流量測量裝置和流量控制裝置的製作方法

2023-10-19 17:26:37

本發明涉及對用於半導體的氣體材料和液體材料等流體的流量進行測量的流量測量裝置。

背景技術：

近來的流量測量裝置在將來自用於確定流量的各種傳感器(例如壓力、溫度等)的傳感器信號的值進行A/D轉換並數位化後，通過利用了CPU的軟體計算所述各傳感器信號的值，由此計算出測量流量。

這樣得到的測量流量當然是數字值，但是根據用戶的不同，存在想要以模擬信號得到所述測量流量的要求。

為了應對該要求，使用D/A轉換器，將數字值轉換為模擬信號。

其中，能夠利用CPU標準具有的PWM輸出功能，以簡單且低價格的方式構成的D/A轉換器，是PWM型D/A轉換器。

從所述CPU可以輸出具有與表示測量流量的數字值對應的佔空比的PWM信號，所述PWM型D/A轉換器使用低通濾波器使所述PWM信號平滑化，並將其轉換為模擬信號。

可是，該方式存在以下的問題。

第一，PWM信號通過低通濾波器時存在殘餘波紋(殘留リップル)和響應速度的問題。如果為了減小波紋、使模擬信號值穩定化而加大低通濾波器的時間常數，則產生響應速度變差、測量流量的變化不能立即反映到模擬信號值變化中的問題。所述波紋減小和響應速度提高是折衷選擇的關係，以往認為使雙方同時成立是困難的。

第二，來自CPU的PWM輸出電壓在數字電源電壓和數字公共電壓之間變化時，數字電源電壓和數字公共電壓不僅電壓精度低，還存在受噪聲等影響而容易變動的問題。由於對高電平和低電平的電壓不穩定的PWM信號進行平滑化處理後得到的是模擬信號，所以模擬信號的值也隨其變得不穩定，由此成為瓶頸而變得難以得到高精度的模擬輸出值。

此外，所述兩個問題在近來的半導體工序等中使用的流量測量裝置中尤其明顯。這是因為，在所述用途的流量測量裝置中，要求用於測量微小流量和微小流量變化的精度，並且為了提高生產率而要求響應速度。現有技術文獻

專利文獻1：日本專利公開公報特開2003-273026號

技術實現要素：

本發明是用於一舉解決所述的問題而做出的發明，本發明的目的在於提供一種流量測量裝置，其不會犧牲所述PWM型D/A轉換器具有的簡單性和低價格性，並且能夠使要求的響應速度和精度的雙方成立。

本發明的流量測量裝置，其具備模擬轉換部，所述模擬轉換部將表示測量流量的值的數字流量信號轉換為表示所述測量流量的值的模擬流量信號，所述模擬轉換部包括：PWM信號生成電路，能輸出預定的三個以上的規定電壓電平，根據所述數字流量信號表示的測量流量的值，從所述三個以上的規定電壓電平中選擇兩個規定電壓電平，另一方面根據所述數字流量信號表示的測量流量的值，設定佔空比，並生成使所述兩個規定電壓電平分別成為高電平和低電平的PWM信號；以及轉換電路，使從所述PWM信號生成電路輸出的PWM信號平滑化並轉換為所述模擬流量信號。

另外，在此所述的PWM信號是廣義的信號，也包括作為狹義的PWM信號的一定周期的信號以及周期變動的PFM信號。

按照這種流量測量裝置，由於PWM信號的高電平和低電平的差對應於規定電壓電平的數量減小，PWM信號的高電平和低電平的變化幅度也變小，所以殘餘波紋電壓也對應於所述變化幅度減小。因此，不會犧牲輸出響應速度，並且能夠使波紋的影響減小。

如果根據與數字電源電壓及數字公共電壓不同的、另外設定的模擬定電壓和模擬公共電壓設定所述規定電壓電平，則輸出的PWM信號的高電平和低電平穩定，因此能夠得到更高精度的模擬流量信號。

如果所述PWM信號生成電路選擇相鄰的兩個規定電壓電平，則因為能使輸出的全部PWM信號的高電平和低電平的變化幅度減小，所以波紋減小這種本發明的效果變得顯著。而且如果所述相鄰的規定電壓電平被設定為全部大體相等，則在輸出的全部PWM信號中，能使所述高電平和低電平的變化幅度成為最小，所述效果更為顯著。

