電子零件用電鍍夾具以及電解電鍍裝置的製作方法
2023-09-16 23:28:40 2
專利名稱：電子零件用電鍍夾具以及電解電鍍裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及電子零件用電鍍夾具以及電解電鍍裝置，更詳細地說，涉及使由基座和接地引線構成的多個電子零件分別定位，對由形成前述電子零件的金屬所構成的各部件的露出面的整個面實施電解電鍍的電子零件用電鍍夾具以及電解電鍍裝置，其中所說的基座，通過玻璃等絕緣材料將插入到形成在金屬制部件的平坦部上的貫通孔內的引線密封起來，所說的接地引線，其一端部被接合在前述金屬制部件的一面側上。
背景技術：
在半導體裝置等電子零件中，如圖5(a)、(b)所示，有的使用了頭部(ヘツダ一)10、20。
圖5(a)所示的頭部10，引線16分別穿過形成在由金屬制部件構成的基座12的平坦部上的兩個貫通孔14、14而被玻璃密封，同時接地引線18的一端部與基座12的一面側對接而接合在其上。
另外，圖5(b)所示的頭部20，引線16分別穿過形成在金屬制部件22的平坦部上的兩個貫通孔24、24而被玻璃密封，同時接地引線18的一端部與金屬制部件22的平坦部的一面側對接而接合在其上，其中該金屬制部件，是通過在金屬制的板狀部件上實施衝壓加工而形成有凹部的金屬制部件。
在該圖5(a)、(b)所示的頭部10、20中，在通過焊料而接合在例如由金屬制部件構成的基座12的另一面側、或金屬制部件22的平坦部的另一面側上的散熱器26上搭載有半導體原件28，在該半導體原件28與引線16、16的一端部進行了引線接合後，將覆蓋部件覆蓋在基座12或金屬制部件22的平坦部的另一面側上，密封保持搭載在散熱器26上的半導體原件28等。
可是，在圖5(a)、(b)所示的頭部10、20中，為了防鏽等，在由構成頭部10、20的金屬構成的各部件的露出面上，通過電解電鍍而形成有鍍層(鍍膜)。
但是，由於引線16、16通過玻璃密封而被密封在基座12(金屬制部件22)上，因此，要在引線16、16、接地引線18以及基座12(或金屬制部件22)的露出面的整個面上形成由電解電鍍生成鍍層，就有必要向引線16、16以及接地引線18供電。
因此，在對頭部10(20)實施電解電鍍之際，以往都採用了滾鍍(筒式電鍍)。
在滾鍍中，是使收容有多個頭部10(20)以及作為通電輔助材料的虛設物的滾籠體旋轉，從而對各個頭部10(20)實施電解電鍍。因此，由於在電解電鍍中頭部10(20)的引線16等彼此會絞纏在一起，或者虛設物會被夾在頭部10(20)的引線16之間，因此在電解電鍍完成時，還有必要進行將絞纏在一起的頭部10(20)一個個地解開的操作。
進而，在電解電鍍中，會因為多個頭部10(20)等彼此衝撞而導致出現劃痕，或者引線16、16和接地引線18易彎折。因此，對於從滾籠體中取出的頭部10(20)，還有必要進行那些被彎折的引線16等的修整操作。
另外，在以往，如圖6所示，也進行將多個分別形成頭部10(20)的引線16、16以及接地引線18的各前端部連接在一根金屬線100上，通過向金屬線100供電從而對各個頭部10(20)實施電解電鍍的做法。
在圖6所示的方法中，雖然能夠防止引線16、16和接地引線18在電解電鍍中被彎折的情況，但有必要進行將引線16、16、接地引線18的各前端部連接到一根金屬線100上的連接操作，以及從金屬線100上將引線16、16、接地引線18的各前端部切離的切離操作。
與這種以往的方法相對，在下述專利文獻1中，提出了在頭部10(20)的電解電鍍之際，使用圖7所示的電鍍夾具的方案。
