向磁碟流動的潤滑劑蒸汽以在磁碟上形成潤滑劑塗層基本防止在流動路徑表面上凝結的...的製作方法

2023-09-14 23:56:35 3

專利名稱：向磁碟流動的潤滑劑蒸汽以在磁碟上形成潤滑劑塗層基本防止在流動路徑表面上凝結的 ...的製作方法
技術領域：
本發明主要涉及一種應用潤滑劑蒸汽於硬磁碟以在磁碟上形成潤滑劑塗 層的方法和裝置，更具體地，涉及一種方法和裝置，其中蒸汽室表面維持在不 同溫度以防止大量的潤滑劑蒸汽凝聚在其中一個表面上。
背景技術：
Hughes等人的美國專利6,183,831 (在此結合作為參考)，公開了一種通 過在真空腔室中應用蒸汽形式的潤滑劑蒸汽(優選地美國專利5， 776， 577 中公開的全氟聚醚油(PFPE) ， g卩，氣態的，用潤滑劑薄膜塗覆硬磁碟，在 磁碟上形成磁性層的方法和裝置。磁碟通過傳送葉片順序地裝載在蒸汽的流動 路徑中，該傳送葉片從來回在真空腔室中傳送的盒中提升磁碟。該蒸汽通過對 放置在真空腔室中的液態潤滑劑源提供充分的熱量而獲得。生成的蒸汽經由蒸 汽室流動，通過氣體擴散板後入射到磁碟上。單個石英晶體微天平(QCM) 包含在用於監控由液體潤滑劑源蒸發的潤滑劑蒸汽的流速的計量中，以控制供 應給液體潤滑劑源的熱量並因此控制液體潤滑劑的溫度和由液體潤滑劑源蒸 發的氣態潤滑劑的質量流速比。Hughes等人的專利中描述的前述配置達到了滿意效果，但還可改進。已 經發現流經蒸汽室的潤滑劑蒸汽具有在蒸汽室的表面上凝結的趨勢。因此，存 在凝結的蒸汽在蒸汽室表面上聚集的趨勢。蒸汽室表面上聚集的凝結蒸汽可能 對硬磁碟上的潤滑劑塗層的形成產生不利影響。因此，表面必須不斷地清洗， 這導致應用在硬磁碟上塗層的生產線的停止。另外，蒸汽室表面上的凝結蒸汽 的聚集是對形成蒸汽的源材料的浪費。因此，本發明的目的是提供一種用於有效地將蒸汽潤滑劑應用於硬磁碟的 新型且改進的方法和裝置。本發明的另一目的是提供一種用於將蒸汽潤滑劑應用於硬磁碟的新型且改進的方法和裝置，使得防止蒸汽凝結在定位於蒸汽潤滑劑源和腔室之間的蒸 汽室的表面上，其中在利用蒸汽潤滑劑塗覆期間硬磁碟定位在該腔室中。本發明的另外目的在於提供一種將蒸汽潤滑劑應用於硬磁碟上的新型且 改進的方法和裝置，使得減少將蒸汽潤滑劑應用於硬磁碟的生產線的停工時 間。本發明的再一 目的在於提供一種將蒸汽潤滑劑應用於硬磁碟上的新型且 改進的方法和裝置，使得減少蒸發形成蒸汽潤滑劑的浪費的液體潤滑劑量。發明內容本發明的一方面涉及用於將潤滑劑塗層應用於選擇性固定在真空腔室的 固定器上的適當位置的磁碟的裝置，同時可形成潤滑劑塗層的蒸汽應用於其中 一個磁碟，而磁碟保持在固定器上的適當位置。裝置包括貯存液體的貯液器， 該液體可被蒸發而形成蒸汽，以及用於將貯液器中的液體加熱而形成潤滑劑蒸 汽的加熱器。提供從貯液器流動到固定器上的磁碟的潤滑劑蒸汽的流動路徑。 流動路徑包括(1)在貯液器和磁碟之間的有孔擴散體，而該磁碟位於流動路徑中，以及(2)在貯液器和有孔擴散體之間的蒸汽腔室。該蒸汽腔室包括(1) 沿與貯液器和磁碟之間的直線路徑相同方向延伸的第一壁，而磁碟位於該流動 路徑中的適當位置，以及(2)用於提供加熱器和貯液器之間的熱傳導路徑的 第二壁。流動路徑設置為在真空條件下且貯液器中的液體被加熱成潤滑劑氣 體。控制器設置為有效地控制第一壁相對於第二壁的溫度使得第一壁和第二壁 之間存在溫度差。該溫度差以防止在第一壁上的大量凝結。第一壁和第二壁優選地設置為使得在第一壁和第二壁之間存在相對高的 熱阻抗。