基板固定裝置、基板作業裝置以及基板固定方法
2023-10-11 14:26:24 4
基板固定裝置、基板作業裝置以及基板固定方法
【專利摘要】本發明提供一種基板固定裝置、基板作業裝置以及基板固定方法，在作業位置對由一對搬運部件從下方支撐並沿搬運路徑進行搬運的膜狀基板進行支撐固定時，可良好地矯正基板的外周部的翹曲。具備使背撐部件（41）和基板按壓部件（431、432）中的至少一方升降的升降驅動部，升降驅動部使背撐部件（41）上升及/或使基板按壓部件（431、432）與一對輸送機（225、226）一起下降，從而由背撐部件（41）從下方支撐基板（FB）並使基板（FB）從一對輸送機（225、226）向上方離開，並且由基板按壓部件（431、432）向下方按壓基板（FB）的外周部表面。
【專利說明】基板固定裝置、基板作業裝置以及基板固定方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種在作業位置由背撐部件支撐固定膜狀的基板的基板固定技術以及利用該基板固定技術對固定於作業位置的基板進行元件安裝、檢查、塗敷液塗敷、膏印刷等基板作業的基板作業裝置。
【背景技術】
[0002]柔性基板等膜狀的基板(以下簡稱為「基板」)比較薄、容易發生翹曲變形。因此，提出了多個在對基板進行元件安裝等作業的位置即作業位置上矯正基板的翹曲的技術。例如，在日本特開2004 — 296632號公報所記載的發明中，在託承部件的託承面上載置有基板後，按壓部件下降，從上方以面狀壓入該基板而使其壓靠於託承面上。由此，矯正基板的翹曲變形。並且，在該狀態下真空吸引單元工作，從而將基板真空吸附固定於託承面上。
[0003]但是，日本特開2004 - 296632號公報所記載的發明是在基板的元件搭載部位上安裝元件的裝置，目的在於防止該元件搭載部位上的基板的翹曲。即，按壓部件具有全面地覆蓋基板的元件搭載部位的範圍的大小的按壓面，僅壓入基板表面中的元件搭載部位而進行翹曲矯正，並且由與真空吸引單元連接的吸附槽吸附基板。之後，使按壓部件從基板退避而進行元件安裝。因此，即使向基板表面按壓基板按壓部件而矯正了翹曲，當使基板按壓部件從基板表面退避時，在基板的外周部發生翹曲，而且由於該翹曲而使基板周邊附近的吸引力降低，使翹曲進一步擴大。即，對於元件搭載部位的周邊區域即基板的外周部處的翹曲完全沒有考慮。
[0004]因此，在基準標記位於構成從下表面進行抵接的吸附槽的外側的基板周邊部分的基板上表面的情況下，由於該部分的翹曲而有時無法進行準確的識別，無法準確地檢測基板位置、基板的方向，在安裝機中無法在準確的位置上進行元件搭載。另外，在將日本特開2004 - 296632號公報所記載的基板固定裝置搭載於印刷機、基板檢查機的情況下，可認為在印刷機中無法在準確的位置進行印刷，在基板檢查機中無法進行準確的基板檢查。特別是，在將一對輸送機等搬運部件沿基板的寬度方向分離配置而對基板的寬度方向的下表面端部分別進行支撐並向作業位置搬運的基板作業裝置中，基板的外周部處的翹曲變形存在變大的傾向，在識別基準標記時對此進行矯正成為較大的技術課題。
【發明內容】
[0005]本發明鑑於上述課題而作出，其目的在於提供如下一種技術以及利用該技術進行基板作業的基板作業裝置:對由一對搬運部件從下方進行支撐並沿搬運路徑進行搬運的膜狀的基板，在作業位置處進行支撐並吸引固定時，可良好地矯正基板的外周部的翹曲。
[0006]本發明所涉及的基板固定裝置中，對由彼此分離配置的一對搬運部件從下方支撐並沿搬運路徑進行搬運的膜狀的基板，在搬運路徑的途中的作業位置進行支撐並固定，該基板固定裝置的特徵在於，具備:背撐部件，從上方俯視觀察時，位於一對搬運部件之間，並且位於被搬運到所述作業位置的基板的下方；基板按壓部件，位於被搬運到作業位置的基板的外周部表面的上方；以及升降驅動部，使背撐部件以及基板按壓部件中的至少一方升降，升降驅動部使背撐部件上升及/或使基板按壓部件與一對搬運部件一起下降，從而由背撐部件從下方支撐基板並使基板從一對搬運部件向上方離開，並且由基板按壓部件向下方按壓基板的外周部表面而矯正基板的外周部的翹曲。
