無塵室的監視裝置以及無塵室的監視方法
2023-10-07 21:53:54 2
無塵室的監視裝置以及無塵室的監視方法
【專利摘要】本發明涉及無塵室的監視裝置以及無塵室的監視方法。該裝置是用於監視在地板部配置了能夠取下的格柵的無塵室的內部的無塵室的監視裝置，該裝置具備：監視照相機，其拍攝上述格柵；監視部，其根據利用上述監視照相機得到的圖像信號來檢測取下了上述格柵的開口部的有無，並在有開口部的情況下檢測接近該開口部的作業人員的有無，並在檢測到上述作業人員時輸出警報信號；以及警報發生單元，其從上述監視部接受上述警報信號，並發出警報。
【專利說明】無塵室的監視裝置以及無塵室的監視方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及無塵室的監視裝置以及無塵室的監視方法。
【背景技術】
[0002]以往以來，例如在用於製造半導體裝置的半導體生產線中，多數的半導體製造裝置被配設在環境潔淨的無塵室內。在這樣的無塵室中，在內部形成有從頂部朝向地板部流動的潔淨空氣的下降流，並利用該下降流的流動將無塵室內的塵埃排出至外部。
[0003]在這樣的無塵室中，為了形成上述的下降流，在地板部分配設有具有許多的開口的格柵。另外，在格柵的下部配設有下降流流通的空間部。並且，能夠取下格柵，在取下了格柵的狀態下，作業人員能夠進入格柵下部的空間部進行作業。
[0004]由於在如上述那樣取下了格柵的情況下在地板部形成開口部，所以存在作業人員從該開口部墜入下部的危險性。因此，在取下了格柵時，在開口部的周圍放置路粧，布置護欄帶等來提醒作業人員注意。此外，作為用於防止從建築工地等的開口部墜落的裝置，例如，提出了開口部用擋腳板的支承裝置等(例如參照專利文獻1。)0
[0005]專利文獻1:日本特開2010 — 126876號公報
[0006]如上述那樣，以往，在無塵室內取下了格柵時，通過路粧、護欄帶等提醒作業人員注意。然而，存在在取下了格柵時未迅速地進行路粧、護欄帶等的設置，其結果作業人員未注意到開口部的存在，而從開口部墜落這樣的事故發生的可能性。另外，即使設置了路粧、護欄帶等，也存在作業人員未注意到路粧、護欄帶的存在，而從開口部墜落這樣的事故發生的可能性。
【發明內容】
[0007]本發明是應對上述以往的情況而成的，目的在於提供一種能夠防止作業人員從取下了格柵的開口部墜落的無塵室的監視裝置以及無塵室的監視方法。
[0008]本發明的無塵室的監視裝置是用於監視在地板部配置了能夠取下的格柵的無塵室的內部的無塵室的監視裝置，具備:監視照相機，其拍攝上述格柵；監視部，其根據來自上述監視照相機的圖像信號來檢測取下了上述格柵的開口部的有無，並在有開口部的情況下檢測接近該開口部的作業人員的有無，並在檢測到上述作業人員時輸出警報信號；以及警報發生單元，其從上述監視部接受上述警報信號，並發出警報。
[0009]本發明的無塵室的監視方法的特徵在於，該方法是用於監視在地板部配置了能夠取下的格柵的無塵室的內部的無塵室的監視方法，具備:通過監視照相機拍攝上述格柵的拍攝工序；根據在上述拍攝工序中得到的上述監視照相機的圖像信號來檢測取下了上述格柵的開口部的有無的開口部檢測工序；在上述開口部檢測工序中檢測到上述開口部的情況下，檢測接近該開口部的作業人員的有無的監視工序；以及在上述監視工序中檢測到接近上述開口部的作業人員時發出警報的警報發生工序。
[0010]根據本發明，能夠提供一種能夠防止作業人員從取下了格柵的開口部墜落的無塵室的監視裝置以及無塵室的監視方法。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0011]圖1是表示本發明的一實施方式的無塵室的監視裝置的概要結構的圖。
[0012]圖2是用於說明無塵室的監視裝置的設置狀態的例子的圖。
[0013]圖3是用於說明無塵室的監視裝置的設置狀態的例子的圖。
[0014]圖4是表示無塵室的監視動作的流程圖。
【具體實施方式】
[0015]以下，參照附圖對本發明的無塵室的監視裝置以及無塵室的監視方法的一實施方式進行說明。
[0016]圖1是表示本發明的一實施方式所涉及的無塵室的監視裝置的概要結構的框圖。如圖1所示，無塵室的監視裝置100具備由計算機等構成的監視部101、由數位照相機等構成的監視照相機102、以及通過光以及警報聲等發生警報的警報發生部103。其中，警報發生部103例如具備旋轉燈和發生警報聲的揚聲器等。
[0017]如圖2所示，監視照相機102例如被安裝於配設在無塵室內的半導體製造裝置110的頂部等，能夠從上方拍攝無塵室的地板表面(格柵通常時，在無塵室的地板表面配設有格柵，從頂部朝向地板部形成的潔淨空氣的下降流經由格柵流入至地板表面的下方的空間部。該格柵下方的空間部的高度取決於無塵室，但例如設為1米至5米左右，若作業人員從無塵室的地板墜落至該空間部則非常危險。
[0018]監視照相機102用於拍攝形成在半導體製造裝置110之間的通道的地板表面(格柵)。在圖2所示的例子中，在半導體製造裝置110的周圍以包圍半導體製造裝置110的方式形成有通道111，作業人員能夠在這些通道111上通行。因此，配設有四個監視照相機102，以便拍攝半導體製造裝置110的四周。
[0019]如圖3所示，在無塵室內配設有許多的半導體製造裝置110。而且，將監視照相機102設置於這些半導體製造裝置110，以便無塵室內的全部通道的格柵進入任意一個監視照相機102的視場內。此外，在圖3所示的例子中，對於警報發生部103也示出配設於半導體製造裝置110的情況，但也可以在半導體製造裝置110以外的位置配設警報發生部103。