第一壁和第二壁優選地包含在具有相對高的熱傳導率的單獨結構中。相對 高的熱阻抗包括在單獨結構中的第一壁和第二壁之間的凹口 ，使得在第一和第 二壁之間存在單獨結構的相對小的容積。優選地，控制器包括分別用於第一和第二壁的第一和第二溫度傳感器，以 及用於加熱第一壁的加熱器。用於第一壁的加熱器設置為對第一和第二溫度傳 感器響應，而用於加熱貯液器中液體的加熱器對第二溫度傳感器響應。本發明的另一方面涉及潤滑劑蒸汽的流動路徑中充分防止在表面上凝結的方法，其中潤滑劑蒸汽將潤滑劑塗層應用於選擇性保持在真空腔室的固定器 上適當位置的磁碟。該方法結合包括貯存可被蒸發以形成蒸汽的液體的貯液器 和用於將該貯液器中的液體加熱成潤滑劑蒸汽的加熱器的裝置一起實施。潤滑 劑蒸汽的流動的流動路徑是從貯液器到腔室，其中在磁碟的塗覆期間所有硬磁 盤都在流動路徑中。該流動路徑包括(1)在貯液器和磁碟之間的有孔擴散體， 且該磁碟在該流動路徑中，以及(2)在該貯液器和有孔擴散體之間的蒸汽腔 室。蒸汽腔室包括(1)與貯液器和磁碟之間的直線路徑相同方向延伸的第一 壁，而磁碟在該流動路徑中的適當位置，以及(2)用於在加熱器和貯液器之 間提供熱傳導路徑的第二壁。流動路徑設置為在真空條件下且貯液器中的液體 被加熱成潤滑劑蒸汽。該方法包括控制第一壁相對於第二壁的溫度通過(1) 感測第一和第二壁的溫度，(2)基於第一壁的感測溫度來控制第二加熱器， 以及(3)基於第二壁的感測溫度來控制第一加熱器。本發明的以上和進一步其他目的、特徵和優點在本發明的具體實施方式
的 以下詳細描述中，尤其結合附圖將變得顯而易見。


圖1是根據本發明的蒸汽源的優選的實施方式的部分截面的俯視圖，結合 示意性示出保持待塗覆的硬磁碟的腔室；圖2是從線2-2提取的圖1所示的結構的部分截面的局部側視圖； 圖3是從線3-3提取的圖1所示的結構的部分截面的局部側視圖； 圖4是從線4-4提取的圖1所示的結構的主視圖； 圖5是用於圖1-4的蒸汽源的表面溫度的反饋控制線路視圖。
具體實施方式
現參照附圖，附圖包括潤滑劑(常稱為潤滑油)源IO和包括真空腔室14 的外殼12，該真空腔室通過適宜的真空泵(未示出)維持在適宜真空壓力。 定位於腔室14中的是用於硬磁碟18的保持器16，該硬磁碟包括由鉻層覆蓋 的襯底層，依次地，鉻層由磁性層覆蓋，如前述專利公開。保持器16順序地 從依次從真空腔室14移入和移出的盒中提升不同的硬磁碟，使得磁碟放入沉 積在磁碟上的潤滑劑蒸汽的路徑中圖l-3所示的位置。潤滑劑優選地為PFPE。源10包括維持在大氣壓力的大氣部分20，以及真空部分22，其通過真空 部分22和腔室14之間常常存在的氣體流動路徑而維持在大約與腔室14的真 空相同的真空壓力下。液體潤滑劑貯液器24，其通過外殼25支撐，在真空部 分22中作為(1)真空容積26，(2)選擇性打開和關閉擴散閘門28和(3) 擴散板30。蒸汽容積26是具有與平面34和36垂直延伸的柱狀側壁32的腔，平面 34和36彼此平行並限定真空容積的邊界。貯液器24的一個面佔據面34的大 部分，以及擴散閘門28的第一平面(圖4)佔據面36的大部分。擴散閘門28 的第二平面，與擴散閘門的第一面平行，鄰接擴散板30的第一平面。如圖2和圖3所示，外殼25設置為使得液體潤滑劑貯液器24包括三個層 疊部分37、 38和39，其中每個包括通過底41和凸緣或唇緣43形成的潤滑劑 池。液體潤滑劑裝入37、 38和39每個部分的池中，同時在源連接至外殼12 之前，源10處於大氣壓力下。