高架地板的製作方法

2023-09-24 05:27:50 3

專利名稱：高架地板的製作方法
技術領域：
本實用新型實用新型涉及一種高架地板(raised floor)，尤其涉及一種裝設在無 塵室的高架地板。
背景技術：
隨著科技的進步，在高製造質量的需求下，無塵室(clean room)的要求標準越來 越高。無塵室更是半導體製造業不可或缺的重要設施，且與產品的質量、可靠性及良率息息 相關。 承上所述，目前亂流型側迴風式無塵室的地板多是先在自平水泥地板塗布一層具 防水功能的環氧(印oxy)材料層，若有自動行走車(AGV)行走的需求則再於環氧材料層上 鋪設厚度較厚的鐵板，並通過螺絲將鐵板螺接於無塵室地面。其中，隨著半導體製程越來越 精密，半導體設備也隨之精密化、自動化而有大型化的趨勢，無塵室地板的負荷重量大幅提 升。以面板廠的自動行走車為例，大型面板廠之自動行走車重約3.2噸以上，自動行走車在 鐵板上之運行容易對鐵板造成擠壓，造成鐵板凹陷。因此，面板廠常需更換鐵板，以保持無 塵室地板的平整度。 然而，在更換鐵板時，也需連帶地移除塗布於地板的環氧材料層，此移除作業會產 生大量粉塵，並會對無塵室造成汙染，且此移除作業需較長的施工時間。如此，不僅影響無 塵室之作業環境，也影響到無塵室的生產效率。另一方面，由於鐵板與環氧材料層有不同的 材料特性，鐵板與環氧材料層的組裝精度不佳，且鐵板與環氧材料層的接觸面容易有間隙 存在，更容易導致無塵室地板在自動行走車運行之後產生平整度不佳的情況。

實用新型內容本實用新型提供一種高架地板，其有較佳的組裝精度。 本實用新型提供一種高架地板，其後續維護時有較佳的擴充性、較低之施工成本 及較短之施工時間。 本實用新型提出一種高架地板，其適於裝設在無塵室，此高架地板包括多個適於 架設於無塵室地面的地板支撐架、一第一支撐板件及一第二支撐板件。其中，第一支撐板件 配置於這些地板支撐架上，以與地面距離一預定高度。第二支撐板件則配置於第一支撐板 件上，且第二支撐板件的厚度小於第一支撐板件的厚度。 在本實用新型的一實施例中，每一個地板支撐架包括一支撐部與一承載部，支撐 部固定於無塵室地面，而第一支撐板件固定於承載部。 在本實用新型的一實施例中，高架地板更包括至少一調整墊片，配置於每一個地 板支撐架與無塵室地面之間。 在本實用新型的一實施例中，高架地板更包括多個第一固定螺栓，螺接於地板支 撐架與無塵室地面之間。 在本實用新型的一實施例中，高架地板更包括多個第二固定螺栓，螺接於第一支撐板件與第二支撐板件之間。 在本實用新型的一實施例中，高架地板更包括多個第三固定螺栓，螺接於第一支 撐板件、第二支撐板件以及地板支撐架之間。 在本實用新型的一實施例中，第一支撐板件的材質為鋼。 在本實用新型的一實施例中，第二支撐板件的材質為不鏽鋼。 基於上述，本實用新型是在地板支撐架上鋪設一第一支撐板件以及一厚度小於該 第一支撐板件厚度的第二支撐板件。其中，由於第一支撐板件與第二支撐板件的材質相同， 因此第一支撐板件與第二支撐板件間有良好的接觸關係，進而使得本實用新型的高架地板 有較佳的平整性。此外，在進行無塵室地板之後續維護工程時，僅需更換厚度較薄的第二支 撐板件。如此，能有效地縮短施工時間，且不易造成大量的粉塵汙染。 為讓本實用新型的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合 所附圖式，作詳細說明如下。

