磁頭驅動器及其製造方法

2023-10-09 05:47:34

專利名稱：磁頭驅動器及其製造方法
技術領域：
本發明涉及用於對磁頭位置進行微調的磁頭驅動器(actuator)及其製造方法。
背景技術：
在近年的硬碟裝置中，需要實現更大的容量以及更高的存儲密度，而發展窄磁軌化。因此，磁軌的寬度變得非常微小，如原來那樣僅用音圈馬達的伺服控制方式已難以正確地定位磁頭相對於磁軌的位置。最近開發出了各種各樣的技術，在磁頭(滑塊)上安裝有除上述音圈馬達之外的驅動器，通過該驅動器來定位由音圈馬達不能隨動的微細的位置。
作為這樣的磁頭驅動器，例如，具備具有一對夾持磁頭的可動臂部的磁頭保持基板，沿該磁頭保持基板的各可動臂部固定、並一被施加電壓就使所述一對可動臂部微動的一對壓電元件，已知以壓電材料PZT自身構成上述磁頭保持基板以及壓電元件的類型；以及以氧化鋯等陶瓷材料構成上述磁頭保持基板而以PZT壓電材料構成上述壓電元件的類型。
在磁頭保持基板以及壓電元件兩者都由PZT壓電材料構成的類型中，為了實現低電壓驅動，希望以PZT壓電材料的層疊體作為磁頭保持基板。在這樣以PZT層疊體形成磁頭保持基板的情況，需要在PZT層疊體內部設置電極材料來使各層電導通。然而，迄今為止，PZT壓電材料與內部電極材料之間的粘接強度低，伴隨PZT壓電材料每一層的厚度變薄而使層疊體的機械強度降低。另外，由於PZT壓電材料本身是脆弱的材料，即使在通常的使用狀態也容易產生基板和元件本身的缺陷和裂紋，在長時間工作的情況下就會有PZT粉的脫粒現象發生。特別是，從基板的切斷面或研磨麵容易發生脫粒現象。作為防止PZT壓電材料的脫粒的對策，已知的有如JP特開2002-74871號公報所公開的那樣，以氟素系的塗層劑來整體覆蓋基板的技術，但是由於需要對每個基板實施塗層而很費時，從而不是很好。
另一方面，在以陶瓷材料構成磁頭保持基板的類型中，由於以氧化鋯為代表的陶瓷材料的燒結溫度為約1500℃左右的高溫，燒結時磁頭保持基板發生了變形，難以確保設計所達到的精度。為此，目前還沒有實用化。

發明內容
本發明的目的是提供一種能夠防止脫粒、並具有足夠的機械強度的磁頭驅動器及其製造方法。
本發明由於使作為磁頭保持基板的構成材料能夠低溫燒結而成，通常進行無收縮燒結，以及能夠在生片的狀態下進行微細加工，所以著眼於玻璃陶瓷材料。在這裡，所謂玻璃陶瓷材料是指玻璃狀物質和陶瓷材料的混合物。
即，本發明的磁頭驅動器具有備有一對夾持磁頭的可動臂部的磁頭保持基板；沿該磁頭保持基板的各可動臂部固定的、被施加上電壓時使一對可動臂部微動的壓電元件，其中，所述磁頭保持基板是由以所有的面為燒結面的玻璃陶瓷燒結體來形成的。
玻璃陶瓷燒結體的組分中最好是含有SiO2、B2O3、Al2O3之中至少一種以上。假如組分中含有SiO2、B2O3、Al2O3之中至少一種以上，就能夠形成具有200MPa以上的機械強度的玻璃陶瓷燒結體。至於得到200MPa以上的機械強度的玻璃陶瓷燒結體其具體的組分，例如是PbO-B2O3-SiO2-CaO-Al2O3系的玻璃陶瓷燒結體、MgO-Al2O3-SiO2-B2O3-SiO2系的玻璃陶瓷燒結體、B2O3-SiO2-Al2O3系的玻璃陶瓷燒結體、CaO-Al2O3-SiO2系的玻璃陶瓷燒結體、Li2O-SiO2-MgO-Al2O3-SiO2-Al2O3系的玻璃陶瓷燒結體、以及由玻璃狀物質、Al2O3、以及CaZrO3所形成的玻璃陶瓷燒結體。採用這種具有足夠的機械強度、並且所有的面都為燒結面的玻璃陶瓷燒結體為磁頭保持基板的話，基板本身不容易產生缺陷和裂紋，而且能夠很好地防止從基板的脫粒。
壓電元件最好在通過印刷法形成於磁頭保持基板之後，通過比所述玻璃陶瓷燒結體的燒結溫度更低的溫度燒結而成。這樣低溫燒結壓電元件，就能夠防止從壓電元件的脫粒，也不會有作為磁頭保持基板的玻璃陶瓷燒結體的機械強度的劣化。該壓電元件最好由能夠比所述玻璃陶瓷燒結體的燒結溫度更低的溫度燒結而成的、如PZT壓電材料構成。