源10的鄰接壁和罩12之間的真空密封(即， 墊圈)48 (圖1-4)有助於維持真空腔室14和源10的真空部分22中的真空。貯液器24中的液體潤滑劑通過源10的空氣部分20中的電阻加熱器線圈 50加熱成蒸汽。蒸發的潤滑劑從貯液器24流入蒸汽容積26，從而通過打開的 擴散閘門28和擴散板30流到硬磁碟18和保持器16，同時該保持器將硬磁碟 從盒提升到圖1-3中所示的位置，該位置位於潤滑劑蒸汽通過閘門28和板30 流動的路徑中。當擴散閘門28關閉時，由於其發生在源IO操作的大量空閒或停工周期期 間，同時沒有任何硬磁碟被處理，所以，擴散閘門和擴散板30中沒有孔對齊 從而蒸發的潤滑劑快速填充蒸汽容積26。由於蒸發的潤滑劑填充蒸汽容積26， 當擴散閘門28關閉時，儘管通過加熱器線圈24施加給貯液器24中的液體潤 滑劑的熱量保持大致恆定，但蒸汽容積中的壓力大幅增加而使得額外的蒸汽不 從貯液器24中蒸發。因此，在大量的閒置或停工周期中，從貯液器24蒸發的 多餘潤滑劑為最小量。通過向貯液器24中的液體不斷提供熱量，避免了由於 貯液器24中的液體潤滑劑的開始和停止加熱過程而可能發生的從貯液器24 的液體蒸發的不穩定性的趨勢。擴散板30包括多列密置的、較小的圓形開口 (未示出)，這些開口對齊， 並且在擴散閘門關閉時它們與擴散閘門28中的相應開口 52 (圖4)對齊。在擴散板30的開口和閘門28的開口 52每個之間存在一一對應。當擴散閘門28 打開時，擴散閘門切換到適當位置使得開口 52定位在固定的擴散板30的多列 小圓形開口之間，從而為從貯液器24蒸發的潤滑劑蒸汽提供通過擴散板30 的開口的流動路徑。由於電機54驅動旋轉連杆56 (linkage)，擴散閘門28 選擇性打開和關閉蒸汽從貯液器24到硬磁碟18的流動路徑。電機54通過變 速箱58而連接至連杆56 (linkage)，該變速貯液器通過源10的外殼62上的 凸緣60支撐；連杆56 (linkage)連接在擴散閘門28和變速貯液器58之間使 得閘門轉動數個角度以響應電機54的軸的旋轉。擴散板30及其開口，以及閘 門28及其開口 52以及連杆56 (linkage)並使得擴散板30中的所有開口在閘 門打開和關閉時通過閘門28和開口 52而同時被解除閉塞或同時阻擋。因此， 應用到盤18的磁性層上的潤滑劑塗層具有基本均勻的厚度。壓電晶體70和72 (都定位在外殼71中)選擇性監控通過蒸汽容積26流 動的蒸汽潤滑劑的沉積速率，從而在第一時間間隔期間，排除晶體72外，晶 體70耦接到蒸汽容積26，以及在第二時間間隔期間，排除晶體70外，晶體 72耦接到蒸汽容積。在第三時間間隔期間，晶體70或晶體72都不耦接到蒸 汽容積。在第一和第二時間間隔期間，蒸汽容積26中的潤滑劑蒸汽顆粒入射 在晶體70和72上。在第三時間間隔期間，沒有蒸汽潤滑劑顆粒入射在晶體上。閘門73選擇性夾在在容積26和晶體70和72之間的流體流動路徑屮以實 現這些效果。閘門73減少在停工或空閒周期中晶體70和72暴露於潤滑劑蒸 汽的時間，通過延長晶體的使用壽命來減少維護成本。多個沉積速率監控晶體 70和72的應用，而不是單一沉積速率監控晶體，有助於實現相同的有利效果。這裡，蒸汽容積26的側壁32包括沿貯液器24和擴散閘門28之間的側壁 彼此分離的對齊的開口 74和76。開口 74和76分別與具有分別緊鄰壓電晶體 70和72的出口的柱狀通道78和80為相連通關係，該壓電晶體優選地為可從 Beaverton Oregon的Maxteck有限公司購買的QCM類型。