一種貼膠鐵環轉換治具的製作方法

2023-10-06 08:52:49 1

本實用新型涉及一種晶圓加工領域，尤其涉及一種貼膠鐵環轉換治具。

背景技術：

習知加工廠商一般只備有尺寸不同的晶圓貼膠設備，例如8吋及12吋兩種尺寸的晶圓貼膠設備，若客戶偶有小尺寸的貼膠鐵環需要貼膠，如6吋的貼膠鐵環需要貼膠，則受限於目前的貼膠設備，僅有大尺寸的貼膠鐵環,如8吋及12吋的貼膠鐵環，而無法完成小尺寸鐵環(frame)的貼膠，若重新購置或設計小尺寸鐵環的晶圓貼膠設備，則大大增加了生產成本。

技術實現要素：

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種貼膠鐵環轉換治具，從而克服了現有技術的不足。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案如下：

一種貼膠鐵環轉換治具，包括基座和與所述基座鉸接的上蓋，其中，所述上蓋上設置有旋轉部，所述旋轉部連接貼附輪及切割輪，所述基座上開設有第二鐵環放置槽以及第一鐵環放置槽，所述第一鐵環放置槽位於所述第二鐵環放置槽的上方，所述第二鐵環放置槽的槽深與第二鐵環的厚度相一致，當第一貼膠鐵環及其晶圓放置於所述第一鐵環放置槽內時，所述膠膜與放置於所述第二鐵環放置槽內的第二鐵環的頂端面相貼合，且所述貼附輪和切割輪在所述上蓋與所述基座呈閉合狀態時分別用於使所述膠膜貼附於所述第二鐵環和用於切割所述膠膜。

優選的，所述旋轉部包括設於所述上蓋上的把手和與所述把手樞接的轉臂，所述轉臂的兩端分別固定連接所述貼附輪及切割輪，當轉動所述把手時，所述貼附輪及切割輪繞所述樞接點旋轉。

優選的，所述第二鐵環放置槽內設置有用於定位所述第二鐵環的定位柱。

優選的，所述第一鐵環放置槽內設置有用於定位所述第一鐵環的定位柱。

優選的，所述基座一側設有彈性擋止部，所述彈性擋止部用於抵擋所述第一鐵環的側邊。

優選的，所述第二鐵環放置槽對應於所述晶圓處向下開設有避讓凹部。

優選的，所述上蓋為透明上蓋。

與現有技術相比，本實用新型的優點至少在於：

1)本實用新型提供的貼膠鐵環轉換治具，可協助客戶端只能接受小尺寸的第二鐵環(如6吋鐵環)出貨，解決鐵環使用問題，且節約了成本，避免了購置小尺寸(如6吋)晶圓貼膠設備。

2)本實用新型提供的貼膠鐵環轉換治具，協助操作人員，將大尺寸(8吋)鐵環更換成小尺寸(6吋)鐵環，提高鐵環轉換效率。

3)本實用新型提供的貼膠鐵環轉換治具，操作簡單，優選的，本實用新型具有多個防呆的定位柱，即使初學的操作工也能輕易上手使用。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對現有技術和實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1為本實用新型實施例公開的貼膠鐵環轉換治具的剖視圖；

圖2為本實用新型實施例公開的貼膠鐵環轉換治具的俯視圖；

圖3為本實用新型實施例公開的上蓋和旋轉部的結構示意圖；

圖4為本實用新型實施例公開的基座和產品的組裝示意圖；

圖5為本實用新型實施例公開的基座的示意圖。

附圖標記說明：1-基座、11-第二鐵環放置槽、12-第一鐵環放置槽、13-定位柱、14-定位柱、15-彈性擋止部、16-避讓凹部、2-上蓋、3-旋轉部、31-把手、32-樞接軸、33-轉臂，4-貼附輪、5-切割輪。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。

參見圖1-4所示，本實用新型實施例公開了一種貼膠鐵環轉換治具，包括基座1和與基座1鉸接的上蓋2，其中，上蓋2上設置有旋轉部3，旋轉部3連接貼附輪4及切割輪5，基座1上開設有第二鐵環放置槽11以及第一鐵環放置槽12，第一鐵環放置槽12位於第二鐵環放置槽11的上方，第二鐵環放置槽11的槽深與第二鐵環K1的厚度相一致，當第一鐵環K2(帶膠膜K4)及其晶圓K3放置於第一鐵環放置槽12內時，膠膜K4與放置於第二鐵環放置槽11內的第二鐵環K1的頂端面相貼合，且貼附輪4和切割輪5在上蓋2與基座1呈閉合狀態時，分別用於使膠膜K4貼附於第二鐵環K1和用於切割膠膜K4。

優選的，旋轉部3包括設於上蓋2上的把手31和與把手31通過樞接軸32實現樞接的轉臂33，轉臂33的兩端分別固定連接貼附輪4及切割輪5，當轉動把手31時，貼附輪4及切割輪5繞樞接點旋轉。

優選的，第二鐵環放置槽11內設置有用於定位第二鐵環K1的定位柱13。

優選的，第一鐵環放置槽12內設置有用於定位第一鐵環K2的定位柱14。

優選的，基座1一側設有彈性擋止部15，彈性擋止部15用於抵擋第一鐵環K2的側邊。

優選的，第二鐵環放置槽11對應於晶圓K3處向下開設有避讓凹部16,避讓凹部16用於防止晶圓K3被刮傷。

優選的，上蓋2為透明上蓋，可以採用透明亞克力加工。

本實用新型的工作原理如下：

1)開啟透明上蓋2，放置小尺寸的第二鐵環K1於基座1內的第二鐵環放置槽11中，並由定位柱13進行定位。

2)將貼有膠膜K4的大尺寸的第一鐵環K2及其所黏貼的晶圓K3放置於第一鐵環放置槽12內，與此同時，晶圓K3位於避讓凹部16的位置，貼有膠膜K4的第一鐵環K2此時覆蓋於第二鐵環K1上，也就是說，膠膜K4與第二鐵環K1的頂端面相貼合，以便兩者粘合形成一體。

3)合上上蓋2後，轉動把手31，使與轉臂33連接的貼附輪4及切割輪5繞樞接點進行旋轉，從而通過切割輪5對相黏接第二鐵環K1與膠膜K4進行切割分離，並同時將晶圓轉換粘附於第二鐵環K1上，從而完成小尺寸的第二鐵環K1的轉換作業。

4)開啟上蓋2，取出第一鐵環K2後，則完成第二鐵環K1貼膜的轉換作業。

綜上所述，本實用新型提供的貼膠鐵環轉換治具，可協助客戶端只能接受小尺寸鐵環(如6吋鐵環出貨，解決廠內鐵環使用問題，且節約了成本，避免了購置小尺寸(6吋)晶圓貼膠設備；本實用新型提供的貼膠鐵環轉換治具，協助操作人員，將大尺寸(8吋)鐵環更換成小尺寸(6吋)鐵環，提高鐵環轉換效率；本實用新型提供的貼膠鐵環轉換治具，操作簡單，優選的，具多個防呆的定位柱，即使初學的操作工也能輕易上手使用。

需要說明的是，本實用新型提供的貼膠鐵環轉換治具，不但適用於8吋鐵環轉換為6吋鐵環，還可以適用於將其他的任意尺寸的鐵環轉換成任意另一尺寸的鐵環。

對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或範圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制於本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的範圍。