半導體製造裝置用的控制器模塊的製作方法
2023-09-19 01:42:15 2
專利名稱：半導體製造裝置用的控制器模塊的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種製造半導體元件的裝置，且特指半導體元件製造裝置用的控制器模塊，其中多個控制器裝置於一個控制箱中，該控制箱可在一移動式的控制箱支持器上移動，以利該控制器的保養。
圖1是一個典型半導體製造裝置的透視圖。在圖1中，該典型的半導體製造裝置具有一主要反應室10和多個控制器21、22和23。該等控制器21、22和23可裝置於多層，且各自依附於該等半導體製造裝置，或可裝置在該等半導體製造裝置的周圍，以方便該等半導體製造裝置的保養。然而，若控制器分散於該等半導體裝置的周圍，操作者需要四處移動，以操作分散於該等半導體裝置周圍的控制器，這樣效率不高。此外，該半導體製造裝置的安裝佔據一定的空間，且在旁邊更需要一空間以保養該等控制器。再者，若該等控制器以層狀結構裝置於該半導體製造裝置，在維修該較低的控制器時，較低的控制器上方的較高控制器要先移開。因此，因為需要額外的工作以保養此控制器，及額外的空間以進行保養工作，半導體製造裝置所需的空間變大。操作該半導體製造裝置的大空間的需求，在半導體製造領域為一項缺點，因為半導體製造裝置尺寸傾向於變大。
因此，需要一種減少該半導體製造裝置佔據空間的方法，及一種有利於該控制器保養的方法。
發明內容
因此，本發明乃針對於一種半導體製造裝置的控制器模塊，其排除現有技術的限制和缺點產生的一個或多個問題。
本發明的一項優點是提供一半導體製造裝置的控制器模塊，其中一個控制箱中具有多個控制器，裝置於一個移動式控制箱支持器上，並在該移動式控制箱支持器上滑動，以利維修和保養。
以下的描述中會提出本發明附加的特色和優點，且部分可從此描述中得知，或由本發明的實行中得知。本發明的目的和其它優點可以由書面的描述、權利要求書以及圖標中所特別指出的構造實現並達到。
為了達到依照本發明目的的這些優點和其它優點，如實施和大致描述，用於半導體製造裝置的控制器模塊，其中該控制器模塊具有多個控制器，包含一個控制箱，位於該半導體製造裝置之外，其中各個控制器分別裝置於該控制箱之中，和一個移動式控制箱支持器，其中該控制箱位於該控制箱支持器上，且可在該控制箱支持器上滑動。此控制箱支持器包含一滑動裝置，使該控制箱滑動於該控制箱支持器上。此滑動裝置是一線性運動系統，且此線性運動系統包含一導引軌道，和依附於此控制箱底部的一個移動實體。
圖1是一典型半導體製造裝置的透視圖。
圖2是根據本發明的一個用於半導體製造裝置的一控制器模塊。
圖中符號說明10 主要反應室21、22、23 控制器100 控制箱200 控制箱支持器210 輪子220 導引軌道221 移動本體
230 支柱圖2是根據本發明的一個用於半導體製造裝置的一控制器模塊。圖2中，根據本發明的用於半導體製造裝置的控制器模塊，其具有多個控制器、一個控制箱100和一個移動式控制箱支持器200。該多個控制器裝置於該控制箱100中，且分隔為控制箱100中的許多隔間。一滑動盤(未顯示)裝置於各個隔間的一個底部，以利該控制器(未顯示)裝置於該隔間，及使該控制器分離出該隔間。因此，各控制器先被放在該滑動盤，然後該滑動盤滑進該控制箱100，以將該控制器配置於該控制箱100中。該控制器可通過將該滑動盤滑出該控制箱100而脫離該控制箱100。因此，當該等控制器的其中一個需要維修或保養時，此維修和保養的執行可不幹擾其它控制器。
該控制箱支持器200主要具有多個滾動物或輪子210、多個支柱230、一滑動裝置具有兩對導引軌道220和一移動本體221。該多個輪子210裝置於該控制箱支持器200的底部，以移動該控制箱支持器200。該多個支柱230也裝置在該控制箱支持器200的底部，以固定該控制箱支持器200的位置。一線性運動系統用於本發明的滑動裝置。該控制箱100置於該滑動裝置上，之後可前後滑動。如上所述，該滑動裝置具有兩對該導引軌道220，且該移動本體221沿著該導引軌道220直線運動。該直線運動系統的各對，即該導引軌道220和該移動本體221，裝置於該控制箱支持器200的兩側。該移動本體221附加於該控制箱100的底部，且因此該控制箱100可由手動或自動操作而前後移動。因此，當該控制器需要維修或保養工作時，一個操作者可以將該控制箱支持器200移動到適合維修和保養的地方，再進行維修和保養。此外，該維修和保養工作可以容易的對該控制器執行，其通過滑動該控制箱100於該控制箱支持器200之上，而此時該控制箱支持器200則固定在原來裝置處。
如上所述，根據本發明，半導體製造裝置的尺寸可以減小，其通過裝置該多個控制器於該移動式控制箱100，且該維修和保養工作可輕易的施行，其通過將該控制箱100移動到適於進行該需要工作之處。此外，根據本發明，當晶片的尺寸變大時，生產力和生產良率可改善。
本領域技術人員，可在不背離本發明的精神和範圍中，對本發明的製造和應用作不同的修改和變化。因此，此本發明包含請求範圍內所有的改變和變型。
權利要求
1.一種半導體製造裝置用的控制器模塊，其特徵在於，該控制器模塊具有多個控制器，且包含一控制箱，位於該半導體製造裝置之外，其中，該多個控制器中的每個分別裝置於該控制箱中；和一移動式控制箱支持器，其中該控制箱裝載於該控制箱支持器之上，並在該控制箱支持器上滑動。
2.如權利要求1所述的半導體製造裝置用的控制器模塊，其特徵在於，該控制箱支持器包含一滑動裝置，用以使該控制箱在該控制箱支持器上滑動。
3.如權利要求2所述的半導體製造裝置用的控制器模塊，其特徵在於，該滑動裝置是一個線性運動系統。
4.如權利要求3所述的半導體製造裝置用的控制器模塊，其特徵在於，該線性運動系統包含一導引軌道；和一移動本體，依附於該控制箱的一個底部。
全文摘要
一種用於半導體製造裝置的控制器模塊，其中該控制器模塊具有多個控制器，且包含一控制箱，位於該半導體製造裝置之外，其中該多個控制器的各個分別裝置於該控制箱中，和一移動式控制箱支持器，其中該控制箱裝載於該控制箱支持器之上，並在該控制箱支持器上滑動。
文檔編號H01L21/677GK1467789SQ0312083
公開日2004年1月14日 申請日期2003年3月20日 優先權日2002年7月4日
發明者高富珍 申請人:周星工程股份有限公司