旋轉閘門73為通過 軸84驅動的可轉動盤形式，該軸順次通過氣動電機86和聯接88 (linkage) 驅動，因此閘門73選擇地位於通道78和80和晶體70和72的出口之間。電 機86在大氣中並通過連接至凸緣60的外殼89支撐。晶體70和72、閘門73 和軸84以及聯接88 (linkage)的一部分位於腔室14的真空中，而電機86、 外殼89和剩餘的聯接88 (linkage)位於大氣壓力下。在腔室14已經工作一段時間後，用於晶體70和72的外殼逐漸地加熱到 工藝腔室14的溫度。然而，通過晶體70和72檢測的，以及通過由振蕩器122 (圖5)得到的頻率表示的，如頻率通過頻率檢測器124檢測，沉積速率的初 始校準，通常在生產循環的開始時完成。同樣地，當圖l-4的全部記錄在動態 的熱穩定態時，晶體70或72的共振頻率不表示全部生產循環期間的真實沉積 速率。為了降低對蒸氣流速這種可能的難以控制性，晶體70和72的溫度通過控 制外殼71的溫度而被有效地控制為恆定。這裡，冷卻裝置包括在外殼71中以 維持晶體70和72在恆定溫度從而從晶體70和72得出的讀數總是參考流體冷 卻劑(適宜的空氣或水)的恆定溫度。冷卻劑流體通過管子75、 77和79流入 和流出外殼71，使得管子77和79中的冷卻劑流體分別為晶體70和72提供 主要冷卻。通過管子79流動的受熱的冷卻劑流回熱交換器81，其中冷卻劑被 冷卻並再循環回到管子77和79。通過熱交換器81對再循環的冷卻劑流體施 加的冷卻量通過溫度探測器83來控制，該溫度探測器嵌入在外殼71屮以有效 監控晶體70和72的溫度。檢測器83通過適宜的電纜(未示出)電氣連接至 該熱交換器。蒸汽容積26的柱狀側壁32是加熱部件90的一部分，該塊具有高的熱傳 導率，優選地由銅或其他相對便宜、高熱傳導率金屬製成，其有助於減少在部 件90上的蒸汽潤滑劑凝結。由於部件90由高熱傳導率材料製成，部件90的 每個壁的全部長度處於基本均勻的溫度從而最小化了部件90的相同壁表面上 蒸汽的差異凝結。部件卯包括圓形底座92，其為從電阻熱擋板50到貯液器24中的液體提 供高熱傳導率路徑。部件90包括熱扼流器94。熱扼流器94與部件90的其他 部分相比是具有高熱阻抗的區域的一部分。熱扼流器94是在底座92和圓形凸 緣96之間的圓形凹槽102，其內周界形成蒸汽容積26的柱狀側壁32從而使 部件90具有兩個加熱區， 一個通過底座92形成，另一個通過凸緣96形成。 部件90，結合電阻加熱元件和溫度檢測裝置，使得蒸汽容積26的側壁32在 預定溫度，諸如5。C，高於為從電阻熱擋板50向貯液器24中的液體提供高的 熱傳導率路徑的部件90的底座92的溫度。由此，最小化蒸汽容積26中的潤 滑劑蒸汽到側壁32上的凝結，從而提供源10的更有效操作。圓形底座92具有平面的圓形表面98，該表面在源10的真空部分22中並 毗鄰用於貯液器24的外殼25的平面的圓形表面。表面98為垂直於從貯液器 24到擴散閘門28的表面36的直線路徑的平面中，其中環形凸緣或環96從擴 散閘門28的表面36延伸。底座92包括平行於表面98的平面的圓形表面100。 電阻熱擋板50包括毗鄰表面100的平面圓形表面以有助於提供電阻熱擋板和 貯液器24之間的高熱傳導率路徑。底座90包括表面100中的深環形凹槽104，其處於源10的大氣部分20 中。凹槽102從表面100基本延伸到表面102以在基座92和凸緣94之間形成 窄頸(其構成熱扼流器94)，以使底座92和凸緣94維持在不同溫度。