半導體測試裝置及其監視裝置的製作方法
2023-09-19 19:26:40
專利名稱：半導體測試裝置及其監視裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及半導體測試裝置及其監視裝置以及篩選裝置，它分別監視繼電器的動作次數等測試履歷並且容易維護。
背景技術：
參照圖5-圖7說明以往技術例子的構成和動作。
首先說明半導體測試裝置的概要構成例子。
如圖7所示，半導體測試裝置由以下部分構成工作站10；主機20；測試頭30；性能特性測試臺80；IC插座90。
工作站10成為連接半導體測試裝置和人之間的輸入輸出裝置。
主機20，內置有半導體測試裝置的電源單元、測試處理器和各測試組件等。
測試頭30，內置有多個與測試通道數對應的電子線路的插腳式電子設備40的基板。
性能特性測試臺80，安裝對應被測定器件的IC插座90，是可以更換安裝進行測試的被測定器件(以下，稱為DUT)的測試臺。
IC插座90，是與DUT91的管腳數和封裝對應的插座。
以下，參照圖5的方框圖說明半導體測試裝置的測試方法。
但是，為了使圖簡單，展示測試通道數是一個通道的情況，而在測試通道數是512個通道的情況下，插腳式電子設備40也是512通道。
在進行DC參數測試的施加電壓測定電流的情況下，假設繼電器S12斷開，繼電器S11接通，從直流測試器8中產生測試電壓，施加在DUT91的管腳上，測定流過的電流。
以下說明對DUT91的I/O管腳進行功能測試的情況。
在圖形發生器5中，與從定時發生器4中輸出的基準時鐘脈衝信號同步地產生邏輯數據。
在波形整形器6中，用來自圖形發生器5的邏輯數據、來自定時發生器4的時鐘脈衝信號，生成測試圖形。
在插腳式電子設備40中，假設繼電器S11、S13斷開，繼電器S12接通，測試圖形由驅動器D11放大到規定的電壓水平(VIH/VIL)，並輸出到DUT91的管腳。
另外，來自DUT91的管腳的輸出信號，把繼電器S11設置成斷開，把繼電器S13設置成接通，以電阻R1為終端，把繼電器S12設置成接通，用比較器C11比較電壓，作為邏輯信號輸出。
在邏輯比較器7中，在來自定時發生器4的選通脈衝信號的定時，邏輯比較來自DUT91的邏輯輸出信號和來自圖形發生器5的期待值，進行通過/失敗判定。
以下，參照圖6說明插腳式電子設備40的繼電器控制和各測試電路控制的一例。
但是，繼電器S11-S1n，假設是插腳式電子設備的全部通道的所有繼電器。
如圖6所示，控制用的測試處理器2，控制單元3，定時發生器4，圖形發生器5，波形整形器6，邏輯比較器7，直流測試器8等的測試電路被連接在測試總線200上控制。
測試總線200，例如由8位數據，時鐘脈衝等控制信號等構成，把32位數據以每8位劃分串行轉送。
控制單元3，由測試頭總線100提供給予插腳式電子設備40的驅動器D11的電壓水平(VIH/VIL)，給予繼電器控制電路31等的控制信號。
但是，圖6的方框圖，把控制單元3以外的部分作為一個單元顯示，但也可以合在一起或者分散構成電路。
繼電器控制電路31，產生控制某一通道的某個繼電器的信號。
繼電器S11-S1n，是由驅動器D21-D2n控制電磁線圈的接通/斷開，從而接通/斷開簧片的簧片繼電器等。
在此，繼電器S11-S1n的個數，例如是512通道，如果一個通道使用3個，則合計是1536個。
因為插腳式電子設備的種類是3-8個，所以實際使用的繼電器的個數非常多。
另一方面，繼電器S11-S1n，有在接點不通電的幹狀態下接通/斷開的情況，和在接點通電的溼狀態下接通/斷開的情況。
一般，繼電器S11-S1n，因壽命的原因在接點不通電的幹狀態下接通/斷開，而根據測試目標也可以在使接點通電的溼狀態下接通/斷開。
以下，說明半導體測試裝置的維護。
半導體測試裝置，使用簧片繼電器、電機等有使用壽命的零件、隨時間而性能下降的電容器等。
