具有氣浮平臺的設備的製作方法

2023-09-19 08:36:00 1

專利名稱：具有氣浮平臺的設備的製作方法
技術領域：
本新型有關於ー種機臺設備，且特別是有關於ー種具有氣浮平臺的設備。
背景技術：
氣浮平臺為提供面板エ件(例如液晶面板或太陽能板等半成品エ件)加工時的輸送裝置。氣浮平臺能夠結合在加工機臺設備上以利半成品エ件進行加工作業。請參閱圖IA與圖1B，圖IA為公知的具有氣浮平臺的設備其利用氣壓運送エ件的示意圖；圖IB為圖IA的具有氣浮平臺的設備其利用氣壓將エ件運送經過氣浮框體的交界處的示意圖。如圖IA與圖IB所示，具有氣浮平臺的設備5包含平臺51與至少ー氣浮框體。其 中，平臺51上更包含至少ー進氣ロ 510。所述至少一氣浮框體(例如第一氣浮框體521與第二氣浮框體522)皆具有連通進氣ロ 510的腔室C。其中，第一氣浮框體521與第二氣浮框體522的表面都具有多數個吹氣孔H，且這些吹氣孔H連通進氣ロ 510。因此，當ー氣壓分別從進氣ロ 510注入第一氣浮框體521與第ニ氣浮框體522的腔室C吋，此氣壓便會從吹氣孔H被導出進而形成氣浮力量，使得エ件6被ー驅動器帶動吋，能夠同時利用氣浮力量而懸浮以避免エ件6 (例如面板)的表面直接接觸在第一氣浮框體521與第二氣浮框體522上所導致的表面刮傷的問題。然而，當エ件6被運送到第一氣浮框體521與第二氣浮框體522之間的交界處P吋，由於第一氣浮框體521與第二氣浮框體522的表面為水平，因此從表面的吹氣孔H所導出的氣壓僅朝向第一方向(例如正上方)，使得交界處P的氣浮力量顯得薄弱，以致エ件6被運送經過交界處P時會稍微傾斜(如圖IB所示)，進而影響エ件6於交界處被加工時的問題(例如由於エ件6的傾斜，便容易影響加工業者欲於交界處P對エ件6進行雷射加工或校正作業等的問題)。另外，目前市面的氣浮框體(例如上述一氣浮框體521與第二氣浮框體522)之為陶瓷燒結而成，因此成本較高；並且於長時間後，吹氣孔H處容易因風壓過大而龜裂損壞，使得氣浮效應不如預期，進而影響エ件6被加工時的問題。新型內容本新型提供一種能夠使エ件於氣浮框體上被平穩輸送的具有氣浮平臺的設備。為達上述之目的，本新型提供ー種具有氣浮平臺的設備，包含一平臺，包含一進氣ロ ；以及至少ー氣浮框體，配置在該平臺並具有連通該進氣ロ的一腔室，該氣浮框體包含一第一框斜端、對應該第一框斜端之一第二框斜端以及位於該第一、第二框斜端之間的一本體部，該第一、第二框斜端與該本體部具有一表面以及形成於該表面且連通該腔室的多數個吹氣孔。進ー步，該具有氣浮平臺的設備更包含至少ー個架設件，該氣浮框體更利用該架設件的支撐而配置在該平臺上。進ー步，該些吹氣孔呈對稱狀排列於該表面。[0013]進ー步，該些吹氣孔呈矩陣狀排列於該表面。進ー步，該氣浮框體為立方體結構。進一歩，該具有氣浮平臺的設備更包含ー供氣裝置，該供氣裝置用以供給氣壓至該進氣ロ。進一步,該氣浮框體為一金屬氣浮框體。進ー步，該金屬氣浮框體為鋁製氣浮框體。進一歩，該至少一氣浮框體包含一第一氣浮框體與一第二氣浮框體，該第一氣浮框體的該第二框斜端與該第二氣浮框體的該第一框斜端為彼此相鄰。進ー步，該第一框斜端與該第二框斜端的該表面為ー傾斜表面。進ー步，該本體部的該表面為ー水平表面。本實用新型達到的技術效果如下氣浮框體包含第一框斜端以及對應此第一框斜端的第二框斜端，因此當多個氣浮框體配置在平臺上且框斜端相鄰時，利用每ー氣浮框體的第一框斜端與第二框斜端的吹氣孔，使得エ件於每ー氣浮框體的交界處上能夠被平穩輸送。

圖IA為公知的具有氣浮平臺的設備其利用氣壓運送エ件的示意圖；圖IB為圖IA的具有氣浮平臺的設備其利用氣壓將エ件運送經過氣浮框體之交界處的不意圖；圖2為本新型一實施例具有氣浮平臺的設備的立體圖；圖3A為圖2具有氣浮平臺的設備其利用氣壓運送エ件的示意圖；以及圖3B為圖3A具有氣浮平臺的設備其利用氣壓將エ件運送經過氣浮框體的交界處的示意圖。[先前技術部分]5具有氣浮平臺的設備51平臺510進氣ロ521第一氣浮框體522第二氣浮框體6エ件C腔室H吹氣孔P交界處[本新型部分]I具有氣浮平臺的設備10平臺12架設件101進氣ロ111第一氣浮框體[0043]111a, 112a第一框斜端111b, 112b第二框斜端112第二氣浮框體113,114本體部2エ件A氣壓Cl，C2腔室HI, H2吹氣孔L斜向風壓P交界處SI, S2水平表面SlO第一傾斜表面S20第二傾斜表面 。