通過 在緊靠壁32的凸緣94中嵌入四個相互垂直的電阻熱擋板111-114，而提供有 效的溫度控制，等等。在圖2中僅示出彼此直徑上對置的熱擋板111-113。電阻溫度檢測器116和118分別嵌入在部件90的底座92和凸緣94中， 以分別監控底座和凸緣的溫度。因此，溫度檢測器116和118有效地導出表示 (1)貯液器24中的液體潤滑劑和(2)蒸汽容積26的壁32的溫度響應。圖 5中示意性示出的反饋控制器類型響應電阻溫度檢測器116和118，以及蒸汽 容積26中的潤滑劑蒸汽流動速率的指示，如通過對壓電晶體70或72工作中 的一個的檢測，來控制底座92和凸緣94的溫度。'現參照圖5對反饋控制器的示意圖，其響應根據通過電阻溫度檢測器116 和118檢測的溫度和通過晶體70或72其中之-一檢測的質量流速而導出的信號 來控制提供給電阻熱擋板50的電流，該電阻熱擋板50毗鄰部件90的底座92 並與部件90的凸緣94中的電阻熱擋板111-114串聯連接。每次晶體78或80 其中之一是工作的，從而工作的晶體通過開關連接到振蕩器122，來控制振蕩 器頻率。開關120的接觸位置與閘門73的位置同步，使得(1)響應閘門73 阻擋晶體72，開關120將晶體70連接到振蕩器122的輸入，(2)響應閘門 73阻擋晶體70，開關120將晶體72連接到振蕩器122的輸入，以及(3)響 應閘門73阻擋晶體70和72兩者，開關120的位置不改變。振蕩器122的頻率通過由開關120連接到該振蕩器的晶體70或72的共振 頻率而確定。因此，振蕩器122的頻率通常指示通過晶體70或72中起作用的 一個檢測的潤滑劑蒸汽的質量流速，如通過快門73的位置而確定。頻率檢測 器124響應通過振蕩器122產生的頻率，來導出指示通過振蕩器122導出的頻率的DC電壓。函數發生器126響應由檢測器124導出的DC電壓來導出指示 通過晶體70或72中起作用的一個導出的潤滑劑蒸汽的質量流速比的電壓。將函數發生器126的輸出信號與減法器130中的質量流速比設定點信號源 128的輸出信號的幅度比較，該減法器導出表示蒸汽容積26中的蒸汽潤滑劑 的預期質量流速比和容積26中的蒸汽潤滑劑的實際流速比之間的偏差的誤差 信號。減法器130的誤差輸出信號應用於函數發生器132，其將質量流速比誤 差信號轉換為貯液器24的溫度的誤差信號，即，對控制供應給電阻熱擋板50 的電流值有影響的誤差信號。溫度控制器134，對於提供給龜阻熱擋板50的電流值，響應(1)函數發 生器132的輸出信號，(2)從貯液器溫度設定點源136導出的信號以及(3) 通過電阻溫度檢測器116感測的溫度。實際上，溫度控制器134響應由電阻溫 度檢測器116和設定點源136產生的信號，以確定部件90的底座92的實際和 預期溫度之間的差來導出溫度誤差信號。溫度誤差信號通過來自函數發生器 132的信號而修改以補償流經容積22的蒸汽潤滑劑的質量流速比的誤差。溫 度控制器134響應修改的誤差信號來控制流經電阻熱擋板50的電流值，其反 過來控制底座92的溫度。溫度控制器138，對於流經凸緣94中的串聯連接的電阻熱擋板111-114 的電流值，響應根據通過分別在部件卯的底座92和凸緣94中的電阻溫度檢 測器116和118檢測的溫度而導出的信號。另外，溫度控制器138響應(1) 源136為貯液器24的溫度導出的設定點信號，以及(2)源140為凸緣94和 底座92之間的預期溫度差而導出的設定點信號。實際上，溫度控制器138通 過響應根據電阻溫度檢測器116和118的電阻變化導出的信號來確定底座92 和凸緣94之間的溫度差。