用來輸送扁平的輸送物品的、具有至少一個傳送帶的傳送帶系統及方法

2023-09-16 11:09:40 3

專利名稱：用來輸送扁平的輸送物品的、具有至少一個傳送帶的傳送帶系統及方法
技術領域：
本發明涉及一種用來在傳送帶系統的至少一個傳送帶上輸送扁平的輸送物品的 方法，所述輸送物品尤其是基片、如矽晶片和太陽能電池，其中所述基片在輸送過程中至少 循環地吸附地保持在傳送帶的傳送表面上。本發明還涉及一種傳送帶系統，包括至少一個傳送帶，用來輸送扁平的輸送物 品，尤其是基片如矽晶片和太陽能電池；抽吸裝置，基片在輸送過程中至少循環地被所述抽 吸裝置吸附地保持在所述至少一個的傳送帶的傳送表面上。
背景技術：
為製造太陽能電池，通常藉助夾具或在傳送帶上實施矽晶片的輸送，所述傳送帶 可以由多個皮帶構成。基於在製造過程中使用的機器的工作方式，晶片的輸送是按節拍進 行的，這造成了傳送帶和夾具必須持續地加速和制動。位於傳送帶上的晶片在輸送時通常 只是由於重力和磨擦保持在它的位置上。對於藉助夾具進行輸送的晶片來說，它的位置只 是藉助吸力和磨擦而保持在支承表面上。但如果輸送帶的加速或制動進行得太快，超出了 皮帶和夾具支承表面的磨擦係數，則導致的結果是，晶片滑落並且相對於傳送帶或夾具離 開了它原來的位置。此外，還可能由於晶片和傳送帶之間的吸附力太小，晶片從傳送帶上掉 落。為了提高晶片在傳送帶上的附著力，使用具有不同表面的由不同材料製成的傳送 帶。為了進一步提高扁平的輸送物品、如晶片或太陽能電池在傳送帶上的附著力，在由DE 102004050463B3已知的傳送帶系統中，傳送帶構成有朝它的表面敞開的缺口，這些缺口均 勻地分布在傳送帶表面上並與真空抽吸裝置相連。但不是每個皮帶都適用於這種應用，除 此之外，只能選擇相對較小的吸力，所述吸力只能在每個缺口的鄰近的開口區域內作用在 各個通過它位於傳送帶表面上的晶片上，因為在使用過大的吸力時，晶片在一定程度上可 能類似點狀地吸入缺口的開口中並且受到損壞。此外，由DE 102006033296A1已知的用來使太陽能模塊結構化的設備包括帶氣 墊系統的輸送系統，用來在傳送平面中輸送太陽能模塊，其中至少在加工區域中設置有壓 力-真空臺，用來在太陽能模塊和平板之間同時產生真空和超壓，並且通過產生的氣墊與 平板保持恆定距離地固定太陽能模塊。

發明內容
本發明的目的是，以一種經濟的方式保證提高晶片在傳送帶上的吸附力，並因此 實現傳送帶的較高的速度和加速度，而不會影響晶片在各自的傳送表面上的定位。因此本 發明的目的是，這樣來構造一種開頭所述類型的方法和傳送帶系統，使得在傳送帶的周圍 大面積地產生壓力比，該壓力比能以經濟的方式保證基片在傳送帶上更好的防滑且經濟的 輸送。
此目的按本發明通過以下技術措施得以實現，S卩沿著傳送帶的皮帶的兩個在輸 送方向上延伸的縱向邊緣中的至少一個，在多個相互間隔距離的位置上藉助於由流體系統 對壓縮流體、例如壓縮空氣進行受控制的引導分別生成基於伯努利效應的負壓，並且所述 基片通過在皮帶的縱向邊緣上的各個位置上構成的、在大氣壓力和在各個位置上生成的負 壓之間的壓力差均勻地貼緊地保持在具有支承面的傳送帶的傳送表面上。優選地，在基片的輸送過程中，在皮帶的縱向邊緣上的、基於伯努利效應分別要形 成負壓的多個位置中，只有一定數量的位置持續地通過壓縮空氣供給來控制，用來分別生 成基於伯努利效應的負壓，所述一定數量的位置在基片的輸送過程中在輸送方向上依次地 在任何時刻分別被一個基片遮蓋，其中在基片的輸送過程中，在遮蓋在輸送方向上緊接著 的位置的情況下在皮帶的縱向邊緣上通過每個基片的在輸送方向上的前方邊緣，通過壓縮 空氣的供給來自動地觸發緊接著的位置的控制，並且分別在相應緊隨其後由相應的基片的 沿輸送方向位於後面的邊緣在其輸送的過程中被暴露出來的縱向邊緣的位置上切斷壓縮 空氣的供給。