具體實施方式
為期許對本新型的構造、特徵、功效及目的能夠有更詳盡的了解，茲配合圖式將本新型相關實施例詳細說明如下。請參閱圖2，圖2為本新型一實施例具有氣浮平臺的設備的立體圖；圖3ム為圖2具有氣浮平臺的設備其利用氣壓運送エ件的示意圖。如圖2與圖3A所示，具有氣浮平臺的設備I包含平臺10與至少ー氣浮框體。所述至少一氣浮框體於此實施例以包含第一氣浮框體111與第二氣浮框體112為例。可被理解的是，在實際應用時具有氣浮平臺的設備I能夠包含多個氣浮框體。平臺10包含進氣ロ 101。第一氣浮框體111與第二氣浮框體112配置在此平臺10上並個別具有連通平臺10上的進氣ロ 101的腔室。其中，第一氣浮框體111包含第一框斜端11 la、對應此第一框斜端Illa的第二框斜端Illb以及位於此第一框斜端Illa與第二框斜端Illb之間的本體部113。所述第一框斜端11 la、第二框斜端11 Ib與本體部113具有第一表面以及形成於此第一表面且連通腔室Cl的多數個吹氣孔H1。所述第一表面包含本體部113的水平表面SI以及第一框斜端Illa與第二框斜端Illb的第一傾斜表面SlO。相同地，第二氣浮框體112包含第一框斜端112a、對應此第一框斜端112a之第二框斜端112b以及位於此第一框斜端112a與第二框斜端112b之間的本體部114。其中，第一框斜端112a、第二框斜端112b與本體部114具有第二表面以及形成於此第二表面且連通腔室C2的多數個吹氣孔H2。所述第二表面包含本體部114的水平表面S2以及第ー框斜端112a與第二框斜端112b的第二傾斜表面S20。且第一氣浮框體111與第二氣浮框體112的端部相鄰，例如第一氣浮框體111的第二框斜端Illb與第二氣浮框體112的第一框斜端112a為彼此相鄰。上述具有氣浮平臺的設備I更包含至少ー架設件12，第一氣浮框體111與第二氣浮框體112更利用此架設件12之支撐而配置在平臺10上。例如，如圖2所示，架設件12包含L型金屬塊以供第一氣浮框體111與第二氣浮框體112框固入並利用螺接、鉚接或焊接等固定手段將第一氣浮框體111與第二氣浮框體112定位在平臺10上。另外，如圖2所示，第一氣浮框體111的這些吹氣孔Hl能夠呈對稱狀排列於第一表面(例如水平表面SI與第一傾斜表面S10)，第二氣浮框體112的這些吹氣孔H2亦能夠呈對稱狀排列於第二表面(例如水平表面S2與第二傾斜表面S20);或者,第一氣浮框體111的這些吹氣孔Hl能夠呈矩陣狀排列於第一表面，第二氣浮框體112的這些吹氣孔H2亦能夠呈矩陣狀排列於第二表面。利用對稱或矩陣狀之排列，使得從吹氣孔所導出的氣壓所形成的氣浮力量能夠更均勻，以令エ件能夠運用此均勻的氣浮力量而得以被平穩地運送。所述第一氣浮框體111與第二氣浮框體112為立方體結構，但不限定於此。並且，有別於公知氣浮框體為陶瓷燒結而成，本新型所提供的第一氣浮框體111與第二氣浮框 體112為金屬氣浮框體，例如鋁製氣浮框體。因此，成本相對於公知的陶瓷氣浮框體低且更耐用而不易龜裂損壞。另外，具有氣浮平臺的設備I更包含供氣裝置(未繪示)，所述供氣裝置用以供給氣壓A至進氣ロ 101。 請同時參閱圖3A與圖3B，圖3B為圖3A具有氣浮平臺的設備其利用氣壓將エ件運送經過氣浮框體的交界處的示意圖。如圖3A與圖3B所示，當氣壓A從進氣ロ 101分別注入第一氣浮框體111與第二氣浮框體112的腔室Cl與C2時，此氣壓A便會從第一氣浮框體111的第一表面的吹氣孔Hl與第二氣浮框體112的第二表面的吹氣孔H2被導出進而形成氣浮力量，因此當ーエ件
