磁頭和微驅動器組合及其製造方法、磁頭折片組合以及磁碟驅動單元的製作方法

2023-09-23 04:20:45

專利名稱：磁頭和微驅動器組合及其製造方法、磁頭折片組合以及磁碟驅動單元的製作方法
技術領域：
本發明涉及信息記錄磁碟驅動單元，尤指涉及磁頭和微驅動器組合及其製造方 法、磁頭折片組合(HEAD GIMBAL ASSEMBLY, HGA)以及磁碟驅動單元。
背景技術：
磁碟驅動單元是一種利用磁性介質存儲信息的信息存儲裝置，並有一個可移動的 讀/寫頭置於所述磁性介質之上，以選擇性地從磁性介質中讀取或向磁性介質寫入數據。消費者總是希望此種磁碟驅動設備的存儲容量不斷增加，同時希望其讀寫速度更 快更精確。因此，磁碟驅動設備的生產商一直致力於開發具有較高存儲容量的磁碟系統，例 如通過減少磁碟上的磁軌寬度和/或磁軌間距的方式來增加磁軌的密度，進而間接增加磁 盤的存儲容量。然而，隨著磁軌密度的增加，對讀/寫頭的位置控制精度也必須相應提高， 以便在高密度的磁碟中實現更快更精確的讀寫操作。然而，隨著磁軌密度的增加，用已知技 術快速而準確地將讀/寫頭定位於磁碟上的特定的磁軌變得更加困難。因此，磁碟驅動設 備生產商不斷尋求提高對讀/寫頭位置控制的方式，以便利用不斷增加的磁軌密度所帶來 的益處。一種被磁碟驅動設備生產商有效利用的方法是採用磁頭和微驅動器組合來提高 讀/寫頭在高密度磁碟上位置控制的精度。圖1說明了具有磁頭和微驅動器組合的傳統 磁碟驅動單元。所述磁碟驅動單元一般包括驅動臂104、音圈馬達(VOICE COIL MOTOR, VCM) 108、連接到並安裝在所述驅動臂104上的磁頭折片組合105、懸置在所述磁頭折片組 合105上的磁碟101以及旋轉所述磁碟101的主軸馬達102。所述磁頭折片組合105包括 磁頭和微驅動器組合103和用於支撐所述磁頭和微驅動器組合103的懸臂件110 (參見圖 2).參考圖2a，所述磁頭和微驅動器組合103包括具有前邊和與所述前邊相對的尾邊 的基底11、形成在所述基底11的尾邊的壓電(PZT，PIEZOELECTRIC)元件15以及形成在所 述壓電元件15上的讀/寫頭12。在如上所述的磁頭和微驅動器組合103的結構中，壓電元 件15夾在基底11和讀/寫頭12之間。具體地，壓電元件15包括形成在基底11尾邊的第 一電極層15a、形成在讀/寫頭12上的第二電極層15b以及形成在所述第一電極層15a和 所述第二電極層15b之間的壓電層15c。參考圖2b，當電壓施加到所述第一電極層15a和所述第二電極層15b時，所述壓電 元件15被驅動從而產生形變，進而相應調整了讀/寫頭12相對磁碟101的位置。然而，由 於壓電元件15位於讀/寫頭12的附近，壓電元件15的驅動會產生電荷並形成電壓，因此 在例如靜電放電(ESD，electrical static discharge)問題產生的情況下使讀/寫頭12 損壞。因此，有必要提供一種改進的磁頭和微驅動器組合及其製造方法、磁頭折片組合 和磁碟驅動單元來解決上述問題。

發明內容