因此，例如為了檢查繼電器的動作次數，把接通/斷開控制信號連接在計數器1上累計。
但是，根據測試程序，每個繼電器有不同接通/斷開的次數，由於在幹狀態和溼狀態下接通/斷開的不同壽命有差異，而且繼電器數又很多，因而很難掌握繼電器更換時期。
發明內容
如上所述，以往的半導體實驗裝置，由於不能分別掌握有使用壽命的零件、因時效性而性能下降的零件等的動作，因而維護困難。
因而，本發明就是鑑於這樣的問題而提出的，其目的在於提供一種半導體測試裝置及其監視裝置，它可以根據總線的控制數據分別監視繼電器的動作次數等的測試履歷。
另一方面，從測試總線中取出監視信息的檢索，雖然用以往的軟體進行，但除了計算機檢索處理的時間外，把測試數據取入到計算機中直到輸出檢索結果的時間需要10μs。
因此，即使使用非常高速的計算機，在以往的方法中也不容易縮短檢索時間。
因而，本發明進一步提供可以從測試總線信息中高速檢索監視信息的篩選裝置。
即，為了實現上述目的完成本發明的第一項的半導體測試裝置設置有存儲裝置，寫入控制信號；解析裝置，解析從該存儲裝置讀出的信號信息；壽命預測裝置，用從該解析裝置中得到的解析信息進行有壽命零件的壽命預測。
另外，為了實現上述目的完成的本發明第二項的半導體測試裝置，其特徵在於在上述半導體裝置中具備存儲裝置，寫入控制信號；解析裝置，解析從該存儲裝置讀出的信號信息，可以監視測試履歷。
另外，為了實現上述目的完成的本發明第三項的半導體測試裝置，其特徵在於設置有存儲裝置，寫入控制信號；篩選裝置，用檢索數據檢索從該存儲裝置讀出的信號的信息；解析裝置，解析用該篩選裝置檢索出的信號信息；壽命預測裝置，用從該解析裝置中得到的解析信息進行有壽命零件的壽命預測。
另外，為了實現上述目的完成的本發明第四項的半導體測試裝置，在用總線信號控制各測試電路進行被測定器件測試的半導體測試裝置中，其特徵在於設置，多個緩衝存儲器，寫入上述總線的信號信息；計算機，讀出該多個緩衝存儲器的信號信息作為文件保存、解析，可以監視測試履歷。
另外，為了實現上述目的完成的本發明第五項的半導體測試裝置，在用總線信號控制各測試電路進行被測定器件測試的半導體測試裝置中，其特徵在於設置，第一緩衝存儲器，寫入或者讀出上述總線的信號信息；第二緩衝存儲器，寫入或者讀出上述總線的信號信息；
第一切換裝置，切換到第一緩衝存儲器或者第二緩衝存儲器，交替連接總線信號；第二切換裝置，在該第一切換裝置切換到第一緩衝存儲器時，選擇第二緩衝存儲器，在該第一切換裝置切換到第二緩衝存儲器時，選擇第一緩衝存儲器，並輸出讀出的信號；計算機，把用該第二切換裝置交替選擇轉送的緩衝存儲器的信號信息作為文件保存、解析，可以根據該文件監視測試履歷。
另外，為了實現上述目的完成的本發明第六項是，在本發明的第三、第四或者第五項所述的半導體測試裝置中，所監視的測試履歷是繼電器動作的累計值。
另外，為了實現上述目的完成的本發明的第七項的特徵在於在本發明的第六項所述的半導體測試裝置中，所監視的測試履歷是繼電器的溼狀態以及幹狀態的動作累計值。
另外，為了實現上述目的完成的本發明的第八項的特徵在於在本發明第六或第七項所述的半導體測試裝置中，在繼電器動作的累計值中設置限定值，並警告顯示。
另外，為了實現上述目的完成的本發明第九項的特徵在於在本發明第三、四或者五所述的半導體測試裝置中，設置只使總線信號信息中的規定的信號信息通過的篩選裝置，輸出到緩衝存儲器。
另外，為了實現上述目的完成的本發明的第十項半導體測試裝置的監視裝置，其特徵在於設置，緩衝存儲器，寫入半導體測試裝置的控制信號信息；計算機，把該緩衝存儲器的信號信息作為文件保存、解析，可以監視測試履歷。
另外，為了實現上述目的完成的本發明第十一項的半導體測試裝置的監視裝置，其特徵在於設置，多個緩衝存儲器，連接在控制半導體測試裝置的測試電路的總線上，交替寫入該總線的信號信息；
