高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀的製作方法
2023-09-16 07:18:40
專利名稱：高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及檢測領域，特別是涉及一種高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀。
背景技術：
隨著高合成像素濾光組合鏡頭的廣泛使用，高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片 (即用於製造高合成像素濾光組合鏡頭的玻璃基片)的應用也越來越大，高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片的質量指標對生產出的高合成像素濾光組合鏡頭的應用十分重要，直接影響到應用鏡頭的各種產品的使用效果。所述高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片為超薄易變形的玻璃基片，在這些超高質量表面要求的玻璃基片的生產過程中，需要對這些產品的各類尺寸誤差進行全面檢測。在以往的平面度檢測測試中，通常使用「雷射平面幹涉儀」，例如是中科院光機所製造的PG15-J4型雷射平面幹涉儀來測量光圈，利用該儀器來測量光圈雖然精度高達 0.2 0.3微米。但是，利用該儀器測量具有以下幾個缺點首先，對於大規模生產來說，使用該儀器測量非常不便，影響生產效率，特別是在研磨階段，毛面不能檢測；另外，對於大面積大尺寸和超薄型的玻璃基片來說，由於光圈變形無法數清楚，測量十分困難，並且也無法實行數位化直讀，影響了工作效率。
實用新型內容本實用新型提供一種高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀，以解決現有的問題。為解決上述技術問題，本實用新型提供一種高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀，包括三角形工作檯面；設置於所述三角形工作檯面上的三個圓座，每個圓座上設置有一個可轉動的球體，在所述三角形工作檯面的邊緣位置分別均布一組小滾珠軸承連固定座；以及設置於所述三角形工作檯面的中心位置孔下方的千分表。進一步地，在所述的高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀中，所述可轉動的球體是可轉動的鋼球。進一步地，在所述的高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀中，所述圓座為分級調整圓座。與現有技術相比，本實用新型提供的高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀採用了三角形工作檯面，並在三角形工作檯面設置三個圓座，每個圓座上設置有一個可轉動的球體，在所述三角形工作檯面的邊緣三角位置分別均布一組小滾珠軸承連固定座，再通過千分表來讀數，克服了高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片由於玻璃自重而產生的變形影響測量精度的不利因素，提高了測量精度，操作方便，檢查直觀，工作效率高。
[0009]圖1為本實用新型一實施例的高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀的主視圖；圖2為本圖1中虛線圈處的放大圖；圖3為本實用新型一實施例的高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀的俯視圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特徵將更清楚。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。請參考圖1、圖2和圖3，其中，圖1為本實用新型一實施例的高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀的主視圖，圖2為本圖1中虛線圈處的放大圖，圖3為本實用新型一實施例的高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀的俯視圖。本實用新型實施例的高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀100包括 三角形工作檯面30 ；設置於所述三角形工作檯面30上的三個圓座10，每個圓座10上設置有一個可轉動的球體110，在所述三角形工作檯面30的邊緣三角位置分別均布一組小滾珠軸承連固定座20 ；以及設置於所述三角形工作檯面30的中心位置孔下方的千分表40。其中，所述圓座10為分級調整圓座，S卩，所述圓座10可以分級調整，與其相對應的小滾珠軸承連固定座20也可作分級調整，所述級例如是2或3或4。在本實施例中，所述可轉動的球體110例如是可轉動的鋼球。本實用新型利用三點決定一個平面的原理，設置有三角形工作檯面30，其上分布三個圓座10，每個圓座10上分別安放可轉動的球體110(使待檢測的玻璃基片成點接觸定位)，並且三個圓座10的相對距離是可以分級調整的，以適應不同直徑大小的高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片50的測量要求。另外，在三角形工作檯面30的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座 20，其可起到旋轉測量的靠山作用，三組小滾珠軸承連接固定座20的相對位置也可以是分級調整的，以適應不同直徑的高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片50的測量要求。在三角形工作檯面30的中心位置孔下方安置一臺千分表(精度例如是1微米)， 利用標準平面樣板(平面度例如是0. 5微米)，校準零位後放上被測工件(待測的高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片50)，轉動高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片50便可測量它的平面度，千分表讀數直觀、方便，非常實用。測量不同直徑的合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片50時，可以將被測工件擱置在三個可轉動的球體110上，邊緣分別靠在相應的小滾珠軸承連固定座20上，被測工件靈活轉動，可按不同直徑大小分別採用三組可轉動的球體110。綜上所述，本實用新型提供一種高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀，利用三點決定一個平面的原理，採用了三角形工作檯面30，並在三角形工作檯面30設置三個圓座10，每個圓座10上設置有一個可轉動的球體110，在所述三角形工作檯面30的邊緣三角位置分別均布一組小滾珠軸承連固定座20，再通過千分表40來讀數，克服了高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片由於玻璃自重而產生的變形影響測量精度的不利因素，使測量精度大大提高(可以達到0. OOlmm)，不僅操作方便，檢查直觀，而且工作效率高，十幾秒鐘即可從千分表中讀出數值。 顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和範圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬於本實用新型權利要求及其等同技術的範圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求1.一種高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀，其特徵在於，包括 三角形工作檯面；設置於三角形工作檯面上的三個圓座，每個圓座上設置有一個可轉動的球體，在三角形工作檯面的邊緣位置分別均布一組小滾珠軸承連固定座；以及設置於所述三角形工作檯面的中心位置孔下方的千分表。
2.如權利要求1所述的高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀，其特徵在於，所述可轉動的球體是可轉動的鋼球。
3.如權利要求1所述的高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀，其特徵在於，所述圓座為分級調整圓座。
專利摘要本實用新型公開了一種高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀，所述高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片平面度檢測儀包括三角形工作檯面；設置於所述三角形工作檯面上的三個圓座，每個圓座上設置有一個可轉動的球體，在所述三角形工作檯面的邊緣位置分別均布一組小滾珠軸承連固定座；設置於所述三角形工作檯面的中心位置孔下方的千分表。本實用新型克服了高合成像素濾光組合鏡頭玻璃基片由於玻璃自重而產生的變形影響測量精度的不利因素，提高了測量精度，操作方便，檢查直觀，工作效率高。
文檔編號G01B5/28GK202304729SQ20112026502
公開日2012年7月4日 申請日期2011年7月25日 優先權日2011年7月25日
發明者應永偉 申請人:上海申菲雷射光學系統有限公司