[0007]另外，本發明所涉及的基板作業裝置的特徵在於，具備:基板搬運部，由彼此分離配置的一對搬運部件從下方支撐並沿搬運路徑搬運膜狀的基板；基板固定部，具有與上述基板固定裝置相同的結構，對由基板搬運部搬運到搬運路徑的途中的作業位置的基板進行支撐固定；以及基板作業部，對由基板固定部固定的基板的表面中的、除由基板按壓部件按壓的區域以外的表面區域實施規定的作業。
[0008]而且，本發明所涉及的基板固定方法中，對由彼此分離配置的一對搬運部件從下方支撐並沿搬運路徑搬運的膜狀的基板，在搬運路徑的途中的作業位置進行支撐並固定，該基板固定方法的特徵在於，具備如下工序:支撐工序，代替一對搬運部件，在基板從上述一對搬運部件向上方離開的狀態下，由在作業位置處從上方俯視觀察時位於一對搬運部件之間的背撐部件從下方支撐被搬運到作業位置的基板；以及矯正工序，由基板按壓部件向下方按壓由背撐部件支撐的基板的外周部表面而矯正基板的外周部的翹曲。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1是表示具備作為本發明的基板固定裝置的第一實施方式的基板固定部的基板作業裝置的概略結構的俯視圖。
[0010]圖2是表示基板作業裝置中的基板搬運部和基板固定部的結構的局部立體圖。
[0011]圖3A、圖3B以及圖3C是示意性地表示基板固定部的動作的圖。
[0012]圖4A、圖4B以及圖4C是表示本發明的基板固定裝置的第二實施方式的圖。
[0013]圖5是表示具備作為本發明的基板固定裝置的第三實施方式的基板固定部的基板作業裝置的圖。
[0014]圖6A、圖6B、圖6C以及圖6D是示意性地表示第三實施方式的基板固定部的動作的圖。
[0015]附圖標記說明
[0016]1:表面安裝機(基板作業裝置)
[0017]2:基板搬運部
[0018]4:基板固定部
[0019]6:頭單元(基板作業部)
[0020]22:主搬運機構
[0021]41:背撐部件
[0022]221、222:輸送機框(搬運框)
[0023]225、226:輸送機(搬運部件)
[0024]431?434:基板按壓部件
[0025]441、442:緩衝部件
[0026]471、472:可動部件
[0027]CL:空隙[0028]CY:缸(升降驅動部)
[0029]FB:某板
[0030]P2:作業位置
[0031]TP:搬運路徑
[0032]X:搬運方向
【具體實施方式】
[0033]圖1是表示具備作為本發明的基板固定裝置的第一實施方式的基板固定部的基板作業裝置的概略結構的俯視圖。另外，圖2是表示基板作業裝置中的基板搬運部和基板固定部的結構的局部立體圖。而且，圖3A、圖3B以及圖3C是示意性地表示基板固定部的動作的圖。另外，這些附圖和之後說明的各圖中，為了明確各圖的方向關係，示出了 XYZ直角坐標軸。
[0034]圖1所示的基板作業裝置是在膜狀的基板FB上安裝元件的表面安裝機I。表面安裝機I中，在基臺I上配置有基板搬運部2，能夠沿搬運方向X搬運基板FB。本實施方式的基板搬運部2中，從搬運方向X的上遊側(圖1、圖2的左手側)朝向下遊側(圖1、圖2的右手側)一列地配置搬入機構21、主搬運機構22以及搬出機構23，能夠將基板FB從圖1和圖2的左手側向右手側沿搬運路徑TP搬運。在這些搬入機構21、主搬運機構22以及搬出機構23的各個機構上連接有驅動馬達(省略圖示)，由控制表面安裝機I整體的控制器3進行驅動控制。由此，如圖2所示，在搬入機構21的基板停止位置Pl處於停止的基板FB朝向作業位置P2沿搬運路徑TP被搬運。該作業位置P2上設有基板固定部4，支撐固定被搬運來的基板FB。並且，收容於元件收容部5中的元件由頭單元6安裝於上述基板FB上。當對基板FB的元件安裝完成時，解除基板固定部4對基板FB的固定，由主搬運機構22和搬出機構23搬出元件安裝後的基板FB。另外，在本說明書中，以基板FB的前端位置作為基準確定了基板FB的位置。另外，關於基板搬運部2和基板固定部4的結構和動作在後面詳述。
[0035]在基板搬運部2的Y軸方向的兩側配置有上述的元件收容部5，在這些元件收容部5能夠安裝一個或多個帶式供料器51。另外，在元件收容部5中，與各帶式供料器51對應地配置有帶盤(省略圖示)，該帶盤卷繞有以一定間距收納保持有電子元件的料帶，能夠由各帶式供料器51供給電子元件。