圖1為本實用新型一實施例的高架地板的示意圖； 圖2為本實用新型另一實施例的高架地板的示意圖。
具體實施方式由於無塵室內之機臺有大型化的趨勢，因此本實用新型提出一種高架地板，其可 提供較高的承載力、穩定性以及後續維護的擴充性以滿足無塵室的需求。 圖1為本實用新型一實施例的高架地板的示意圖。請參考圖l，本實施例的高架 地板100適於裝設在亂流型側迴風式無塵室。高架地板100主要包括多個適於架設於無塵 室地面G的地板支撐架110、一第一支撐板件120及一第二支撐板件130。其中，地板支撐 架110、第一支撐板件120及第二支撐板件130的材質例如是鋼或是其他硬度較高的剛性 材質。此外，每一個地板支撐架110例如是由一承載部112與一支撐部114所組成，支撐部 114是固定於無塵室地面G，第一支撐板件120則是固定於承載部112，而第二支撐板件130 則是配置於第一支撐板件120上。 承上所述，本實用新型例如是先通過多個第一固定螺栓140來將地板支撐架110 固定於無塵室地面G。其中，第一固定螺栓140是穿過地板支撐架110的支撐部114，並鎖 固於無塵室地面G。此外，第一支撐板件120與第二支撐板件130例如是預先通過多個第二 固定螺栓150來相互結合。之後，第一支撐板件120與第二支撐板件130之組合再鋪設至 地板支撐架110上，並藉由多個第三固定螺栓160來固定於支撐架110的承載部112。 在本實施例中，第二支撐板件130的厚度小於第一支撐板件120的厚度。第一支 撐板件120例如是厚度為10t的鋼板(lt = lmm)，而第二支撐板件130例如是厚度為2t的 不鏽鋼板。此外，配置於這些地板支撐架110上的第一支撐板件120與地面距離一預定高 度H，第一支撐板件120下方的空間可作為機臺之布線空間S。預定高度H的高低視無塵室 的設計而定，本實用新型在此並不做任何限制。另外，本實用新型在此僅限制第二支撐板件 130的厚度小於第一支撐板件120的厚度，至於第一支撐板件120與第二支撐板件130的實 際厚度，本實用新型在此也不做任何限制。[0023] 值得一提的是，由於第一支撐板件120與第二支撐板件130的材質均為剛性較佳 的材質，因此第一支撐板件120與第二支撐板件130間有良好的接觸關係，即第一支撐板件 120與第二支撐板件130間有良好的組裝精度，進而提升高架地板100之承載力及穩定性， 使得高架地板100在長時間承載機臺或其他重量較重之移動載具後仍有足夠的平整度。 另一方面，如無塵室欲進行地板維護作業，以更進一步提升高架地板100的平整 度時，維護人員僅需移除厚度較薄的第二支撐板件130，並更換平整度更為良好額另一第二 支撐板件130即可。相較於現有技術在每次進行地板維護作業時均需將整個環氧材料層以 及鋪設於環氧材料層上厚度較厚的鐵板移除，而導致大量粉塵，本實用新型的維護作業並 不會造成大量的粉塵汙染。因此，應用本實用新型高架地板100的無塵室在進行地板維護 作業時仍能維持適當的作業環境質量。此外，上述地板維護作業能有效地縮短施工時間，進 而提升無塵室的生產效率。 再者，相較於習知技術在每次進行地板維護作業時需將鋪設於環氧材料層上的整 個鐵板移除，本實用新型在進一步提升高架地板100的平整度時，由於維護人員僅需移除 厚度較薄的第二支撐板件130，第二支撐板件130之厚度較現有技術的鐵板薄，第二支撐板 件130的成本即較低廉，因此本實用新型即有較低額施工成本。此外，本實用新型的高架地 板也可方便無塵室的地板進行任何擴充作業。 圖2為本實用新型另一實施例的高架地板的示意圖。請參考圖2，本實施例的高架 地板200與上述實施例的高架地板100相似，二者差異在於本實施例的高架地板200更包 括多個調整墊片210，每一調整墊片210分別配置於所對應的地板支撐架110與無塵室地面 G之間。除此之外，並無任何差異。詳細地說，高架地板200可通過調整墊片210來調整預 定高度H'之大小，以使高架地板200能符合各家廠商的無塵室設計。當然，本實施例的其 他優點與上述實施例的優點相同，故在此並不做任何贅述。 雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本實用新型，任何 所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和範圍內，當可作些許之更 動與潤飾，因此本實用新型之保護範圍當以權利要求所界定的為準。
權利要求一種高架地板，適於裝設在無塵室，其特徵在於，包括多個地板支撐架，適於架設於無塵室地面；一第一支撐板件，配置於該些地板支撐架上，以與地面距離一預定高度；以及一第二支撐板件，配置於該第一支撐板件上，其中該第二支撐板件的厚度小於該第一支撐板件的厚度。
2. 如權利要求1所述的高架地板，其特徵在於，其中各該地板支撐架包括一支撐部與 一承載部，該支撐部固定於無塵室地面，而該第一支撐板件固定於各該承載部。
3. 如權利要求1所述的高架地板，其特徵在於，更包括至少一調整墊片，配置於各該地 板支撐架與無塵室地面之間。
4. 如權利要求1所述的高架地板，其特徵在於，更包括多個第一固定螺栓，螺接於該地 板支撐架與無塵室地面之間。
5. 如權利要求1所述的高架地板，其特徵在於，更包括多個第二固定螺栓，螺接於該第 一支撐板件與該第二支撐板件之間。
6. 如權利要求1所述的高架地板，其特徵在於，更包括多個第三固定螺栓，螺接於該第 一支撐板件、該第二支撐板件以及該地板支撐架之間。
7. 如權利要求1所述的高架地板，其特徵在於，其中第一支撐板件的材質為鋼。
8. 如權利要求1所述的高架地板，其特徵在於，其中第二支撐板件的材質為不鏽鋼。
專利摘要一種高架地板，其適於裝設在無塵室，此高架地板包括多個適於架設於無塵室地面的地板支撐架、一第一支撐板件及一第二支撐板件。其中，第一支撐板件配置於這些地板支撐架上，以與地面距離一預定高度。第二支撐板件則配置於第一支撐板件上，且第二支撐板件的厚度小於第一支撐板件的厚度。
文檔編號E04F15/02GK201531097SQ20092006939
公開日2010年7月21日 申請日期2009年3月25日 優先權日2009年3月25日
發明者林志成 申請人:華映視訊(吳江)有限公司;中華映管股份有限公司