如果在該方法中，基片在具有環繞的連續皮帶的傳送帶上傳送，則有利的是，既沿 著所述連續皮帶的上方支承面的縱向邊緣，也沿著傳送帶的連續皮帶的、反向運動的下方 支承面的縱向邊緣，在縱向邊緣上的多個彼此間隔距離的位置上分別生成基於伯努利效應 的負壓，所述伯努利效應由壓縮流體的流體引導而造成，其中所述基片沿相應的輸送方向 在多個位置上分別藉助於在大氣壓力和在相應的位置上生成的負壓之間的壓力差以所述 基片的支承面均勻地貼緊地保持在連續皮帶的上方支承面以及下方支承面上。如果在該方法中，通過具有兩個相互平行的運動方向相同的傳送帶的傳送帶系統 輸送所述基片，其中兩個所述傳送帶的相對置的端部部段相互重疊並且相互間隔距離地設 置，則有利的是，通過分別在下方傳送帶以及上方傳送帶的皮帶的縱向邊緣上的相應位置 上交互地產生負壓，使在下方傳送帶的傳送表面上輸送的基片轉移到上方傳送帶的相對置 的傳送表面上，緊貼並且吸附地保持在所述上方傳送帶的相對置的傳送表面上。也可沿著傳送帶的皮帶的兩個在輸送方向上延伸的縱向邊緣，分別在相互相應的 位置上生成基於伯努利效應的負壓。優選地，在皮帶的每個縱向邊緣上生成基於伯努利效 應的負壓的各位置之間的間隔選擇成相同大小的，並且在皮帶的每個縱向邊緣上的相應位 置上形成的、基於伯努利效應的負壓以相同的強度生成。合適的是，計算機控制地實現通過所述流體系統來調整壓縮流體的供給，用來在 傳送帶的皮帶的縱向邊緣上的多個位置的每一個上生成基於伯努利效應的負壓。按本發明，基於本發明的目的也通過開頭已知的傳送帶系統得以實現，其特徵在 於，-沿著傳送帶的皮帶的兩個在輸送方向上延伸的縱向邊緣中的每一個，在相互相 應的位置上分別設置生成伯努利效應的裝置的至少一個腔室的至少一個流出孔，-壓縮流體、如壓縮空氣通過至少一個流入孔輸送給腔室，所述流入孔的橫截面大 於腔室的流出口的橫截面，並且-所述基片藉助於在大氣壓力和負壓之間的壓力差面接觸地、均勻地、貼緊地保持 在傳送帶的傳送表面上，所述負壓通過沿著傳送帶的皮帶的縱向邊緣由伯努利抽吸裝置產 生的伯努利效應來引起。
優選地，所述伯努利抽吸裝置具有多個腔室和一定數量的流出孔，所述流出孔的 數量對於傳送帶的皮帶的每個縱向邊緣來說是一樣的，其中所述流出孔以相互相同的間隔 設置在各自相應的位置中。多個腔室和一定數量的流出孔沿著傳送帶的皮帶的兩個縱向邊 緣中每一個是一致的，並且每個腔室可以配設兩個流出孔，所述流出孔在傳送帶的皮帶的 兩個縱向邊緣上設置在各自相應的位置上。
為了減少能量需求，優選這樣地設計按本發明的傳送帶系統，即在基片的輸送過 程中，在伯努利抽吸裝置的多個腔室中，只有一定數量的腔室持續地通過伯努利抽吸裝置 來控制，所述一定數量的腔室的、在輸送方向上依次配設的流出孔沿著傳送帶的皮帶的每 個縱向邊緣在基片的輸送過程中在任何時刻分別被基片遮蓋，其中在基片的輸送過程中， 在遮蓋在輸送方向上緊接著的流出口的情況下，通過每個基片的在輸送方向上的前方邊緣 自動地控制與流出口相配的腔室，並且分別切斷與該流出口相配的腔室，該流出孔分別緊 接著從相應的基片的在輸送方向上位於後面的邊緣在其輸送的過程中暴露出來。