作為更具體的實施方式，可以舉出下述方式：所述PWM信號生成電路包括：一次PWM信號生成電路，根據所述數字流量信號的值，生成一次PWM信號，並且從所述三個以上的規定電壓電平中選擇兩個規定電壓電平；以及二次PWM信號生成電路，能輸出所述三個以上的規定電壓電平，並生成二次PWM信號，所述二次PWM信號是將所述一次PWM信號的高電平和低電平分別轉換為所述兩個規定電壓電平而得到的所述PWM信號。

根據所述PWM信號生成電路的輸出阻抗與所述轉換電路的輸入阻抗的平衡，有時轉換電路的時間常數變化，產生不能保持測量流量與PWM信號的佔空比線性關係的情況。為了用軟體解決該問題，優選的是，所述PWM信號生成電路將根據所述PWM信號生成電路的輸出阻抗與所述轉換電路的輸入阻抗的平衡產生的、用於所述轉換電路的平滑化的時間常數的變動作為參數，設定佔空比。

保持所述PWM信號生成電路的輸出阻抗與所述轉換電路的輸入阻抗的平衡，或者即使未平衡，在模擬流量信號的精度滿足規格等條件下，在所述PWM信號生成電路中，如果將相鄰的規定電壓電平和佔空比的設定方式一般化，則成為如下所述的。

即，對所述數字流量信號的值q與所述規定電壓電平V0、V1···、Vk···Vn進行比較，檢索使Vj≥s·q＞Vj-1的j，並輸出佔空比成為(s·q－Vj-1)/(Vj－Vj-1)、低電平成為Vj-1、以及高電平成為Vj的PWM信號，n是2以上的整數，Vk＞Vk-1，j是1以上n以下的整數，s是規定的係數。

在所述PWM信號生成電路的輸出阻抗與所述轉換電路的輸入阻抗的平衡未充分保持的情況下，優選的是，所述PWM信號生成電路根據所述PWM信號生成電路的輸出阻抗與所述轉換電路的輸入阻抗的平衡產生的、所述轉換電路的平滑化時間常數的變動，將所述PWM信號的佔空比設定為從所述(s·q－Vj-1)/(Vj－Vj-1)偏離了的值。

此外，本發明還提供一種流量控制裝置，其包括：所述的流量測量裝置；流量調節閥；以及控制部，以使通過所述流量測量裝置測量到的測量流量接近規定的目標流量的方式控制所述流量調節閥。

此外，不僅是流量測量裝置，本發明也可以廣泛應用於數字-模擬轉換裝置。在該情況下，本發明具備模擬轉換部，所述模擬轉換部接受數位訊號並將其轉換為表示所述數位訊號的值的模擬信號，所述模擬轉換部包括：PWM信號生成電路，能輸出預定的三個以上的規定電壓電平，根據所述數位訊號表示的值，從所述三個以上的規定電壓電平中選擇兩個規定電壓電平，另一方面根據所述數位訊號表示的值，設定佔空比，並生成使所述兩個規定電壓電平分別成為高電平和低電平的PWM信號；以及轉換電路，使從所述PWM信號生成電路輸出的PWM信號平滑化並轉換為所述模擬信號。作為數位訊號的值，可以舉出與流體的流量測量和流量控制有關的值，即流體的成分濃度、流體的溫度、閥的開度、流體壓力等。

按照本發明，由於PWM信號的高電平和低電平的差對應於規定電壓電平的數量減小，模擬流量信號中的殘餘波紋電壓也相應減小，所以不會犧牲輸出響應速度，並且能夠得到高精度的模擬流量信號。此外，如果根據與數字電源電壓及數字公共電壓不同的、另外設定的模擬定電壓和模擬公共電壓來設定所述規定電壓電平，則由於輸出的PWM信號的高電平和低電平穩定，所以能夠得到更高精度的模擬流量信號。