本發明，根據製造方法的方案，具有製作玻璃陶瓷·生片的工序；將該玻璃陶瓷·生片加工成所需形狀的工序；將形狀已定的玻璃陶瓷·生片通過無收縮燒結法燒結，以所有的露出面作為燒結面的玻璃陶瓷燒結體作為磁頭保持基板來得到的工序；用能夠以比所述玻璃陶瓷燒結體的燒結溫度更低的溫度來燒結的壓電材料通過印刷法在所述磁頭保持基板上形成一對壓電元件的工序；以比所述玻璃陶瓷燒結體的燒結溫度低的溫度燒結所述一對壓電元件的工序。
玻璃陶瓷·生片最好是由組分中含有SiO2、B2O3、Al2O3之中至少一種以上的玻璃陶瓷粉末材料來製作。假如使組分中含有SiO2、B2O3、Al2O3之中至少一種以上的話，就能夠形成具有在200MPa以上的機械強度的玻璃陶瓷燒結體。
作為以得到200MPa以上的機械強度來形成的玻璃陶瓷燒結體，具體地有例如，PbO-B2O3-SiO2-CaO-Al2O3系的玻璃陶瓷燒結體、MgO-Al2O3-SiO2-B2O3-SiO2系的玻璃陶瓷燒結體、B2O3-SiO2-Al2O3系的玻璃陶瓷燒結體、CaO-Al2O3-SiO2系的玻璃陶瓷燒結體、Li2O-SiO2-MgO-Al2O3-SiO2-Al2O3系的玻璃陶瓷燒結體、以及由玻璃狀物質、Al2O3、以及CaZrO3所形成的玻璃陶瓷燒結體。
至於形成壓電元件的壓電材料最好是用能夠以比所述玻璃陶瓷燒結體的燒結溫度更低的溫度來燒結的PZT壓電材料。例如，玻璃陶瓷燒結體的燒結溫度為900℃左右的話，就用能夠在850℃左右燒結的PZT材料。
在玻璃陶瓷·生片的形狀加工工序中，最好是通過雷射加工或壓力加工來形成規定應形成磁頭保持基板的形狀的開口部。上述開口部具體地可以設置成規定磁頭保持基板的固定端部和從該固定端部延伸、在前端的自由端部夾持磁頭的一對可動臂部。這樣用雷射加工或壓力加工的話，就能夠實施微細的形狀加工。
在以上的製造方法中，為了提高製造效率，最好以單一(1片)玻璃陶瓷燒結體同時形成數個磁頭保持基板，在燒結壓電元件的工序之前，有切斷玻璃陶瓷燒結體來分割各磁頭保持基板的工序。假如在這種在切斷磁頭保持基板之後進行壓電元件的燒結工序的話，由於與壓電元件同時，磁頭保持基板的切斷面也被燒結成，所以能夠使磁頭保持基板的露出面都為燒結面。這樣，就能夠防止從磁頭保持基板以及壓電元件的脫粒。


圖1是具有本發明的磁頭驅動器的硬碟裝置整體的俯視圖。
圖2是示意圖1的磁頭驅動器周圍部分的放大的俯視圖。
圖3是圖1的磁頭驅動器的立體圖。
圖4是示意圖3所示的磁頭驅動器的製造方法的一個工序的立體圖。
圖5是示意圖4所示工序的下一個工序的立體圖。
圖6是示意圖5所示工序的下一個工序的立體圖。
圖7是示意圖6所示工序的下一個工序的立體圖。
圖8是示意以擠出成形法形成的玻璃陶瓷燒結體的一個例子的立體圖。
具體實施例方式
圖1所示的是備有本發明的磁頭驅動器30的硬碟裝置整體結構。在以旋轉軸11為中心被驅動旋轉的硬碟(磁碟)12的外面，搖臂(載荷梁、萬向架彈簧)20的基部被支撐著以粗動旋轉軸13為中心自由地來回擺動。搖臂20在前端部具有間隔空間γ形成的舌部20a，在該舌部20a上設有磁頭(滑塊、柔性架)21。在該搖臂20上，在舌部20a具有柔軟地支撐磁頭21的彈性。通過驅動器14搖臂20以粗動旋轉軸13為中心來回擺動時，磁頭21就沿硬碟12的大致徑向來回移動。
在上述搖臂20的舌部20a，還設有作為磁頭21的位置微調整機構的本發明的磁頭驅動器30。如圖2及圖3放大所示，磁頭驅動器30備有磁頭保持基板31，該磁頭保持基板31具有被連接在搖臂20的舌部20a上的固定部31A、從固定部31A的兩側沿垂直方向(連接粗動旋轉軸13和磁頭21的直線方向)平行延伸的一對可動臂部31B，通過一對可動臂部31B的前端的自由端部夾持磁頭21。