本發明的一個目的在於提供一種磁頭和微驅動器組合，所述磁頭和微驅動器組合 能避免讀/寫頭損壞並取得較好的工作性能。本發明的另一目的在於提供一種具有磁頭和微驅動器組合的磁頭折片組合，所述 磁頭折片組合能避免讀/寫頭損壞並能取得較好的工作性能。本發明的又一目的在於提供一種磁碟驅動單元，所述磁碟驅動單元能避免讀/寫 頭損壞並能取得較好的工作性能。本發明的再一個目的在於提供一種製造磁頭和微驅動器組合的方法，所述方法制 造的磁頭和微驅動器組合能避免讀/寫頭損壞並能取得較好的工作性能。為了實現上述目的，本發明提供了一種磁頭和微驅動器組合，所述磁頭和微驅動 器組合包括具有尾邊和與所述尾邊相對的前邊的基底；形成於所述基底的尾邊的讀/寫 頭；以及形成於所述基底的前邊的壓電微驅動器，所述壓電微驅動器通過兩個間隔的隔離 層與所述基底的前邊連接以在所述壓電微驅動器與所述基底的前邊之間形成空隙，當所述 壓電微驅動器被驅動從而通過所述空隙對所述基底產生一旋轉扭矩時，具有所述讀/寫頭 的基底繞所述基底的中心旋轉。較佳地，所述基底與所述讀/寫頭以及所述壓電微驅動器一體成型。在本發明中，所述兩個間隔的隔離層分別連接所述壓電微驅動器的兩端和所述基 底的前邊。較佳地，所述壓電微驅動器包括形成於所述基底的前邊的第一電極層、形成於所 述第一電極層上的壓電層以及分別形成於所述壓電層上並相互間隔的兩個第二電極層。一種磁頭折片組合包括磁頭和微驅動器組合；以及用於支撐所述磁頭和微驅動器 組合的懸臂件，其中所述磁頭和微驅動器組合包括具有尾邊和與所述尾邊相對的前邊的 基底；形成於所述基底的尾邊的讀/寫頭；以及形成於所述基底的前邊的壓電微驅動器，所 述壓電微驅動器通過兩個間隔的隔離層與所述基底的前邊連接以在所述壓電微驅動器與 所述基底的前邊之間形成空隙，當所述壓電微驅動器被驅動從而通過所述空隙對所述基底 產生一旋轉扭矩時，具有所述讀/寫頭的基底繞所述基底的中心旋轉。較佳地，所述懸臂件包括撓性件，所述撓性件具有用於支撐所述磁頭和微驅動器 組合的舌片區域，所述舌片區域具有外部舌片、形成於所述外部舌片內的內部舌片以及分 別連接所述內部舌片的對稱位置和所述外部舌片的一對曲臂。同樣較佳地，所述磁頭和微驅動器組合通過隔離層機械連接於所述內部舌片。同樣較佳地，所述壓電微驅動器上形成有兩個觸點，所述外部舌片上形成有與所 述壓電微驅動器的兩個觸點對應的兩個壓電連接觸點，所述壓電微驅動器的兩個觸點分別 與所述外部舌片的兩個壓電連接觸點連接。在本發明中，所述撓性件包括位於所述外部舌片相對兩側的一對外觸發板，所述 一對外觸發板分別向所述外部舌片延伸並與所述外部舌片連接。一種磁碟驅動單元包括磁頭折片組合；和所述磁頭折片組合相連的驅動臂；磁 盤；用於旋轉所述磁碟的主軸馬達。其中，所述磁頭和微驅動器組合包括具有尾邊和與所 述尾邊相對的前邊的基底；形成於所述基底的尾邊的讀/寫頭；以及形成於所述基底的前邊的壓電微驅動器，其中所述壓電微驅動器通過兩個間隔的隔離層與所述基底的前邊連接 以在所述壓電微驅動器與所述基底的前邊之間形成空隙，當所述壓電微驅動器被驅動從而 通過所述空隙對所述基底產生一旋轉扭矩時，具有所述讀/寫頭的基底繞所述基底的中心 旋轉。一種製造磁頭和微驅動器組合的方法包括如下步驟提供一晶圓，所述晶圓具有 尾邊和與所述尾邊相對的前邊，多個讀/寫頭形成於所述晶圓的尾邊；在所述晶圓的前邊 的每兩條間隔線上層壓一層隔離層；在所述隔離層上形成壓電微驅動器；把所述晶圓切割 成多個長形條，每個長形條上具有成排的讀/寫頭；對所述每個長形條進行圖案以形成每 個讀/寫頭的空氣承載面；以及把所述每個長形條切割成單獨的磁頭和微驅動器組合。在本發明中，所述在隔離層上形成壓電微驅動器的步驟包括在所述隔離層上形 成第一電極層；在所述第一電極層上形成壓電層；以及在所述壓電層上形成兩個第二電極 層，所述兩個第二電極層相互間隔。與現有技術相比，由於本發明的壓電微驅動器形成在基底的前邊，同時讀/寫頭 形成在所述基底的尾邊，因此，當壓電微驅動器被驅動時，讀/寫頭上不會產生電壓，靜電 放電問題不會發生，這相應地保護了讀/寫頭免於受損。通過以下的描述並結合附圖，本發明將變得更加清晰，這些附圖用於解釋本發明 的實施例。