附圖說明

圖1是表示本發明的一個實施方式的流量測量裝置的示意圖。

圖2是表示同實施方式的模擬轉換部的電路圖。

圖3是用於說明同實施方式的模擬轉換部的動作的電路圖。

圖4是用於說明同實施方式的模擬轉換部的動作的電路圖。

圖5是用於說明同實施方式的模擬轉換部的動作的電路圖。

圖6是表示同實施方式的一次PWM信號、各開關元件和二次PWM信號變化的關聯的波形圖。

圖7是表示同實施方式的一次PWM信號、各開關元件和二次PWM信號變化的關聯的波形圖。

圖8是表示同實施方式的測量流量和一次PWM信號的佔空比的關係的關係圖。

圖9是表示同實施方式的二次PWM信號的波形的波形圖。

圖10是表示在同實施方式中，由於RC濾波電路的時間常數變化，測量流量和佔空比偏離線性關係的圖。

圖11是表示在同實施方式中，由於RC濾波電路的時間常數變化，測量流量和佔空比偏離線性關係的圖。

圖12是表示本發明的另一實施方式的模擬轉換部的電路圖。

圖13是表示本發明的又一實施方式的模擬轉換部的電路圖。

圖14是表示本發明的又一實施方式的模擬轉換部的電路圖。

圖15是表示本發明的又一實施方式的流量控制裝置的示意圖。

附圖標記說明

100 流量測量裝置

4 模擬轉換部

5 PWM信號生成電路

51 一次PWM信號生成電路

52 二次PWM信號生成電路

6 轉換電路

具體實施方式

如圖1所示，本實施方式的流量測量裝置100，例如用於測量在半導體製造裝置中使用的氣體材料的流量，流量測量裝置100具備：流量傳感器主體1，將用於流量測量的傳感器作為主體；以及信息處理裝置2，接收來自所述流量傳感器主體1的傳感器輸出信號並根據其值計算測量流量。

所述流量傳感器主體1為壓差式傳感器，包括：內部流道R，測量流量的氣體材料流過該內部流道R；流體阻力元件(例如節流孔等)，設置在所述內部流道R上；壓力傳感器P，設置在所述流體阻力元件的前後；以及溫度傳感器T，用於測量流體溫度；等等。另外，作為所述流量傳感器主體，也可以採用熱式或其它形式的傳感器。

信息處理裝置2由數字/模擬混合電路構成，所述數字/模擬混合電路由CPU、AD轉換器、存儲器等構成，如圖1所示，信息處理裝置2具備流量計算部3，所述流量計算部3將與來自所述流量傳感器主體1的壓力和溫度有關的輸出信號通過AD轉換器數位化，對數位化了的各輸出信號的值實施由規定的程序規定的計算，由此計算並測量流量，並生成表示所述測量流量的值的數字流量信號。

所述流量計算部3以規定的取樣間隔不斷地計算流量，作為計算出的流量的測量流量輸出到所述存儲器，依次存儲測量流量的值，並且例如在未圖示的顯示器上對所述測量流量的值進行數字顯示或圖顯示。另外，關於其計算式，在此省略說明。

此外，本實施方式的信息處理裝置2，還具備模擬轉換部4，所述模擬轉換部4將所述數字流量信號轉換為模擬流量信號。

如圖2所示，所述模擬轉換部4包括：PWM信號生成電路5，根據所述數字流量信號表示的測量流量的值，生成PWM信號(二次PWM信號)；以及轉換電路6，使所述二次PWM信號平滑化並將其轉換為所述模擬流量信號。

所述PWM信號生成電路5包括：一次PWM信號生成電路51，生成由所述測量流量的值確定的佔空比(關於佔空比設定算法將在後面進行敘述)的一次PWM信號；以及二次PWM信號生成電路52，具有預定的三個規定電壓電平，生成二次PWM信號，將所述一次PWM信號的高電平和低電平轉換為在所述三個規定電壓電平中選擇的相鄰的兩個規定電壓電平而得到所述二次PWM信號。

所述一次PWM信號生成電路51，屬於與數字電源(電壓Vd)和數字公共COMd連接的數字電路系統，在此，按照規定的程序動作的CPU承擔所述功能。在本實施方式中使用的CPU，具有能輸出被指定了的佔空比的PWM信號的第一PWM信號輸出口51a和第二PWM信號輸出口51b。

此外，如上所述，生成由所述測量流量的值確定佔空比(關於佔空比設定算法將在後面進行敘述)的一次PWM信號，並從第一PWM信號輸出口51a和第二PWM信號輸出口51b中的任意一方輸出。所述一次PWM信號的高電平成為數字電源電壓Vd，低電平成為數字公共COMd的電壓。另外，在CPU不具有PWM信號輸出功能的情況下，例如可以利用從模擬三角波生成PWM信號這樣的公知的電路。