[0036]頭單元6能夠遍及基臺11的規定範圍在基臺11上方沿X軸方向和Y軸方向移動。另外，在本實施方式中，在頭單元6中，沿X軸方向(基板搬運部2搬運基板FB的搬運方向)等間隔呈列狀地配置八根沿鉛垂方向Z延伸設置的未圖示的安裝用頭，在各安裝用頭的前端部安裝有吸嘴61。各安裝頭相對於頭單元6能夠通過以Z軸馬達(省略圖示)為驅動源的嘴升降驅動機構進行升降(Z軸方向的移動)、且能夠通過以R軸馬達(省略圖示)為驅動源的嘴旋轉驅動機構繞嘴中心軸旋轉。這些驅動機構中的嘴升降驅動機構是使安裝頭在進行吸附或安裝時的下降位置與進行搬運、拍攝時的上升位置之間升降的機構。另一方面，嘴旋轉驅動機構是用於根據需要使元件吸嘴旋轉以與電子元件的安裝方向一致、校正R軸方向的吸附偏差等的機構，能夠通過旋轉驅動使電子元件位於安裝時的規定的R軸方向上。
[0037]如此構成的頭單元6移動到元件收容部5的上方位置後，由吸嘴61吸附保持從帶式供料器51供給的電子元件。另外，通過該頭單元6的移動，由吸嘴61吸附的電子元件從元件收容部5的上方位置被搬運到基板FB的上方位置，而安裝於基板FB上。
[0038]另外，在搬運的途中，頭單元6在配置於搬運路徑TP的側方的兩個元件收容部5的X軸方向中間的元件識別相機Cl的上方通過。這時，元件識別相機Cl從下方拍攝吸附於各吸嘴61上的電子元件。並且，根據拍攝結果檢測各吸嘴61的吸附偏差，在將各電子元件安裝於基板FB上時進行與吸附偏差對應的位置補正。
[0039]另外，在頭單元6的X軸方向的兩側部分別固定有基板識別相機C2，通過使頭單元6在X軸方向和Y軸方向上移動而能夠在任意的位置從基板FB的上方進行拍攝。因此，各基板識別相機C2在元件安裝之前拍攝標於作業位置上的基板FB的外周部上的多個基準標記，而對基板位置、基板方向進行圖像識別。在向基板FB進行元件安裝時，基於圖像識別出的基板位置和基板方向來校正預先設定於基板FB上的元件搭載位置，由此能夠在準確的位置上進行安裝。
[0040]接著，關於基板搬運部2和基板固定部4的結構，參照圖1?圖3進行詳述。構成基板搬運部2的三個機構中的搬入機構21和搬出機構23具有相同的結構。在此，說明搬入機構21的結構，關於搬出機構23的結構標註相應的附圖標記，省略其結構說明。
[0041]在搬入機構21中，在基臺11的上方位置，沿搬運方向X延伸設置的兩個輸送機框
211、212夾著搬運路徑TP，以構成比基板FB的Y軸方向的尺寸(S卩基板寬度)寬一些的間隔彼此分離地配置。並且，(+ Y)側的輸送機框211由立設於基臺11的上表面的兩個支撐部件213、213的上端部支撐，並且(一 Y)側的輸送機框212由立設於基臺11的上表面的兩個支撐部件214、214的上端部支撐。如此，輸送機框211、212在從基臺11向上方(+Z)離開規定高度的位置被固定配置。另外，如圖2所示，在輸送機框211、212的各上端設有分別向輸送機215偵彳、輸送機216側伸出的凸緣狀部件211a、212a。
[0042]如圖2所示，在(-Y)側的輸送機框212的(+ Y)側的側面安裝有(一 Y)側輸送機216。該輸送機216由架設於沿搬運方向X排列的多個帶輪上的環狀的傳送帶構成，能夠支撐基板FB的下表面中的(一 Y)側端部。另外，在(+Y)側的輸送機框211的(一 Y)側面上也安裝有與(-Y)側輸送機216同樣地構成的(+ Y)側輸送機215，能夠支撐基板FB的下表面中的(+Y)側端部。如此由一對輸送機215、216將基板FB以所謂兩端支撐狀態進行支撐。
[0043]這些輸送機215、216的傳送帶分別與驅動傳遞用帶輪217卡合。並且，當使由輸送機驅動馬達218產生的旋轉驅動力傳遞給上述驅動傳遞用帶輪217時，兩個傳送帶同步進行迴轉動作。由此，在距基臺11 一定高度的位置，輸送機215、216的傳送帶將基板FB從下方支撐並同時沿搬運路徑TP進行搬運。