圖7所示的電鍍夾具，在由樹脂構成的基臺102的一面側上，設有作為向引線16、16以及接地引線18分別供電的供電部件的供電板106，而其中所說的基臺102，以能夠將頭部10的引線16、16以及接地引線18的前端吸引靠近規定位置的方式，在各個規定位置上密封配設有多個磁鐵104、104...。
進而，在圖7所示的電鍍夾具中，在引線16、16、接地引線18的長度上存在有細微差別，為了可靠地從供電板106向各前端面供電，在供電板106上配設導電性無紡布108。
這種導電性無紡布108的表面，除頭部10的引線16、16以及接地引線18的前端面所觸接的觸接部以及其附近之外，均由掩膜部件110所覆蓋。
在該掩膜部件110上，為了使頭部10的引線16、16以及接地引線18的前端面所觸接的導電性無紡布108的觸接部以及其附近露出，形成有貫通孔112。該貫通孔112也是導引該頭部10的引線16、16以及接地引線18的導引孔。
再者，掩膜部件110，由銷114、114定位，以使其貫通孔112位於對應的磁鐵104之上。
專利文獻1特開2003-213497號公報(圖5)通過用圖7所示的電鍍夾具對多個頭部10(20)實施電解電鍍，可省略將頭部10(20)的引線16、16以及接地引線18的各前端部連接在一根金屬線100上的連接操作，以及從金屬線100將引線16、16、接地引線18的各前端部切離的切離操作等操作，可較容易地實施電解電鍍。
但是，要將頭部10(20)的引線16、16以及接地引線18的各長度的差別控制在能夠用導電性無紡布108吸收的細微的程度，就有必要對引線16、16以及接地引線18的各長度進行嚴格的長度管理。
另外，由於引線16、16以及接地引線18的各前端面與導電性無紡布108接觸，因此不能進行色調以及附著性良好的電解電鍍。
另一方面，利用實施了電解電鍍的頭部10(20)所得到的半導體裝置的電氣的試驗，是將試驗用探頭與引線16、16以及接地引線18的各前端面對接來進行。因此，要求在引線16、16以及接地引線18的各前端面上也要形成良好的鍍層。
發明內容
因此，本發明的目的在於提供可緩和對於形成電子零件的引線以及接地引線的各長度的長度管理，並且可在引線以及接地引線的各前端部上形成鍍層的電子零件用電鍍夾具。
本發明為了解決前述問題而進行了檢討，結果發現如下事實，即，即便在頭部的引線以及接地引線的長度上多少存在有一些參差不齊，但要是為了供被磁鐵吸引拉近的引線以及接地引線的各前端部的一部分與其接觸，而使接觸部件的接觸面形成為曲面，則是非常有利的，並且通過從接觸部件向引線以及接地引線供電，可在引線以及接地引線的各前端部的大部分上形成鍍層，從而就達到了本發明的目的。
即，本發明是一種電子零件用電鍍夾具，它是使包括基座和接地引線的多個電子零件各自定位、對由形成前述電子零件的金屬所構成的各部件的露出面的整個面實施電解電鍍的電子零件用電鍍夾具，其中所述的基座通過玻璃等絕緣材料密封著被插入到形成在金屬制部件的平坦部上的貫通孔內的引線，所述的接地引線一端部與前述金屬制部件的一面側相接合；其特徵在於具備供電部件，被配設在基臺的一面側上，該基臺以使形成該各電子零件的向基座的一面側突出的引線以及接地引線的各前端被吸引的方式，以規定間隔密封配設有多個磁鐵；接觸部件，與前述供電部件相連接，由以可與被前述各磁鐵所吸引的構成電子零件的引線以及接地引線的各前端部的一部分接觸的方式形成為曲面的磁性體構成；以及定位部件，形成有將構成前述各電子零件的引線以及接地引線的各前端向對應的前述接觸部件的曲面導引的導引孔。