將底座92和凸緣94之間的溫度差與如通過設定點 源140導出的底座和凸緣之間的預期溫度差比較，來導出指示通過溫度控制器 138提供給電阻熱擋板111-114的電流值的變化的誤差信號。該誤差信號結合 貯液器溫度設定點源136的輸出信號來控制通過溫度控制器138提供給電阻熱 擋板111-114的實際電流值。雖然已經描述並說明了本發明的特定實施方式，但在不偏離由附屬權利要 求限定的本發明的實際精神和範圍下，根據特別示出並描述的說明的實施方式 的詳細內容進行變化是顯而易見的。
權利要求
1.一種裝置，其用於將潤滑劑塗層應用於選擇性固定到真空腔室的保持器上的適當位置的磁碟上，同時可形成潤滑劑塗層的蒸汽被應用於其中一個磁碟上，同時該磁碟固定在所述保持器的適當位置，該裝置包括貯存可蒸發而形成蒸汽的液體的貯液器；將所述貯液器中的液體加熱成潤滑劑蒸汽的加熱器；所述潤滑劑蒸汽從所述貯液器到所述保持器上的磁碟的流動路徑；該流動路徑包括(a)在所述貯液器和所述磁碟之間的有孔擴散體同時該磁碟處在該流動路徑中；以及(b)在所述貯液器和所述有孔擴散體之間的蒸汽腔室，該蒸汽腔室包括(i)沿與所述貯液器和所述磁碟之間的直線路徑相同方向延伸的第一壁同時該磁碟處在所述流動路徑中的適當位置以及(ii)用於在所述加熱器和所述貯液器之間提供熱傳導路徑的第二壁；所述流動路徑設置在真空條件下同時所述貯液器中的液體加熱成潤滑劑蒸汽；以及用於有效控制所述第一壁相對於所述第二壁的溫度的控制器設置使得所述第一壁和第二壁之間存在溫度差，該溫度差從而避免在所述第一壁上的大量凝結。
2. 根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於，所述第一壁和第二壁設置 為在所述第一壁和第二壁之間存在相對高的熱阻抗。
3. 根據權利要求2所述的裝置，其特徵在於，所述第一壁和第二壁包括 在具有相對高的熱傳導率的單獨結構中，所述相對高的熱阻抗包括在單獨結構 中的第一壁和第二壁之間的凹口，使得在第一和第二壁之間的單獨結構存在相 對小的容積。
4. 根據權利要求3所述的裝置，其特徵在於，所述單獨結構由銅製成。
5. 根據權利要求1所述的裝置，其特徵在於，所述控制器包括分別用於 所述第一壁和第二壁的第一溫度傳感器和第二溫度傳感器，以及設置為響應所 述第一溫度傳感器和第二溫度傳感器來加熱所述第一壁的加熱器，該加熱器響 應所述第二溫度傳感器而加熱所述貯液器中的液體。
6. —種裝置，用於將潤滑劑塗層應用於選擇性固定到真空腔室的保持器 上的適當位置的磁碟上，同時可形成潤滑劑塗層的蒸汽被應用於其中一個磁碟上，同時該磁碟固定在所述保持器的適當位置，該裝置包括 貯存可蒸發而形成蒸汽的液體的貯液器； 加熱所述貯液器中的液體成潤滑劑蒸汽的第一加熱器； 所述潤滑劑蒸汽從所述貯液器到所述保持器上的磁碟的流動路徑；該流動 路徑包括(a)在所述貯液器和所述磁碟之間的有孔擴散體同時該磁碟處在該 流動路徑中，以及(b)在所述貯液器和所述有孔擴散體之間的蒸汽腔室，該 蒸汽腔室包括(i)沿與所述貯液器和所述磁碟之間的直線路徑相同方向延伸 的第一壁同時該磁碟處在所述流動路徑中的適當位置以及(ii)用於在所述加 熱器和所述貯液器之間提供熱傳導路徑的第二壁；該流動路徑設置在真空條件 下同時所述貯液器中的液體加熱成潤滑劑蒸汽；以及用於有效控制所述第一壁相對於所述第二壁的溫度的控制器設置，該控制 器包括(a)用於分別感測所述第一壁和第二壁的溫度的第一傳感器和第二傳 感器，以及(b)用於第一壁的第一加熱器和第二加熱器，所述第一加熱器設 置為響應所述第二傳感器以及所述第二加熱器設置為響應所述第一傳感器和 第二傳感器。