[0044]另外,雖省略圖不,但在輸送機215、216的(+ X)側下方位置固定配置有用於檢測被搬運來的基板FB的傳感器。當該傳感器檢測出由輸送機215、216沿搬運方向X所搬運的基板FB時，將基板檢測信號輸出給控制器3。並且，控制器3在由上述傳感器檢測出基板FB後控制搬入輸送機215、216用的驅動馬達，將基板FB搬運一定距離，如圖1所示，使其停止於從上述傳感器沿搬運方向X前進了規定距離的基板停止位置Pl上。
[0045]另一方面，主搬運機構22也與搬入機構21和搬出機構23同樣地具有兩個輸送機框221、222，在(+ Y)側輸送機框221上安裝有輸送機225，並且在(一 Y)側輸送機框222上安裝有輸送機226。其中，在主搬運機構22中，如以下說明那樣，輸送機框221、222和輸送機225、226作為一體沿上下方向Z升降自如。因此，以下以不同點為中心進行說明，關於與搬入機構21相同的結構，標註相應的附圖標記，省略其結構說明。
[0046]在主搬運機構22中，在基臺11的上表面，以由搬入機構21的(+ Y)側支撐部件213和搬出機構23的(+ Y)側支撐部件233夾持的方式呈列狀地固定兩個圓筒狀引導套筒SL，並且以由搬入機構21的(一 Y)側支撐部件214和搬出機構23的(一 Y)側支撐部件234夾持的方式呈列狀地固定兩個套筒SL (圖2中僅圖示一個)。另外，如圖2所示，貫通各個(+ Y)側套筒SL、SL地立設軸SF，在各軸SF的上端部固定有(+ Y)側輸送機框221。關於(一 Y)側也同樣地構成,合計四根軸SF相對於各套筒SL滑動並同時將輸送機框221、222以及輸送機225、226 —體地沿Z軸方向(上下方向)引導。而且，作為用於使這些輸送機框221、222以及輸送機225、226 —體地升降的驅動源，缸CY固定配置於基臺11的上表面。即，從接下來說明的基板固定部4的背撐部件41向下方(一 Z)側離開地配置連接部件(省略圖示)，將輸送機框221、222彼此連接。另外，連接部件與缸CY的活塞前端部連接。因此，當缸CY根據來自控制器3的伸長指令使活塞向上方(+ Z)前進時，輸送機框221、222根據該前進動作而上升，輸送機225、226定位於與搬入機構側的輸送機215、216以及搬出機構側的輸送機235、236同一高度的位置(比背撐部件41的上表面(基板吸附面)411高的位置)上。相反，當缸CY根據收縮指令使活塞向下方(一 Z)後退時，輸送機框221、222根據該後退動作而下降，輸送機225、226定位於比背撐部件41的上表面(基板吸附面)411低的位置上。
[0047]接著，在對基板固定部4的結構進行說明後，對表面安裝機I的動作進行說明。該基板固定部4具有背撐部件41、支撐該背撐部件41的四根支柱42和兩個基板按壓部件431、432。背撐部件41由在上表面穿設有多個吸引孔41a的吸附板構成。該背撐部件41的上表面為矩形形狀，其X軸方向的長度與基板FB大致相等，相對於此，Y軸方向的長度(板寬度)Wbu如圖3A所示比輸送機225、226的內寬Wcv窄一些。並且，背撐部件41配置成在作業位置P2處從上方俯視觀察位於一對輸送機225、226之間。另外，從基臺11的上表面立設的兩根支柱42的上端部與背撐部件41的上遊(+ X)側端面和下遊(-X)側端面的各個端面連接。如此通過合計四根支柱42將背撐部件41以使上表面(吸附面)411位於比由基板搬運部2搬運基板FB的搬運路徑TP低的位置上的狀態固定於基臺11上。
[0048]另外，在背撐部件41的下遊(-X)側端面上設置與多個吸引孔41a在背撐部件41的內部連通的負壓導入塞41b，在該負壓導入塞41b上連接有負壓供給配管7的一端。該負壓供給配管7的另一端與省略圖示的真空泵等負壓供給源連接。並且，控制器3控制負壓向背撐部件41的多個吸引孔41a的供給和供給停止，從而執行背撐部件41對基板FB的吸附固定和吸附解除。
[0049]若將多個吸引孔41a中的Y方向兩端的吸引孔41a的內側的Y軸方向的距離定義為Wval，將Y方向兩端的吸引孔41a的外側的Y軸方向的距離定義為Wva2，則可知以下內容。即，即使在向多個吸引孔41a供給負壓而使基板FB吸附固定於背撐部件41上的狀態下，構成Y方向兩端的吸引孔41a的外側的Y軸方向的距離Wva2的區域的外側的基板FB的外周自不必說，在構成Y方向兩端的吸引孔41a的內側的Y軸方向的距離Wval的區域的外側的基板FB的外周也無法矯正翹曲。