圖1為傳統磁碟驅動單元的立體圖。圖2a為如圖1所示磁碟驅動單元中的磁頭和微驅動器組合的立體圖。圖2b為圖2a所示磁頭和微驅動器組合與磁碟一起工作時的側視圖。圖3為本發明具有磁頭和微驅動器組合的磁頭折片組合的俯視圖。圖4a為圖3所示磁頭折片組合的局部立體圖。圖4b為圖3所示磁頭折片組合的局部分解圖。圖4c為圖3所示磁頭折片組合的局部俯視圖。圖5a為圖3所示磁頭和微驅動器組合的立體圖。圖5b為圖5a所示磁頭和微驅動器組合的俯視圖。圖6a展示了圖5a所示磁頭和微驅動器組合中的PZT微驅動器的極化方向和輸入 電壓的一種方式。圖6b展示了圖5a所示磁頭和微驅動器組合中的PZT微驅動器的極化方向和輸入 電壓的另一種方式。圖7為圖5a所示磁頭和微驅動器組合與磁碟一起工作時的側視圖。圖8a展示了圖5a所示磁頭和微驅動器組合的位移仿真數據。圖8b展示了圖3所示磁頭折片組合的共振性能。圖9為本發明的製造磁頭和微驅動器組合的方法的流程圖。圖lOa-lOi具體展示了如何利用圖9所示方法製造磁頭和微驅動器組合。圖11為本發明磁碟驅動單元的立體圖。
具體實施例方式下面將參考附圖闡述本發明幾個不同的最佳實施例，其中不同圖中相同的標號代 表相同的部件。如上所述，本發明涉及的是一種磁頭和微驅動器組合。所述磁頭和微驅動器 組合包括具有尾邊和與所述尾邊相對的前邊的基底；形成於所述基底的尾邊的讀/寫頭； 以及形成於所述基底的前邊的壓電微驅動器，其中，所述壓電微驅動器通過兩個間隔的隔 離層與所述基底的前邊連接以在所述壓電微驅動器和所述基底的前邊之間形成空隙，當所 述壓電微驅動器被驅動從而通過所述空隙對所述基底產生一旋轉扭矩時，具有所述讀/寫 頭的基底繞所述基底的中心旋轉。所述磁頭和微驅動器組合的整體結構避免了壓電微驅動 器被驅動時在讀/寫頭上產生電壓並相應地保護讀/寫頭免於受損。圖3展示了本發明的磁頭折片組合1105的一個實施例。參考圖3，所述磁頭折片 組合1105主要包括磁頭和微驅動器組合400以及承載或者支撐所述磁頭和微驅動器組合 400的懸臂件。所述懸臂件包括裝配在一起的基板401、樞接件402、撓性件403以及負載杆 404。所述負載杆404通過所述樞接件402連接到所述基板401上，所述撓性件403穿過所 述樞接件402到達所述負載杆404。所述負載杆404的一端連接連接到鉸接於驅動臂(圖 未示)的所述基板401上，所述負載杆404的另一端支撐所述撓性件403的舌片區域。所 述撓性件403的舌片區域為所述磁頭和微驅動器組合400提供撓性。為了平穩均勻地把負 載力從所述負載杆404轉移到所述磁頭和微驅動器組合400上，所述負載杆404提供一凸 點520 (如圖7所示)來支撐所述舌片區域之磁頭和微驅動器組合400安裝的位置。所述 撓性件403同時在其頂端形成一懸浮區域455以便於所述磁頭和微驅動器組合400上的讀 /寫頭501的電連接。參考圖4a_4c，所述舌片區域支撐所述磁頭和微驅動器組合400並具有外部舌片 607、形成於所述外部舌片607內的內部舌片608以及分別連接所述內部舌片608的對稱位 置和所述外部舌片607的一對曲臂409、610。所述曲臂409，610與所述外部舌片607以及 所述內部舌片608 —起形成了一對空隙411、412，其中所述空隙411形成在外部舌片607和 曲臂409之間以及曲臂610和內部舌片608之間，所述空隙412形成在外部舌片607和曲 臂610之間以及曲臂409和內部舌片608之間。