計算機，交替讀出該多個緩衝存儲器的信號信息，作為文件保存、解析，可以監視測試履歷。
另外，為了實現上述目的完成的本發明第十二項的半導體測試裝置的監視裝置，其特徵在於與控制半導體測試裝置的測試電路的總線連接，設置第一緩衝存儲器，寫入或者讀出該總線的信號信息；第一切換裝置，切換到第一緩衝存儲器或者第二緩衝存儲器，交替連接總線的信號；第二切換裝置，在該第一切換裝置被切換到第一緩衝存儲器時選擇第二緩衝存儲器，在該第一切換裝置被切換到第一緩衝存儲器時選擇第一緩衝存儲器，並輸出被讀出的信號；計算機，把用該第二切換裝置交替選擇轉送的緩衝存儲器的信號信息，作為文件保存、解析，可以根據該文件監視測試履歷。
另外，為了實現上述目的完成的本發明的第十三項的特徵在於在第十、十一或者十二所述的半導體測試裝置的監視裝置中，所監視的測試履歷是繼電器動作的累計值。
另外，為了實現上述目的完成的本發明的第十四項的特徵在於在本發明的第十三項所述的半導體測試裝置的監視裝置中，所監視的測試履歷是繼電器的溼以及幹動作累計值。
另外，為了實現上述目的完成的本發明的第十五項的特徵在於在本發明的第十三項或者十四項所述的半導體測試裝置的監視裝置中，在繼電器動作的累計值中設置限定值，並警告顯示。
另外，為了實現上述目的完成的本發明的第十六項的特徵在於在本發明的第十、十一或者十二項所述的半導體測試裝置的監視裝置中，設置只使來自總線信號信息中的規定的信號信息通過的篩選裝置，輸出到緩衝存儲器。
另外，為了實現上述目的完成的本發明的第十七項的半導體測試裝置的監視裝置，其特徵在於在控制多個繼電器進行被測器件的測試的半導體測試裝置中，在使上述繼電器的接點通電的溼狀態下的接通/斷開次數，以及在使接點不通電的幹狀態下的接通/斷開次數，被存儲在存儲裝置中，並解析測試履歷。
另外，為了實現上述目的完成的本發明的第三項中所述的篩選裝置的特徵在於設置，存儲裝置，存儲檢索數據；數據比較裝置，比較該存儲裝置的檢索數據和輸入數據；地址發生裝置，根據比較結果發生地址，採用對分檢索輸出檢索結果。
另外，為了實現上述目的完成的本發明的第三項中所述的篩選裝置的特徵在於存儲檢索數據的存儲裝置，是存儲比檢索數據的個數大，並且最接近2的n次冪值的寄存器。
另外，為了實現上述目的完成的本發明的第三項中所述的篩選裝置的特徵在於進一步具備定時發生裝置，接受檢索起動信號，發生檢索定時信號。
另外，為了實現上述目的完成的本發明的第三項中所述的篩選裝置的特徵在於地址發生裝置具備全加法器，接受數據比較裝置的比較結果，進行加算或者1的補數加法運算；寄存器，保持運算結果。
另外，為了實現上述目的完成的本發明的第三項中所述的篩選裝置的特徵在於設置，緩衝存儲器，取入半導體測試裝置的測試總線的信號；門電路，分別接受該緩衝存儲器輸出的地址總線信號和數據總線信號，把選通輸出轉送到計算機，把緩衝存儲器輸出的地址信號作為輸入數據接受，把通過對分檢索，表示檢索成功的標誌的通知信號作為上述門電路的選通信號。
附圖簡述
圖1是本發明的半導體測試裝置的方框圖。
圖2是本發明的半導體測試裝置讀出信息數據的圖。
圖3是本發明的半導體測試裝置的流程圖。
圖4是本發明的半導體測試裝置的緩衝存儲電路圖。
圖5是半導體測試裝置的測試信號系統的方框圖。
圖6是以往的半導體測試裝置的方框圖。
圖7是半導體測試裝置的概要構成圖。
圖8是本發明的篩選裝置的方框圖。
圖9是本發明的篩選裝置的使用例子的方框圖。
圖10是對分檢索的動作例子的說明圖。
圖11是以往的對分檢索的基本流程圖。
具體實施例方式
參照圖1-圖4說明本發明的實施例的構成和動作。
有關半導體測試裝置的概要構成例子和以往一樣，因為在以往技術中已說明固而省略說明。
另外，因為半導體測試裝置的測試方法也和以往一樣，因而省略說明。
首先，參照圖1的例子說明插腳式電子設備40的繼電器控制、各測試電路組件的控制信號。
