傳送裝置、導正結構、傳送及導正基板的方法

2023-10-08 18:45:29 2

專利名稱：傳送裝置、導正結構、傳送及導正基板的方法
技術領域：
本發明涉及一種傳送及導正基板的裝置及方法，且特別涉及一種於傳送 過程中用以導正基板的裝置及其方法。
背景技術：
傳統基板清洗機臺的入口處會設置輸送基板的裝置，基板通過機械手臂 來置放於輸送裝置上，基板經過輸送裝置後直接送入清洗部的入口。由於輸 送裝置本身缺乏導正的機構，如果機械手臂在放置基板時就已經產生偏移， 則在後續的傳送過程中只會放大偏移量，再加上後續洗淨過程的應力作用， 將產生更大的偏移，甚至偏離預設軌道與機臺碰撞而導致破片等問題。基於上述問題，業界發展出一套導正基板的設備，其包括硬體以及控制 軟體，在原有清洗機臺上加裝導正機構以及伺服馬達，並通過可編程邏輯控制器(Programmable Logic Controller; PLC)數字控制軟體來驅動伺服馬達，以 控制導正機構的移動狀態。待機械手臂將基板放置在傳送裝置之後，數字控 制軟體會進行檢測和判斷，並根據判斷結果驅動導正機構由基板的側面逐一 地將基板推向正軌，直到在數字控制軟體判斷基板不再偏移之後才會將基板 送入清洗部入口。然而，加裝上述設備的費用較高，且後續維修成本也相當可觀。此外， 由於上述導正機構是在原有的清洗過程中多產生一道導正的步驟，使得原有 製造時間必須拉長，勢必造成產值損失。發明內容本發明的目的在於提供一種導正基板的裝置及其方法，其將導正組件設 置於傳送裝置內，可於基板下放過程中同時導正基板。本發明披露一種傳送裝置，其包括多個滾軸以及第一導正組件。多個滾 軸構成一承載平面，多個滾軸滾動用以傳送基板。第一導正組件介於多個滾軸的其中兩個滾軸之間，第一導正組件具有兩個與該承載平面相交的傾斜 部，此兩個傾斜部相對並分別朝相反方向傾斜。前述兩個傾斜部各具有高於 該承載平面的第一端以及低於該承載平面的第二端，第一傾斜部的第一端與 第二傾斜部的第一端之間的距離大於第一傾斜部的第二端與第二傾斜部的 第二端之間的距離。本發明另披露一種導正結構，用以裝設於前述傳送裝置中，該傳送裝置 具有底座以及位於該底座上方的承載平面，該導正結構包括第一導正組件以 及第二導正組件。第一導正組件包括兩個第一支架以及兩個第一傾斜部。第 -支架設置於該底座上，第一傾斜部設置於第一支架上。第一傾斜部與該承 載平面相交，其中第一傾斜部與該承載平面相交處之間的距離大約等於一片 基板的寬度。前述兩個第一傾斜部相對並分別朝相反方向傾斜，兩個第一傾 斜部各具有高於該承載平面的第一端以及低於該承載平面的第二端，其中兩 個第一端之間的距離大於兩個第二端之間的距離。第二導正組件包括兩個第 二支架以及兩個第二傾斜部。第二支架皆設置於傳送裝置的所述多個滾軸的 其中兩個滾軸之間。第二傾斜部與該承載平面相交，其中該第二傾斜部與該 承載平面相交處之間的距離大約等於一片基板的寬度。兩個第二傾斜部相對 並分別朝相反方向傾斜，且兩個第二傾斜部各具有高於該承載平面的第一端 以及低於該承載平面的第二端，其中兩個第一端之間的距離大於兩個第二端 之間的距離。本發明另披露一種導正基板的方法，該方法由一傳送裝置來執行，該傳 送裝置包括多個滾軸以及第一導正組件，其中多個滾軸實質上平行排列，所 述多個滾軸的軸心方向定義為第一方向，第一導正組件介於多個滾軸的其中 兩個滾軸之間，該第一導正組件包括兩個傾斜部，所述傾斜部突出於由所述 多個滾軸構成的一承載平面，所述兩個傾斜部相對並分別朝該第一方向以及 與該第一方向相反的第二方向傾斜；該方法包括如下步驟將一基板由兩個 傾斜部上方沿著該承載平面的法線方向向下移動至所述多個滾軸；以及滾動所述多個滾軸，以沿著垂直於該第一方向的第三方向傳送該基板。