傳送帶可具有經由滾筒結構環繞的連續皮帶，在它的上方支承面和沿反向運動 的下方支承面上被伯努利抽吸裝置沿著傳送帶的連續皮帶的縱向邊緣分別產生伯努利效 應，其中連續皮帶的上方支承面和下方支承面在各自的運動方向中分別構成傳送帶的傳送 表面，基片藉助在大氣壓力和負壓之間的壓力差面接觸地、均勻地、吸附地保持在傳送表面 上，所述負壓通過沿著傳送帶的連續皮帶的縱向邊緣由伯努利抽吸裝置產生的伯努利效應 引起。優選地，可設置兩個相互平行的、運動方向相同的傳送帶，所述傳送帶以其相對置 的端部部段相互重疊並且上下相互間隔距離地設置，其中通過交互地控制各個伯努利抽吸 裝置的配設的腔室的分別在下方傳送帶以及上方傳送帶的皮帶的縱向邊緣上的相應的流 出口，使位於在下方傳送帶的傳送表面上的基片轉移到上方傳送帶的相對置的傳送表面 上，以及緊貼並且保持在所述上方傳送帶的相對置的傳送表面上。按本發明的傳送帶系統確保，在傳送帶的高的速度、加速度和制動過程中傳送物 品在傳送表面上大的及完好的附著。在各個傳送帶周圍由伯努利抽吸裝置引起的壓力比使 扁平的輸送物品能在傳送帶的下表面上輸送，因此晶片可以例如所謂的「顛倒」地或在所有 可能的方向上以高的速度和加速度在傳送帶上傳輸，而不會影響它在傳送帶的傳送表面上 的定位。此外，按本發明的傳送帶系統還可明顯節省生產成本和能量成本，因為壓縮空氣的 供應能以合適的方式與皮帶的運動同步進行。除了基片、如矽晶片和太陽能電池之外，藉助按本發明的方法和傳送帶系統還能 可靠防滑地輸送許多其它的扁平物體，所述扁平物質由玻璃、陶瓷、金屬板材、木材或塑料 製成，例如是CD、印製電路板、顯示屏等等。此外還有利的是，在所有種類的分類設備和半導 體工業中使用按本發明的方法。


現在藉助附圖描述了本發明。其中圖Ia以俯視圖示出了具有傳送帶的傳送帶系統的實施例的局部視圖；圖Ib示出了圖Ia的平面A-A的剖面圖；圖2示意示出了傳送帶系統的優選實施方式的一部分的透視圖，所述傳送帶系統具有兩個彼此平行延伸的傳送帶，其中分別示出了每個傳送帶的一半，但沒有遮蓋伯努利抽吸裝置的腔室；圖3以與圖2相似的透視圖示出了在圖2示出的部分，其中伯努利抽吸裝置的腔 室被全部遮蓋，其中雙列地且上下重疊地在沿輸送方向上各晶片的相互錯位的位置上示出 了用來說明依次控制伯努利抽吸裝置的多個流出口的部段；圖4a示出了傳送帶系統的示意示出的另一實施方式的一部分的側視圖，其中兩 個彼此平行的傳送帶的相對置的端部部段相互重疊，晶片通過伯努利抽吸效應從一個傳送 帶轉換到另一傳送帶上；圖4b示出了圖4a的平面A-A的剖面圖。
具體實施例方式如從在圖Ia示意示出的傳送帶系統1的實施例中可看出，所述傳送帶系統1具有 傳送帶2和伯努利抽吸裝置4，所述傳送帶2用來輸送基片、例如矽晶片和太陽能電池，所述 伯努利抽吸裝置4在圖Ib中以通過圖Ia的平面A-A的剖面圖示出。沿著傳送帶2的皮帶 8的每個在輸送方向6上延伸的縱向邊緣7，所述伯努利抽吸裝置4在相互相應的位置上分 別具有腔室10的至少一個流出孔9，所述腔室由一個未示出的壓縮空氣源通過流入孔12供 給壓縮空氣11。流入孔12的橫截面大於腔室10的流出孔9的橫截面。基片3藉助於在大
氣壓力和負壓之間的壓力差通過沿箭頭19的方向作用的力面接觸(auflageflSchig )