磁頭保持基板31是由組分中含有SiO2、B2O3、Al2O3之中至少一種以上的玻璃陶瓷燒結體來形成的。具有約200MPa(帕斯卡)以上的機械強度。在磁頭保持基板31上，沿著一對可動臂部31B的側面，平行固定相互極性相反的一對壓電元件32。該壓電元件32極化方向被設定成一旦施加了驅動電壓，沿連接粗動旋轉軸13和磁頭21的直線平行的方向上的長度L一個伸長，另一個縮短。本實施例的壓電元件32是將能夠以比構成磁頭保持基板31的玻璃陶瓷燒結體的燒結溫度更低的溫度來燒結的PZT壓電材料，在印刷到磁頭保持基板31上之後以低溫燒結而成。在圖2中，為了易於理解，將壓電元件塗黑，搖臂20則畫上了剖面線。
連接在磁頭保持基板31上的一對壓電元件32，一旦其中一個伸長，另一個縮短，使一對可動臂部31B(磁頭21)以粗動旋轉軸13為中心沿圓弧方向微動。該微動的大小以現在的技術水平可達到，例如，各壓電元件32產生0.3μm的伸縮時，磁頭21就向以粗動旋轉軸13為中心的圓弧方向產生1μm左右的微動。
在磁頭保持基板31的表面(上表面)，印刷有磁頭導通連接用的布線33(圖示的例子中左右各兩根)和壓電元件導通連接用的布線35(圖示的例子中左右各兩根)。布線33其一端部利用一對可動臂部31B的前端自由端部連接到磁頭21上，另一端部利用固定部31A的端面連接到柔性布線基板40上。布線35其一端部被電連接到一對壓電元件32的表面(或者背面)，另一端部利用固定部31A的端面連接到柔性布線基板40上。在本實施例中，以導線34通過引線接合連接布線33的一端部和磁頭21，分別以球焊接來連接布線33、35的另一端部與柔性布線基板40。
在柔性布線基板40上，設有磁頭21的追跡線41和向壓電元件32的供電線42。追跡線41其一端部介由磁頭保持基板31上的布線33被連接到磁頭21上，另一端部被連接到錄放雙用電路(記錄再生電路)15上，供電線42其一端部介由磁頭保持基板31上的布線33被連接到壓電元件32上，另一端部被連接到控制電路16上。控制電路16也被連接到上述驅動器14、磁頭21以及錄放雙用電路15上，起到作為硬碟裝置全體的控制機構的功能。即，控制電路16在磁頭21和錄放雙用電路15之間使記錄(再生)信息信號發出和接收，同時，基於磁頭21從硬碟12接收到的磁軌信號控制驅動器14以及磁頭驅動器30(壓電元件32)的驅動來控制搖臂20以及磁頭21位於正確的磁軌位置。
配備在以上那樣的整體結構的硬碟裝置上的本磁頭驅動器30所具有的特徵是磁頭保持基板31是由玻璃陶瓷燒結體形成的、壓電元件32由可低溫燒結的壓電材料製成的、以及壓電元件32是通過印刷燒結而成的。
以下，參照圖4～圖6來說明圖3所示的磁頭驅動器30的製造方法。
首先，將玻璃陶瓷粉末材料與有機粘合劑和溶媒混合，製作如圖4所示那樣的薄片狀的成形體(玻璃陶瓷·生片31」)。該玻璃陶瓷·生片31」在燒結後的厚度大約為0.25mm。
上述玻璃陶瓷·生片31」最好是由組分中含有SiO2、B2O3、Al2O3之中至少一種以上的玻璃陶瓷材料來形成，以在燒結後得到具有200MPa以上的機械強度。玻璃陶瓷·生片31」(玻璃陶瓷燒結體31』)的具體的組成1例如表1所示。
表1例1PbO+B2O3+SiO2+CaO+Al2O3例2MgO+Al2O3+SiO2+B2O3+SiO2例3B2O3+SiO2+Al2O3例4CaO+Al2O3+SiO2例5B2O3+SiO2+Al2O3+2MgO·SiO2例6Li2O+SiO2+MgO+Al2O3+SiO2+Al2O3例7玻璃+Al2O3+CaZrO3其次，如圖5所示，將玻璃陶瓷·生片31」加工成所需的形狀。具體地說，通過雷射加工或壓力加工，將規定應形成磁頭保持基板的形狀的開口部α形成於玻璃陶瓷·生片31」上。此時，特別是假如用雷射加工的話，能夠實施微細的形狀加工，能夠以高精度規定開口部的形狀。在本實施例中，由於從單一(1塊)玻璃陶瓷·生片31」製作數個磁頭驅動器，所以形成如圖5所示的數個上述開口部α。