[0050]本實施方式中，為了矯正基板FB的Y方向端部的翹曲，基板固定部4具有兩個基板按壓部件431、432。這其中的(+ Y)側的基板按壓部件431如圖3所示，以從輸送機框221的頂部的凸緣狀部件221a朝向背撐部件41的(+Y)側端部的上方空間突出的方式被固定。因此，在基板按壓部件431與(+Y)側輸送機225之間形成有空隙CL。本實施方式中，如後所述為了矯正基板FB的外周部的翹曲，設定為該空隙CL超過基板FB的厚度與翹曲量的合計值。另外，關於「基板FB的翹曲量」，優選設定為基板FB中所設想的翹曲量的最大值。
[0051]另一方面，即關於(一 Y)側基板按壓部件432，隔著背撐部件41與(+ Y)側基板按壓部件431對稱地構成。即，基板按壓部件432以從輸送機框222的頂部的凸緣狀部件222a朝向背撐部件41的(一 Y)側端部的上方空間突出的方式被固定。另外，基板按壓部件432與(一 Y)側輸送機226之間的空隙CL也優選設定為與(+ Y)側相同的值。
[0052]接著，參照圖2、圖3A、圖3B和圖3C對如上所述構成的表面安裝機I的動作進行說明。在表面安裝機I中，控制器3在如圖2所示使未處理的基板FB在基板停止位置Pl停止的狀態下等待向該基板FB安裝元件的開始準備完成。並且，當能夠對待機中的基板FB進行元件安裝時，控制器3根據安裝程序控制搬入機構21和主搬運機構22，將基板FB搬運到作業位置P2上並進行定位。這時，如圖3A所示，輸送機框221、222上升至最上方位置，由此安裝於輸送機框221、222上的輸送機225、226定位於與搬入機構側的輸送機215、216以及搬出機構側的輸送機235、236同一高度的位置上，支撐輸送機225、226的上表面即基板FB的支撐面與搬運路徑TP—致。另外，這時，各基板按壓部件431、432位於從搬運路徑TP向上方離開規定的空隙CL的位置上。因此，即使基板FB的Y軸方向側的外周部發生了翹曲，也能夠從搬入機構21向主搬運機構22順利地搬運該基板FB。
[0053]被搬運到作業位置P2的基板FB位於背撐部件41的正上方位置，該狀態下控制器3開始對背撐部件41供給負壓。與此同時或接下來，控制器3使缸CY的活塞向下方(一 Z)後退，使輸送機框221、222以及基板按壓部件431、432—體地下降。該下降動作中，如圖3B所示，在基板FB的一部分抵接並吸附於背撐部件41的上表面411上後，伴隨進一步的下降動作，被吸附保持的區域擴大到上表面411整體。而且，如圖3C所示，當輸送機225、226移動到比背撐部件41的上表面(基板吸附面)411低的位置上時，輸送機225、226從基板FB向下方游離(即，基板FB從一對輸送機225、226向上方離開)。這時，基板FB中的進行兀件安裝的安裝區域MR的下表面整體吸附固定於背撐部件41的上表面411上。
[0054]另外，在執行安裝區域MR的吸附保持期間，基板FB中的除安裝區域MR以外的非安裝區域NMR所產生的翹曲由基板按壓部件431、432矯正。即，(+ Y)側基板按壓部件431在與輸送機框221—起下降期間，與向上方翹曲的(+Y)側非安裝區域NMR抵接後，進一步向下方按壓。由此，基板按壓部件431、432的全部按壓力經由基板FB傳遞給背撐部件，從而如圖3C所示在(+ Y)側非安裝區域NMR產生的翹曲被矯正。另外，(一 Y)側基板按壓部件432也與(+ Y)側基板按壓部件431同樣地矯正在(-Y)側非安裝區域NMR產生的翹曲。
[0055]當基板FB的固定和矯正完成時，在由基板按壓部件431、432按壓非安裝區域NMR而矯正了翹曲的狀態下，控制器3控制各部分裝置。更具體而言，表面安裝機I進行附加於構成Y方向兩端的吸引孔41a的內側的Y軸方向的距離Wval的區域的外側的基板FB的外周上的基準標記的圖像識別，在安裝區域MR的表面上包含構成Y方向兩端的吸引孔41a的內側的Y軸方向的距離Wval的區域的外側的基板FB的外周在內地安裝元件。另外，當元件安裝完成時，控制器3停止對背撐部件41供給負壓並同時將向背撐部件41的吸引孔41a供給負壓的負壓供給路向大氣開放。之後，控制器3使缸CY的活塞向上方(+ Z)前進，使輸送機框221、222以及基板按壓部件431、432 —體地上升。由此，按壓非安裝區域NMR的基板按壓部件431、432緩慢地從非安裝區域NMR向上方離開，並且元件安裝後的基板FB從背撐部件41移載到輸送機225、226上。