且均勻貼緊地保持在傳送帶2的傳送表面5上，所述負壓通過沿著傳送帶2的皮帶8的兩 個縱向邊緣7由伯努利抽吸裝置產生的伯努利抽吸效應來決定。從圖2和3中得知傳送帶系統1的節省能量且降低成本的優選實施方式，其中設 置有兩個彼此平行延伸的輸送帶2。伯努利抽吸裝置4在此具有多個(數量a)腔室10以 及多個(數量b)流出孔9，其中流出孔9在每個傳送帶2的皮帶8的每個縱向邊緣上的數 量a是相同的，流出孔9以彼此相同的間隔設置在各自相應的位置中，並且腔室10的數量 a以及流出孔9的數量b沿著兩個傳送帶2的每一個的皮帶8的每個縱向邊緣是一致的。為了清晰地示出腔室10的結構，在圖3中分別在傳送帶2的一半上省略了伯努利 抽吸裝置4的腔室10的遮蓋物。因此可看到，每個腔室10都分別配設了兩個流出孔9，它 們在每個傳送帶2的皮帶8的兩個縱向邊緣7上設置在彼此相應的位置中。圖3示出了在伯努利抽吸裝置4的多個(數量a)腔室的傳送帶系統1的優選實 施例中，只有一定數量(數量c)的腔室持續地通過伯努利抽吸裝置4來控制，所述一定數 量的腔室的、在輸送方向6上接連的、沿著每個傳送帶2的皮帶8的每個縱向邊緣7相互配 設的流出孔9在基片3的輸送過程中在任何時刻分別被基片3遮蓋。在基片3的輸送過程 中，當遮蓋在輸送方向6上緊接著的流出口 9時，通過每個基片3在輸送方向6上的前方邊 緣13自動地控制與流出口 9相配的腔室10，並且分別關閉與該流出口 9相配的那個腔室， 該流出孔分別緊隨其後地從相應的基片3的在輸送方向6上位於後面的邊緣14上暴露出 來。從圖4a和4b中得知傳送帶系統1的另一實施例，其中如圖4a所示，兩個彼此平 行的、運動方向6相同的傳送帶2以其反向的端部部段17或18彼此重疊，並彼此間隔距離 且上下重疊地設置。
如圖4b所示，它示出了通過兩個傳送帶2的相互重疊的端部部段17 ；18的、圖4a 的平面A-A的剖面圖，每個傳送帶2都這樣地配設一個伯努利抽吸裝置4，使得通過交互地 控制下方傳送帶2及上方傳送帶2的皮帶8的各個縱向邊緣7上的相互相應的流出孔9，並 且通過在上方傳送帶2的傳送表面5上待生成的伯努利抽吸效應，使位於下方傳送帶2的 傳送表面5上的基片3轉送到上方傳送帶2的相對置的傳送表面5上，並貼靠和保持在所 述上方傳送帶2的相對置的傳送表面5上。在此，力在箭頭19的方向上起作用附圖標記列表1 傳送帶系統2 傳送帶3 傳送物品、基片、矽晶片、太陽能電池4 抽吸裝置、流體系統5 傳送表面6 輸送方向7 縱向邊緣8 皮帶9 流出孔，位置10 腔室11壓縮液體、壓縮空氣12 流入孔13基片的前邊緣14基片的後邊緣15傳送帶的上支承面16傳送帶的下支承面17上方傳送帶的端部部段18下方傳送帶的端部部段19力作用的方向a 腔室的數量b 流出孔的數量c 流出孔的一定數量
權利要求
一種用來在傳送帶系統的至少一個傳送帶上輸送扁平的輸送物品方法，所述輸送物品尤其是基片、如矽晶片和太陽能電池，其中所述基片至少循環地在輸送過程中被吸附地保持在傳送帶的傳送表面上，其特徵在於，沿著傳送帶的皮帶的兩個在輸送方向上延伸的縱向邊緣中的至少一個，在多個相互間隔距離的位置上藉助於由流體系統對壓縮流體、例如壓縮空氣進行受控制的引導分別生成基於伯努利效應的負壓，並且所述基片通過在皮帶的縱向邊緣上的各個位置上構成的、在大氣壓力和在各個位置上生成的負壓之間的壓力差均勻地貼緊地保持在具有支承面的傳送帶的傳送表面上。
2.按權利要求1所述的方法，其特徵在於，在基片的輸送過程中，在皮帶的縱向邊緣 上的、基於伯努利效應分別形成要負壓的多個位置中，只有一定數量的位置持續地通過壓 縮空氣供給來控制，用來分別生成基於伯努利效應的負壓，所述一定數量的位置在基片的 輸送過程中在輸送方向上依次地在任何時刻分別被一個基片遮蓋，其中在基片的輸送過程 中，在遮蓋在輸送方向上緊接著的位置的情況下在皮帶的縱向邊緣上通過每個基片的在輸 送方向上的前方邊緣，通過壓縮空氣的供給來自動地觸發緊隨其後的位置的控制，並且分 別在相應緊接著由相應的基片的沿輸送方向位於後面的邊緣在其輸送的過程中被暴露出 來的縱向邊緣的位置上切斷壓縮空氣的供給。