如圖1所示，所控制的測試處理器2，控制單元3，定時發生器4，圖形發生器5，波形整形器6，邏輯比較器7，直流測試器8被連接在和以往一樣的測試總線200上控制。
另外，由繼電器控制電路31對繼電器S11-S1n的控制，因為除了去掉了計數器1以外和以往相同，固而省略動作說明。
而後，在本實施例的半導體測試裝置的構成中，追加被連接在測試總線200上的緩衝存儲電路50、用總線300連接的計算機70。
計算機70，是通過總線接口把外部數據保存為文件，用軟體進行數據解析顯示的個人電腦等的解析裝置。
以下，參照圖4說明緩衝存儲電路50的構成和各動作。
如圖4所示，緩衝存儲電路50，由總線接口57、58；「與」門51-54；「或」門56；緩衝存儲控制電路60；緩衝存儲器61、62；地址計數器63、64構成。
總線接口57，是用於連接測試總線200取入信號信息的接口。
總線接口58，是連接計算機70轉送信號信息的總線接口。
「與」門51、52，是用來自緩衝存儲控制電路60的寫入選擇信號(Write Select)，把來自測試總線200的信號信息切換到緩衝存儲器61緩衝存儲器62的切換裝置。
「與」門53、54，是用來自緩衝儲存儲控制電路60的讀出選擇信號(Read Select)，切換輸出取入到緩衝存儲器61或者緩衝存儲器62中的數據的切換裝置。
「或」門56，取「與」門53、54的輸出以「或」方式，輸出到總線接口58。
緩衝存儲器61、62，是用來自緩衝控制電路60的讀/寫信號(R/W)，讀出/寫入地址計數器63、64的指定地址(Address)的存儲等的存儲裝置，例如設置成2MB容量。
緩衝存儲器61、62的存儲器容量，由測試總線200的轉送速度、總線300的轉送速度的關係決定。
緩衝控制電路60，接受測試總線的同步時鐘脈衝，作為對緩衝存儲器61、62的寫入同步信號，輸出AND門51、52的切換信號(Write Select)；輸出讀/寫緩衝存儲器61、62的信號(R/W)；輸出推進地址計數器63、64的地址的時鐘脈衝；輸出AND門53、54的切換信號(Read Select)。
以下，說明對緩衝存儲器61、62的寫入/讀出的交替選擇動作的定時。
緩衝存儲器61從寫入切換到讀出的定時，在緩衝存儲器62的讀出結束，並且緩衝存儲器61為全寫入，從地址計數器63發生寫入的借位信號(Borrow)時進行。
緩衝存儲器62從讀出切換到寫入的定時，在緩衝存儲器62的讀出結束，並且緩衝存儲器61為全寫入，從地址計數器63發生寫入的借位信號(Borrow)時進行。
緩衝存儲器61從讀出切換到寫入的定時，在緩衝存儲器61的讀出結束，並且緩衝存儲器62為全寫入，從地址計數器64發生寫入的借位信號(Borrow)時進行。
緩衝存儲器62從寫入切換到讀出的定時，在緩衝存儲器61的讀出結束，並且緩衝存儲器62為全寫入，從地址計數器64發生寫入的借位信號(Borrow)時進行。
取入緩衝電路50中的信息數據，被連續讀出，由總線轉送到計算機70。
轉送到計算機70的信息數據，例如如圖2所示，是以每2MB交替選擇緩衝存儲器61和緩衝存儲器62讀出的，32位(半字)的地址和32位(半字)的32位/字的連續數據。
而後，把被轉送到計算機70中的信息數據文件化，解碼處理計算機字變換為容易理解的表現形式，並進行結果的顯示和警告顯示等。
以下，用具體例子說明本發明的監視半導體測試裝置的測試履歷的方法。
當在圖1和圖5所示的繼電器S11的動作次數中設置限定值並顯示警告的情況下，參照圖3的流程圖用以下的各條說明。
(1)如果半導體測試裝置運行，則進入步驟410，如果不運行則結束(步驟400)。
(2)讀32位(半字)的地址(步驟410)。
(3)如果在已讀的地址中有繼電器的信息則進入步驟430，如果沒有則進入步驟421(步驟420)。
(4)空送數據的半字後返回步驟400(步驟421)，該數據的半字是接著地址半字的。