在所述一次PWM信號生成電路51中，所述一次PWM信號僅從第一PWM信號輸出口51a和第二PWM信號輸出口51b中的任意一方輸出，從第一PWM信號輸出口51a和第二PWM信號輸出口51b中的另一方輸出被固定為高或低(佔空比為100％或0％)的選擇信號。以由測量流量的值確定的方式通過程序規定所述一次PWM信號從第一PWM信號輸出口51a和第二PWM信號輸出口51b中的哪一方輸出。

所述二次PWM信號生成電路52屬於模擬電路系統，具備：一對開關元件521、522(在此是P型和N型的MOSFET)，串聯配置在模擬定電壓源(電壓Vref)和模擬公共COM模擬公共COMa(電壓Vcom)之間；以及彼此等值的一對電阻元件523、524，串聯設置在所述開關元件521、522間，生成中間電壓Vm＝(Vref－Vcom)/2。另外，模擬定電壓源的電壓Vref在這裡被設定為與數字電源電壓Vd相同或比其略小的值，但是不限於此。

更具體說明時，所述第一開關元件521的第一端子(P型MOSFET的源極端子)與所述模擬定電壓源連接，所述第一開關元件521的第二端子(P型MOSFET的漏極端子)與第一電阻元件523的一端連接，並且所述第一開關元件521的控制端子(P型MOSFET的門極端子)與第一PWM信號輸出口51a連接。

第二開關元件522的第一端子(N型MOSFET的漏極端子)與第二電阻元件524的一端連接，第二開關元件522的第二端子(N型MOSFET的源極端子)與模擬公共COMa連接，並且第二開關元件522的控制端子(N型MOSFET的門極端子)與第二PWM信號輸出口51b連接。

此外，將連接所述電阻元件523、524的連接線，作為所述二次PWM信號生成電路52的輸出口52a。

在所述構成的二次PWM信號生成電路52中，例如當第一開關元件521接通(第一PWM信號輸出口51a為低電平)、第二開關元件522斷開(第二PWM信號輸出口51b為低電平)時(參照圖3)，所述輸出口52a的電壓成為模擬定電壓源極的電壓Vref。

此外，當第一開關元件521斷開(第一PWM信號輸出口51a為高電平)、第二開關元件522接通(第二PWM信號輸出口51b為高電平)時(參照圖4)，所述輸出口52a的電壓成為模擬公共COMa的電壓Vcom。

此外，當第一開關元件521接通(第一PWM信號輸出口51a為低電平)、第二開關元件522接通(第二PWM信號輸出口51b為高電平)時(參照圖5)，所述輸出口52a的電壓正好成為模擬定電壓源極的電壓Vref與模擬公共COMa的電壓Vcom的中間的值Vm＝(Vref－Vcom)/2。

另外，在圖3～圖5中，將開關元件521、522的符號從圖2所示的符號進行了通用化的表示。

所述三個輸出電壓(從高的一方起依次為)Vref、Vm、Vcom是前述三個規定電壓電平。

因此，在所述一次PWM信號生成電路51中，如果從第一PWM信號輸出口51a輸出一次PWM信號，從第二PWM信號輸出口51b輸出高電平的選擇信號，則如圖6所示，由於在所述二次PWM信號生成電路52中第二開關元件522維持接通狀態，另一方面第一開關元件521與一次PWM信號的接通/斷開相反地斷開/接通，因此從所述輸出口52a輸出頻率和一次PWM信號相同、佔空比(高/低)反轉、高電平轉換為Vm、低電平轉換為Vcom的二次PWM信號。

此外，在所述一次PWM信號生成電路51中，如果從第二PWM信號輸出口51b輸出一次PWM信號、從第一PWM信號輸出口51a輸出低電平的選擇信號，則如圖7所示，由於在所述二次PWM信號生成電路52中第一開關元件521維持接通狀態，另一方面第二開關元件522配合一次PWM信號的接通/斷開而接通/斷開，所以從所述輸出口52a輸出頻率和一次PWM信號相同、佔空比(高/低)反轉、高電平轉換為Vref、低電平轉換為Vm的二次PWM信號。

所述轉換電路6包括：RC濾波電路61，由電阻元件611和電容器612構成，所述電阻元件611具有用於將所述二次PWM信號平滑化為所希望的電平所需要的值；以及緩衝電路62，與所述RC濾波電路61連接，用於減小輸出阻抗。RC濾波電路61的輸入口，與所述二次PWM信號生成電路52的輸出口52a連接。