另外，本發明是一種電解電鍍裝置，其特徵在於，將裝載在存儲有電解電鍍液的電鍍槽內的權利要求1所述的電子零件用電鍍夾具的供電部件設為陰極，在與前述電子零件用電鍍夾具的定位部件相距規定距離的地方設置有陽極。
在本發明中，作為接觸部件使用球體，由此可較容易地形成與引線以及接地引線的各前端部的一部分相接觸的曲面。
作為向該接觸部件供電的供電部件，使用片狀的供電部件，用掩膜部件覆蓋該供電部件的表面的除配設接觸部件的部分以外的部分，由此，可防止在供電部件的表面形成鍍層。
另外，作為定位部件，使用金屬制的定位部件，並將前述定位部件作為向引線以及接地引線供電的供電部件，由此，對引線以及接地引線，可在兩處進行供電，可謀求向引線以及接地引線的供電的可靠性。
將該定位部件設置為可擺動，並設置有以使構成各電子零件的引線以及接地引線的各前端部的不同部分與對應的接觸部件的曲面相接觸的方式使前述定位部件擺動的擺動裝置，由此，可在引線以及接地引線的各前端部的基本整個面上形成鍍層。
再者，在本發明的電子零件用電鍍夾具中，能夠較理想地使用從基座的一面側突出的引線以及接地引線的根數為三根的電子零件。
根據本發明的電子零件用電鍍夾具，構成被定位部件的導引孔導引並被密封在基臺內的磁鐵吸引的電子零件的引線以及接地引線的各前端部的一部分，即便引線以及接地引線的長度多少有些不同，也可與由磁性體構成並且與供電部件相連接的接觸部件的曲面接觸。即，即便引線以及接地引線的長度多少有些不同，在供電時，引線以及接地引線的各前端部的一部分也會同時與接觸部件的曲面接觸。
因此，通過將本發明的電子零件用電鍍夾具裝載在存儲了電解電鍍液的電鍍槽內，將該電子零件用電鍍夾具的供電部件設為陰極，並在該陰極和與定位部件相距規定距離的地方設置的陽極之間通上電流，就可在前端部的一部分接觸在接觸部件的曲面上的引線以及接地引線、以及與接地引線的一端部接合的金屬制部件的各露出面上形成鍍層。
在該電解電鍍的時候，由於多個電子零件被各自獨立地實施電解電鍍，因此可容易地進行電解電鍍完成後的取出操作。
並且，由於電子零件，是通過使其引線以及接地引線的各前端的一部分與接觸部件的曲面接觸而實施電解電鍍的，因此可在引線以及接地引線的各前端部的大部分上形成鍍層。因此，即便在最終所取得的半導體裝置等的電氣的試驗中，也能夠使試驗用探頭接觸在引線以及接地引線的各前端面上而進行試驗。
圖1是說明本發明的電子零件用電鍍夾具的一例的概略剖面圖。
圖2是作為圖1所示的定位部件的導引部件的局部正視圖。
圖3是說明本發明的電子零件用電鍍夾具的另一例的概略剖面圖。
圖4是說明代替作為圖1所示的電子零件用電鍍夾具中所使用的接觸部件的球體的、另一個接觸部件的局部剖面圖。
圖5是說明電子零件的一例的部分剖面圖。
圖6是說明以往的實施電解電鍍的電子零件的一個形態的正視圖。
圖7是說明改良的電子零件用電鍍夾具的一例的概略剖面圖。
標號說明10、20 頭部 12基座16 引線 18接地引線30 磁鐵 32基臺34 供電部件 36球體(接觸部件)38 掩膜部件 40貫通孔42 導引板(定位部件) 44導引孔46 擺動裝置具體實施方式
在圖1中展示了本發明的電子零件用電鍍夾具的一例。圖1是電子零件用電鍍夾具的概略剖面圖，在按規定間隔密封配列有將多個磁鐵30、30...的由樹脂構成的基臺32的一面側上，配設有片狀的供電部件34。
在該供電部件34的一面側上，作為接觸部件，由作為磁性體的不鏽鋼構成的球體36、36...以被對應的磁鐵30吸引的方式配設。各球體36、36...，其球面的一部分與供電部件34的表面接觸，並被電氣地連接。
