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衝洗水回收方法及裝置的製作方法

2023-09-22 06:53:45

專利名稱:衝洗水回收方法及裝置的製作方法
衝洗水回收方法及裝置
技術領域:
本發明涉及一種衝洗水回收方法及裝置。
背景技術:
目前,半導體生產中,UPW系統(超純水系統)中的拋光混床在更換完MBP樹脂(精拋光混床樹脂)後,需要大量的衝洗水長時間衝洗MBP樹脂後才能投入使用。但是,大量的衝洗水在衝洗完MBP樹脂後,經由衝洗水排放管路直接排放到WffT系統(廢水處理系統)中,然後排外到市政水管路,沒有對衝洗水進行回收利用,造成大量的衝洗水浪費,提高了成本,極大的浪費了水資源。

發明內容有鑑於此,有必要提供一種對衝洗水進行回收的衝洗水回收方法及裝置。一種衝洗水回收裝置,用於對拋光混床的衝洗水進行回收,包括拋光混床、衝洗水排放管路以及回收水箱;所述衝洗水排放管路連接拋光混床和回收水箱。優選的,所述衝洗水回收裝置還包括設置在所述衝洗水排放管路上的第一閥門;所述第一閥門控制所述衝洗水排放管路的導通和關閉。優選的,所述衝洗水回收裝置還包括衝洗水分流支路以及第二閥門;所述衝洗水分流支路一端與第一閥門和拋光混床之間的衝洗水排放管路連接,另一端連接至廢水處理系統,第二閥門設置在所述衝洗水分流支路上,用於控制衝洗水分流支路的導通與關閉。優選的,所述第一閥門和第二閥門均為電磁閥,所述衝洗水回收裝置還包括監測器以及控制器;所述監測器設置在所述回收水箱上,用來監測回收水箱中的水位,所述控制器連接監測器、第一閥門以及第二閥門,在回收水箱水位高於預定水位時,控制第一閥門關閉,第二閥門打開。優選的,所述監測器採用聲波監測器。一種衝洗水回收方法,用於對拋光混床的衝洗水進行回收,該方法對拋光混床的衝洗水排放管路進行改造,將衝洗水排放管路連接至回收水箱。優選的,所述衝洗水回收方法還包括在所述衝洗水排放管路上的設置第一閥門的步驟;所述第一閥門控制所述衝洗水排放管路的導通和關閉。優選的,所述衝洗水回收方法還包括設置衝洗水分流支路以及第二閥門的步驟;所述衝洗水分流支路一端與第一閥門和拋光混床之間的衝洗水排放管路連接,另一端連接至廢水處理系統,第二閥門設置在所述衝洗水分流支路上,用於控制衝洗水分流支路的導通與關閉。優選的,所述第一閥 門和第二閥門均為電磁閥,所述衝洗水回收方法還包括設置監測器以及控制器的步驟;所述監測器設置在所述回收水箱上,用來監測回收水箱中的水位,所述控制器連接監測器、第一閥門以及第二閥門,在回收水箱水位高於預定水位時,控制第一閥門關閉,第二閥門打開。
優選的,所述監測器採用聲波監測器。上述衝洗水回收裝置及方法,對衝洗水排放管路的連接進行了改造,衝洗水排放管路連接至回收水箱,回收水箱為生產線機臺部分排水淨化系統的起始端,能夠使衝洗水回收並淨化,從而使得衝洗水得到回收利用,避免大量的衝洗水的浪費,大大降低了生產成本,極大的節約了水資源。