接下來，將形狀已定的玻璃陶瓷·生片31」以所謂的無收縮燒結法燒結。這時的燒結溫度大約為900℃。眾所周知，無收縮燒結法是玻璃陶瓷·生片31」沿縱方向和橫方向都不收縮而燒結的方法。通過該燒結工序，玻璃陶瓷·生片31」就成為所有的露出面(表面、背面以及側面)都為燒結面的玻璃陶瓷燒結體31』。該玻璃陶瓷燒結體31』備有多個磁頭保持基板31，該磁頭保持基板31具有用於夾持磁頭的一對可動臂部31B和在兩端備有該一對可動臂部31B的固定部31A。
如圖6所示，在進行了上述燒結工序後，在由玻璃陶瓷燒結體31』構成的各磁頭保持基板31的兩個側面31s上通過印刷法形成相互平行配置的一對壓電元件32。各壓電元件32燒結後的厚度大約為10～40μm。在本實施例中，使一對壓電元件的極性互為相反，設定它們的極化方向使得在將驅動電壓施加到該一對壓電元件32時，一個伸長，另一個收縮。該壓電元件32最好用能夠以比玻璃陶瓷燒結體31』的燒結溫度更低的溫度燒結的壓電材料形成。具體地說，優選用燒結溫度為850℃左右的PZT壓電材料。
接著，沿圖6所示的切斷線A-A切斷磁頭保持基板31(玻璃陶瓷燒結體31』)，分割成各個磁頭驅動器30』。如圖7所示，在該分割後的磁頭驅動器30』上，磁頭保持基板31的3個露出面(玻璃陶瓷燒結體31』的兩個端面除外)就成為切斷面β。在圖7中，切斷面β畫上了剖面線。
然後，對分割了的各磁頭驅動器30』進行低溫燒結。即，在燒結一對壓電元件32的同時，還燒結磁頭保持基板31的切斷面β。在這裡，磁頭保持基板31是如上述在900℃左右燒結的玻璃陶瓷燒結體31』。玻璃陶瓷燒結體一般通過再加熱後其強度有劣化的傾向。因此，為了抑制磁頭保持基板31的強度的劣化，最好以比玻璃陶瓷燒結體的燒結溫度儘可能低的低溫來燒結壓電元件32。在本實施例中，壓電元件32的燒結溫度為850℃。通過該第二次的燒結工序，包含磁頭保持基板31的切斷面β在內的露出面就全部為燒結面。
上述燒結工序結束後，在磁頭保持基板31的表面(上表面)通過印刷法形成用於連接磁頭21和柔性布線基板40的追跡線41的布線33(本實施例中有4根)，以及用於連接一對壓電元件32和柔性布線基板40的供電線42的布線35(本實施例中有4根)。布線35的一個端部與一對壓電元件32的表面或背面電導通連接。
以上就完成了圖3所示的磁頭驅動器30。
完成後的磁頭驅動器30，在磁頭21被固定到一對可動臂部31B的前端自由端部後，介由固定部31A被粘接到搖臂20的舌部20a上。並且，以引線接合來連接磁頭21和磁頭保持基板31上的布線33的一個端部，以球焊接來連接布線33的另一個端部和柔性布線基板40的追跡線41，以球焊接來連接布線35的另一端部與柔性布線基板40的供電線42。這樣，就成為安裝在如圖1所示的硬碟裝置上的狀態。
採用本實施例，由於是由組分中含有SiO2、B2O3、Al2O3之中至少一種以上的玻璃陶瓷燒結體來形成磁頭保持基板31，所以磁頭保持基板31的露出面全部為燒結面，並且磁頭保持基板31具有200MPa以上的機械強度。這樣，基板本身的缺陷和裂紋的產生變少，即使磁頭驅動器30經長時間工作也能夠防止從磁頭保持基板的脫粒。另外，在本實施例中，由於通過印刷法來形成一對壓電元件32，所以能夠在磁頭保持基板31的狹窄的範圍內配置一對壓電元件32。並且，在本實施例中，由於低溫燒結印刷形成的一對壓電元件32，所以能夠防止從一對壓電元件32的脫粒。假如這樣沒有從磁頭保持基板31以及一對壓電元件32的脫粒，就不會有該脫粒所導致的硬碟裝置的工作不良，能夠對提高該硬碟裝置的信賴性起到貢獻。
在本實施例中，在形成成為磁頭保持基板31的玻璃陶瓷燒結體31』時，由於用的是玻璃陶瓷·生片31」，因此容易通過雷射加工或者壓力加工來高精度地規定磁頭保持基板31的形狀以及尺寸。並且，在本實施例中，由於通過無收縮燒結法使玻璃陶瓷·生片31」燒結，通過燒結而得到的玻璃陶瓷燒結體31』的形狀和尺寸(厚度方向除外)不會改變，所以能夠容易得到依照設計的磁頭保持基板31。