本發明的有益技術效果在於，本發明的傳送與導正基板的裝置及方法， 其於滾軸之間設置導正組件，使得基板在下放於傳送裝置的過程中即可完成 導正，縮短製造時間，避免產值損失。此外，本實施例無需數字控制軟體，也無需改裝機臺，只要在原有機臺上簡單地設置導正組件傾斜部即可發揮導 正功效，大幅度縮減成本並有效減少後續維修成本，且導正效果良好，適用 現有機臺規格。為讓本發明的上述內容能更明顯易懂，下文特列舉較佳實施例，並配合 附圖，作詳細說明如下。


圖1為本發明的傳送裝置的較佳實施例的立體圖。圖2為本發明的傳送裝置的較佳實施例的側視圖。圖3A至圖3C為本發明的導正基板的方法的較佳實施例的示意圖,其中，附圖標記說明如下99:入口100:傳送裝置101:基板102:底座104:升降器106:承載器110、110a、 110b、 110c、 110d、 110e:滾軸120:第一導正組件120，:第二導正組件122:滑軌124、126:支架130、 140、 130，、132、142、 132'、 142':傾斜部的第一—山 -順134、144、 134'、 144':傾斜部的第二A山 .乂而傾斜部具體實施方式
圖1為本發明的傳送裝置的較佳實施例的立體圖。如圖1所示，傳送裝置100包括多個滾軸IIO(包括110a、 110b、 110c、 110d)以及第一導正組件 120。多個滾軸IIO(包括110a、 110b、 110c、 110d)構成承載平面(如圖2所 示的標號A，即XY平面)，滾軸110可滾動，用以傳送基板101。第一導正 組件120介於其中兩個滾軸110b及U0c之間。請同時參照圖1及圖2，圖2為本發明的傳送裝置的較佳實施例的側視 圖。第一導正組件120具有兩個與承載平面A相交的傾斜部130、 140，兩 個傾斜部130、 140相對並分別朝相反方向傾斜，此兩個傾斜部130、 140各具有高於承載平面A的第一端132、 142以及低於承載平面的第二端134、 144，兩個第一端132、 142之間的距離X1大於兩個第二端134、 144之間的 距離X2。以較佳實施例而言，前述兩個傾斜部130、 140與承載平面A相交處之 間的距離X3大約等於基板101的寬度。在另一較佳實施例中，前述兩個傾 斜部130、 140與承載平面A的夾角大於或等於45度，如此一來，傾斜部的 傾斜程度才足以致使基板受重力自行滑動，使得傾斜部發揮導正基板的作 用。在最佳實施例中，前述兩個傾斜部130、 140與承載平面A的夾角介於 45度與60度之間。由於傾斜部不可避免地會與基板101產生摩擦，因此傾 斜部130與140較佳的是採用耐磨材質，例如是工程塑料，在較佳實施例中， 兩個傾斜部130與140是由聚醚醚酮(polyaryletherketone,peek)類的工程塑料 所製成。請參照圖l，第一導正組件120包括滑軌122以及兩個支架124、 126。 滑軌122設置於底座102上，兩個支架124、 126設置於滑軌122上，並可 於滑軌122中移動，兩個傾斜部130及140分別設置於兩個支架124及126 1:。