配設有該球體36的供電部件34的一面側，除球體36配設的部分以及其附近之外，均由樹脂制的掩膜部件38覆蓋。即，在掩膜部件38上，在與各磁鐵30、30...對應的位置上穿設有配設球體36、36...的貫通孔40。
這樣，在配設在與配設於基板32的規定位置上的各磁鐵30、30...相對應的位置上的球體36上，圖5(a)所示的頭部10的引線16、16以及接地引線18的各前端被磁鐵30吸引。以將該引線16、16以及接地引線18可靠地向與其各前端相對應的球體36的方向導引的方式，將形成有多個導引孔44、44...的作為定位部件的導引板42配設在球體36、36...的上方。
在該導引板42上，在引線16、16以及接地引線18以三角形狀配設在頭部10上的情況下，如圖2所示，形成三角形的導引孔44、44...。在圖2所示的導引孔44中，引線16、16及接地引線18位於其各頂點附近，通過將頭部10的引線16、16以及接地引線18插入到導引孔44中，能夠可靠地將引線16、16以及接地引線18的各前端向球體36的方向導引。
插入到圖1所示的電子零件用電鍍夾具的導引板42的各導引孔44、44...中的頭部10的引線16、16以及接地引線18的各前端，通過導引孔44、44...的導引以及磁鐵30、30...的磁力，其前端部的一部分與對應的球體36的球面接觸。
在此，由於引線16、16以及接地引線18的各前端部的一部分所接觸的接觸面為球面，因此即便引線16、16以及接地引線18的長度多少有點不同，各前端部的一部分也能與接觸面接觸。因此，可緩和引線16、16以及接地引線18的長度管理的程度。
在對被裝載在圖1所示的電子零件用電鍍夾具上的、多個頭部10、10...的引線16、16以及接地引線18等的由金屬構成的各部件的露出面實施電解電鍍之際，將裝載了多個頭部10、10...的圖1所示的電子零件用電鍍夾具裝載在存儲了電解電鍍液的電鍍槽內，將該電子零件用電鍍夾具的供電部件34設為陰極，同時在與導引部件42相距規定距離的地方設置陽極(圖未示)。
接著，在該供電部件34與陽極之間通上直流電流，對裝載在電子零件用電鍍夾具上的頭部10、10...實施電解電鍍。通過該電解電鍍，可在頭部10、10...的各引線16、16、接地引線18以及基座12的露出面的整個面上形成鍍層。
這時，在引線16、16以及接地引線18的各前端部上，除了與球體36的球面接觸的接觸部分之外，在各前端部的大部分上也能夠形成鍍層。
在該電解電鍍的時候，頭部10、10...能夠在獨立狀態下實施電解電鍍，不會因為彼此碰撞而產生劃痕，也不會與其他的頭部10的引線16等絞纏在一起。因此在電解電鍍完成的時候，通過將各頭部10、10...從電子零件用電鍍夾具的導引板42上拔下，即可很容易地取出。
取出的各頭部10、10...，在引線16、16、接地引線18以及基座12的露出面的整個面上都能夠形成鍍層。
在圖所示的電子零件用電鍍夾具中，在電解電鍍的時候，在球體36、36...的球面上也形成了鍍層。因此，最好是定期更換球體36、36...。
另外，即便使用圖1所示的電子零件用電鍍夾具，在引線16、16以及接地引線18的各前端部中的與球體36的球面接觸的接觸部分上，也不會形成鍍層。
為此，通過使用圖3所示的電子零件用電鍍夾具，能夠在引線16、16以及接地引線18的各前端部的基本整個面上形成鍍層。
圖3所示的電子零件用電鍍夾具，由與圖1以及圖2所示的電子零件用電鍍夾具大體相同的部件構成。因此，在構成圖3所示的電子零件用電鍍夾具的部件與構成圖1所示的電子零件用電鍍夾具的部件為相同部件的情況下，在圖3中附加相同的標號並省略詳細的說明。