還有，在形成如圖3所示的磁頭驅動器30時，雖然也考慮了例如使用模具等來形成所需形狀的玻璃陶瓷燒結體50(圖8)的擠出成形法，但是為了分割各磁頭驅動器而需要切斷工序，不能夠防止從切斷面的脫粒。針對於此，如本實施例這樣使用玻璃陶瓷·生片31」的話，由於通過兩次燒結工序磁頭保持基板31以及一對壓電元件32的露出面都成為燒結面，所以能夠確實地防止脫粒。
以上，基於圖示的實施例對本發明進行了說明，本發明只要不脫離其範圍就可以變化，並不僅限定於圖示的實施例。
採用本發明，由於是由組分中含有SiO2、B2O3、Al2O3之中至少一種以上的玻璃陶瓷燒結體來形成磁頭保持基板，所以磁頭保持基板具有足夠的機械強度而基板本身發生缺陷和裂紋的現象減少，同時，使之長時間工作也能夠防止從磁頭保持基板的脫粒。另外，採用本發明，由於在印刷形成一對壓電元件之後進行燒結，也能夠確實地防止從壓電材料的脫粒。
權利要求
1.一種磁頭驅動器，具有備有夾持磁頭的一對可動臂部的磁頭保持基板；以及沿該磁頭保持基板的各可動臂部固定的、一施加電壓就使所述一對可動臂部微動的壓電元件，其特徵在於所述磁頭保持基板是由所有的面為燒結面的玻璃陶瓷燒結體形成的。
2.根據權利要求1所述的磁頭驅動器，其特徵在於所述玻璃陶瓷燒結體的組分中含有SiO2、B2O3、Al2O3之中至少一種以上。
3.根據權利要求2所述的磁頭驅動器，其特徵在於所述玻璃陶瓷燒結體的機械強度在200MPa以上。
4.根據權利要求3所述的磁頭驅動器，其特徵在於所述玻璃陶瓷燒結體是PbO-B2O3-SiO2-CaO-Al2O3系的玻璃陶瓷燒結體。
5.根據權利要求3所述的磁頭驅動器，其特徵在於所述玻璃陶瓷燒結體是MgO-Al2O3-SiO2-B2O3-SiO2系的玻璃陶瓷燒結體。
6.根據權利要求3所述的磁頭驅動器，其特徵在於所述玻璃陶瓷燒結體是B2O3-SiO2-Al2O3系的玻璃陶瓷燒結體。
7.根據權利要求3所述的磁頭驅動器，其特徵在於所述玻璃陶瓷燒結體是CaO-Al2O3-SiO2系的玻璃陶瓷燒結體。
8.根據權利要求3所述的磁頭驅動器，其特徵在於所述玻璃陶瓷燒結體是Li2O-SiO2-MgO-Al2O3-SiO2-Al2O3系的玻璃陶瓷燒結體。
9.根據權利要求3所述的磁頭驅動器，其特徵在於所述玻璃陶瓷燒結體是由玻璃狀物質、Al2O3、以及CaZrO3形成的玻璃陶瓷燒結體。
10.根據權利要求1所述的磁頭驅動器，其特徵在於所述壓電元件在通過印刷法形成於所述磁頭保持基板上之後，通過比所述玻璃陶瓷燒結體的燒結溫度低的溫度燒結而成。
11.根據權利要求10所述的磁頭驅動器，其特徵在於所述壓電元件由PZT壓電材料構成。
12.一種磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於，包括製作玻璃陶瓷·生片的工序；將該玻璃陶瓷·生片加工成所需形狀的工序；作為磁頭保持基板，得到將形狀已定的玻璃陶瓷·生片通過無收縮燒結法燒結、而所有的露出面為燒結面的玻璃陶瓷燒結體的工序；用能夠以比所述玻璃陶瓷燒結體的燒結溫度低的溫度燒結的壓電材料通過印刷法在所述磁頭保持基板上形成一對壓電元件的工序；以及以比所述玻璃陶瓷燒結體的燒結溫度低的溫度燒結所述一對壓電元件的工序。
13.根據權利要求12所述的磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於所述玻璃陶瓷·生片由組分中含有SiO2、B2O3、Al2O3之中至少一種以上的玻璃陶瓷粉末材料形成。
14.根據權利要求13所述的磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於形成成為所述磁頭保持基板的所述玻璃陶瓷燒結體的機械強度在200MPa以上。