基於如上所述結構，撓性舌片區域形成了 一種彈性結構用於支撐所述磁頭和微驅動器組合400，因此不會有作用力傳遞到所述撓性 件403上，從而使所述磁頭折片組合具有較好的動態性能、較低的折片剛度和較好的伺服 帶寬。另外，在所述外部舌片607的相對兩側形成有一對外觸發板611a、611b，所述外觸 發板611a、611b分別向外部舌片607延伸並在兩弱點612a、612b處與外部舌片607連接。 所述外觸發板611a、611b的引入使撓性件403的舌片區域具有足夠的剛度來支撐所述磁頭 和微驅動器組合400。詳細參照圖4b，所述外部舌片607上形成有兩個壓電連接觸點607a、607b，所述 懸浮區域455上形成有多個讀/寫頭連接觸點416。所述撓性件403上置有一組內部線纜 411a、411b和一組外部線纜410a、410b。所述內部線纜411a、411b分別先沿著所述外觸發 板611a、611b延伸到所述弱點612a、612b，再沿著外部舌片607延伸到所述壓電連接觸點 607a、607b上，所述外部線纜410a、410b沿著懸浮區域455延伸到讀/寫頭連接觸點416。參考圖5a_5b，所述磁頭和微驅動器組合400包括具有尾邊和與所述尾邊相對的前邊的基底425、形成於所述基底425的尾邊的讀/寫頭501以及形成於所述基底425的前 邊的壓電微驅動器420。由於壓電微驅動器420形成在基底425的前邊，同時讀/寫頭501 形成在基底425的尾邊，因此，當壓電微驅動器420被驅動時，讀/寫頭501上不會產生電 壓，靜電放電問題不會發生，這相應地保護了讀/寫頭501免於受損。較佳地，所述基底425與所述讀/寫頭501以及所述壓電微驅動器420 —體成型。 在本實施例中，壓電微驅動器420通過兩個間隔的隔離層516、517，例如粘結劑層或者聚合 物層與所述基底425的前邊連接，由此相應地在所述壓電微驅動器420與所述基底425的 前邊之間形成空隙514。這種磁頭和微驅動器組合400利用空隙514做輔助的設計，使所述 壓電微驅動器420被驅動從而通過所述空隙514對所述基底425產生一旋轉扭矩，進而使 具有所述讀/寫頭501的基底425能繞所述基底425的中心旋轉。具體地，所述壓電微驅 動器420包括形成於所述基底425的前邊的第一電極層505、形成於所述第一電極層505上 的壓電層506以及分別形成於所述壓電層506上並相互間隔的兩個第二電極層507a、507b， 由此形成兩部分壓電元件。所述第一電極層505通過兩個間隔的隔離層516、517例如粘 結劑層或者聚合物層與所述基底425的前邊連接。在本實施例中，所述兩個間隔的隔離層 516,517分別與所述壓電微驅動器420中每部分壓電元件的一端以及所述基底425的前邊 連接。如上所述，所述第一電極層505、所述壓電層506和所述第二電極層507a—起形成了 第一部分壓電元件，所述第一電極層505、所述壓電層506和所述第二電極層507b —起形成 了第二部分壓電元件。所述兩部分壓電元件擁有一共同的第一電極層505。在所述第二電 極層507a、507b上分別形成有兩個觸點421a、421b，此外，在所述讀/寫頭501上形成有多 個觸點505。參考圖4b，當把所述磁頭和微驅動器400裝配到所述撓性件403的內部舌片608 上時，所述磁頭和微驅動器400通過一隔離層602諸如環氧樹脂機械連接於所述撓性件403 的內部舌片608。