緊密接觸型曝光裝置的製作方法
2023-10-06 23:08:34 1
專利名稱：緊密接觸型曝光裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種緊密接觸型曝光裝置。
背景技術：
廣泛應用於各個領域的光刻法(photolithographic method)，是在塗布有光致抗蝕劑(photo resist)等感光材料的基板表面上通過曝光裝置來感光燒成預定的圖形，然後通過蝕刻(etching)工藝在基板上形成圖形，近年來印刷電路基板(printed circuit board(s))也使用曝光裝置來製造。
在該曝光裝置中，為了在曝光時使描畫有圖形原樣的光掩模(photomask)與印刷基板的緊密接觸性提高，廣泛採用將兩者之間抽成真空使其緊密接觸的真空緊密接觸法，而使用該方法的曝光裝置稱為緊密接觸型曝光裝置。但是，在緊密接觸型曝光裝置中，存在難以使光掩模和印刷基板完全均勻地緊密接觸的問題。光掩模由玻璃製成，或者，將應曝光電路等描畫在光掩模薄膜(photo mask film)上，然後由貼附有該光掩模薄膜(photo mask film)的玻璃或者樹脂板構成，但是，當通過真空壓力使光掩模與印刷電路基板接觸時，未與印刷電路基板接觸的光掩模的周緣部發生彎曲，從而其結果是有可能產生印刷電路基板與光掩模接觸不良的部分。該接觸不良會導致曝光時的析像不良。
為了防止該問題，以往採用利用膠帶等在基板的周圍粘貼多個間隔(spacer)片的方法，或者是將間隔片的腳部插入抽氣孔而固定(文獻1)的方法等來進行配置，從而能夠通過該間隔片來抑制光掩模的變形。
專利文獻1日本特開2001-42543但是由於通過膠帶粘貼多個間隔片或者將多個間隔片的腳部插入抽氣孔的作業煩瑣，存在安裝或取下作業費時的問題。特別是由於需要按照基板的厚度和大小來更換間隔片，這種情況下就需要花費時間來進行更換作業。
發明內容
本發明目的在於解決上述現有技術問題。
為了實現上述目的，本發明的緊密接觸型曝光裝置具有放置印刷電路基板的工作檯(platen)；描畫有應曝光圖形並用於與印刷電路基板接觸而曝光該圖形的光掩模；對所述光掩模和印刷電路基板之間進行密封的裝置；以及對所述光掩模和印刷電路基板之間進行抽氣的抽氣裝置，該緊密接觸型曝光裝置的特徵在於，具有框體，該框體為圍繞所述印刷電路基板的形狀，並且其厚度與印刷電路基板的厚度基本相同，該框體以圍繞所述印刷電路基板的方式且在所述密封裝置的內側放置於所述工作檯上。
在上述結構中，光掩模在通過框體與印刷電路基板緊密接觸時不會產生變形，能夠提高光掩模和印刷電路基板的緊密接觸性，從而能夠進行良好的曝光。並且由於框體是一體的單一部件，所以裝卸簡單，從而能夠進行自動搬運和自動更換。優選使該框體構成為能夠通過吸附裝置可裝卸地進行固定的結構，這樣通過該結構能夠實現更加簡單地進行安裝和更換等的效果。
框體的厚度與印刷電路基板的厚度相同，或者厚0～+0.1mm。根據條件也可以與基板相差-0.2～+0.2mm。
在將所述框體安裝於基板周圍時，可能會阻礙對框體內側空間的抽氣。因此，優選設置使所述框體的內側和外側連通的連通通路，從而能夠有效地進行對框體內側空間的抽氣。該流通通路在優選實施例中，在與所述工作檯接觸的框體背面側採用使框體的內側和外側連通的流通槽。另外，該流通槽也可以設置於工作檯側。所述抽氣裝置的抽氣口優選設置於所述密封裝置的內側且位於所述框體外側，在從該抽氣口對框體的外側進行抽氣的同時，通過所述流通通路也能夠對框體的內側進行抽氣。
另外，在無法形成框體時，也可以構成為在印刷電路基板的兩側放置的平板。此時，特徵在於，具有座板，放置在所述工作檯上，並且所述印刷電路基板放置於該座板上；一對平板，其厚度與印刷電路基板的厚度基本相同，並配置於放置在該座板上的印刷電路基板的兩側；以及在所述工作檯上可裝卸地固定該座板的吸附裝置。
在該結構中，由於平板與座板一體地通過吸附裝置可裝卸地進行固定，因此能夠簡單地進行安裝、更換等。
根據本發明的緊密接觸型曝光裝置，能夠提高光掩模與印刷電路基板的緊密接觸性，進行良好的曝光。並且由於框體是一體的單一部件，因此裝卸簡單，能夠進行自動搬運和自動更換。