15.根據權利要求14所述的磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於所述玻璃陶瓷·生片通過燒結工序成為PbO-B2O3-SiO2-CaO-Al2O3系的玻璃陶瓷燒結體。
16.根據權利要求14所述的磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於所述玻璃陶瓷·生片通過燒結工序成為MgO-Al2O3-SiO2-B2O3-SiO2系的玻璃陶瓷燒結體。
17.根據權利要求14所述的磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於所述玻璃陶瓷·生片通過燒結工序成為B2O3-SiO2-Al2O3系的玻璃陶瓷燒結體。
18.根據權利要求14所述的磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於所述玻璃陶瓷·生片通過燒結工序成為CaO-Al2O3-SiO2系的玻璃陶瓷燒結體。
19.根據權利要求14所述的磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於所述玻璃陶瓷·生片通過燒結工序成為Li2O-SiO2-MgO-Al2O3-SiO2-Al2O3系的玻璃陶瓷燒結體。
20.根據權利要求14所述的磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於所述玻璃陶瓷·生片通過燒結工序成為含有玻璃狀物質、Al2O3、及CaZrO3的玻璃陶瓷燒結體。
21.根據權利要求12所述的磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於所述壓電元件由PZT壓電材料構成。
22.根據權利要求12所述的磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於在所述玻璃陶瓷·生片的形狀加工工序中，通過雷射加工形成規定應形成磁頭保持基板的形狀的開口部。
23.根據權利要求12所述的磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於在所述玻璃陶瓷·生片的形狀加工工序中，通過壓力加工形成規定應形成磁頭保持基板的形狀的開口部。
24.根據權利要求22所述的磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於通過所述開口部規定磁頭保持基板的固定端部、以及從該固定端部延伸、由前端的自由端部夾持磁頭的一對可動臂部。
25.根據權利要求23所述的磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於通過所述開口部規定磁頭保持基板的固定端部、以及從該固定端部延伸、由前端的自由端部夾持磁頭的一對可動臂部。
26.根據權利要求12所述的磁頭驅動器的製造方法，其特徵在於通過單一的玻璃陶瓷燒結體同時形成多個磁頭保持基板，並在燒結所述壓電材料的工序之前，具有切斷所述玻璃陶瓷燒結體而分割成各個磁頭保持基板的工序。
全文摘要
本發明提供一種磁頭驅動器及其製造方法，該磁頭驅動器(30)具有備有一對夾持磁頭(21)的可動臂部(31B)的磁頭保持基板(31)；沿各可動臂部(31B)固定的、一施加電壓就使一對可動臂部(31B)微動的壓電元件(32)。並且，由組分中含有SiO
文檔編號H02N2/00GK1558416SQ20041000329
公開日2004年12月29日 申請日期2004年2月3日 優先權日2003年2月7日
發明者山本豐, 村上潤一, 澤入弘也, 一, 也 申請人:阿爾卑斯電氣株式會社