外氣水洗裝置的製作方法
2023-10-09 15:13:04 1
專利名稱：外氣水洗裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種外氣水洗裝置，特別是指一種能將外界空氣淨化到適用於例如無塵室使用且大幅提升其水洗空氣的洗條效果、洗滌效率並進而省水、省電與降低成本的外氣水洗裝置。
背景技術：
晶片在生產過程中的環境要求，是相當嚴苛的，除了必須精確的控制溫度、溼度以外，還必須達到無塵標準及免於化學物質的幹擾，因此必須對空氣(指所輸入的外界空氣，即外氣)品質進行嚴格的控管。
請參閱圖1、圖2所示，即為目前用以嚴格控管外氣品質的外氣水洗裝置，該外氣水洗裝置1包括一洗濾單元15、分別設置於該洗濾單元15兩相對側的兩盤管單元13、14、及分別設置於該兩盤管單元13、14相對外側的前、後空調箱11、12。其中，該前、後空調箱11、12是用以抽、送外界空氣，該兩盤管單元13、14是用以適度的調節空氣溫度，至於該洗濾單元15則包括一具有多數噴嘴1511的水洗組151，一用以過濾、攔截髒汙的蜂巢板152、一用以回收水而提供再利用的第一容器154、一藉由管路1531、1532而連接於所述水洗組151與第一容器154間的第二泵體153、一用以先行儲存純水的第二容器155、及一藉由管路157、158而連接於所述第一、二容器154、155間的第一泵體156，故該第二泵體153可藉由第一容器154所回收的水而提供該水洗組151的噴水供應，藉以使空氣含水而達到所需溼度要求，還能達到洗滌空氣、並使其洗滌後的水可被第一容器154所回收的目的，而第一泵體156則能將第二容器155內的純水補入第一容器154之內，藉以稀釋該第一容器154內的髒汙濃度。如此，以便外界空氣具有一定的潔淨度，而適用於無塵室，並利於晶片或半導體等的生產、製造。
但是，現今半導體製程不斷朝向納米化發展，不但已由過往的0.18μm而至0.13μm，甚至於還發展到90nm，因此，其對於無機性氣體的防汙染要求程度亦相對愈高，然而前述的外氣水洗裝置1，其洗濾單元15的第一泵體156是將第二容器155內的純水補入第一容器154之內，而其第二泵體153則使用該第一容器154內的回收水來供其水洗組151噴水，因此，其是利用髒汙的水來洗髒汙的空氣，所述空氣的潔淨度當然會無法提升。請參閱圖3所示的濃度變化趨勢的簡要示意圖(其中，A出口，B入口，C被洗下的空氣濃度，D水中含氣體的濃度，Y濃度)，即揭示了所述洗濾單元15的前端(入口)、後端(出口)間的「被洗下的空氣濃度」是愈來愈低，而「水中含氣體(指可溶於水的氣體)的濃度」則愈來愈高，並終將導致其水中含氣體的濃度達到臨界而無法再洗去空氣中的髒汙，水洗的洗滌效果乃大打折扣，影響空氣的潔淨度。
同時，基於成本的考慮，還必須有效降低其在用水與運轉上的成本，但是該公知的外氣水洗裝置1，其為了能夠加強其洗滌的空氣的洗淨效果，因此其水洗組151的噴水量必然極大，相對使其第二泵體153的耗電量大增，造成浪費水、浪費電的缺點。
發明內容
本實用新型的主要目的是提供一種外氣水洗裝置，其具有的第二水洗組是使用純水淨化空氣，並形成逆向流的洗滌模式，以有效的大幅提升其水洗的洗滌效果，並能達到既省水又省電以降低成本的功效。
