一種微電子用材料蠕變性能測試裝置的製作方法

2023-10-29 08:45:42 2

專利名稱：一種微電子用材料蠕變性能測試裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種計時裝置，特別涉及一種微電子用材料蠕變性能 測試裝置。
背景技術：
蠕變壽命是工程應用材料及電子組裝材料的一個重要的性能指 標，在試驗過程中的最大特點就是周期長，有的長達幾十天；計時困 難，在試驗中通常採取的辦法是三班24小時輪流值班，並必須做好記 錄，試驗結果往往還不能保證準確，因為蠕變斷裂通常發生在值班人 員不注意的時候，致使試驗失敗，或以犧牲試驗精度為代價對時間進 行粗略的估計，嚴重影響了試驗成功率，且造成極大的人力損耗和浪 費。
一些條件好的實驗室採用自動控制，甚至有的實驗室對試驗全過 程採用攝像頭進行錄像，採集信息，雖然也能達到精確記錄的目的， 但是需要購買專用設備，配備專人維護，增加了試驗資金投入。

發明內容
為了克服上述現有技術的不足，本發明的目的在於提供一種微電 子用材料蠕變性能測試裝置，尤其適合於加載較小的電子釺料蠕變斷 裂壽命的測試，具有使用方便，成本低廉，便於推廣的特點。
為了實現上述目的，本發明採用的技術方案是 一種微電子用材 料蠕變性能測試裝置，包括有一上支架2，上支架2上部設置有滑輪1，上支架2下部用於設置試樣12，試樣12下連接有載荷箱11，繩6的一端 連接載荷箱ll，繩6的另一端通過滑輪1連接在電池8上，電池8裝在鬧 鍾10的電池盒7內，鬧鐘10固定在下支架9上。
所述的繩6在測試時不受力，處於鬆弛狀態。
所述的鬧鐘10和下支架9的位置偏離於載荷箱11下落點的位置。
所述的試樣12由三部分組成，包括上基片3、下基片5以及將上基 片3和下基片5連接在一起的試驗釺料4，上基片3和上支架2連接，下 基片5和載荷箱11連接。
由於本發明用繩6將載荷箱11與電池8相連接的方式進行蠕變斷 裂壽命的測量，所以具有使用方便，成本低廉，便於推廣的特點。


附圖為本發明的結構示意圖。
具體實施例方式
下面結合附圖對本發明的結構原理和工作原理作進一步詳細說明。
參見附圖， 一種微電子用材料蠕變性能測試裝置，包括有一上支 架2，上支架2上部設置有滑輪1，上支架2下部用於設置試樣12，將試 樣12上端用螺栓固定於上支架2上，試樣12是由三部分組成，包括用 於試驗的釺料4、上基片3和下基片5，釺料4將上基片3和下基片5連接 在一起，上基片3和上支架2連接，下基片5用於和載荷箱11連接，繩6 的一端連接載荷箱ll，繩6的另一端通過滑輪1連接在電池8上，目的 是釺料4發生蠕變斷裂後，載荷通過繩6傳遞力矩迅速使得電池8和鬧鐘10的電池盒7分離。鬧鐘10用於計時，確定釺料4的蠕變斷裂壽命。 鬧鐘10固定在下支架9上。所述的繩6在測試時不受力，處於鬆弛狀態。 所述的鬧鐘10和下支架9的位置偏離於載荷箱11下落點的位置，下支 架9一方面替支撐作用，另一方面用於固定計時用的鬧鐘IO，確保試 樣12斷裂後，載荷箱11下落不損壞固定在下支架9上的鬧鐘10;同時 保證電池8和鬧鐘10的電池盒分離不會移動鬧鐘10，導致鬧鐘10損壞， 或者指針移動，造成試驗失敗。 本發明的工作原理是
首先將試樣12的上基板3固定在上支架2上，然後將鬧鐘10調到12 時，然後將繩6—端固定在載荷箱11上，通過滑輪l，另一端固定在電 池8上，在加載的同時，將電池8放入鬧鐘10的電池盒7中，鬧鐘10指 針開始走動計時。只需要每12個小時做一次試驗記錄，因為鬧鐘IO 每12個小時為一個周期。
確保試驗過程中，繩6不會受力，處於鬆弛狀態， 一方面避免影 響載荷的施力精度，另一方面避免電池8提前和鬧鐘10中的電池盒7 分離，導致計時中斷。同時也不能過分鬆弛，以保證釺料4發生蠕變 斷裂，載荷落下，電池8能夠及時順利和鬧鐘10的電池盒7分離。
權利要求
1、一種微電子用材料蠕變性能測試裝置，其特徵在於，包括有一上支架(2)，上支架(2)上部設置有滑輪(1)，上支架(2)下部用於設置試樣(12)，試樣(12)下連接有載荷箱(11)，繩(6)的一端連接載荷箱(11)，繩(6)的另一端通過滑輪(1)連接在電池(8)上，電池(8)裝在鬧鐘(10)的電池盒(7)內。
2、 根據權利要求l所述的一種微電子用材料蠕變性能測試裝置， 其特徵在於，所述的鬧鐘(10)固定在下支架(9)上。
3、 根據權利要求l所述的一種微電子用材料蠕變性能測試裝置， 其特徵在於，所述的繩(6)在測試時不受力，處於鬆弛狀態。
4、根據權利要求1或2所述的一種微電子用材料蠕變性能測試裝 置，其特徵在於，所述的鬧鐘(10)和下支架(9)的位置偏離於載 荷箱(11)下落點的位置。
5、根據權利要求l所述的一種微電子用材料蠕變性能測試裝置， 其特徵在於，所述的試樣(12)由三部分組成，包括上基片(3)、 試驗釺料(4)和下基片(5),，釺料(4)將上基片(3)和下基片(5) 連接在一起，上基片(3)和上支架(2)連接，下基片(5)和載荷 箱(11)連接。
全文摘要
一種微電子用材料蠕變性能測試裝置，包括有一上支架2，上支架2上部設置有滑輪1，上支架2下部用於設置試樣12，試樣12下連接有載荷箱11，繩6的一端連接載荷箱11，繩6的另一端通過滑輪1連接在電池8上，電池8裝在鬧鐘10的電池盒7內，在加載的同時，將電池8放入鬧鐘10的電池盒7中，鬧鐘10指針開始走動計時，每12個小時做一次試驗記錄，具有使用方便，成本低廉，便於推廣的特點。
文檔編號G01N3/14GK101504346SQ20091002175
公開日2009年8月12日 申請日期2009年3月30日 優先權日2009年3月30日
發明者許天旱 申請人:西安石油大學