[0056]當基板從背撐部件41向輸送機225、226的移載完成時，控制器3控制主搬運機構22和搬出機構23，從表面安裝機I搬出基板FB。
[0057]如上所述，根據本實施方式，由於在作業位置P2由背撐部件41從下方支撐有基板FB的狀態下由基板按壓部件431、432向下方按壓基板FB的非安裝區域NMR的表面，所以伴隨著背撐部件41對基板FB的固定而能夠良好地矯正基板FB的非安裝區域匪R的翹曲。另外，在本實施方式中，通過吸引力吸附保持比基板FB的安裝區域MR靠內側的、Y方向兩端的吸引孔41a的外側的Y軸方向的距離Wva2的區域的下表面，構成Y方向兩端的吸引孔41a的內側的Y軸方向的距離Wval的區域的外側的安裝區域MR以及位於安裝區域MR的外側的非安裝區域匪R的翹曲成為招致吸引力降低的主要原因。但是，本實施方式中，如上所述，基板固定部4具有兩個基板按壓部件431、432，能夠可靠地矯正Y方向兩端的吸引孔41a的內側的Y軸方向的距離Wval的區域的外側、非安裝區域NMR的翹曲，所以能夠可靠且穩定地由背撐部件41固定基板FB。而且，即使在標於基板FB的外周部上的多個基準標記附加於Y方向兩端的吸引孔41a的內側的Y軸方向的距離Wval的區域的外側的情況下，在執行了基於基板按壓部件431、432的矯正處理的狀態下拍攝多個基準標記，由圖像識別檢測基板位置和基板方向。在對基板FB安裝元件時，基於所檢測的基板位置和基板方向來校正預先設定於基板FB上的元件搭載位置，由此能夠在準確的位置上進行安裝。
[0058]另外，即使在安裝區域MR內的、Y方向兩端的吸引孔41a的內側的Y軸方向的距離Wval的區域的外側進行元件安裝的情況下，由於執行基於基板按壓部件431、432的矯正處理，對沒有翹曲的平坦的基板FB進行元件安裝，所以也能夠在預先設定於基板FB上的元件搭載位置上準確地進行元件安裝。
[0059]另外，在背撐部件41的Y方向外側配置有(+ Y)側套筒SL、軸SF以及缸CY，背撐部件41不會構成障礙，容易從(+ Y)側進行(+ Y)側套筒SL、軸SF以及缸CY的檢查，維護管理變得容易。同樣地，在背撐部件41的Y方向外側配置有(-Y)側套筒SL以及軸SF，背撐部件41不會構成障礙，容易從(一 Y)側進行(一 Y)側套筒SL以及軸SF的檢查，維護管理變得容易。另外，多個套筒SL、軸SF以及缸CY相當於本發明的「升降驅動部」的一例。
[0060]圖4A、圖4B和圖4C是表示本發明的基板固定裝置的第二實施方式的圖。該第二實施方式與第一實施方式不同的方面是追加了緩衝部件，其他結構與第一實施方式相同。因此，以下以不同點為中心進行說明，關於相同結構標註相同附圖標記，省略其結構說明。
[0061]在第一實施方式中，基板按壓部件431、432分別直接安裝於輸送機框221、222上，但是在第二實施方式中分別經由緩衝部件441、442安裝於輸送機框221、222上。S卩，用於插入(+ Y)側的緩衝部件441的凹部向(+ Z)方向開口地設於(+ Y)側輸送機框221上。該緩衝部件441由壓縮盤簧451和軸461構成。在軸461的下端設置彈簧支承部461a，在軸461的上端部形成有外螺紋。並且，在由彈簧支承部461a支承壓縮盤簧451的狀態下，壓縮盤簧451和軸461從上述開口插入於凹部的內部，並且軸461的上端部擰入輸送機框221的凸緣狀部件221a中而與之連接。由此，軸461的上端部與(+Y)側基板按壓部件431連接。因此，(+ Y)側基板按壓部件431承受壓縮盤簧451的作用力的同時相對於輸送機框221沿上下方向Z移動自如地被連接。另外，凹部的(-Z)方向的開口由蓋部件覆蓋。
