化學過濾網裝置的製作方法

2023-10-20 16:01:27

專利名稱：化學過濾網裝置的製作方法
技術領域：
本發明是有關一種化學過濾網裝置，尤其是指一種由側框內設有吸附 單元，該吸附單元的二外側各設有濾網，而該二濾網間設有一支撐結構， 且該支撐結構中設有吸附劑，以提供使用於過濾空氣的化學過濾網裝置，
適用於電子製造業的無塵室如IC、 TFT、半導體製造業的無塵室或類似場 地。
背景技術：
隨著半導體技術不斷的進步，IC工藝線徑不斷的縮小，最新進的半導 體技術己進入45nm，未來將更進一步地跨入22及32nm工藝技術，也由 於IC線徑不斷的縮小，因此外部空氣或無塵室內中含微汙染(Airborne Molecular Contamination, AMC)物質，例如含硫物質SOx 、 H2S 、 DMSO(Dimethyl Sulfoxide ， (CH3)2SO)、 DMS(DimethyI Sulfide ， (CH3)2S) 等，酸性物質NOX，鹼性物質NH3、 MEA(Monoethanol Amine, NH2C2H40H)等，含低沸點的揮發性有機化合物(Volatile Organic Compounds, VOCs)、 IPA(Isopropyl Alcohol, C3H7OH)、丙酮等，以及含 高沸點的揮發性有機化合物(Volatile Organic Compounds, VOCs)等，對於 工藝良率的影響，日益擴大。為了提升工藝良率，半導體廠通常需於外氣 空調箱及氣流循環區加裝化學過濾網。
公知的化學濾網往往無法兼顧去除成份、去除效率、壓力損失、使用 壽命及製造成本等因素，故實際使用上仍不符使用者的所需。

發明內容
本發明的目的在於提供一種化學過濾網裝置，以克服公知技術中存在 的缺陷。
為實現上述目的，本發明提供的化學過濾網裝置，包括
一正面框，設有至少一開口；
至少一側框，該側框與該正面框固定結合為一體；以及 至少一吸附單元，該吸附單元的二外側各設有濾網，而該二濾網間設 有一支撐結構，該支撐結構中設有吸附劑，且該吸附單元結合於該側框中； 由此，以提供一化學過濾網裝置。
所述的化學過濾網裝置，其中，該支撐結構設為複數個，而該些支撐 結構區隔為數層，且該些支撐結構間進一步設有濾網，以此設置不同的吸 附劑。
所述的化學過濾網裝置，其中，該支撐結構為網格狀結構。 所述的化學過濾網裝置，其中，該支撐結構為蜂巢狀結構。 所述的化學過濾網裝置，其中，該支撐結構為條格狀結構。 所述的化學過濾網裝置，其中，該支撐結構的側邊設有開孔。 所述的化學過濾網裝置，其中，該吸附單元進一步結合於一吸附劑邊
框後再與側框結合，該吸附劑邊框結合於該支撐結構的外圍，而該吸附劑
邊框再結合於側框的內側。
所述的化學過濾網裝置，其中，該吸附單元製成薄片型，以利降低壓
力損失。
所述的化學過濾網裝置，其中，該濾網為不織布濾網。 所述的化學過濾網裝置，其中，該濾網為細網。
所述的化學過濾網裝置，其中，該正面框的開口上進一步設有濾網。 所述的化學過濾網裝置，其中，該側框於外側進一步設有一保護網。 所述的化學過濾網裝置，其中，該二濾網的外側進一步設有至少一支 撐輔助結構以支撐該濾網。
本發明提供的化學過濾網裝置，由該吸附單元裝設時可替換成多種型 式的支撐結構與吸附劑，而使本發明的化學過濾網可適用於各種場合及不 同環境的需求，使去除效率更佳且降低了過濾的壓力損失，並提高了化學 過濾網的使用壽命，降低製造成本，增加本發明的實用性與便利性。


圖1為本發明實施例的立體外觀圖。
圖2為本發明實施例的使用示意圖。
圖3為本發明實施例吸附單元與吸附劑邊框的組合示意圖。
圖4為本發明實施例濾網外側設有支撐輔助結構的組合示意圖。
圖5為本發明實施例條格狀支撐結構與側框結合的組合示意圖。
圖6為本發明吸附單元與側框的組合剖示圖。
圖7為本發明吸附單元(吸附劑設於二層支撐結構中)與側框的組合剖示圖。
附圖中主要組件符號說明
1 o 、正面框