在圖3所示的電子零件用電鍍夾具中，作為定位部件的導引板42以可擺動的方式設置，由擺動裝置46沿箭頭A方向(圖3)擺動。通過該導引板42的擺動，引線16、16以及接地引線18的各前端部，被磁鐵30的磁力吸引在球體36的球面上，並且以各前端部的不同部分與球體36的球面接觸的那樣進行擺動。因此，在引線16、16以及接地引線18的各前端部中，不同部分輪流成為與球體36的球面接觸的接觸部分，因而通過向引線16、16以及接地引線18供電，就可在各前端部的基本整個面上形成鍍層。
進而，由於與導引板42的導引孔44的內壁面接觸的引線16、16以及接地引線18的接觸部分，也會藉助導引板42的擺動而離開，因此能夠在引線16、16以及接地引線18的外周面上均勻地形成鍍層。
另外，在圖1以及圖3所示的電子零件用電鍍夾具中，最好是將導引板42設為金屬制，並將導引板42作為向引線16、16以及接地引線18供電的供電部件來使用。
這樣，通過將導引板42作為供電部件來使用，即便引線16、16以及接地引線18的前端部的任何一個從球體36的球面離開，也可從導引板42供電，能夠可靠地向引線16、16以及接地引線18供電。
雖然作為圖1以及圖3所示的電子零件用電鍍夾具的接觸部件使用了球體36，但也可是半球狀，還可使用圖4所示的接觸部件50。
圖4(a)所示的接觸部件50是在金屬制的板狀體52的規定部位上以規定間隔形成有向一面側突出的半球體54、54...的部件。該半球體54、54...也可如圖4(b)所示那樣為中空狀的半球體54a、54a...。
另外，作為接觸部件50，還可如圖4(c)那樣，為在板狀體52的規定部位上向一面側開口的半球狀的凹部54b、54b...。
再者，在圖4所示的板狀體52的平坦面上，覆蓋著樹脂制的掩膜部件38。
另外，電子零件用電鍍夾具的接觸部件不限於上述半球狀，只要至少引線16、16以及接地引線18所接觸的面是具有一個曲率半徑的曲面即可。
權利要求
1.一種電子零件用電鍍夾具，它是使包括基座和接地引線的多個電子零件各自定位、對由形成前述電子零件的金屬所構成的各部件的露出面的整個面實施電解電鍍的電子零件用電鍍夾具，其中所述的基座通過玻璃等絕緣材料密封著被插入到形成在金屬制部件的平坦部上的貫通孔內的引線，所述的接地引線一端部與前述金屬制部件的一面側相接合；其特徵在於具備供電部件，被配設在基臺的一面側上，該基臺以使形成該各電子零件的向基座的一面側突出的引線以及接地引線的各前端被吸引的方式，以規定間隔密封配設有多個磁鐵；接觸部件，與前述供電部件相連接，由以可與被前述各磁鐵所吸引的構成電子零件的引線以及接地引線的各前端部的一部分接觸的那樣形成為曲面的磁性體構成；以及定位部件，形成有將構成前述各電子零件的引線以及接地引線的各前端向對應的前述接觸部件的曲面導引的導引孔。
2.如權利要求1所述的電子零件用電鍍夾具，其中接觸部件是由磁性體構成的球體。
3.如權利要求1或2所述的電子零件用電鍍夾具，其中供電部件是片狀的供電部件，前述片狀的供電部件的表面，除配設接觸部件的部分以外均由掩膜部件覆蓋。
4.如權利要求1或2所述的電子零件用電鍍夾具，其中定位部件是金屬制的定位部件，前述定位部件還是向引線以及接地引線供電的供電部件。
5.如權利要求3所述的電子零件用電鍍夾具，其中定位部件是金屬制的定位部件，前述定位部件還是向引線以及接地引線供電的供電部件。
6.如權利要求1或2所述的電子零件用電鍍夾具，其中定位部件以可擺動的方式設置，並設置有以使構成各電子零件的引線以及接地引線的各前端部的不同部分與對應的接觸部件的曲面相接觸的方式使前述定位部件擺動的擺動裝置。