3.按權利要求1和2之任一項所述的方法，其中基片在具有環繞的連續皮帶的傳送帶 上傳送，其特徵在於，既沿著所述連續皮帶的上方支承面的縱向邊緣，也沿著傳送帶的連續 皮帶的、反向運動的下方支承面的縱向邊緣，在縱向邊緣上的多個彼此間隔距離的位置上 分別生成基於伯努利效應的負壓，所述伯努利效應由壓縮流體的流體引導而造成，並且所 述基片沿相應的輸送方向在多個位置上分別藉助於在大氣壓力和在相應的位置上生成的 負壓之間的壓力差以所述基片的支承面均勻地貼緊地保持在連續皮帶的上方支承面以及 下方支承面上。
4.按權利要求1至3之任一項所述的方法，其中通過具有兩個相互平行的運動方向相 同的傳送帶的傳送帶系統輸送所述基片，其中兩個所述傳送帶的相對置的端部部段相互重 疊並且相互間隔距離地設置，其特徵在於，通過分別在下方傳送帶以及上方傳送帶的皮帶 的縱向邊緣上的相應位置上交互地產生負壓，使在下方傳送帶的傳送表面上輸送的基片轉 移到上方傳送帶的相對置的傳送表面上，緊貼並且吸附地保持在所述上方傳送帶的相對置 的傳送表面上。
5.按權利要求1至4之任一項所述的方法，其特徵在於，沿著傳送帶的皮帶的兩個在輸 送方向上延伸的縱向邊緣，分別在相互相應的位置上生成基於伯努利效應的負壓。
6.按權利要求1至5之任一項所述的方法，其特徵在於，在皮帶的每個縱向邊緣上生成 基於伯努利效應的負壓的各位置之間的間隔選擇成相同大小的。
7.按權利要求1至6之任一項所述的方法，其特徵在於，在皮帶的每個縱向邊緣上的相 應位置上形成的、基於伯努利效應的負壓以相同的強度生成。
8.按權利要求1至7之任一項所述的方法，其特徵在於，計算機控制地實現藉助於所述 流體系統來調整壓縮空氣的供給，用來在傳送帶的皮帶的縱向邊緣上的多個位置的每一個 上生成基於伯努利效應的負壓。
9.一種傳送帶系統(1)，包括至少一個傳送帶(2)，用來輸送扁平的輸送物品，尤其是基片(3)、如矽晶片和太陽能電池抽吸裝置(4)，所述基片(3)至少循環地在輸送過程中被所述抽吸裝置(4)吸附地保持 在所述至少一個的傳送帶(2)的傳送表面(5)上，其特徵在於，沿著傳送帶(2)的皮帶(8)的兩個在輸送方向(6)上延伸的縱向邊緣(7)中的每一個， 在相互相應的位置上分別設置生成伯努利效應的裝置(4)的至少一個腔室(10)的至少一 個流出孔(9)，壓縮流體(11)、如壓縮空氣通過至少一個流入孔(12)輸送給腔室(10)，所述流入孔的 橫截面大於腔室(10)的流出口(9)的橫截面，並且所述基片(3)藉助於在大氣壓力和負壓之間的壓力差面接觸地、均勻地、貼緊地保持 在傳送帶(2)的傳送表面(5)上，所述負壓通過沿著傳送帶(2)的皮帶(8)的縱向邊緣(7) 由伯努利抽吸裝置(4)產生的伯努利效應來引起。
10.按權利要求9所述的傳送帶系統，其特徵在於，所述伯努利抽吸裝置(4)具有多個 (a)腔室和一定數量(b)的流出孔(9)，所述流出孔的數量對於傳送帶(2)的皮帶(8)的每 個縱向邊緣(7)來說是一樣的，其中所述流出孔(9)以相互相同的間隔設置在各自相應的 位置中。