(5)讀接著地址的32位(半字)的數據的信息(步驟430)。
(6)如果繼電器S11的控制數據接通則進入步驟460，如果未接通則返回步驟400(步驟400)。
(7)如果在繼電器S11接通之前的控制數據未接通則進入步驟470，如果在接通以前的控制數據接通則返回步驟400(步驟460)。
(8)如果直流測試器8(UDC)處於通電中則進入步驟480，如果不在通電中則進入步驟481。
(9)使累計計數繼電器S11的溼動作次數的計數器增加1(步驟480)。
(10)使累計計數繼電器S11的幹動作次數的計數器增加1(步驟481) 。
(11)如果繼電器S11的溼計數器的累計值在限定值以上則進入步驟500，如果未超過限定值則返回步驟400(步驟490)。
(12)如果繼電器S11的「幹」計數器的累計值在限定值以上則進入步驟500，如果未超過限定值則返回步驟400(步驟490)。
(13)進行繼電器S11分別超過溼或者幹狀態的限定值的警告顯示(步驟500)通過上述步驟，即使是由於在幹狀態或者溼狀態下的接通/斷開不同而在壽命上存在差異的簧片繼電器，因為可以分別各自監視，可以很容易掌握更換時期。
另外，圖3的流程圖說明了繼電器11的情況，但因為在取入到計算機70的信息數據的文件中，包含半導體測試裝置的各種測試履歷信息，所以其它全部的繼電器S12-S1n的履歷信息也同樣可以分別警告顯示或者監視其動作次數。
進而，也可以解析半導體測試裝置的履歷信息，根據運行狀況進行繼電器的壽命預測。
進而，因為取得並解析電機的動作時間、電容器的紋波等的履歷信息並顯示在顯示器上，所以根據所得到的解析結果可以分別進行壽命零件的壽命預測和保養管理等。
雖然說明的是作為可以監視測試履歷信息的半導體測試裝置，但也可以在以往的半導體測試裝置上，連接由緩衝存儲電路50和計算機70構成的監視裝置，得到測試履歷信息。
另外，因為在測試總線200中也包含有作為測試履歷信息不需要的信息，所以通過在寫入緩衝存儲器之前設置預先篩選掉不需要信息的信號的篩選裝置，就可以減少作為存儲裝置的緩衝存儲器的容量。
進而，因為本發明的半導體測試裝置的履歷信息的監視裝置，是從測試總線中獨立取出方式的裝置，所以可以在不影響半導體測試裝置的總處理能力的情況下實施。
另外，不需要改變以往的器件測試程序和半導體測試裝置的操作就可以實施。
對從半導體測試裝置的測試總線信息中檢索輸出監視信息等的篩選裝置加以說明。
本發明的篩選裝置，用硬體構成實現以往採用軟體的對分檢索的檢索。
因此，本發明的篩選裝置的動作，因為與軟體的動作對應，所以先說明採用軟體的對分檢索的檢索方法。
首先，參照圖10說明為了進行對分檢索的前處理。
檢索哪個數據，需要預先用計算機進行前處理，在存儲裝置的存儲器等(例如，D寄存器)中作為檢索數據存儲。
為了說明簡單，檢索數據例如設置成十進位的14個(1，3，5，……25，28)數值。
把數據作為數值，從數值大的數據向數值小的數據按照降序排列替換(28，25，……5，3，1) 。
另外，求比檢索數據的個數14大，並且最接近2的n次冪的nMAX。
這種情況下，n＝4，nMAX＝16。
在此，設存儲器(D寄存器)的地址J，從1至nMAX，把地址J的數據表示為D[J]。
進而，如圖10所示，從存儲器(D寄存器)的最後的地址J＝16中，從數值大的一方開始下載14個檢索數據。
以下，參照圖11的流程圖用以下各條說明採用軟體的對分檢索的動作。
另外，把檢索數據設置成11，用輸入數據S＝11的具體例子說明。
設J＝K＝nMAX，設初始值N＝0(步驟510)。
具體例子，J＝16，K＝8，另外n＝4。
如果N不比n大則進入步驟530，如果N比n大則進入步驟521(步驟520)。
在具體例子中，因為n＝4，所以在N＝4以下時進入步驟530。N＝5時進入步驟512。
取K的1/2作為K(步驟530)。
在具體例子中，在N＝0時，如果取K＝16的1/2，則K＝8。