7.如權利要求3所述的電子零件用電鍍夾具，其中定位部件以可擺動的方式設置，並設置有以使構成各電子零件的引線以及接地引線的各前端部的不同部分與對應的接觸部件的曲面相接觸的方式使前述定位部件擺動的擺動裝置。
8.如權利要求4所述的電子零件用電鍍夾具，其中定位部件以可擺動的方式設置，並設置有以使構成各電子零件的引線以及接地引線的各前端部的不同部分與對應的接觸部件的曲面相接觸的方式使前述定位部件擺動的擺動裝置。
9.如權利要求5所述的電子零件用電鍍夾具，其中定位部件以可擺動的方式設置，並設置有以使構成各電子零件的引線以及接地引線的各前端部的不同部分與對應的接觸部件的曲面相接觸的方式使前述定位部件擺動的擺動裝置。
10.如權利要求1或2所述的電子零件用電鍍夾具，其中電子零件用電鍍夾具是對從基座的一面側突出的引線以及接地引線的根數為三根的電子零件實施電解電鍍的電子零件用電鍍夾具。
11.如權利要求3所述的電子零件用電鍍夾具，其中電子零件用電鍍夾具是對從基座的一面側突出的引線以及接地引線的根數為三根的電子零件實施電解電鍍的電子零件用電鍍夾具。
12.如權利要求4所述的電子零件用電鍍夾具，其中電子零件用電鍍夾具是對從基座的一面側突出的引線以及接地引線的根數為三根的電子零件實施電解電鍍的電子零件用電鍍夾具。
13.如權利要求5所述的電子零件用電鍍夾具，其中電子零件用電鍍夾具是對從基座的一面側突出的引線以及接地引線的根數為三根的電子零件實施電解電鍍的電子零件用電鍍夾具。
14.如權利要求6所述的電子零件用電鍍夾具，其中電子零件用電鍍夾具是對從基座的一面側突出的引線以及接地引線的根數為三根的電子零件實施電解電鍍的電子零件用電鍍夾具。
15.如權利要求7所述的電子零件用電鍍夾具，其中電子零件用電鍍夾具是對從基座的一面側突出的引線以及接地引線的根數為三根的電子零件實施電解電鍍的電子零件用電鍍夾具。
16.如權利要求8所述的電子零件用電鍍夾具，其中電子零件用電鍍夾具是對從基座的一面側突出的引線以及接地引線的根數為三根的電子零件實施電解電鍍的電子零件用電鍍夾具。
17.如權利要求9所述的電子零件用電鍍夾具，其中電子零件用電鍍夾具是對從基座的一面側突出的引線以及接地引線的根數為三根的電子零件實施電解電鍍的電子零件用電鍍夾具。
18.一種電解電鍍裝置，其特徵在於，將裝載在存儲有電解電鍍液的電鍍槽內的權利要求1所述的電子零件用電鍍夾具的供電部件設為陰極，在與前述電子零件用電鍍夾具的定位部件相距規定距離的地方設置有陽極。
全文摘要
本發明提供一種可緩和對電子零件引線及接地引線的長度管理，且可在各引線的前端部上形成鍍層的電子零件用電鍍夾具。該電子零件用電鍍夾具，可使包括基座和接地引線18的多個電子零件10各自定位、並對由形成電子零件10的金屬構成的各部件實施電解電鍍，該基座由絕緣材料密封著插入到金屬制部件的貫通孔內的引線16、16，接地引線18一端部與金屬制部件的一面側接合；其還具備供電部件34，其被配設在密封配設有多個磁鐵30、30...而吸引各引線的基臺32上；球體36、36...，其與供電部件34相連，由磁性體構成，具有與各引線前端部的一部分接觸的球面；以及形成有將各引線向對應的球體36導引的導引孔44的導引板42。
文檔編號C25D17/00GK1621573SQ200410086028
公開日2005年6月1日 申請日期2004年10月22日 優先權日2003年11月5日
發明者神通川泉, 林英信, 青木利幸 申請人:新光電氣工業株式會社