[0062]另一方面，(一 Y)側的緩衝部件442也與(+Y)側緩衝部件441同樣地構成。即，在由彈簧支承部462a支承壓縮盤簧452的狀態下，壓縮盤簧452和軸462插入於設於(一Y)側輸送機框222的凹部，進而將軸462的上端部擰入輸送機框222的凸緣狀部件222a中而與(一 Y)側基板按壓部件432連接。因此，(-Y)側基板按壓部件432承受壓縮盤簧452的作用力的同時相對於輸送機框222沿上下方向Z移動自如地被連接。
[0063]在如此構成的第二實施方式中，也與第一實施方式同樣地，執行基板按壓部件431、432對非安裝區域NMR的按壓、按壓解除，但是通過追加了緩衝部件441、442而獲得以下的作用效果。即，進行矯正處理時，對非安裝區域NMR施加的按壓力在基板按壓部件431、432相對於非安裝區域NMR的抵接初期階段緩慢上升後保持為恆定值，執行翹曲的矯正處理。相反，在元件安裝後使基板按壓部件431、432從非安裝區域NMR離開時，上述按壓力緩慢減小。因此，能夠使矯正翹曲時發揮的按壓力穩定化。而且，即使在使基板按壓部件431、432從基板FB的非安裝區域NMR離開時也能夠抑制上述按壓力急劇變動，能夠緩解該離開時作用於基板FB的衝擊，其結果是，能夠更有效地防止安裝元件的位置偏移。
[0064]圖5是表示具備作為本發明的基板固定裝置的第三實施方式的基板固定部的基板作業裝置的圖，是該基板作業裝置的基板固定部和基板搬運部的局部立體圖。另外，圖6A、圖6B、圖6C和圖6D是示意性地表示基板固定部的動作的圖。另外，這些附圖中，為了明確各圖的方向關係，示出了 XYZ直角坐標軸。
[0065]圖5所示的基板作業裝置與圖1所示的基板作業裝置同樣地，是在基板FB的安裝區域MR (圖6D)上安裝元件的表面安裝機1，除基板固定部以外，具有與第一實施方式基本相同的結構。因此，以下以不同點為中心進行說明，關於相同的結構，標註相同的附圖標記，省略其結構說明。
[0066]本實施方式的基板固定部4具有背撐部件41、支撐該背撐部件41的四根支柱42、兩個基板按壓部件433、434、兩個可動部件471、472以及切換驅動部(省略圖示)。背撐部件41除了其X軸方向的長度比基板FB的X軸方向的長度(所謂基板長度)短一些以外而與第一實施方式同樣地構成。即，背撐部件41由在上表面穿設有多個吸引孔41a的吸附板構成，配置成在作業位置P2處從上方俯視觀察位於一對輸送機225、226之間。另外，該背撐部件41通過四根支柱42在使上表面(吸附面)411位於比由基板搬運部2搬運基板FB的搬運路徑TP低的位置的狀態下固定於基臺11。在背撐部件41的下遊(一 X)側端面連接有負壓供給配管7的一端。該負壓供給配管7的另一端與省略圖示的真空泵等負壓供給源連接。並且，控制器3控制負壓向背撐部件41的供給和供給停止，從而執行背撐部件41對基板FB的吸附固定和吸附解除。
[0067]在第三實施方式中，也通過兩個基板按壓部件433、434矯正基板FB的翹曲，為了如後所述使基板按壓部件433、434分別壓入基板FB的(+ X)側端部和(一 X)側端部而進行矯正處理，形成為以下結構。在背撐部件41的上遊側即(+X)側，沿Y軸方向延伸的可動部件471在輸送機框221、222之間與背撐部件41鄰接配置。該可動部件471如圖6A所示在紙面(XZ平面)中具有大致L字形剖面，其一端部471a由兩端固定於輸送機框221、222上的支撐軸473軸支撐而轉動自如地被支撐。並且，可動部件471被設置成，由從省略圖示的缸、馬達等切換驅動部施加的驅動力使可動部件471轉動，使另一端部471b的位置在比輸送機225、226低的位置(參照圖6A)和比輸送機225、226高的位置(參照圖6B、圖6C和圖6D)之間進行切換。
[0068]在可動部件471的另一端部471b上安裝有基板按壓部件433。並且，當可動部件471的另一端部471b由切換驅動部切換到比輸送機225、226低的位置上時，如圖6A所示，基板按壓部件433伴隨著可動部件471而比搬運路徑TP低，定位於不與基板FB發生幹擾的退避位置上。另一方面，當可動部件471的另一端部471b由切換驅動部切換到比輸送機225,226高的位置上時，如圖6B所示，基板按壓部件433伴隨著可動部件471而比輸送機225,226高，以從可動部件471朝向背撐部件41的(+ Y)側端部的上方空間突出的方式被定位。