在N＝1時，如果取K＝8的1/2，則K＝4。
在N＝2時，如果取K＝4的1/2，則K＝2。
在N＝3時，如果取K＝2的1/2，則K＝1。
比較存儲器的最後的D[J]和檢索數據S，在D[J]＞S時進入步驟541，在D[J]＜S時進入步驟542，在D[J]＝S時進入步驟550(步驟540)。
在具體例子中，在N＝0時，因為J＝16，D[16]＝28，所以D[16]＞11，進入步驟541。
在N＝1時，因為J＝8，D[8]＝10，所以D[8]＜11，進入步驟542。
在N＝2時，因為J＝12，D[12]＝20，所以D[12]＞11，進入步驟541。
在N＝3時，因為J＝10，D[10]＝13，所以D[10]＞11，進入步驟541。
在N＝4時，因為J＝9，D[9]＝11，所以D[9]＝11，進入步驟550。
在D[J]＞S時，從J中減去K作為J(步驟541)。
在具體的例子中，在N＝0時，因為J＝16，K＝8，所以變為J＝8。
在N＝2時，因為J＝12，K＝2，所以變為J＝10。
在N＝3時，因為J＝10，K＝1，所以變為J＝9。
在D[J]＜S時，加算J和K作為J(步驟542)。
在具體例子中，在N＝1時，因為J＝8，K4，所以J＝12。
在N上加上1作為N，返回步驟520，進行循環處理(步驟543)。
在具體例子中，在N＝0時，加算1設置成N＝1，返回步驟520。
在N＝1時，加算1設置成N＝2，返回步驟520。
在N＝2時，加算1設置成N＝3，返回步驟520。
在N＝3時，加算1設置成N＝4，返回步驟520。
在D[J]＝S時，輸入數據和檢索數據一致，檢索成功，進入以下的步驟(步驟550)。
在具體的例子中，在N＝4時，輸入數據的11和存儲器的數據D[9]＝11一致，檢索成功。
在步驟520中當不是N≤n時，因為輸入數據和檢索數據不一致，所以檢索不成功進入以下的步驟(步驟521)。
在具體的例子中，在N＝5時檢索不成功，進入以下的步驟。
以下，參照圖8和圖10對涉及本發明的硬體構成的篩選裝置說明上述的二進位檢索的構成和動作。
如圖8所示，本發明的篩選裝置，主要構成有檢索數據存儲單元41；數據比較單元42；EQ寄存器43；定時發生單元44；nMAX寄存器45；地址發生單元46。
檢索數據存儲單元41，是可以寫入讀出的存儲器等的存儲裝置。
數據比較單元42，是輸出數據的數值比較結果的比較器等的比較裝置。
EQ寄存器43，是存儲2個數據一致時的結果，並輸出標誌的寄存器。
定時發生單元44，例如，用從數ns到數10ns的延時元件和邏輯元件和寄存器等構成，進行寄存器的初始化、地址栓鎖的定時控制，以及數據比較單元的控制等。
NMAX寄存器45，是存儲比檢索數據的個數大，並且最接近2的n次冪值的寄存器。
地址發生單元46，由K寄存器47、全加法器48、J寄存器49、門元件等構成，發生地址。
以下，用和上述以往情況相同的例子，說明用於通過篩選裝置進行檢索的前處理的動作。
檢索哪個數據的檢索數據，需要預先用計算機進行前處理，並通過總線330存儲在存儲裝置的檢索數據存儲單元41中。
例如，為了說明簡單，檢索數據設置成10進位數的14個(1，3，5，……25，28) 。
作為數據數值，從數值大的數據向小的數據以降序排列替換(28，25，……5，3，1) 。
另外，求比檢索數據的個數14大，並且最接近2的n次冪的nMAX。
這種情況下，n＝4，nMAX＝16，預先從計算機存儲在定時發生單元44的寄存器、nMAX寄存器45中。
進而，如圖10所示，從檢索數據存儲單元41的最後的地址J＝16開始，從數值大的一方下載存儲14個檢索數據。
用以下的各條說明圖8所示的本發明的篩選裝置的對分檢索的動作。
(1)輸入數據，經由總線320作為數據比較單元42的S輸入確定。
(2)從外部計算機等中向定時發生單元44發送檢索開始信號。