圖1是一個實施例中衝洗水回收裝置的結構示意圖。
具體實施方式
下面結合附圖,對本發明的具體實施方式
進行詳細描述。圖1是一個實施例中衝洗水回收裝置的結構示意圖。該衝洗水回收裝置對拋光混床100的衝洗水進行回收,包括:拋光混床100、衝洗水排放管路200以及回收水箱300。衝洗水排放管路200連接拋光混床100和回收水箱300。該實施例中,回收水箱300為廠務中原有的。回收水箱300為生產線機臺部分排水淨化系統的起始端,回收水箱300用於收集生產線機臺的部分排水交由生產線機臺部分排水淨化系統進行純淨後回收利用。該衝洗水回收裝置對衝洗水排放管路200的連接進行了改造,衝洗水排放管路200連接至回收水箱300,能夠對回收衝洗水,從而使得衝洗水得到回收利用。為控制衝洗水的排放,該裝置還包括第一閥門400。第一閥門400設置在衝洗水排放管路200上,控制衝洗水排放管路200的導通與關閉,控制衝洗水的排放。此外,為避免衝洗水進入回收水箱300後,水位過高造成回流等,還需對回收水箱300的水位進行控制。該裝置還包括衝洗水分流支路500以及第二閥門600。衝洗水分流支路500 —端與第一閥門400和拋光混床100之間的衝洗水排放管路200連接,另一端連接至廢水處理系統(WWT系統)700。第二閥門600設置在衝洗水分流支路500上,用於控制衝洗水分流支路500的導通與關閉。當將衝洗水排放到回收水箱時,打開第一閥門400,關閉第二閥門600 ;當水位過高,超過預定水位時,關閉第一閥門400,打開第二閥門600,衝洗水經由衝洗水分流支路500排放至廢水處理系統700即可。進一步的,為智能的控制回收水箱300的水位,第一閥門400和第二閥門600均採用電閥門,該裝置還包括監測器800以及控制器900。監測器800設置在廠務回收水箱300上,用來監測回收水箱300中的水位。該實施例中,監測器800採用聲波監測器,通過聲波反射時間測距的方式監測回收水箱300的水位。控制器900連接監測器800、第一閥門400以及第二閥門600,在回收水箱300水位高於預定水位時,控制第一閥門400關閉,第二閥門600打開。通過監測器800的監測和控制器900的控制,智能的控制回收水箱300的水位,無需人力操作,極大的節約了人力成本。此外,還提供一種衝洗水回收方法,該方法對拋光混床的衝洗水排放管路進行改造,將衝洗水排放管路連接至回收水箱。
該實施例中,回收水箱為廠務中原有的。回收水箱為生產線機臺部分排水淨化系統的起始端,回收水箱用於收集生產線機臺的部分排水交由生產線機臺部分排水淨化系統進行純淨後回收利用。該方法對衝洗水排放管路的連接進行了改造,衝洗水排放管路連接至回收水箱,從而使得衝洗水得到回收利用。為控制衝洗水的排放,該方法還包括在衝洗水排放管路上設置第一閥門的步驟。第一閥門控制衝洗水排放管路的導通與關閉,控制衝洗水的排放。此外,為避免衝洗水進入回收水箱後,水位過高造成回流等,還需對回收水箱的水位進行控制。該方法還包括設置衝洗水分流支路以及第二閥門的步驟。衝洗水分流支路連接衝洗水排放管路和廢水處理系統(WffT系統),並且與第一閥門和拋光混床之間的衝洗水排放管路連接。第二閥門設置在衝洗水分流支路上,用於控制衝洗水分流支路的導通與關閉。當將衝洗水排放到回收水箱時,打開第一閥門,關閉第二閥門;當水位過高,超過預定水位時,關閉第一閥門,打開第二閥門,使衝洗水經由衝洗水分流支路排放至廢水處理系統即可。進一步的,為智能的控制回收水箱的水位,第一閥門和第二閥門均採用電閥門,該方法還包括設置控制器以及監測器的步驟。監測器設置在廠務回收水箱上,用來監測回收水箱中的水位。該實施例中,監測器採用聲波監測器,通過反射測距的方式監測回收水箱的水位。控制器連接監測器、第一閥門以及第二閥門,在回收水箱水位高於預定水位時,控制第一閥門關閉,第二閥門打開。