可伸縮式晶棒託架的製作方法

2023-10-28 21:01:27 2

專利名稱：可伸縮式晶棒託架的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及拉制晶棒設備部件，特別涉及一種可伸縮式晶棒託架。
背景技術：
工廠在拉制晶棒的成型過程往往要經過多道工序，在晶棒一般設有固定託架，這 樣方便起吊機構或提拉設備搬運，通過託架將晶棒轉運到下一工序，不易損壞晶棒；但是執 行不同工序的設備距離遠近及高度各不相同，當需要換位置移動晶棒時顯得不是很方便， 常常因為位置不合適或高度不協調，而要大動幹戈，重新搬動其它大設備，費時費力。

實用新型內容為了克服上述現有技術存在的缺陷，本實用新型提供一種可伸縮式晶棒託架，能 適時伸長或縮短改變固定晶棒的位置，調節方便，簡單易行。為了實現上述目的，本實用新型的技術方案如下可伸縮式晶棒託架，包括轉軸座、與轉軸座通過軸承連接的軸承座，設置在轉軸座 與軸承座之間的制動器託架，豎向放置的兩組連杆和連接在兩組連杆之間水平放置的晶棒 託板，和設置在軸承座前壁的託板固定座。每組連杆由兩節通過軸位螺釘活動連接的連杆構成，兩節連杆在中間的連接處通 過軸位螺釘可相對轉動；兩組連杆位置對稱地設置在所述軸承座的兩側，其一端通過軸位 螺釘連接在軸承座側部的墊圈上；兩組連杆的另一端通過軸位螺釘連接所述晶棒託板中部 的墊圈上。所述晶棒託板與兩組連杆所在的平面相垂直，晶棒託板靠外側的一端設有結晶支 架，用於支撐晶棒；靠內側的另一端通過銷軸及軸位螺釘與託板固定座活動式連接；所述託板固定座上設置掛鈎，通過掛鈎懸掛連接在所述軸承座的轉軸上；當晶棒 託板收攏的時候，通過掛鈎鉤住連杆與晶棒託板間的軸套，使晶棒託板能夠豎直固定。晶棒託板通過兩組連杆帶動繞著與託板固定座的連接處在垂直方向旋轉90度， 即實現晶棒託板打開與伸縮的功能。進一步，所述軸承座底部設置制動器託架與可調位鎖定手柄，可調位鎖定手柄通 過鎖緊螺母及金屬墊圈連接在制動器託架上。晶棒託板、兩組連杆及託板固定座均連接在所述軸承座側部或前壁，而軸承座與 轉軸座是軸承連接，如果需要旋轉晶棒託板，先鬆開可調位鎖定手柄，只要手動轉動晶棒託 板就能到所需位置，然後再擰緊可調位鎖定手柄。所述轉軸座與軸承座之間還設置還設置旋轉限位，所述旋轉限位的兩側最大角度 位置設置傳感器。本實用新型的有益效果是，結構新穎，可通過連杆組使晶棒託板在垂直方向旋轉； 也可通過軸承座在水平方向轉動，調節方便，靈活度高。
圖1為本實用新型的主視圖。圖2為與圖1對應的俯視圖。圖中，01、旋轉制動件，02、傳感器，1、轉軸座，2、連杆組，21、連杆，22、連杆，23、連 杆，24、連杆，3、軸承座，4、晶棒託板，41、結晶支架，5、可調位鎖定手柄，6、託板固定座，61、 掛鈎，7、墊圈，81、軸位螺釘，82、軸位螺釘，91、制動器託架，92、制動器託架，10、銷軸，11、墊圈。
具體實施方式
為了使本實用新型的創作特徵、技術手段與達成目的易於明白理解，以下結合具 體實施例進一步闡述本實用新型。實施例參看圖1與圖2，可伸縮式晶棒託架，包括轉軸座1、與轉軸座1通過軸承連接的軸 承座3，設置在轉軸座1與軸承座3之間的制動器託架91，豎向放置的連杆組2和連接在兩 組連杆之間水平放置的晶棒託板4，和設置在軸承座3前壁的豎向放置的託板固定座6。制動器託架91上通過螺栓及墊圈固定有旋轉制動件01，旋轉制動件01兩側的最 大角度位置設置傳感器02;連杆組2由四節連杆21、22、23與24共同連接構成，其中，一組連杆21與22通過 軸位螺釘81活動式連接，另一組連杆23與24通過軸位螺釘82活動式連接，在軸位螺釘處 的兩節連杆可發生相對轉動，所述兩組連杆對稱地設置於軸承座3兩側。連杆21與連杆23的一端通過軸位螺釘連接在晶棒託板4的墊圈7上，連杆22與 連杆24的一端則分別通過軸位螺釘連接在軸承座3側部的墊圈11上。