1 1 、開口
2 0 、側框
3 0 、吸附單元 3 0 1、吸附劑 3 0 2 、濾網
3 0 3 、支撐結構
3 0 4 、開孔
3 0 5 、支撐輔助結構
3 0 3 a 、第一支撐結構
3 0 3 b 、第二支撐結構
3 1 、吸附劑邊框
4 0 、保護網
具體實施例方式
本發明的化學過濾網裝置，包括一正面框、至少一側框以及至少一吸 附單元，其中，該正面框設有至少一開口，該側框與該正面框固定結合為 一體，該吸附單元的二外側各設有濾網，該二濾網間設有一支撐結構，該 支撐結構中設有吸附劑，且該吸附單元結合於該側框中；以此，以提供一 化學過濾網裝置。
本發明的其它特點及具體實施例可於以下配合附圖的詳細說明中，進 一步了解。
請參閱圖1 圖5，本發明包括
一正面框1 0 ，該正面框1 Q上設有至少一開口1 1，該開口 1 1覆 有濾網3 0 2 。
至少一側框2 0，該側框2 O可設為V型或U型以擴大吸附的面積， 該側框2 Q與正面框固定結合為一體(其固定結合可用黏貼等方式實施)， 而側框2 0外側可進一步設有保護網4 0 。
至少一吸附單元3 0，該吸附單元3 0製成薄片型，以利降低壓力損 失，而該吸附單元3 0的二外側各設有濾網3 0 2，該濾網3 0 2可設為 不織布濾網、細網或其它形式的濾網，且該些濾網3 0 2間設有吸附劑3 0 1 ，該吸附單元3 Q的二濾網3 Q 2間設有一支撐結構3 0 3 (本實施例
設為一網格狀結構，實際實施時亦可以蜂巢狀、條格狀或類似的結構代替)， 而該吸附劑3 0 1設於該支撐結構3 0 3中，且該吸附單元3 Q結合於該 側框2 0中，當該支撐結構3 0 3設為條格狀而與側框2 0結合時(請參圖 5 )，該支撐結構3 0 3的側邊設有開孔3 0 4，該開孔3 Q 4供將該吸附 劑3 Q l從側邊上倒入，故當支撐結構3 Q 3設為條格狀時，可先將二濾 網3 Q 2黏貼於該支撐結構3 0 3上，再從支撐結構3 0 3的側邊倒入吸 附劑3 Q 1 ，最後再將設有開孔3 0 4的側邊封住防止吸附劑3 Q 1外 洩，以完成吸附單元3 0的設置，其中，該吸附單元3 0亦可先結合於一 吸附劑邊框3 l後再與側框2 0相互結合，該吸附劑邊框3 l結合於該支 撐結構3 0 3的外圍，而該吸附劑邊框3 l再結合於側框2 0的內側，而 該二濾網3 0 2的外側亦可進一步設有至少一支撐輔助結構3 Q 5以利 支撐或黏貼該濾網3 0 2 (請參閱圖4)。
請參閱圖1 圖5 ，本發明的特點是在於由側框2 0內設有吸附單元 3 0，而該吸附單元3 0製成薄片型，以利降低壓力損失，且該吸附單元 3 0的二外側各設有濾網3 Q 2 ，該二濾網3 0 2間設有一支撐結構3 0 3，而令該支撐結構3 0 3中設有吸附劑3 0 l的組合設計，再將該側框
2 0與該正面框1 0的相互固定結合以形成一化學過濾網裝置，而該二濾 網3 Q 2的外側亦可進一步設有至少一支撐輔助結構3 Q 5以利支撐或 黏貼該濾網；另，裝設該吸附單元3 Q時，該吸附單元3 0中的支撐結構
3 0 3與吸附劑3 0 1可依需求與用途來選擇置換，故可使微汙染物質的
去除效率更佳，並可降低過濾的壓力損失，因此提高了化學過濾網的使用 壽命，增加本創作的實用性與便利性。
請參閱圖1 圖7 ，圖3中該吸附單元3 0包括吸附劑3 0 1、 二側 各有一濾網3 0 2及一支撐結構3 Q 3 ，該吸附劑3 Q 1設於該支撐結構 3 0 3中，二側各設有一濾網3 0 2，再將該支撐結構3 0 3結合於吸附 劑邊框3 l上，由吸附劑邊框3 l與側框2 Q結合，而將吸附單元3 0固 定結合於側框2 0上，其中該吸附劑邊框3 1結合於該支撐結構3 0 3的 外圍，而該吸附劑邊框3 1再結合於側框2 0的內偵ij，而圖6為該吸附單 元3 0與側框2 Q固定結合的組合剖示圖，其中該側框2 Q的二側各結合 一組吸附單元3 0，使用時，外氣通過正面框l 0的濾網3 Q 2，從開口 1 l進入側框2 0中心再往二旁的濾網3 0 2行進並通過吸附單元3 0， 當外氣通過該吸附單元3 0時微汙染物質會被該吸附劑3 0 l吸收，接著 再通過吸附單元3 0外側的濾網3 0 2，最後經由保護網4 O排出以完成 過濾。