圖1是表示本發明一實施方式的概略圖。
圖2是表示本發明一實施方式的俯視圖。
圖3是表示本發明一實施方式的側視圖。
圖4是本發明一實施方式的動作說明圖。
圖5是圖4的局部放大圖。
圖6是表示本發明另一實施方式的俯視圖。
圖7是表示本發明另一實施方式的側視圖。
標號說明1、光掩模；2、基板；3、框體；4、密封墊；5、抽氣裝置；7、座板；10、光掩模支撐裝置；20、工作檯；21、移動機構；30、流通槽；35、間隙；40、密封空間；50、抽氣通路；51、抽氣泵；52、抽氣口；55、吸附通路；56、吸附口；70、間隔部；71、吸附孔；90、曝光光源；91、CCD照相機；99、控制裝置具體實施方式
以下參照附圖對本發明的實施方式進行說明。
圖1是用於製造印刷電路基板的緊密接觸型曝光裝置，其中塗布了光致抗蝕劑的印刷電路基板2放置於工作檯20上，並能夠通過移動機構21向XYZ和方向移動。
描畫有電路圖形的光掩模1被光掩模支撐裝置10支撐成在基板2的上方與基板2相對，然後，使基板2接近光掩模1，並在光掩模1和基板2之間進行抽氣使它們緊密接觸，再通過來自曝光光源90的曝光在基板2上燒出光掩模1的電路圖形。
光掩模1為玻璃掩模(glass mask)，其直接描畫有電路圖形或者貼附有描畫了電路圖形的薄膜掩模。
另外，使用CCD照相機91來進行光掩模1和基板2的定位。
並且，控制裝置99對裝置整體進行控制。
另外，可以構成為不使工作檯20移動而使光掩模支撐裝置10移動，也可以構成為使兩者移動。
如圖2所示，在工作檯20上的、放置基板2的部分的周圍安裝有密封墊(packing)4。該密封墊4配置於放置電路板2的部分的周圍，並對光掩模1和電路板2之間的空間進行密封(seal)，形成圖3所示的密封空間40。
該密封而成的密封空間40被構成為通過抽氣通路50和具有抽氣泵51的抽氣裝置5進行抽氣。
抽氣通路50形成在工作檯20中，並且，如圖3所示，在工作檯20的表面上具有在密封墊4的內側開口的抽氣口52。通過該抽氣口52和抽氣通路50以及抽氣泵51，對由密封墊4密封的密封空間40進行抽氣，從而使光掩模1緊密接觸在印刷電路基板2上。
在基板2的外側周圍還裝有框體3。框體3為板狀的框，並且其內側具有能夠收納印刷電路基板2且空出預定的間隙35的大小。框體3的厚度如上所述與印刷電路基板2基本相同，或者也可以厚0～+0.2mm。另外，框體3的材質是具有與印刷基板同等以上硬度的材質，考慮到加工性和搬運性等而優選不鏽鋼。另外，在印刷基板較厚、框體3較厚的情況下，使用丙稀、PET、氯乙烯等樹脂，從而能夠實現輕量化。
如圖2和圖3所示，在工作檯20中還形成有吸附通路55和吸附口56，從而能夠進行基板2與框體3的吸附固定。即，框體3放置在工作檯20上，該框體3通過在其下側開口的吸附口56和吸附通路55而在抽氣裝置5的抽氣作用下被可裝卸地吸附在工作檯20上。吸附口56如圖2所示配設在與框體3的基本為框形的整個面相當的位置上，從而能夠可靠地進行吸附固定。
另外，印刷電路基板2也同樣地通過吸附口56和吸附通路55而在抽氣裝置5的抽氣作用下被吸附在工作檯20上。
抽氣通路50和吸附路55為不同迴路，它們能夠分別進行抽氣。既可以使用共同的抽氣泵51，也可以分別安裝泵。
由於框體3是一體的，因此能夠如上所述通過吸附而可靠固定。
在框體3的背面、工作檯20側的面上形成有流通槽30，從而能夠有效地對框體30和基板2之間形成的間隙35進行抽氣。
在如本發明那樣通過框體3圍繞基板2的情況下，如圖4和圖5所示，在光掩模1和基板2緊密接觸時，間隙35成為封閉空間而變成不能夠從抽氣口52進行抽氣的狀態。因此，通過流通槽30使框體3的內側(間隙35)和外側連通，從而能夠可靠地進行對間隙35的抽氣，進而能夠可靠地進行光掩模1和基板2的緊密接觸。
如圖2所示，在本實施方式中，流通槽30設置於四個位置，但是也可以根據需要增減。
另外，流通槽30也可以形成於工作檯20側。
另外，框體3的大小和厚度也可以根據印刷電路基板2而變更。並且，框體3的安裝和更換也能夠通過搬運印刷電路基板2的搬運手進行。另外，也可以設置專用的搬運裝置，還可以通過人手進行。