為達上述的目的，本實用新型可通過如下措施實現一種外氣水洗裝置，包括一洗濾單元、設置於該洗濾單元兩側的兩溫控單元、及分別設置於該兩溫控單元外側的前、後空調箱；該洗濾單元則包括一第一擋水體；一第一水洗組，其具有多個噴水器；一第二水洗組，其具有多個噴水器；一第一容器，回收來自於所述第一、二水洗組與第一擋水體的水；一第一泵體，其連接於所述第一水洗組與第一容器之間，並對該第一水洗組供水；及一第二容器，其內容裝乾淨的水且連接於所述的第二水洗組，並對該第二水洗組供水。
所述的外氣水洗裝置中，該第一水洗組是設置於該第一擋水體的前側，該第二水洗組則設置於該第一擋水體的後側。
所述的外氣水洗裝置中，該洗濾單元是進一步增設一第二擋水體，該第二擋水體是設置於該洗濾單元的最後側。
所述的外氣水洗裝置中，該第一、二水洗組及第一、二擋水體，是設置於所述第一容器之上。
所述的外氣水洗裝置中，該第一、二水洗組的噴水器的噴水方向，是為與空氣成順向、與空氣成逆向、由上往下噴水及由下往上噴水的多種方式的不規則配置運用。
所述的外氣水洗裝置中，該第二容器是為一設置於高處的重力式供水裝置。
所述的外氣水洗裝置中，該洗濾單元是進一步包括一第二泵體，該第二泵體是連接於所述第二容器與第二水洗組之間，並對該第二水洗組供水。
所述的外氣水洗裝置中，該第一、二水洗組是為單排的型式。
所述的外氣水洗裝置中，該第一、二水洗組是進一步為多排的型式。
所述的外氣水洗裝置中，該第一、二擋水體是為蜂巢板。
所述的外氣水洗裝置中，該第一、二擋水體是為擋水簾。
所述的外氣水洗裝置中，該噴水器是為噴嘴。
所述的外氣水洗裝置中，該第二容器內是容裝純水。
本實用新型的優點在於本實用新型的第二水洗組是直接利用高純度的純水來進行噴水，因此可有效提升其水洗的洗滌效果。本實用新型位於前端的第一水洗組是利用第一容器內所回收的髒汙的水來洗髒汙的空氣，而其位於後端的第二水洗組卻是直接以極乾淨的純水來洗乾淨的空氣，因此其水中含氣體的濃度乃絕不致於達到臨界。本實用新型藉由逆向流的洗滌模式，除能更進一步大幅提升其洗滌效果以外，還能減少前端第一水洗組的噴水量，而同時達到省水、省電的功效，並因此而提升其水洗的洗滌效率且還能降低成本。
圖1為公知外氣水洗裝置的立體示意圖；圖2為公知外氣水洗裝置中的洗濾單元的示意圖；圖3為公知外氣水洗裝置中的洗濾單元的濃度變化趨勢的簡要示意圖；圖4為本實用新型外氣水洗裝置的立體示意圖；圖5為本實用新型外氣水洗裝置中的洗濾單元的示意圖；圖6為本實用新型外氣水洗裝置中的洗濾單元的濃度變化趨勢的簡要示意圖；圖7為本實用新型外氣水洗裝置中的洗濾單元的另一實施例示意圖。
附圖標記說明公知1 外氣水洗裝置11 前空調箱 12 後空調箱13 盤管單元 14 盤管單元15 洗濾單元 151水洗組 1511噴嘴152蜂巢板153第二泵體 1531 管路1532 管路154第一客器155第二容器 157管路156第一泵體 158管路本實用新型2 前空調箱3 後空調箱4 溫控單元5 控單元6 洗濾單元61 第一水洗組 611噴水器62 第一擋水體63 第二水洗組 631噴水器
64 第二擋水體65 第一容器66 第二容器67 第二泵體 671 管路 672管路68 第一泵體 681 管路 682管路具體實施方式
請參閱圖4、圖5所示，本實用新型是提供一種外氣水洗裝置，包括一洗濾單元6、分別設置於該洗濾單元6兩相對側的兩溫控單元4、5，及分別設置於該兩溫控單元4、5相對外側的前、後空調箱2，3。其中，所述前、後空調箱2、3是用以抽、送外界空氣，該兩可為冷卻盤管的溫控單元4、5是為用以適度調節空氣的溫度。