當兩個支架124與126沿著士Y方向於滑軌122上滑動時，設置於兩個 支架124與126上的兩個傾斜部130及140也會隨著移動，因此，通過沿著 滑軌122移動支架124與126的位置，便可以將兩個傾斜部130、 140與承 載平面A相交處之間的距離X3調整為預設距離，例如是不同尺寸的基板寬 度。如此一來，在無須額外的硬體或軟體設備的情況下，本實施例的傳送裝 置即可應用於導正各種尺寸大小的基板。然而，調整兩個傾斜部與承載平面相交處之間距離的方法並不限定於上 述方式，實際上亦可沿著承載平面的法線方向(如士Z方向)調整兩個支架124 及126的位置。舉例來說，兩個支架124與126可以是可伸縮支架，可以承 載傾斜部130及140向上或向下移動。另舉一例，兩個支架124與126可包 含支架升降裝置，使兩個支架124與126可各沿著承載平面的法線方向(如士Z 方向)於第一位置及第二位置之間往復移動；當兩個支架位於第一位置時，此 兩個支架與底座分別位於承載平面的兩側；當兩個支架位於第二位置時，此 兩個支架與底座位於承載平面的同一側。傳送裝置100可包括第二導正組件120'，該第二導正組件120'與第一導正組件120的結構相似但位置不同，兩者協同達到導正基板的目的。第二導 正組件120'設置於另外兩個滾軸110d及110e之間，第二導正組件120'包括 另兩個分別與承載平面(XY平面)相交的傾斜部130'、 140'，另兩個傾斜部 130，、 140，相對並分別朝相反方向傾斜，另兩個傾斜部130，、 140，各具有高 於承載平面的第一端132'、 142，以及低於承載平面的第二端134，、 144，，此 兩個第一端132'、 142，之間的距離大於兩個第二端134，、 144，之間的距離。 同樣地，兩個傾斜部130'、 140'與承載平面相交處之間的距離大約等於一片 基板的寬度。滾軸110實質上平行排列，滾軸110的軸心方向定義為第一方向(如+Y 方向)，滾軸滾動時沿著垂直於第一方向的第二方向(如+X方向)傳送基板， 第一導正組件120及第二導正組件120'較佳的是沿著第二方向(如+X方向) 排列。兩組導正組件120及120'之間的距離小於基板的一長度。如此一來， 當歪斜的基板落於第一導正組件120以及第二導正組件120'之間時，兩組導 正組件可以同時導正基板，加速傳送及導正過程。傳送裝置100可包括底座102、升降器104以及承載器106。滾軸IIO、 第一導正組件120以及升降器104設置於底座102上，承載器106設置於升 降器上104，用以沿著承載平面的法線方向(如士Z方向)承載基板101。以下將詳細解說本發明所披露的導正基板的方法的較佳實施例。請參照 圖3A至圖3C，其所示為本發明的傳送及導正基板的方法的較佳實施例的示 意圖。圖3A所示為本發明的傳送裝置的側視圖，多個滾軸110實質上平行 排列，第一導正組件120包括兩個傾斜部130及140，且所述兩個傾斜部突 出於由多個滾軸110構成的承載平面A，兩個傾斜部140及130相對並分別 朝第一方向(如+Y方向)以及與第一方向相反的第二方向(如-Y方向)傾斜，第 一方向與第二方向與滾軸110的軸心方向(如士Y方向)平行。首先，將基板101置放於上述傳送裝置100上，使得基板101由兩個傾 斜部130及140上方沿著承載平面A的法線方向(如-Z方向)移動至滾軸110 上。 