通過監測器的監測和控制器的控制,智能的控制回收水箱的水位,無需人力操作。上述衝洗水回收裝 置及方法,對衝洗水排放管路的連接進行了改造,衝洗水排放管路連接至回收水箱,回收水箱為生產線機臺部分排水淨化系統的起始端,能夠使衝洗水回收並淨化,從而使得衝洗水得到回收利用,避免大量的衝洗水的浪費,大大降低了生產成本,極大的節約了水資源。以上所述實施例僅表達了本發明的幾種實施方式,其描述較為具體和詳細,但並不能因此而理解為對本發明專利範圍的限制。應當指出的是,對於本領域的普通技術人員來說,在不脫離本發明構思的前提下,還可以做出若干變形和改進,這些都屬於本發明的保護範圍。因此,本發明專利的保護範圍應以所附權利要求為準。
權利要求
1.一種衝洗水回收裝置,用於對拋光混床的衝洗水進行回收,其特徵在於,包括拋光混床、衝洗水排放管路以及回收水箱;所述衝洗水排放管路連接拋光混床和回收水箱。
2.根據權利要求1所述的衝洗水回收裝置,其特徵在於,所述衝洗水回收裝置還包括設置在所述衝洗水排放管路上的第一閥門;所述第一閥門控制所述衝洗水排放管路的導通和關閉。
3.根據權利要求2所述的衝洗水回收裝置,其特徵在於,所述衝洗水回收裝置還包括衝洗水分流支路以及第二閥門;所述衝洗水分流支路一端與第一閥門和拋光混床之間的衝洗水排放管路連接,另一端連接至廢水處理系統,第二閥門設置在所述衝洗水分流支路上,用於控制衝洗水分流支路的導通與關閉。
4.根據權利要求3所述的衝洗水回收裝置,其特徵在於,所述第一閥門和第二閥門均為電磁閥,所述衝洗水回收裝置還包括監測器以及控制器;所述監測器設置在所述回收水箱上,用來監測回收水箱中的水位,所述控制器連接監測器、第一閥門以及第二閥門,在回收水箱水位高於預定水位時,控制第一閥門關閉,第二閥門打開。
5.根據權利要求4所述的衝洗水回收裝置,其特徵在於,所述監測器採用聲波監測器。
6.一種衝洗水回收方法,用於對拋光混床的衝洗水進行回收,其特徵在於,該方法對拋光混床的衝洗水排放管路進行改造,將衝洗水排放管路連接至回收水箱。
7.根據權利要求6所述的衝洗水回收方法,其特徵在於,所述衝洗水回收方法還包括在所述衝洗水排放管路上的設置第一閥門的步驟;所述第一閥門控制所述衝洗水排放管路的導通和關閉。
8.根據權利要求7所述的衝洗水回收方法,其特徵在於,所述衝洗水回收方法還包括設置衝洗水分流支路以及第二閥門的步驟;所述衝洗水分流支路一端與第一閥門和拋光混床之間的衝洗水排放管路連接,另一端連接至廢水處理系統,第二閥門設置在所述衝洗水分流支路上,用於控制衝洗水分流支路的導通與關閉。
9.根據權利要求8所述的衝洗水回收方法,其特徵在於,所述第一閥門和第二閥門均為電磁閥,所述衝洗水回收方法還包括設置監測器以及控制器的步驟;所述監測器設置在所述回收水箱上,用來監測回收水箱中的水位,所述控制器連接監測器、第一閥門以及第二閥門,在回收水箱水位高於預定水位時,控制第一閥門關閉,第二閥門打開。
10.根據權利要求9所述的衝洗水回收方法,其特徵在於,所述監測器採用聲波監測器。
全文摘要
本發明涉及一種衝洗水回收裝置及方法,該裝置用於對拋光混床的衝洗水進行回收,包括拋光混床、衝洗水排放管路以及回收水箱;所述衝洗水排放管路連接拋光混床和回收水箱。本發明對衝洗水排放管路的連接進行了改造,衝洗水排放管路連接至回收水箱,回收水箱為生產線機臺部分排水淨化系統的起始端,能夠使衝洗水回收並淨化,從而使得衝洗水得到回收利用,避免大量的衝洗水的浪費,大大降低了生產成本,極大的節約了水資源。
文檔編號C02F1/00GK103086444SQ20111034181
公開日2013年5月8日 申請日期2011年11月2日 優先權日2011年11月2日
發明者王詩濤, 陳志正 申請人:無錫華潤上華科技有限公司

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