[0020]在圖3所示的例子中，取下格柵的一部分，在地板表面形成有開口部113。在監視部101解析來自監視照相機102的圖像信號，監視在無塵室內是否形成了開口部113。
[0021]如上述那樣，監視照相機102被設置成無塵室內的全部通道111的格柵進入任意一個監視照相機102的視場內。因此，即使在取下了無塵室內的通道111的任意一個格柵的情況下，也能夠通過任意一個監視照相機102檢測出該情況，能夠檢測形成了開口部113這一情況。
[0022]應予說明，監視照相機102也可以設置在半導體製造裝置110以外的部分，例如也可以設置在無塵室的頂部、壁部，也能夠組合配設在這些部分的監視照相機102來使用。
[0023]接下來，參照圖4的流程圖，對無塵室的監視裝置100的動作進行說明。
[0024]若開始無塵室的監視裝置100中的無塵室的監視(步驟300)，則監視部101從各監視照相機102獲取拍攝到的通道111的地板表面(格柵)的圖像信號(步驟301)。
[0025]接下來，監視部101解析從各監視照相機102獲取的圖像信號，並判斷是否從通道111的地板表面取下了格柵，而存在在通道111上形成了開口部113的部位(步驟302)。
[0026]而且，在判斷為不存在在通道111上形成了開口部113的部位的情況下，接下來判斷是否結束處理(步驟305),在不結束處理的情況下，反覆從步驟301開始的動作。另一方面，在結束處理的情況下，結束用於監視的處理(步驟306)。
[0027]另一方面，在步驟302判斷為取下了格柵而在通道111上形成有開口部113的情況下，接下來，檢測是否有接近該開口部113的作業人員(步驟303)。
[0028]而且，在判斷為沒有接近開口部113的作業人員的情況下，接下來判斷是否結束處理(步驟305),在不結束處理的情況下，反覆從步驟301開始的動作。另一方面，結束處理的情況下，結束用於監視的處理(步驟306)。
[0029]另一方面，在判斷為有接近開口部的作業人員的情況下，從監視部101向警報發生部103輸出警報信號，在警報發生部103中發出基於光以及警報聲等的警報(步驟304)。通過來自該警報發生部103的警報，接近開口部113的作業人員能夠認識到正在臨近危險的狀態，能夠事先防止滾落至開口部113這樣的情況發生。
[0030]接下來，判斷是否結束處理(步驟305)。而且，在不結束處理的情況下，反覆從步驟301開始的動作。另一方面，在結束處理的情況下，結束用於監視的處理(步驟306)。
[0031]如上所述，在本實施方式所涉及的無塵室的監視裝置以及無塵室的監視方法中，若取下無塵室內的格柵而在無塵室的地板表面形成開口部113，則自動地檢測該開口部113，且若檢測到接近開口部113的作業人員，則發出警報喚起作業人員注意。因此，即使在忘記在開口部113的周圍設置路粧、護欄帶等的情況下，也能夠使作業人員注意到開口部113的存在。由此，能夠防止作業人員從取下格柵而形成的開口部113墜落的事故發生。
[0032]此外，本發明並不局限於上述的實施方式，當然能夠進行各種變形。
[0033]能夠將本發明的無塵室的監視裝置以及無塵室的監視方法在半導體器件、平板顯示器用基板或者太陽能電池板等的製造領域等中加以利用。因此，具有工業上的可利用性。
[0034]符號說明:100…無塵室的監視裝置，101…監視部，102…監視照相機，103…警報發生部，110…半導體製造裝置，111…通道，113…開口部。
【權利要求】
1.一種無塵室的監視裝置，是用於監視在地板部配置了能夠取下的格柵的無塵室的內部的無塵室的監視裝置，其特徵在於，具備: 監視照相機，其拍攝所述格柵； 監視部，其根據利用所述監視照相機得到的圖像信號來檢測取下了所述格柵的開口部的有無，並在有開口部的情況下檢測接近該開口部的作業人員的有無，並在檢測到所述作業人員時輸出警報信號；以及 警報發生單元，其從所述監視部接受所述警報信號，並發出警報。
2.根據權利要求1所述的無塵室的監視裝置，其特徵在於， 在設置在所述無塵室內的半導體製造裝置上配設有多個所述監視照相機。
3.根據權利要求1所述的無塵室的監視裝置，其特徵在於， 所述警報發生單元通過光和聲音發出警報。
4.根據權利要求1所述的無塵室的監視裝置，其特徵在於， 在設置在所述無塵室內的半導體製造裝置上配設有多個所述警報發生單元。
5.一種無塵室的監視方法，是用於監視在地板部配置了能夠取下的格柵的無塵室的內部的無塵室的監視方法，其特徵在於，具備: 通過監視照相機拍攝所述格柵的拍攝工序； 根據在所述拍攝工序中得到的所述監視照相機的圖像信號來檢測取下了所述格柵的開口部的有無的開口部檢測工序； 在所述開口部檢測工序中檢測到所述開口部的情況下，檢測接近該開口部的作業人員的有無的監視工序；以及 在所述監視工序中檢測到接近所述開口部的作業人員時發出警報的警報發生工序。
【文檔編號】G08B25/00GK104428823SQ201380036298
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2013年7月2日 優先權日:2012年7月9日
【發明者】鈴木淳司, 魚山和哉, 小西儀紀, 奧大輔, 本多慶匡 申請人:東京毅力科創株式會社