其中該吸附單元3 O製成薄片型，以利降低壓力損失，而該吸附單 元3 0的二濾網3 0 2間可進一步設有複數個支撐結構3 0 3，該些支撐 結構3 0 3區隔為數層，且該些支撐結構3 0 3間進一步設有濾網3 0 2，以此設置不同的吸附劑，請參閱圖6 圖7，為本發明的吸附單元3 0(吸附劑設於該支撐結構中)與側框2 O結合的組合剖示圖，該吸附單元 3 0設為支撐結構3 0 3中設有吸附劑，而本實施例圖7中該支撐結構3 0 3區隔為第一支撐結構3 0 3 a與第二支撐結構3 0 3 b二層，且該第 一支撐結構3 0 3a與第二支撐結構3 0 3 b間進一步設有一濾網3 0 2以作為分隔，以此可將不同吸附劑區隔安裝於各層支撐結構中，例如於 第一支撐結構3 0 3 a中置入高沸點的揮發性有機化合物吸附劑，而於第 二支撐結構3 0 3 b中置入低沸點的揮發性有機化合物吸附劑，故外氣進 入第一支撐結構3 0 3 a中則可先去除高沸點的揮發性有機化合物，再進 入第二支撐結構3 Q 3 b中去除低沸點的揮發性有機化合物，進而達成多 種去除功效，使去除微汙染汙染物質的效率更佳，使本發明更具實用性與 便利性。
以上所述，僅為本發明的較佳實施例，當不能用以限定本發明可實施 的範圍，凡本領域技術人員所明顯可作變化與修飾，皆應視為不悖離本發
明的權利要求內容。
綜上所述，本發明確可達到創作的預期目的，提供一種化學過濾網裝 置，具有實用價值。
權利要求
1、一種化學過濾網裝置，包括一正面框，設有至少一開口；至少一側框，該側框與該正面框固定結合為一體；以及至少一吸附單元，該吸附單元的二外側各設有濾網，而該二濾網間設有一支撐結構，該支撐結構中設有吸附劑，且該吸附單元結合於該側框中；由此，以提供一化學過濾網裝置。
2、 如權利要求l所述的化學過濾網裝置，其中，該支撐結構設為復 數個，而該些支撐結構區隔為數層，且該些支撐結構間設有濾網，以此設 置不同的吸附劑。
3、 如權利要求l或2所述的化學過濾網裝置，其中，該支撐結構為 網格狀結構。
4、 如權利要求1或2所述的化學過濾網裝置，其中，該支撐結構為 蜂巢狀結構。
5、 如權利要求1或2所述的化學過濾網裝置，其中，該支撐結構為 條格狀結構。
6、 如權利要求5所述的化學過濾網裝置，其中，該支撐結構的側邊 設有開孔。
7、 如權利要求l所述的化學過濾網裝置，其中，該吸附單元結合於 一吸附劑邊框後再與側框結合，該吸附劑邊框結合於該支撐結構的外圍， 而該吸附劑邊框再結合於側框的內側。
8、 如權利要求l所述的化學過濾網裝置，其中，該吸附單元製成薄 片型，以降低壓力損失。
9、 如權利要求l所述的化學過濾網裝置，其中，該濾網為不織布濾網。
10、如權利要求l所述的化學過濾網裝置，其中，該濾網為細網。
11、如權利要求l所述的化學過濾網裝置，其中，該正面框的開口 上設有濾網。
12、如權利要求4所述的化學過濾網裝置，其中，該側框於外側設 有一保護網。
13、如權利要求l所述的化學過濾網裝置，其中，該二濾網的外側 設有至少一支撐輔助結構以支撐該濾網。
全文摘要
一種化學過濾網裝置，包括一正面框、至少一側框以及至少一吸附單元，其中，該正面框設有至少一開口，該側框與該正面框固定結合為一體，該吸附單元的二外側各設有濾網，該二濾網間設有一支撐結構，該支撐結構中設有吸附劑，且該吸附單元結合於該側框中；由此，以提供一化學過濾網裝置。
文檔編號B01D46/10GK101362040SQ20071014389
公開日2009年2月11日 申請日期2007年8月6日 優先權日2007年8月6日
發明者劉邦昱, 徐瑞珠, 林哲弘, 洪守銘, 鄭石治, 陳壽忠 申請人:華懋科技股份有限公司