(3)在定時發生單元44的定時，經由地址總線350，用nMAX的值初始化J寄存器49、K寄存器47。
(4)從檢索數據存儲單元41，讀出在J寄存器49中指定的地址J的數據D[J]。
(5)在數據比較單元42中，比較讀出的數據D[J]、輸入數據S。
(6)在數據比較單元42的比較結果D[J]＞S時，在全加法器48中執行J＝J+K。
(7)在數據比較單元42的比較結果D[J]＜S時，在全加法器48中執行J＝J-K。
但是，因為用全加法器48不能直接加算，所以J＝J-K的運算，作為相對K的1的補數加算在J上(J＝J+(/K+1))。
運算結果的地址J，轉送到J寄存器49。
(8)數據比較單元42的比較結果，如果D[J]＜S並且D[J]＞S，即D[J]＝S，則檢索成功，從EQ寄存器43向下一處理電路通知檢索成功標誌，並等待下一檢索開始信號。
(9)根據來自定時發生單元44的移位信號，每次使K寄存器47向右移一位，執行K＝K/2。
(10)使定時發生單元44內的寄存器偏移1位，執行N＝N+1。
(11)以下，在N比n大之前，重複從(4)至(10)的循環。
(12)如果N比n大，則通知下一個處理電路檢索不成功，等待下一個檢索開始信號。
通過使用上述說明的本發明的篩選裝置進行檢索，就可以縮短從檢索數據到輸出檢索結果的時間。
例如，從2的19次冪的數據群的檢索到檢索完成的時間，在採用以往的軟體的方法中，是把檢索數據取入計算機，把檢索結果通知外部電路的時間的合計，需要10μs，但通過使用本發明的篩選裝置可以縮短為1.5μs。
以下，參照圖9說明在半導體測試裝置的監視裝置中，追加本發明的篩選裝置進行高速數據處理的構成和方法。
如圖9所示，在半導體測試裝置的測試總線200上連接緩衝存儲電路50，經由本發明的篩選裝置71和計算機70連接。
另外，還設置門電路59，它接受地址信號的總線320信號和數據總線信號的總線310信號，把各個選通輸出轉送到計算機70。
在此，從計算機70中，經由總線330把檢索數據，經由總線340把地址總線信號，分別轉送到篩選裝置71的檢索數據存儲單元41。
另外，把篩選裝置71的檢索成功的標誌的通知信號，作為上述門電路59的選通信號。
而後，緩衝存儲電路50輸出的地址總線信號，作為本篩選裝置中的輸入數據，從總線320取入。
因此，緩衝存儲電路50的輸出，通過篩選裝置71，只把和檢索數據一致的地址和該地址數據，從門電路59輸出到計算機70。
因而，計算機70，因為可以採用篩選裝置71預先篩選得到規定的數據作為檢索數據，所以可以高速地進行數據總線信息的解析處理。
本發明以上述那樣的實施形態實施，可以起到以下的效果。
即，在取入到計算機70中的信息數據的文件中，因為已包含半導體測試裝置的履歷信息，所以具有分別警告顯示並監視繼電器等履歷信息的效果。
另外，即使是由於在幹狀態和溼狀態下的接通/斷開不同而存在壽命差異的簧片繼電器，因為可以分別監視，所以更換時期的掌握容易，還可以減少保養的費用。
進而，因為還可以解析在半導體測試裝置中使用的電機的動作時間、電容器的紋波等的測試履歷信息並分別顯示，所以具有壽命零件的保養管理容易的效果。
另外，通過採用篩選裝置，具有可以用檢索數據高速檢索輸入數據並輸出的效果。
進而，通過在半導體測試裝置的監視裝置中追加篩選裝置，可以進行數據總線信息的高速解析。
權利要求
1.一種半導體測試裝置，設置有存儲裝置，寫入控制信號；解析裝置，解析從該存儲裝置中讀出的信號信息；壽命預測裝置，用通過該解析裝置得到的解析信息，進行有壽命零件的壽命預測。
2.一種半導體測試裝置，設置有存儲裝置，寫入控制信號；解析裝置，解析從該存儲裝置中讀出的信號信息，可以監視測試履歷。
3.一種半導體測試裝置，設置有存儲裝置，寫入控制信號；篩選裝置，用檢索數據檢索從該存儲裝置讀出的信號信息；解析裝置，解析用該篩選裝置檢索到的信號信息；壽命預測裝置，用從該解析裝置得到的解析信息進行壽命零件的壽命預測。