至於該洗濾單元6則包括各具有多個噴水器611、631的第一、二水洗組61、63、用以過濾，攔截髒汙的第一、二擋水體62、64、一用以回收水而提供再利用的第一容器65、一用以循環供水的第一泵體68、一用以供應純水的第二泵體67、及一儲存有純水的第二容器66。
其中，該第一、二水洗組61、63及第一、二擋水體62、64除均設置於所述第一容器65上方以外，還彼此交叉設置。而所述的第一泵體68是藉由管路681、682而連接於該第一水洗組61與第一容器65之間，所述的第二泵體67則藉由管路671、672而連接於該第二水洗組63與第二容器66之間。如此，即能利用高純度的純水來供第二水洗組63直接噴出乾淨的水霧，本實用新型即是藉由該第二水洗組63的設置於所述洗濾單元6的後端，而使該洗濾單元6形成逆向流的洗滌模式。
請參閱圖6所示的本實用新型濃度變化趨勢的簡要示意圖(其中，A出口，B入口，C被洗下的空氣濃度，D水中含氣體的濃度，Y濃度)，其揭示了所述洗濾單元6的前、後端(入、出口)間的「被洗下的空氣濃度」是愈來愈低，但是，「水中含氣體的濃度」卻是逆向愈來愈高，因此本實用新型的第一水洗組61是利用第一容器65內所回收的髒汙的水來洗「髒汙的空氣」，而其第二水洗組63卻是直接以極乾淨的純水來洗「乾淨的空氣」，則其水中含氣體的濃度乃不斷被直接稀釋而絕不致於達到臨界，並藉以使本實用新型洗濾單元6形成逆向流的洗滌模式。
所述的洗濾單元6雖在上述具體實施例中是包括了第一、二水洗組61、63、第一、二擋水體62、64、第一、二容器65、66及第一、二泵體68、67，但此只是為較佳的實施型態，實際上該第二擋水體64亦可不設置。
所述的第一、二水洗組61、63，其噴水方向均可為順或逆向，如圖5所示的該第一、二水洗組61、63即分別為與空氣成順、逆向噴水，而如圖7所示則分別為與空氣成順、順向噴水，本實用新型並不限定該第一水洗組61一定要順向噴水，亦不限定其第二水洗組63一定要逆向噴水，換言之，本實用新型的第一、二水洗組61、63的噴水方向，均可為由上往下噴水、由下往上噴水、與空氣成順向噴水、或與空氣成逆向噴水，還可分別為一上(下)噴而另一下(上)噴、或一順(逆)向噴水而另一逆(順)向噴水，甚至還能混合配置運用(圖未示)。
所述的第二容器66除能如上述藉由第二泵體67來提供該第二水洗組63的噴水供應外，還能在不使用該第二泵體67的情況下，將該第二容器66設於高處而利用重力原理來提供該第二水洗組63的噴水供應(圖未示)。
所述的第一、二水洗組61、63除可為如上述的單排型式外，還可進一步為多排的型式(圖未示)。所述的第一、二擋水體62、64，其可為蜂巢板或擋水簾。而所述的噴水器611，631是可為噴嘴。本實用新型的優點在於一、本實用新型的第二水洗組63是直接利用高純度的純水未進行噴水，因此可有效提升其水洗的洗滌效果。
二、本實用新型位於前端的第一水洗組61是利用第一容器65內所回收的髒汙的水來洗髒汙的空氣，而其位於後端的第二水洗組63卻是直接以極乾淨的純水來洗乾淨的空氣，因此其水中含氣體的濃度乃絕不致於達到臨界，本實用新型的洗濾單元6乃形成逆向流的洗滌模式，並藉以更進一步大幅提升其洗滌效果。