11.按權利要求10所述的傳送帶系統，其特徵在於，多個(a)腔室(10)和一定數量(b)的流出孔(9)沿著傳送帶(2)的皮帶(8)的兩個 縱向邊緣(7)中每一個是一致的，並且每個腔室(10)配設兩個流出孔(9)，所述流出孔在傳送帶(2)的皮帶(8)的兩個縱向 邊緣(7)上設置在各自相應的位置(9)上。
12.按權利要求9至11之任一項所述的傳送帶系統，其特徵在於，在基片(3)的輸送過 程中，在伯努利抽吸裝置(4)的多個(a)腔室(10)中，只有一定數量(c)的腔室(10)持續 地通過伯努利抽吸裝置(4)來控制，所述一定數量的腔室的、在輸送方向(6)上依次配設的 流出孔(9)沿著傳送帶(2)的皮帶(8)的每個縱向邊緣(7)在基片(3)的輸送過程中在任 何時刻分別被基片(3)遮蓋，其中在基片(3)的輸送過程中，在遮蓋在輸送方向(6)上緊接 著的流出口(9)的情況下，通過每個基片(3)的在輸送方向(6)上的前方邊緣(13)自動地 控制與流出口(9)相配的腔室(10)，並且分別切斷與該流出口(9)相配的腔室(10)，該流 出孔分別緊接著從相應的基片(3)的在輸送方向(6)上位於後面的邊緣(14)在其輸送的 過程中暴露出來。
13.按權利要求9至12之任一項所述的傳送帶系統，其特徵在於，傳送帶(2)具有環 繞的連續皮帶(8)，在它的上方支承面(15)以及反向運動的下方支承面(16)上被伯努利 抽吸裝置(4)沿著傳送帶(2)的連續皮帶(8)的縱向邊緣(7)分別產生伯努利效應，並且 連續皮帶(8)的上方支承面(15)以及下方支承面(16)在各自的運動方向中分別構成傳送 帶(2)的傳送表面(5)，在所述傳送帶的傳送表面上藉助大氣壓力和負壓之間的壓力差均 勻地、貼緊地保持基片(3)，所述負壓通過沿著傳送帶(2)的連續皮帶(8)的縱向邊緣(7) 由伯努利抽吸裝置(4)產生的伯努利效應引起。
14.按權利要求9至12之任一項所述的傳送帶系統，其特徵在於，設置兩個相互平行 的、運動方向(6)相同的傳送帶(2)，所述傳送帶以其相對置的端部部段(17 ； 18)相互重疊並且上下相互間隔距離地設置，其中通過交互地控制各個伯努利抽吸裝置(4)的配設的腔 室(10)的分別在下方傳送帶以及上方傳送帶(2)的皮帶(8)的縱向邊緣(7)上的相應的 流出口(9)，並且因此通過其中待生成的伯努利效應，使位於在下方傳送帶(2)的傳送表面 (5)上的基片(3)轉移到上方傳送帶(2)的相對置的傳送表面(5)上，以及緊貼並且保持在 所述上方傳送帶的相對置的傳送表面上。
全文摘要
本發明涉及一種用來在傳送帶系統(1)的至少一個傳送帶(2)上輸送扁平的輸送物品方法，所述輸送物品尤其是基片(3)，如矽晶片和太陽能電池，其中所述基片(3)至少循環地在輸送過程中被吸附地保持在傳送帶(2)的傳送表面(5)上。為了保證在傳送帶(2)的基片(3)更好地、防滑且經濟地輸送，按本發明地沿著傳送帶(2)的皮帶(8)的兩個在輸送方向上延伸的縱向邊緣(7)中的至少一個，在多個相互間隔距離的位置(9)上，藉助由流體系統(4)控制的壓縮流體(11)、例如壓縮空氣的引導，分別生成基於伯努利效應的負壓，所述基片(3)通過在皮帶的縱向邊緣上的各個位置(9)上構成的、在大氣壓力和在相應的位置(9)上生成的負壓之間的壓力差均勻地、貼緊地保持在具有支承面的傳送帶(2)的傳送表面(5)上。
文檔編號H01L21/683GK101971320SQ200980109116
公開日2011年2月9日 申請日期2009年1月26日 優先權日2008年3月16日
發明者J·格熱拉克 申請人:約納斯雷德曼自動化技術有限公司