一般來說，將基板101由上方置入的方法有很多種，包括由機械手臂吸 取基板後置入、以輸送帶將基板由上方輸入、或者是利用可升降的承載器承 載基板等，在圖3A中以承載器為例加以說明，將設置於底座102上的升降 器104上升，使得設置於升降器104上的承載器106位於高於兩個傾斜部130及140的第一端132及142的位置，承載器106承接基板101之後，升降器 104開始下降(也就是沿著承載平面的法線方向移動)。需注意的是，本實施例的第一導正組件120可於基板置於滾軸上的過程 中導正基板。舉例來說，當基板101如圖3A所示偏向傾斜部130歪斜時， 在基板101持續下降的過程中會先觸碰到傾斜部130，如圖3B所示。基板 101受重力沿著傾斜部130下滑，最後會滑至滾軸110上，並介於兩個傾斜 部130及140之間。本實施例的導正方法可包括以下歩驟調整兩個傾斜部130及140之間 的距離，使得兩個傾斜部130、 140與承載平面A相交處之間的距離大約等 於基板的寬度。如此一來，當基板101沿著兩個傾斜部130及140下滑至滾 軸110之後，基板101便可以被限制於預設位置上，而不會產生偏斜。本實 施例提出的導正基板的方法及裝置，可以廣泛地應用於中小尺寸基板，例如 是6.5" 17"基板。最後，滾動多個滾軸110，滾動的滾軸110可以帶動位於滾軸IIO上方 的基板101移動，使得傳送裝置100能夠沿著垂直於第一方向的第三方向(如 圖1所示的+X方向)傳送基板101。當基板101沿著第三方向(如+X方向)移 動時，基板101仍然持續受到第一導正組件120的傾斜部130及140的作用 而繼續導正基板101。也就是說，將基板101置於滾軸110上的過程中以及 由滾軸110傳送基板101的過程中，兩個傾斜部130及140都持續發揮導正 的功能，使得基板101在進入機臺入口 99之前能順利被導正，減少因基板 偏移碰撞機臺導致的破片數量。相較於傳統導正方法，本實施例的導正基板 的方法可以有效地縮減整體製造時間，避免產值損失。另外，傳送裝置100也可以包括兩組導正組件(即上述的第一導正組件 120及第二導正組件120')，將基板沿著承載平面的法線方向移動至滾軸的步 驟可包括將基板101由四個傾斜部130、 140、 130，、 140，上方沿著承載平 面A的法線方向(如-Z方向)移動至滾軸110，如此一來，基板101在此移動 過程中即順利地被導正完成，更為有效地縮減整體製造時間，避免產值損失。另一方面，就導正效果而言，本實施例的傳送及導正的基板裝置及方法 符合原有機臺對於導正範圍的要求。舉例來說，當傾斜部的傾斜角度為60 度角時，支架的寬度為30mm、高度為60mm的傾斜部長約為100mm，可以導正左右偏移30mm以內或是偏移角度15度以內的基板，計算出的可導正 範圍是220 350mm，其落於原機原廠規定範圍(228 349mm)內，而且厚度為 0.4mm的基板仍可適用。本發明上述實施例所披露的傳送與導正基板的裝置及方法，其於滾軸之 間設置導正組件，使得基板在下放於傳送裝置的過程中即可完成導正，縮短 製造時間，避免產值損失。此外，本實施例無需數字控制軟體，也無需改裝 機臺，只要在原有機臺上簡單地設置導正組件傾斜部即可發揮導正功效，大 幅度縮減成本並有效減少後續維修成本，且導正效果良好，適用現有機臺規 格。綜上所述，雖然本發明已以較佳實施例披露如上，然而其並非用以限定 本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識的人員，在不脫離本發明的精 神和範圍內，可作各種更動與潤飾。因此，本發明的保護範圍當視所附的權 利要求書所界定的範圍為準。
