一種用於半導體氣敏傳感器的老化裝置的製作方法

2023-10-29 02:48:12 1

本實用新型涉及半導體氣敏傳感器的老化裝置領域，特別涉及一種用於半導體氣敏傳感器的老化裝置。

背景技術：

半導體氣敏傳感器壽命長，長期再現性較好，但使用初期再現性較差。半導體氣敏傳感器在經過冷置存放後，在開始通電的瞬間傳感器的內阻會急劇下降，後逐漸變大至穩定，因此使用前一般需要經過老化處理，老化處理裝置通常包括標氣供氣裝置、載氣供氣裝置，氣流控制裝置等，而目前採用的氣體流量控制裝置結構複雜、成本高，例如公告號為CN204203181U公告日為2012.03.11的中國實用新型專利公開了一種傳感器老化裝置，該傳感器老化裝置安裝有壓力控制器、穩壓閥和電子壓力表，通過三者之間的配合實現對氣體流量的控制，這種氣體流量控制裝置結構複雜、造價高。

技術實現要素：

本實用新型的目的是提供一種用於半導體氣敏傳感器的老化裝置，以解決目前的半導體氣敏傳感器老化裝置的氣體流量控制設備結構複雜、造價高的問題。

本實用新型的技術方案為：一種用於半導體氣敏傳感器的老化裝置，包括供氣裝置，所述的用於半導體氣敏傳感器老化裝置還包括用於控制氣體流量的阻尼管，所述的阻尼管一端為進氣口，進氣口與供氣裝置連接，另一端為用於連接要進行老化處理的半導體氣敏傳感器的出氣口。

所述的用於半導體氣敏傳感器的老化裝置還包括用於與要處理的半導體氣敏傳感器連接的電路控制和信號採集模塊。

所述的供氣裝置包括第一兩通閥門、第二兩通閥門、三通接頭、高純空氣供給器及還原性氣體供給器；所述的三通接頭一端連接阻尼管的進氣口，所述的第一兩通閥門一端連接高純空氣供給器，另一端連接三通閥門，所述的第二兩通閥門一端連接還原性氣體供給器，另一端連接三通閥門。

所述的第一、二兩通閥門為兩通電磁閥。

所述的阻尼管為石英阻尼管。

本實用新型的有益效果為：本實用新型所述的用於半導體氣敏傳感器的老化裝置，包括供氣裝置，所述的用於半導體氣敏傳感器老化裝置還包括用於控制氣體流量的阻尼管，所述的阻尼管一端為進氣口，進氣口與供氣裝置連接，另一端為用於連接要進行老化處理的半導體氣敏傳感器的出氣口，通過調節阻尼管控制氣體流量，而相比傳統的由控制壓力控制器、穩壓閥和電子壓力表組成的氣體流量控制裝置，所用的阻尼管結構簡單、造價低，使用方便。

更進一步的，本實用新型的供氣裝置設置有兩個兩通電磁閥，兩個兩通電磁閥分別連接高純空氣供給器和還原性氣體供給器，並通過一個三通接頭與阻尼管連接，實現了高純空氣和還原性氣體的交替通入，裝置簡單、操作方便。

附圖說明

圖1是本實用新型的一種用於半導體氣敏傳感器的老化裝置的具體實施例的原理示意圖。

具體實施方式

本實用新型的一種用於半導體氣敏傳感器的老化裝置的具體實施方式：如圖1所示，本實用新型所述的用於半導體氣敏傳感器的老化裝置包括供氣裝置、阻尼管6、電路控制和信號採集模塊8，阻尼管6中間填充石英砂填料即阻尼管6為石英阻尼管，供氣裝置還包括兩通電磁閥3、兩通電磁閥4、三通接頭5、高純空氣供給器及還原性氣體供給器，高純空氣供給器和還原性氣體供給器上設置有減壓閥9，高純空氣供給器為高純空氣氣體瓶1，還原性氣體供給器為還原性氣體瓶2；阻尼管6一端為用於連接要進行老化處理的半導體氣敏傳感器7的出氣口，另一端為進氣口，進氣口與三通接頭連接，設置的阻尼管6使通過阻尼管6末端的氣體流量與半導體氣敏傳感器7工作時的通過的氣體流量一致，石英阻尼管結構簡單、造價低、使用方便，利用石英阻尼管控制氣體流量，解決了傳統氣體流量控制流量裝置結構複雜造價高的問題；

兩通電磁閥3一端與安裝在高純空氣氣體瓶上的減壓閥9連接，另一端連接三通接頭5，兩通電磁閥4的一端連接安裝在還原性氣體上的減壓閥9，另一端連接三通接頭5，電路控制和信號採集模塊8與要處理的半導體氣敏傳感器7連接，裝置簡單、操作方便。

本實用新型上述實施例的工作原理是：打開高純空氣氣體瓶1、還原性氣體氣體瓶2的開關，使用各自帶有的減壓閥9調節壓力後分別輸出高純空氣、還原性氣體，通過電路控制和信號採集模塊8控制打開兩通電磁閥3，使高純空氣通過阻尼管6後進入半導體氣敏傳感器7，直到電路控制和信號採集模塊8顯示高純空氣使半導體氣敏傳感器7氧化後關閉兩通電磁閥3；打開兩通電磁閥4，使還原性氣體通過阻尼管6後進入半導體氣敏傳感器7，直到電路控制和信號採集模塊8顯示還原性氣體使半導體氣敏傳感器7還原後關閉兩通電磁閥4，同時打開兩通電磁閥3，依此重複直到電路控制和信息採集模塊8顯示老化處理完畢。

在本實用新型的其他實施例中，上述實施例中的兩通電磁閥還可以是普通的兩通氣閥門；阻尼管中的石英砂填料還可以為高分子材料，或者直接使用色譜柱儀代替石英阻尼管。