2(例如液晶面板或太陽能板)被ー驅動器帶動吋，能夠同時利用此氣浮力量而懸浮以避免エ件2的表面直接接觸在第一氣浮框體111與第二氣浮框體112上所導致的表面刮傷的問題。如圖3B所示，當エ件2被運送到第一氣浮框體111與第二氣浮框體112端部之間的交界處P時，例如エ件2被運送到第一氣浮框體111的第二框斜端Illb與第二氣浮框體112的第一框斜端112a的交界處P時，由於第二框斜端Illb與第一框斜端112a分別具有第一傾斜表面SlO與第二傾斜表面S20，因此由此ニ個傾斜表面之吹氣孔所導出的氣壓為斜向，使得エ件2經此交界處P時能夠被此斜向風壓L支撐從而保持穩定的懸浮狀態(也即エ件2經交界處P時不會有傾斜問題)，以利加工業者更容易對エ件2進行，例如雷射加エ或校正作業等。另外，具有氣浮平臺的設備I能夠為雷射切割設備或玻璃板加工設備，但不限定於此。由此可知，本新型所提供的具有氣浮平臺的設備具有下列特點I.氣浮框體包含第一框斜端以及對應此第一框斜端的第二框斜端，因此當多個氣浮框體配置在平臺上且端部(框斜端)相鄰時，利用每ー氣浮框體的第一框斜端與第二框斜端表面上的吹氣孔，使得エ件於每ー氣浮框體的交界處上能夠被平穩輸送。2.每ー氣浮框體表面上的吹氣孔呈對稱或矩陣狀的排列，因此，從吹氣孔所導出的氣壓所形成的氣浮力量能夠更均勻，以使エ件能夠運用此均勻的氣浮力量得以被平穩地運送。3.相對於公知的陶瓷氣浮框體，本新型所提供為金屬氣浮框體，例如鋁製氣浮框體。因此，成本相對於陶瓷氣浮框體低且更耐用而不易龜裂損壞。以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，並非用於限定本實用新型的保護範圍。
權利要求1.ー種具有氣浮平臺的設備，其特徵在於，包含 一平臺，包含一進氣ロ ；以及 至少ー氣浮框體，配置在該平臺並具有連通該進氣ロ的一腔室，該氣浮框體包含一第ー框斜端、對應該第一框斜端之一第二框斜端以及位於該第一、第二框斜端之間的一本體部，該第一、第二框斜端與該本體部具有一表面以及形成於該表面且連通該腔室的多數個吹氣孔。
2.如權利要求I所述的具有氣浮平臺的設備，其特徵在於，該具有氣浮平臺的設備更包含至少ー個架設件，該氣浮框體更利用該架設件的支撐而配置在該平臺上。
3.如權利要求I所述的具有氣浮平臺的設備，其特徵在於，該些吹氣孔呈對稱狀排列 於該表面。
4.如權利要求I所述的具有氣浮平臺的設備，其特徵在於，該些吹氣孔呈矩陣狀排列於該表面。
5..如權利要求I所述的具有氣浮平臺的設備，其特徵在幹，該氣浮框體為立方體結構。
6..如權利要求I所述的具有氣浮平臺的設備，其特徵在於，該具有氣浮平臺的設備更包含ー供氣裝置，該供氣裝置用以供給氣壓至該進氣ロ。
7..如權利要求I所述的具有氣浮平臺的設備，其特徵在於，該氣浮框體為一金屬氣浮框體。
8..如權利要求7所述的具有氣浮平臺的設備，其特徵在於，該金屬氣浮框體為鋁製氣浮框體。
9..如權利要求I所述的具有氣浮平臺的設備，其特徵在幹，該至少一氣浮框體包含一第一氣浮框體與一第二氣浮框體，該第一氣浮框體的該第二框斜端與該第二氣浮框體的該第一框斜端為彼此相鄰。
10.如權利要求I或9所述的具有氣浮平臺的設備，其特徵在於，該第一框斜端與該第ニ框斜端的該表面為ー傾斜表面。
11.如權利要求I所述的具有氣浮平臺的設備，其特徵在於，該本體部的該表面為一水平表面。
專利摘要本實用新型公開了一種具有氣浮平臺的設備，包含平臺與至少一氣浮框體。平臺包含進氣口；至少一氣浮框體配置在此平臺並具有連通進氣口的腔室。所述氣浮框體包含第一框斜端、對應此第一框斜端的第二框斜端以及位於此第一框斜端與第二框斜端之間的本體部，其中第一框斜端、第二框斜端與本體部具有表面以及形成於此表面且連通腔室的多數個吹氣孔。本實用新型氣浮框體包含第一框斜端以及對應此第一框斜端的第二框斜端，因此當多個氣浮框體配置在平臺上且框斜端相鄰時，利用每一氣浮框體的第一框斜端與第二框斜端的吹氣孔，使得工件於每一氣浮框體的交界處上能夠被平穩輸送。
文檔編號B65G51/02GK202657685SQ20122019121
公開日2013年1月9日 申請日期2012年5月2日 優先權日2011年4月29日
發明者施俊良, 施國彰 申請人:微勁科技股份有限公司