權利要求
1.一種傳送裝置，包括多個滾軸，構成一承載平面，所述多個滾軸滾動用以傳送一基板；以及第一導正組件，設於所述多個滾軸的其中兩個滾軸之間，該第一導正組件具有與該承載平面相交的兩個傾斜部，所述兩個傾斜部相對並分別朝相反方向傾斜，所述兩個傾斜部各具有高於該承載平面的一第一端以及低於該承載平面的一第二端，所述兩個傾斜部的第一端之間的距離大於所述兩個傾斜部的第二端之間的距離。
2. 如權利要求1所述的傳送裝置，其中所述兩個傾斜部與該承載平面相交處之間的距離大約等於該基板的寬度。
3. 如權利要求1所述的傳送裝置，其中該傳送裝置還包括 一底座，其中所述多個滾軸以及該第一導正組件設置於該底座上； 一升降器，設置於該底座上；以及一承載器，設置於該升降器上，用以承載該基板。
4. 如權利要求1所述的傳送裝置，其中該傳送裝置還包括 第二導正組件，設置於所述多個滾軸的其中另兩個滾軸之間，該第二導正組件包括與該承載平面相交的另兩個傾斜部，所述另兩個傾斜部相對並分 別朝相反方向傾斜，所述另兩個傾斜部各具有高於該承載平面的一第一端以 及低於該承載平面的一第二端，所述另兩個傾斜部的第一端之間的距離大於 所述另兩個傾斜部的第二端之間的距離；其中所述另兩個傾斜部與該承載平面相交處之間的距離大約等於該基 板的寬度。
5. 如權利要求4所述的傳送裝置，其中該第一導正組件與該第二導正組 件之間的距離小於該基板的長度。
6. 如權利要求4所述的傳送裝置，其中所述多個滾軸實質上平行排列， 所述多個滾軸的軸心方向定義為第一方向，所述滾軸滾動時沿著垂直於該第 一方向的第二方向傳送該基板，該第一導正組件與該第二導正組件沿著該第 二方向排列。
7. 如權利要求1所述的傳送裝置，其中各傾斜部與該承載平面的夾角大於等於45度。
8. 如權利要求1所述的傳送裝置，其中各傾斜部與該承載平面的夾角介 於45度與60度之間。
9. 如權利要求3所述的傳送裝置，其中該第一導正組件包括 一滑軌，設置於該底座上；兩個支架，設置於該滑軌上，並可在該滑軌中移動，其中所述兩個傾斜 部分別設置於所述兩個支架上。
10. 如權利要求9所述的傳送裝置，其中所述兩個支架各沿著該承載平 面的法線方向於第一位置與第二位置之間往復移動，其中當所述兩個支架位 於該第一位置時，所述兩個支架與該底座分別位於該承載平面的兩側。
11. 如權利要求9所述的傳送裝置，其中所述兩個支架各沿著該承載平 面的法線方向於第一位置與第二位置之間往復移動，其中當所述兩個支架位 於該第二位置時，所述兩個支架與該底座位於該承載平面的同一側。
12. 如權利要求9所述的傳送裝置，其中所述兩個支架還包含一支架升 降裝置。
13. 如權利要求1所述的傳送裝置，其中所述兩個傾斜部由工程塑料製成。
14. 一種導正結構，用以裝設於一傳送裝置中，該傳送裝置具有一底座 以及位於該底座上方的一承載平面，該導正結構包括一第一導正組件，包括兩個第一支架，設置於該底座上以及該傳送裝置的多個滾軸的其中 兩個滾軸之間；與兩個第一傾斜部，分別設置於所述兩個第一支架上，所述兩個第一 傾斜部與該承載平面相交，其中所述兩個第一傾斜部與該承載平面相交 處之間的距離大約等於一基板的寬度，所述兩個第一傾斜部相對並分別 朝相反方向傾斜，所述第一傾斜部各具有高於該承載平面的第一端以及 低於該承載平面的第二端，所述兩個第一傾斜部的第一端之間的距離大 於所述兩個第一傾斜部的第二端之間的距離；以及 一第二導正組件，包括兩個第二支架，設置於該底座上以及所述多個滾軸的其中另兩個滾軸之間；與兩個第二傾斜部，分別設置於所述兩個第二支架上，所述兩個第二 傾斜部與該承載平面相交，其中所述兩個第二傾斜部與該承載平面相交 處之間的距離大約等於一基板的寬度，所述兩個第二傾斜部相對並分別 朝相反方向傾斜，所述第二傾斜部各具有高於該承載平面的第一端以及 低於該承載平面的第二端，所述兩個第二傾斜部的第一端之間的距離大 於所述兩個第二傾斜部的第二端之間的距離。