三、本實用新型藉由可成為逆向流的洗滌模式，除能更進一步大幅提升其洗滌效果以外，還能減少前端第一水洗組61的噴水量，而同時達到省水、省電的功效，並因此而提升其水洗的洗滌效率且還能降低成本。
綜上所陳，本實用新型所提供的一種外氣水洗裝置，確可解決先前技術的洗滌效果不佳、洗滌效率不佳、浪費水且浪費電的缺點，實屬於一具有高度實用價值的實用新型產品。
以上所述，僅是本實用新型的一較佳可行的實施例，並非因此即局限本實用新型的權利範圍，凡運用本實用新型說明書及圖式內容所作的等效結構變化，均應包含於本實用新型所要保護的權利範圍內。
權利要求1.一種外氣水洗裝置，包括一洗濾單元、設置於該洗濾單元兩側的兩溫控單元、及分別設置於該兩溫控單元外側的前、後空調箱；其特徵在於該洗濾單元則包括一第一擋水體；一第一水洗組，其具有多個噴水器；一第二水洗組，其具有多個噴水器；一第一容器，回收來自於所述第一、二水洗組與第一擋水體的水；一第一泵體，其連接於所述第一水洗組與第一容器之間，並對該第一水洗組供水；及一第二容器，其內容裝乾淨的水且連接於所述的第二水洗組，並對該第二水洗組供水。
2.如權利要求1所述的外氣水洗裝置，其特徵在於該第一水洗組是設置於該第一擋水體的前側，該第二水洗組則設置於該第一擋水體的後側。
3.如權利要求1或2所述的外氣水洗裝置，其特徵在於該洗濾單元是進一步增設一第二擋水體，該第二擋水體是設置於該洗濾單元的最後側。
4.如權利要求3所述的外氣水洗裝置，其特徵在於該第一、二水洗組及第一、二擋水體，是設置於所述第一容器之上。
5.如權利要求1所述的外氣水洗裝置，其特徵在於該第一、二水洗組的噴水器的噴水方向，是為與空氣成順向、與空氣成逆向、由上往下噴水及由下往上噴水的多種方式的不規則配置運用。
6.如權利要求1所述的外氣水洗裝置，其特徵在於該第二容器是為一設置於高處的重力式供水裝置。
7.如權利要求1所述的外氣水洗裝置，其特徵在於該洗濾單元是進一步包括一第二泵體，該第二泵體是連接於所述第二容器與第二水洗組之間，並對該第二水洗組供水。
8.如權利要求1所述的外氣水洗裝置，其特徵在於該第一、二水洗組是為單排的型式。
9.如權利要求1所述的外氣水洗裝置，其特徵在於該第一、二水洗組是進一步為多排的型式。
10.如權利要求1所述的外氣水洗裝置，其特徵在於該第一、二擋水體是為蜂巢板。
11.如權利要求1所述的外氣水洗裝置，其特徵在於該第一、二擋水體是為擋水簾。
12.如權利要求1所述的外氣水洗裝置，其特徵在於該噴水器是為噴嘴。
13.如權利要求1所述的外氣水洗裝置，其特徵在於該第二容器內是容裝純水。
專利摘要本實用新型涉及一種外氣水洗裝置，特別是指一種做為例如無塵室使用且大幅提升其水洗空氣的洗滌效果的外氣水洗裝置，其包括一洗濾單元、分別設置於該洗濾單元兩側的兩溫控單元及分別設置於該兩溫控單元相對外側的前、後空調箱，該洗濾單元則包括第一、二水洗組、第一、二擋水體、第一、二容器及第一泵體，該第一、二水洗組、擋水體四者是設置於第一容器上，該第一泵體是連接於第一水洗組與第一容器間，藉以利用髒水來洗髒汙的空氣，而該容裝純水的第二容器則連接於該第二水洗組，藉以直接利用極乾淨的純水來洗乾淨的空氣，而使水中含氣體的濃度絕不致於達到臨界，該洗濾單元能形成逆向流的洗滌模式。
文檔編號B01D47/06GK2626593SQ0326172
公開日2004年7月21日 申請日期2003年5月26日 優先權日2003年5月26日
發明者楊政諭 申請人:亞翔工程股份有限公司