接著，說明所述流量測量裝置100的模擬轉換部4的動作。

首先，模擬轉換部4的一次PWM信號生成電路51，通過按照規定的程序(算法)動作，接收所述數字流量信號，計算出與所述測量流量的值對應的一次PWM信號的佔空比，並且設定將所述一次PWM信號從第一PWM信號輸出口51a和第二PWM信號輸出口51b中的哪個輸出口輸出。

以下進行具體說明。

在測量流量q為最大可能測量流量Qmax的一半以下的情況下，一次PWM信號生成電路51用下述數學式(數學式1)設定一次PWM信號的佔空比DT1。

[數學式1]

此外，將所述一次PWM信號從所述第一PWM信號輸出口51a輸出，另一方面從第二PWM信號輸出口51b輸出將佔空比設為1(100％)的高電平的選擇信號。

如上所述，由於在接收了所述一次PWM信號和選擇信號的二次PWM信號生成電路52中，第二開關元件522維持接通狀態，另一方面第一開關元件521根據一次PWM信號的高/低而斷開/接通，所以從所述輸出口52a輸出頻率和一次PWM信號相同、佔空比(高/低)反轉、高電平轉換為Vm、低電平轉換為Vcom的二次PWM信號。

另一方面，在測量流量q超過最大可能測量流量Qmax的一半的情況下，一次PWM信號生成電路51用下述數學式(數學式2)設定一次PWM信號的佔空比DT1。

[數學式2]

此外，將所述一次PWM信號從所述第二PWM信號輸出口51b輸出，另一方面從第一PWM信號輸出口51a輸出將佔空比設為0(0％)的低電平的選擇信號。

如上所述，由於在接收了所述一次PWM信號和選擇信號的二次PWM信號生成電路52中，第一開關元件521維持接通狀態，另一方面第二開關元件522配合一次PWM信號的高/低而接通/斷開，所以從所述輸出口52a輸出頻率和一次PWM信號相同、佔空比(高/低)反轉、高電平轉換為Vref、低電平轉換為Vm的二次PWM信號。

所述轉換電路6接收如此生成的二次PWM信號，通過RC濾波電路61將其平滑化後，通過緩衝電路62對輸出阻抗進行轉換，作為模擬流量信號輸出。

圖8表示了對應於數字流量信號表示的測量流量，從第一PWM信號輸出口51a和第二PWM信號輸出口51b各PWM信號輸出口輸出的信號的佔空比的變化。此外，圖9表示了對應於數字流量信號表示的測量流量的、二次PWM信號的變化。

因此，按照這種構成的流量測量裝置100，由於PWM信號的變化幅度成為1/2，殘留的波紋電壓也成為1/2，可以使殘餘波紋與輸出響應速度的折衷選擇成為1/2。

此外，由於根據與數字電源極電壓Vd及數字公共電壓不同的、另外設定的模擬定電壓Vref和模擬公共電壓Vcom，設定規定電壓，所以輸出的PWM信號的高電平和低電平穩定，能夠避開來自數字電路的影響，能夠得到高精度的模擬流量信號。

另外，本發明不限於所述實施方式。

例如，在相對於二次PWM信號生成電路52的輸出阻抗，RC濾波電路61的輸入阻抗(由於向後級緩衝電路62的偏置電流和向電容器的漏電流導致的偏移問題和平滑功能等的關係)不能取得足夠大的情況下，更具體而言，在相比於二次PWM信號生成電路52的電阻元件523、524的值，RC濾波電路61的電阻值不能取得足夠大的情況下，RC濾波電路61的電路時間常數發生變化，如圖8所示在使PWM信號的佔空比與測量流量呈線性地變化時，有時模擬流量信號的值(電壓值)會偏離數字流量信號的值。

圖10、圖11表示了偏離量。判明了RC濾波器的電阻值小的圖11一方，偏離變大。

因此，為了使其一致，也可以根據數字測量流量的值，通過不是線性的例如多元函數和內存映射來決定PWM信號的佔空比。

此外，如圖12所示，可以通過在二次PWM信號生成電路52和轉換電路6之間放入緩衝器B等，使二次PWM信號生成電路52的輸出阻抗與轉換電路6的輸入阻抗取得平衡。但是，有時會因所述緩衝器B的響應速度、特性變動、偏移等，引起模擬流量信號的值的精度變差。反過來而言，可以知道，按照沒有緩衝器B的所述實施方式，能夠保證響應速度，能夠得到可提高精度的效果。