15. 如權利要求14所述的導正結構，其中所述兩個第一傾斜部與該承載 平面的夾角大於等於45度。
16. 如權利要求14所述的導正結構，其中所述兩個第一傾斜部與該承載 平面的夾角介於45度與60度之間。
17. 如權利要求14所述的導正結構，其中該第一導正組件還包括一滑 軌，該滑軌設置於該底座上，所述兩個第一支架可滑動地設置於該滑軌上。
18. 如權利要求14所述的導正結構，其中所述兩個第一傾斜部由工程塑 料製成。
19. 一種傳送及導正基板的方法，由一傳送裝置來執行，該傳送裝置包 括多個滾軸以及介於所述多個滾軸其中兩個滾軸之間的第一導正組件，該第 --導正組件包括兩個傾斜部，所述傾斜部突出於由所述多個滾軸構成的一承 載平面，所述兩個傾斜部相對並分別朝第一方向以及與該第一方向相反的第 二方向傾斜，該第一方向以及該第二方向與所述多個滾軸的軸心方向平行，該方法包括如下步驟將一基板由所述兩個傾斜部上方沿著該承載平面的法線方向向下移動 至所述多個滾軸上；以及滾動所述多個滾軸，使得該傳送裝置沿著垂直於該第一方向的第三方向 傳送該基板。
20. 如權利要求19所述的方法，其中該傳送裝置還包括第二導正組件， 該第二導正組件設置於所述多個滾軸的其中另兩個滾軸之間，該第二導正組 件包括另兩個傾斜部，所述另兩個傾斜部相對並分別朝相反方向傾斜，其中 該第一導正組件與該第二導正組件之間的距離小於該基板的長度，其中該基板向下移動的步驟為將該基板由所述兩個傾斜部上方和所述另兩個傾斜部上方沿著該承載 平面的法線方向向下移動至所述多個滾軸上，以導正該基板。
21. 如權利要求19所述的方法，其中該方法還包括調整所述兩個傾斜部之間的距離，使得所述兩個傾斜部與該承載平面相 交處之間的距離大約等於該基板的寬度。
22. 如權利要求19所述的方法，其中所述兩個傾斜部由工程塑料製成。
23. 如權利要求19所述的方法，其中各傾斜部與該承載平面的夾角大於 等於45度。
24. 如權利要求19所述的方法，其中各傾斜部與該承載平面的夾角介於 45度與60度之間。
全文摘要
本發明涉及一種傳送裝置、導正結構、傳送及導正基板的方法，該傳送裝置包括多個滾軸以及導正組件。多個滾軸構成一承載平面，多個滾軸滾動用以傳送基板。導正組件介於多個滾軸其中的兩個滾軸之間，導正組件具有兩個與該承載平面相交的傾斜部，所述傾斜部相對並分別朝相反方向傾斜。前述兩個傾斜部各具有高於該承載平面的第一端以及低於該承載平面的第二端，其中第一傾斜部的第一端與第二傾斜部的第一端之間的距離大於第一傾斜部的第二端與第二傾斜部的第二端之間的距離。該裝置可於基板下放過程的同時導正基板，縮短製造時間，避免產值損失，此外大幅度縮減成本並有效減少後續維修成本，且導正效果良好，適用現有機臺規格。
文檔編號B65G47/24GK101234702SQ20081008321
公開日2008年8月6日 申請日期2008年3月4日 優先權日2008年3月4日
發明者何銘祥, 林集祥, 詹景翔 申請人:友達光電股份有限公司