在任何情況下，由於框體3為一體並且放置在工作檯20上，並能夠通過抽氣裝置5的抽氣進行吸附，因此易於進行安裝和更換。
對動作進行說明。
在吸附於工作檯20上的框體3中，通過搬運手(未圖示)等對印刷電路基板2進行放置，然後對其吸附固定。
控制裝置99在通過移動機構21完成了光掩模1和印刷電路基板2的定位等預定處理後，控制移動機構21使工作檯20向上方移動，使光掩模1與基板2接近，並在兩者緊密接觸的位置停止。
使移動機構21的移動停止後，控制裝置99控制抽氣泵51開始抽氣。通過該抽氣使光掩模1和基板2之間的密封空間40成為負壓狀態，並且通過流通槽30能夠對間隙35也可靠地進行抽氣，從而使光掩模1和基板2可靠地緊密接觸。
此時，不與印刷電路基板2接觸的光掩模1的周緣部和具有與印刷電路基板2基本相同厚度的框體3接觸，因此光掩模1不會產生彎曲，從而能夠良好地進行印刷電路基板2和光掩模1的緊密接觸。
在光掩模1和基板2緊密接觸後，從曝光光源90照射曝光光，從而在基板2上燒出光掩模1的電路圖形，然後結束曝光並移動至下一工序。
圖6和圖7表示另一實施方式。
該實施方式用於無法形成框體3的情況。
座板7被放置在工作檯20上，並在座板7的兩側貼附固定有一對間隔部70。在該間隔部70之間放置有印刷電路基板2。
在座板7的印刷電路基板2放置部分上設有多個吸附孔71，所述吸附孔71與在所述工作檯20上開口的吸附口56連通，從而進行對印刷電路基板2的吸附。
座板7自身也與框體3的情況相同，通過吸附口56而由抽氣裝置5進行吸附。
權利要求
1.一種緊密接觸型曝光裝置，其具有放置印刷電路基板的工作檯；描畫有應曝光圖形並用於與印刷電路基板接觸而曝光該圖形的光掩模；對所述光掩模和印刷電路基板之間進行密封的密封裝置；以及對所述光掩模和印刷電路基板之間進行抽氣的抽氣裝置，其特徵在於，所述緊密接觸型曝光裝置具有框體，該框體為圍繞所述印刷電路基板的形狀，並且其厚度與印刷電路基板的厚度基本相同，該框體以圍繞所述印刷電路基板的方式且在所述密封裝置的內側放置於所述工作檯上。
2.如權利要求1所述的緊密接觸型曝光裝置，其中，還具有使所述框體的內側和外側連通的流通通路。
3.如權利要求2所述的緊密接觸型曝光裝置，其中，所述流通通路是在與所述工作檯接觸的框體側的面上形成的流通槽。
4.如權利要求2所述的緊密接觸型曝光裝置，其中，所述流通通路是在與所述框體接觸的工作檯側的面上形成的流通槽。
5.如權利要求2所述的緊密接觸型曝光裝置，其中，所述抽氣裝置具有抽氣口，所述抽氣口在所述密封裝置內側且位於所述框體外側，所述抽氣裝置在對框體的外側進行抽氣的同時，通過所述流通通路也對框體的內側進行抽氣。
6.如權利要求1或2所述的緊密接觸型曝光裝置，其中，還具有將該框體可裝卸地固定於所述工作檯上的吸附裝置。
7.一種緊密接觸型曝光裝置，其具有放置印刷電路基板的工作檯；描畫有應曝光圖形並用於與印刷電路基板接觸而曝光該圖形的光掩模；對所述光掩模和印刷電路基板之間進行密封的裝置；以及對所述光掩模和印刷電路基板之間進行抽氣的抽氣裝置，其特徵在於，所述緊密接觸型曝光裝置具有座板，其放置在所述工作檯上，並且所述印刷電路基板放置於該座板上；一對平板，其厚度與印刷電路基板的厚度基本相同，並配置於放置在該座板上的印刷電路基板的兩側；以及在所述工作檯上可裝卸地固定該座板的吸附裝置。
全文摘要
本發明提供一種光掩模與基板的緊密接觸性高的緊密接觸型曝光裝置。在基板(2)的外側周圍安裝框體(3)並通過吸附口(56)吸附固定。通過框體(3)提高光掩模和基板的緊密接觸性。此外由於框體(3)是一體的，所以通過吸附而能夠可靠固定，並且裝卸簡單易行，也是為進一步自動化做的準備。在框體(3)的背面形成有流通槽(30)，以便對框體(3)和基板(2)之間形成的間隙(35)進行抽氣，從而能夠可靠地進行光掩模(1)和基板(2)的緊密接觸。
文檔編號H05K3/00GK1987655SQ20061011067
公開日2007年6月27日 申請日期2006年8月7日 優先權日2005年12月22日
發明者五十嵐晃, 田口陽介 申請人:株式會社阿迪泰克工程