參考圖4c，所述懸浮區域455上的讀/寫頭連接觸點416分別通過多個 焊球419與所述讀/寫頭501上相對應的觸點505電性連接，而所述外部舌片607上的兩 壓電連接觸點607a、607b分別通過焊球423與所述壓電微驅動器420的第二電極層507a、 507b上相對應的觸點421a、421b電性連接，因此，當電壓通過內部線纜411a、411b施加給 所述壓電微驅動器420時，一部分壓電元件將會收縮，同時另一部分將會擴張，從而形成一 旋轉扭矩。由於所述兩個間隔的隔離層516、517分別連接所述壓電微驅動器420中每部分 壓電元件的一端以及所述基底425的前邊，同時所述焊球423與所述每部分壓電元件的另 一端以及撓性件403上的外部舌片607固定連接，且所述外部舌片607通過兩個曲臂409， 610與支撐所述磁頭和微驅動器組合400的內部舌片608在所述內部舌片608的對稱位置 連接，因此所述磁頭和微驅動器組合400能夠繞其所述基底425的中心旋轉。由於讀/寫 頭501是設置在所述基底425的尾邊，所以所述讀/寫頭501的位置得以調整。以下將說明磁頭和微驅動器組合400的工作原理。參考圖6a，第一壓電元件和第 二壓電元件具有相反的極化方向。當所述第一電極層505接地並且所述第二電極層507a、 507b通過觸點421a、421b被施加同相正弦電壓時，其中一個壓電元件將會收縮而另一個壓 電元件將會擴張。參考圖6b，所述第一壓電元件和第二壓電元件具有相同的極化方向。當 所述第一電極層505接地而所述第二電極層507a、507b通過觸點421a、421b被施加反向正 弦電壓時，其中一個壓電元件將會收縮而另一個壓電元件將會擴張。由於空隙514的存在，如上所述兩種方式的第一和第二壓電元件的形變將會對所述基底425形成一旋轉扭矩，從 而相應地使具有讀/寫頭501的基底425繞所述基底425的中心旋轉。此外，參考圖7，由於負載杆404的凸點520支撐著撓性件403的舌片區域，並且所 述舌片區域形成彈性結構支撐磁頭和微驅動器組合400，所述磁頭和微驅動器組合400平 穩地置於所述凸點520之上並相應地僅繞凸點520旋轉。因此，所述磁頭和微驅動器組合 400能獲得良好的動態性能和位置調整能力。圖8a展示了磁頭和微驅動器組合400的位移仿真數據。可以從圖上看出位移幅度 明顯增大，這論證了所述磁頭和微驅動器組合400具有良好的動態性能和位置調整能力。 圖8b展示了磁頭折片組合的共振性能，由於磁頭和微驅動器組合400通過撓性件403上舌 片區域的彈性結構從而僅繞凸點520旋轉，因此當所述磁頭和微驅動器組合400工作時，沒 有反作用力傳遞到懸臂件上，這也是共振曲線在低頻區增益很小的原因。由於所述磁頭和 微驅動器組合400隻有一個共振峰值，這論證了所述磁頭折片組合具有較好的位置調整能 力和期望的伺服帶寬。圖9是本發明製造磁頭和微驅動器組合的方法的流程圖，圖lOa-lOi具體展示了 如何利用圖9所示方法來製造磁頭和微驅動器組合。參考圖9，製造磁頭和微驅動器組合的 方法包括如下步驟提供一晶圓1001，所述晶圓1001具有尾邊和與所述尾邊相對的前邊並 包含有多個長形條1002，每個長形條1002具有尾邊和與所述尾邊相對的前邊，多個讀/寫 頭形成於每個長形條1002的尾邊(步驟S1,同時參考圖lOa-lOb)；在所述晶圓1001的前 邊的每兩條間隔線上層壓一層隔離層1004，例如粘結劑層或者聚合物層(步驟S2，同時參 考圖10c)；在所述隔離層1004上形成第一電極層1007 (步驟S3，同時參考圖10d)；在所述 第一電極層1007上形成壓電層1008 (步驟S4,同時參考圖10e)；在所述壓電層1008上形 成兩個第二電極層1009，所述兩個第二電極層相互間隔(步驟S5，同時參考圖10f)；在每 個第二電極層1009上形成電觸點，極化壓電層1008並把所述晶圓1001切割成多個具有成 排讀/寫頭的長形條1002 (步驟S6，同時參考圖10g)；對所述每個長形條1002進行圖案以 形成每個讀/寫頭的空氣承載面(步驟S7,同時參考圖10h)；把所述每個長形條1002切割 成單獨的磁頭和微驅動器組合1003 (步驟S8，同時參考圖10i)；測試每個磁頭和微驅動器 組合1003的性能(步驟S9)。圖10為本發明磁碟驅動單元的一個實施例。如圖10所示，磁碟驅動單元可以通 過組裝殼體1010、磁碟1102、用於旋轉磁碟1102的主軸馬達1103、音圈馬達1060和連接有 磁頭折片組合1105的驅動臂1104來獲得。因為磁碟驅動單元的結構和組裝過程為本領域 一般技術人員所熟知，所以在此省略關於其結構和組裝的詳細描述。以上所揭露的僅為本發明的較佳實施例而已，當然不能以此來限定本發明之權利 範圍，因此依本發明申請專利範圍所作的等同變化，仍屬本發明所涵蓋的範圍。
權利要求
一種磁頭和微驅動器組合，包括具有尾邊和與所述尾邊相對的前邊的基底；形成於所述基底的尾邊的讀/寫頭；以及形成於所述基底的前邊的壓電微驅動器，其特徵在於所述壓電微驅動器通過兩個間隔的隔離層與所述基底的前邊連接以在所述壓電微驅動器與所述基底的前邊之間形成空隙，其中，當所述壓電微驅動器被驅動從而通過所述空隙對所述基底產生一旋轉扭矩時，具有所述讀/寫頭的基底繞所述基底的中心旋轉。
2.如權利要求1所述的磁頭和微驅動器組合，其特徵在於所述基底與所述讀/寫頭 以及所述壓電微驅動器一體成型。
3.如權利要求1所述的磁頭和微驅動器組合，其特徵在於所述兩個間隔的隔離層分 別連接所述壓電微驅動器的兩端和所述基底的前邊。
4.如權利要求1所述的磁頭和微驅動器組合，其特徵在於所述壓電微驅動器包括形 成於所述基底的前邊的第一電極層、形成於所述第一電極層上的壓電層以及分別形成於所 述壓電層上並相互間隔的兩個第二電極層。
5.一種磁頭折片組合，包括 磁頭和微驅動器組合；以及用於支撐所述磁頭和微驅動器組合的懸臂件， 其中所述磁頭和微驅動器組合包括 具有尾邊和與所述尾邊相對的前邊的基底； 形成於所述基底的尾邊的讀/寫頭；以及 形成於所述基底的前邊的壓電微驅動器，其特徵在於所述壓電微驅動器通過兩個間隔的隔離層與所述基底的前邊連接以在所 述壓電微驅動器與所述基底的前邊之間形成空隙，其中，當所述壓電微驅動器被驅動從而通過所述空隙對所述基底產生一旋轉扭矩時， 具有所述讀/寫頭的基底繞所述基底的中心旋轉。
6.如權利要求5所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述基底與所述讀/寫頭以及所 述壓電微驅動器一體成型。
7.如權利要求5所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述兩個間隔的隔離層分別連接 所述壓電微驅動器的兩端和所述基底的前邊。
8.如權利要求5所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述壓電微驅動器包括形成於所 述基底的前邊的第一電極層、形成於所述第一電極層上的壓電層以及分別形成於所述壓電 層上並相互間隔的兩個第二電極層。