7. 根據權利要求'6所述的裝置，其特徵在於，所述第一壁和第二壁設置 為使得在所述第一壁和第二壁之間存在相對高的熱阻抗。
8. 根據權利要求7所述的裝置，其特徵在於，所述第一壁和第二壁包括 在具有高熱傳導率的單獨結構中，所述相對高的熱阻抗包括在單獨結構中的第 一壁和第二壁之間的凹口使得在第一和第二壁之間存在單獨結構的相對小的容積。
9. 根據權利要求8所述的裝置，其特徵在於，所述單獨結構由銅製成。
10. —種充分防止在潤滑劑蒸汽的流動路徑中的表面上凝結的方法，該潤 滑劑蒸汽將潤滑劑塗層應用於固定在真空腔室的保持器上的適當位置的磁碟， 該方法結合一種裝置進行實施，其中該裝置包括貯存可蒸發而形成蒸汽的液體的貯液器； 將所述貯液器中的液體加熱成潤滑劑蒸汽的加熱器；所述潤滑劑蒸汽從所述貯液器到所述保持器上的磁碟的流動路徑；該流動 路徑包括(a)在所述貯液器和所述磁碟之間的有孔擴散體同時該磁碟處在該 流動路徑中；以及(b)在所述貯液器和所述有孔擴散體之間的蒸汽腔室，該蒸汽腔室包括(i)沿與所述貯液器和所述磁碟之間的直線路徑相同方向延伸 的第一壁同時該磁碟處在流動路徑中的適當位置以及(ii)用於在所述加熱器 和所述貯液器之間提供熱傳導路徑的第二壁；所述流動路徑設置在真空條件下 同時所述貯液器中的液體加熱成潤滑劑蒸汽；所述方法包括控制所述第一壁相對於第二壁的溫度使得在所述第一壁和 第二壁之間存在溫度差，所述溫度差防止在所述流動路徑表面上的大量凝結。
11. 一種結合潤滑劑塗層應用於選擇性固定在真空腔室的保持器上的適當 位置的磁碟而執行的方法，同時可形成潤滑劑塗層的蒸汽應用於其中一個磁 盤，且該磁碟固定在所述保持器的適當位置，該方法在一種裝置上執行，其中 該裝置包括貯存可蒸發而形成蒸汽的液體的貯液器；將所述貯液器中的液體加熱成潤滑劑蒸汽的第一加熱器；以及 所述潤滑劑蒸汽從所述貯液器到所述保持器上的磁碟的流動路徑；所述流 動路徑包括(a)在所述貯液器和所述磁碟之間的有孔擴散體同時該磁碟處在 該流動路徑中；以及(b)在所述貯液器和所述有孔擴散體之間的蒸汽腔室， 該蒸汽腔室包括(i)沿與所述貯液器和所述磁碟之間的直線路徑相同方向延 伸的第一壁同時該磁碟處在流動路徑中的適當位置以及(ii)用於在所述加熱 器和所述貯液器之間提供熱傳導路徑的第二壁；所述流動路徑設置在真空條件 下同時所述貯液器中的液體加熱成潤滑劑蒸汽；所述方法包括控制所述第一壁相對於第二壁的溫度，通過(a)感測所 述第一壁和第二壁的溫度差，(b)基於所述第一壁和第二壁的感測溫度來控 制用於所述第一壁的第二加熱器，以及(c)基於所述第二壁的感測溫度來控 制所述第一加熱器。
全文摘要
本發明提供了一種防止在潤滑劑蒸汽的流動路徑中的表面上凝結的方法和裝置，其中潤滑劑蒸汽將潤滑劑塗層應用於流動路徑中的磁碟。蒸汽通過加熱在貯液器中的液體而得到。該流動路徑包括貯液器和有孔擴散體之間的蒸汽腔室。蒸汽腔室具有沿與所述貯液器和所述磁碟之間的直線路徑相同方向延伸的第一壁和在所述加熱器和所述貯液器之間提供熱傳導路徑的第二壁。控制所述第一壁和第二壁的相對溫度以防止在流動路徑的表面上的大量凝結。
文檔編號G11B5/84GK101276603SQ20081008980
公開日2008年10月1日 申請日期2008年3月28日 優先權日2007年3月29日
發明者卡爾·彼得森, 肯尼思·埃姆斯 申請人:英特維公司