。這裡，帶有循環水冷卻通道、牆體的雷射腔體用金屬整體擠壓成型而成。金屬是鋁
I=I 巫 O本實用新型與已有技術相比，由於採用了在儲氣室的外側的上下四個角的雷射腔體的腔壁內設置有循環水冷卻通道，因此，具有能夠有效地將工作氣體產生的熱量快速傳導出腔外，降低和穩定工作氣體的溫度，改善雷射器的工作特性，提高了雷射器輸出功率和穩定性的優點。
圖1為本實用新型的結構橫剖面示意圖；圖2為本實用新型的循環水冷卻通道的結構示意圖。
具體實施方式
現結合附圖和實施例對本實用新型做進一步詳細描述
3[0013]如圖所示，本實用新型包括雷射腔體2、設置在雷射腔體2內的電感3、連接在電感 3下面的金屬板上電極4、連接在金屬板上電極4下面的金屬板側擋板7、連接在金屬板7下面的金屬板下電極5，金屬板7包括兩塊以上的子金屬板7a，在子金屬板7a間設置有放電區6，雷射腔體2容腔內的除電感3、金屬板上電極4、金屬板7、金屬板下電極5、放電區6外的部分為密閉的儲氣室8，儲氣室8內是能放電發出雷射的氣體，其特別之處在於在儲氣室 8的外側的上下四個角8a的雷射腔體2的腔壁加內設置有帶有進口 la、出口 Ib的循環水冷卻通道1，在雷射腔體2的外側壁上設置有散熱翼片9。循環水冷卻通道1截面呈圓柱形，相應的儲氣室8的外側的上下四個角8a的腔壁加呈圓弧形.帶有循環水冷卻通道1、牆體的雷射腔體2用金屬整體擠壓成型而成。金屬是鋁合金。
權利要求1.RF激勵全金屬C02波導雷射器，包括雷射腔體、設置在雷射腔體內的電感、連接在電感下面的金屬板上電極、連接在金屬板上電極下面的金屬板、連接在金屬板下面的金屬板下電極，金屬板包括兩塊以上的子金屬板，在子金屬板間設置有放電區，雷射腔體容腔內的除電感、金屬板上電極、金屬板側擋板、金屬板下電極、放電區外的部分為密閉的儲氣室， 儲氣室內是能放電發出雷射的氣體，其特徵在於在儲氣室的外側的上下角的雷射腔體的腔壁內設置有循環水冷卻通道，在雷射腔體的外側壁上設置有散熱翼片。
2.根據權利要求1所述的RF激勵全金屬C02波導雷射器，其特徵在於這裡循環水冷卻通道截面呈圓柱形，相應的儲氣室的外側的上下角的腔壁呈圓弧形。
3.根據權利要求1或2所述的RF激勵全金屬C02波導雷射器，其特徵在於帶有循環水冷卻通道、牆體的雷射腔體用金屬整體擠壓成型而成。
4.根據權利要求3所述的RF激勵全金屬C02波導雷射器，其特徵在於金屬是鋁合金。
專利摘要RF激勵全金屬CO2波導雷射器,包括雷射腔體、設置在雷射腔體內的電感、連接在電感下面的金屬板上電極、連接在金屬板上電極下面的金屬板、連接在金屬板下面的金屬板下電極，金屬板包括兩塊以上的子金屬板，在子金屬板間設置有放電區，雷射腔體容腔內的除電感、金屬板上電極、金屬板側擋板、金屬板下電極、放電區外的部分為密閉的儲氣室，儲氣室內是能放電發出雷射的氣體，其特徵在於在儲氣室的外側的上下角的雷射腔體的腔壁內設置有循環水冷卻通道，在雷射腔體的外側壁上設置有散熱翼片。本實用新型與已有技術相比，具有能夠有效地將工作氣體產生的熱量快速傳導出腔外，降低和穩定工作氣體的溫度，改善雷射器的工作特性，提高了雷射器輸出功率和穩定性的優點。
文檔編號H01S3/041GK202084777SQ201120152818
公開日2011年12月21日 申請日期2011年5月13日 優先權日2011年5月13日
發明者劉玉華, 唐令西 申請人:佛山科學技術學院