4.一種半導體測試裝置，在用總線信號控制各測試電路進行被測定器件測試的半導體測試裝置中，設置有多個緩衝存儲器，寫入上述總線的信號信息；計算機，讀出該多個緩衝存儲器的信號信息作為文件保存、解析。
5.一種半導體測試裝置，在用總線信號信息控制各測試電路進行被測定器件的測試的半導體測試裝置中，設置有第一緩衝存儲器，寫入或者讀出上述總線的信號信息；第二緩衝存儲器，寫入或者讀出上述總線的信號信息；第一切換裝置，切換到第一緩衝存儲器或者第二緩衝存儲器，交替連接總線的信號；第二切換裝置，在該第一切換裝置被切換到第一緩衝存儲器時，選擇第二緩衝存儲器，在該第一切換裝置被切換到第二緩衝存儲器時，選擇第一緩衝存儲器，並輸出被讀出的信號；計算機，把用該第二切換裝置交替選擇並轉送的緩衝存儲器的信號信息作為文件保存、解析，可以根據該文件監視測試履歷。
6.根據權利要求3、4或者5所述的半導體測試裝置，被監視的測試履歷是繼電器動作的累計值。
7.根據權利要求6所述的半導體測試裝置，被監視的測試履歷是繼電器的溼以及幹動作的累計值。
8.根據權利要求6或者7所述的半導體測試裝置，在繼電器動作的累計值中設置限定值，並警告顯示。
9.根據權利要求3、4或者5所述的半導體測試裝置，設置篩選裝置，它只使總線信號信息中的規定的信號信息通過，並輸出到緩衝存儲器。
10.一種半導體測試裝置的監視裝置，設置有緩衝存儲器，寫入半導體測試裝置的控制信號信息；計算機，把該緩衝存儲器的信號信息作為文件保存並解析，可以監視測試履歷。
11.一種半導體測試裝置的監視裝置，設置有多個緩衝存儲器，被連接在控制半導體測試裝置的測試電路的總線上，替寫入該總線的信號信息；計算機，交替讀出該多個緩衝存儲器的信號信息，作為文件保存並解析，可以監視測試履歷。
12.一種半導體測試裝置的監視裝置，設置有被連接在控制半導體測試裝置的測試電路的總線上的第一緩衝存儲器，用於寫入或者讀出上述總線的信號信息；第二緩衝存儲器，用於寫入或者讀出上述總線的信號信息；第一切換裝置，用於切換到第一緩衝存儲器或者第二緩衝存儲器，交替連接總線的信號；第二切換裝置，在該第一切換裝置被切換到第一緩衝存儲器時，選擇第二緩衝存儲器，在該第一切換裝置被切換到第一緩衝存儲器時，選擇第一緩衝存儲器，並輸出被讀出的信號；計算機，把用該第二切換裝置交替選擇並轉送的緩衝存儲器的信號信息作為文件保存、解析，可以根據該文件監視測試履歷。
13.根據權利要求10、11或者12所述的半導體測試裝置的監視裝置，被監視的測試履歷是繼電器動作的累計值。
14.根據權利要求13所述的半導體測試裝置的監視裝置，被監視的測試履歷是繼電器的溼以及幹動作的累計值。
15.根據權利要求13或者14所述的半導體測試裝置的監視裝置，在繼電器動作的累計值中設置限定值，並警告顯示。
16.根據權利要求10、11或者12所述的半導體測試裝置的監視裝置，設置有篩選裝置，只使總線信號信息中規定的信號信息通過，並輸出到緩衝存儲器。
17.一種半導體測試裝置的監視裝置，在控制多個繼電器進行被測定器件的測試的半導體測試裝置中，在存儲裝置中保存在使上述繼電器的接點通電的溼狀態下的接通/斷開次數、使接點不通電的幹狀態下的接通/斷開次數，解析測試履歷。
全文摘要
本發明提供一種可以監視繼電器動作次數等的測試履歷的半導體測試裝置及其監視裝置。為此,在由總線的信號信息控制各測試電路,進行被測定器件的測試的半導體測試裝置中設置:多個緩衝存儲器,交替寫入上述總線的信號信息;計算機,交替讀出這該多個緩衝存儲器的信號信息,作為文件保存、解析,具備可以監視測試履歷的解決方案。
文檔編號G01R35/00GK1383491SQ01801661
公開日2002年12月4日 申請日期2001年6月13日 優先權日2000年6月13日
發明者佐藤敦, 中村政文, 井畑剛裕 申請人:株式會社愛德萬測試