晶棒託板4靠外側的一端設置用於支撐晶棒的結晶支架41，靠內側的一端通過銷 軸10與託板固定座6下端活動式連接，託板固定座6上端設置掛鈎61，掛鈎61懸掛於軸承 座3的轉軸上，並通過軸位螺釘固定連接。當晶棒託板4收攏的時候，通過掛鈎61鉤住連 杆與晶棒託板4間的軸套，使晶棒託板4能夠豎直固定。軸承座3的底部設有制動器託架92，並在制動託架92上通過鎖緊螺母及金屬墊圈 連接可調位鎖定手柄5，用於對軸承座3進行適宜調位。本實用新型的工作原理是，晶棒可放置於晶棒託板4的結晶支架41上，通過兩組 連杆21與22、連杆23與24可帶動晶棒託板4繞著託板固定座6下端的轉軸10在垂直方 向旋轉90度，而上述連杆則向內側彎折，這時晶棒託板4由圖1所示的水平位置旋轉到與 託板固定座6 —致的豎直位置。並且，由於軸承座3通過軸承與轉軸座1連接，而上述晶棒託板4、兩組連杆21與 22、連杆23與24，和託板固定座6整體又與軸承座3相連接，所以晶棒託板4又可通過相連 接的軸承座3在轉軸座1內轉軸帶動的作用下水平轉動。以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特徵和本實用新型的優點。本行 業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述 的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和範圍的前提下本實用新型還會 有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型範圍內。本實用新型要求保護範圍由所附的權利要求書及其等同物界定。
權利要求可伸縮式晶棒託架，包括轉軸座、連接在轉軸座底部的制動器託架，與轉軸座通過軸承連接的軸承座，其特徵在於，它還包括兩組豎向放置的連杆及連接在所述兩組連杆之間水平放置的晶棒託板，連接在軸承座前壁的託板固定座；每組連杆由通過軸位螺釘活動連接的兩節連杆構成；所述兩組連杆的一端與所述軸承座側部連接，另一端共同連接在所述晶棒託板的中部，所述晶棒託板靠內側的一端通過銷軸與所述託板固定座連接。
2.根據權利要求1所述的可伸縮式晶棒託架，其特徵在於，所述晶棒託板的另一端設 置用於支撐晶棒的結晶支架。
3.根據權利要求1所述的可伸縮式晶棒託架，其特徵在於，所述兩組連杆位置對稱地 設置在軸承座兩側，其一端連接在所述軸承座側部的墊圈上，另一端通過軸位螺釘連接在 所述晶棒託板中部的墊圈上。
4.根據權利要求1所述的可伸縮式晶棒託架，其特徵在於，所述軸承座底部設置可調 位鎖定手柄。
5.根據權利要求1所述的可伸縮式晶棒託架，其特徵在於，所述晶棒託板可繞著與託 板固定座相連接的銷軸在垂直方向旋轉90度；通過轉軸及軸承座在水平方向旋轉。
6.根據權利要求1所述的可伸縮式晶棒託架，其特徵在於，所述轉軸座與軸承座之間 還設置旋轉限位，旋轉限位的兩側最大角度位置設置傳感器。
專利摘要本實用新型公開了一種可伸縮式晶棒託架，它包括轉軸座、連接在轉軸座底部的制動器託架，與轉軸座通過軸承連接的軸承座，兩組豎向放置的連杆及連接在所述兩組連杆之間水平放置的晶棒託板，連接在軸承座前壁的託板固定座。所述兩組連杆的一端通過軸位螺釘連接在晶棒託板的中部，另一端通過軸位螺釘連接在所述軸承座的側部；所述晶棒託板靠內側的一端通過轉軸與所述託板固定座連接。本實用新型通過連杆可實現晶棒託板在垂直方向旋轉90度，即實現晶棒託板打開與伸縮功能，同時還可通過轉軸與軸承座能在水平方向旋轉，本機構可以很好的避免和單晶爐主體的幹涉，在不需要使用時可以將晶棒託板合攏，節約空間，操作方便。
文檔編號C30B15/00GK201713599SQ20102023864
公開日2011年1月19日 申請日期2010年6月25日 優先權日2010年6月25日
發明者勝又大祐, 賀賢漢, 賴章田 申請人:上海漢虹精密機械有限公司;上海申和熱磁電子有限公司