在所述實施方式中，規定電壓電平有三個電壓，即：除了模擬定電壓Vref和模擬公共電壓Vcom以外，還存在設置了將其分成兩部分的中間電壓Vm，所述規定電壓電平也可以是四個以上。

圖13表示了使規定電壓電平為四個的具體例子，圖14表示了使規定電壓電平為五個的具體例子。

在圖13中，二次PWM信號生成電路52包括具有彼此相等的電阻值(R)的四個電阻元件和三個開關元件H、M、L。此外，在一次PWM信號生成電路51中設有控制所述各開關元件H、M、L的三個第一PWM信號輸出口51a、51b、51c。

所述一次PWM信號生成電路51按照規定的程序(算法)如下動作。

(1)如圖13的下表所示，當數字測量流量超過最大可能測量流量Qmax的2/3時，一次PWM信號生成電路51通過使開關元件H接通、開關元件L斷開，並且根據一次PWM信號使開關元件M接通/斷開，由此在二次PWM信號生成電路52中生成高電平為Vref、低電平為2/3Vref的二次PWM信號。

(2)當數字測量流量是最大可能測量流量Qmax的1/3～2/3時，一次PWM信號生成電路51通過使開關元件M接通並且根據一次PWM信號使開關元件H、L接通/斷開，由此在二次PWM信號生成電路52中生成高電平為2/3Vref、低電平為1/3Vref的二次PWM信號。

(3)當數字測量流量小於最大可能測量流量Qmax的1/3時，一次PWM信號生成電路51通過使開關元件H斷開、使開關元件L接通，並且使開關元件M根據一次PWM信號接通/斷開，由此在二次PWM信號生成電路52中生成高電平為1/3Vref、低電平為Vcom(0)的二次PWM信號。

在圖14中，二次PWM信號生成電路52包括具有彼此相等的電阻值(2·R)的兩個電阻元件、具有該電阻元件的一半的電阻值(R)的兩個電阻元件、以及四個開關元件H1、H2、L1、L2。此外，在一次PWM信號生成電路51中，設有控制所述各開關元件H1、H2、L1、L2的四個第一PWM信號輸出口51a、51b、51c、51d。

此外，由一次PWM信號生成電路51和二次PWM信號生成電路52構成的PWM信號生成電路5，通過以如下表所示地進行動作，由此

(1)當數字測量流量超過最大可能測量流量Qmax的3/4時，生成高電平為Vref、低電平為3/4Vref的二次PWM信號。

(2)當數字測量流量是最大可能測量流量Qmax的3/4～1/2時，生成高電平為3/4Vref、低電平為1/2Vref的二次PWM信號。

(3)當數字測量流量小於最大可能測量流量Qmax的1/2且為最大可能測量流量Qmax的1/4以上時，生成高電平為1/2Vref、低電平為1/4Vref的二次PWM信號。

(4)當數字測量流量小於最大可能測量流量Qmax的1/4時，生成高電平為1/4Vref、低電平為Vcom(0)的二次PWM信號。

可以對將規定電壓電平及將其數值一般化了時的、PWM信號生成電路5的功能進行整理如下。

將數字流量信號的值q與所述規定電壓電平V0、V1···、Vk···Vn(n是2以上的整數，Vk＞Vk-1)進行比較，檢索使Vj≥s·q＞Vj-1的j(j是1以上n以下的整數，s是規定的係數)，並輸出佔空比成為(s·q－Vj-1)/(Vj－Vj-1)、低電平成為Vj-1和高電平成為Vj的PWM信號。

此時，為了從數字流量信號的值q求出佔空比，採用(s·q－Vj-1)/(Vj－Vj-1)這樣的線性形式，但是如上所述地，當因阻抗的不同發生偏離時，代替所述線性形式，可以通過例如多元函數、內存映射來決定佔空比。

此外，可以不使相鄰的規定電壓電平的值全部相等，也不一定必須通過相鄰的規定電壓電平來規定二次PWM信號的高電平和低電平。

此外，可以使用所述流量測量裝置100構成流量控制裝置200。如圖15所示，具體的構成例如包括：流量測量裝置100；流量調節閥VM；以及控制部9，以使由所述流量測量裝置100測量到的測量流量接近規定的目標流量的方式對所述流量調節閥VM進行反饋控制。

可以相互組合本發明的各個實施方式(實施例)中所記載的技術特徵形成新的技術方案。