9.如權利要求5所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述懸臂件包括撓性件，所述撓性 件具有用於支撐所述磁頭和微驅動器組合的舌片區域，所述舌片區域具有外部舌片、形成 於所述外部舌片內的內部舌片以及分別連接所述內部舌片的對稱位置和所述外部舌片的 一對曲臂。
10.如權利要求9所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述磁頭和微驅動器組合通過隔 離層機械連接於所述內部舌片。
11.如權利要求9所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述壓電微驅動器上形成有兩個 觸點，所述外部舌片上形成有與所述壓電微驅動器的兩個觸點對應的兩個壓電連接觸點， 所述壓電微驅動器的兩個觸點分別與所述外部舌片的兩個壓電連接觸點連接。
12.如權利要求9所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述撓性件包括位於所述外部舌 片相對兩側的一對外觸發板，所述一對外觸發板分別向所述外部舌片延伸並與所述外部舌 片連接。
13.一種磁碟驅動單元包括 磁頭折片組合；和所述磁頭折片組合相連的驅動臂；磁碟；用於旋轉所述磁碟的主軸馬達； 其中所述磁頭折片組合包括 磁頭和微驅動器組合；以及 用於支撐所述磁頭和微驅動器組合的懸臂件， 其中所述磁頭和微驅動器組合包括 具有尾邊和與所述尾邊相對的前邊的基底； 形成於所述基底的尾邊的讀/寫頭；以及 形成於所述基底的前邊的壓電微驅動器，其特徵在於所述壓電微驅動器通過兩個間隔的隔離層與所述基底的前邊連接以在所 述壓電微驅動器與所述基底的前邊之間形成空隙，其中，當所述壓電微驅動器被驅動從而通過所述空隙對所述基底產生一旋轉扭矩時， 具有所述讀/寫頭的基底繞所述基底的中心旋轉。
14.一種製造磁頭和微驅動器組合的方法，包括如下步驟提供一晶圓，所述晶圓具有尾邊和與所述尾邊相對的前邊，多個讀/寫頭形成於所述 晶圓的尾邊；在所述晶圓的前邊的每兩條間隔線上層壓一層隔離層； 在所述隔離層上形成壓電微驅動器；把所述晶圓切割成多個長形條，每個長形條上具有成排的讀/寫頭； 對所述每個長形條進行圖案以形成每個讀/寫頭的空氣承載面；以及 把所述每個長形條切割成單獨的磁頭和微驅動器組合。
15.如權利要求14所述的製造磁頭和微驅動器組合的方法，其特徵在於所述在隔離 層上形成壓電微驅動器的步驟包括在所述隔離層上形成第一電極層； 在所述第一電極層上形成壓電層；以及在所述壓電層上形成兩個第二電極層，所述兩個第二電極層相互間隔。
全文摘要
本發明公開了一種磁頭和微驅動器組合。所述磁頭和微驅動器組合包括具有尾邊和與所述尾邊相對的前邊的基底；形成於所述基底的尾邊的讀/寫頭；以及形成於所述基底的前邊的壓電微驅動器，所述壓電微驅動器通過兩個間隔的隔離層與所述基底的前邊連接以在所述壓電微驅動器與所述基底的前邊之間形成空隙，其中，當所述壓電微驅動器被驅動從而通過所述空隙對所述基底產生一旋轉扭矩時，具有所述讀/寫頭的基底繞所述基底的中心旋轉。所述磁頭和微驅動器組合的結構避免了讀/寫頭在壓電微驅動器被驅動時受損同時能取得較好的工作性能。本發明也公開了磁頭和微驅動器組合的製造方法、磁頭折片組合以及磁碟驅動單元。
文檔編號G11B5/00GK101859570SQ20091013411
公開日2010年10月13日 申請日期2009年4月7日 優先權日2009年4月7日
發明者姚明高, 解貽如, 郭林 申請人:新科實業有限公司