[0069]另一方面，在背撐部件41的下遊側即(一 X)側，夾著背撐部件41與可動部件471和基板按壓部件433對稱地配置有可動部件472和基板按壓部件434。S卩，在XZ平面內具有大致L字形剖面的可動部件472在輸送機框221、222之間與背撐部件41的(一 X)側鄰接，由兩端固定於輸送機框221、222上的支撐軸474軸支撐而轉動自如地設置。並且，通過從上述切換驅動部施加的驅動力使可動部件472轉動，使另一端部472b的位置在比輸送機225、226低的位置(參照圖6A)和比輸送機225、226高的位置(參照圖6B、圖6C和圖6D)之間進行切換。另外，在可動部件472的另一端部472b上安裝有基板按壓部件434，與(+X)側的可動部件471同樣地，在從搬運路徑TP離開的退避位置和輸送機225、226的上方位置之間進行切換。
[0070]接著，參照圖5、圖6A、圖6B、圖6C和圖6D對如上所述構成的表面安裝機I的動作進行說明。在表面安裝機I中，與第一實施方式同樣地，如圖5所示，當能夠在基板停止位置Pl對待機中的基板FB進行元件安裝時，控制器3根據安裝程序控制搬入機構21和主搬運機構22，將基板FB搬運到作業位置P2上並進行定位。在該第三實施方式中，定位於作業位置P2的基板FB如圖6A所示，以基板FB的(十X)側端部位於比背撐部件41靠(+X)側並且(一 X)側端部位於比背撐部件41靠(一 X)側的方式定位於作業位置P2上。在如此將基板FB搬運到作業位置P2的期間，可動部件471、472和基板按壓部件433、434退避到從搬運路徑TP離開的退避位置上，避免與基板FB發生幹擾。
[0071]接著，省略圖示的切換驅動部工作，使可動部件471、472在圖6B的紙面上分別繞順時針及逆時針轉動。由此，在基板FB的(+ X)側，基板按壓部件433位於從輸送機225、226向上方離開規定的空隙CL的位置上，並且在基板FB的(一 X)側，基板按壓部件434也位於從輸送機225、226向上方離開規定的空隙CL的位置上。
[0072]接著，控制器3開始對背撐部件41供給負壓。與此同時或之後，控制器3使缸CY的活塞向下方後退，使輸送機框221、222以及基板按壓部件431、432 —體地下降。該下降動作中，如圖6C所示，在基板FB的一部分抵接並吸附於背撐部件41的上表面411上後，伴隨進一步的下降動作，被吸附保持的區域擴大到上表面411整體。並且，如圖6D所示，當輸送機225、226移動到比背撐部件41的上表面(基板吸附面)411低的位置上時，輸送機225、226從基板FB向下方游離(即，基板FB從一對輸送機225、226向上方離開),基板FB中的進行元件安裝的安裝區域MR的下表面整體吸附固定於背撐部件41的上表面411上。
[0073]另外，在執行安裝區域MR的吸附保持期間，基板FB中的除安裝區域MR以外的非安裝區域NMR所產生的翹曲由基板按壓部件433、434矯正。即，(+ X)側基板按壓部件433在與輸送機框221—起下降期間，與向上方翹曲的(+X)側非安裝區域NMR抵接後，進一步向下方按壓。由此，基於基板按壓部件433的全部按壓力經由基板FB傳遞給背撐部件41，從而在(+ X)側非安裝區域NMR產生的翹曲被矯正。另外，(一 X)側基板按壓部件434也與(+ X)側基板按壓部件433同樣地矯正在(-X)側非安裝區域NMR產生的翹曲。
[0074]當基板FB的固定和矯正完成時，在由基板按壓部件433、434按壓非安裝區域NMR而矯正了翹曲的狀態下，控制器3控制各部分裝置，而在安裝區域MR的表面上安裝元件。另夕卜，當元件安裝完成時，控制器3停止對背撐部件41供給負壓並同時將背撐部件41的吸引孔41a向大氣開放。另外，控制器3使缸CY的活塞向上方前進，使輸送機框221、222、可動部件471、472以及基板按壓部件433、434 —體地上升。由此，按壓非安裝區域NMR的基板按壓部件433、434緩慢地從非安裝區域NMR向上方離開，並且元件安裝後的基板FB從背撐部件41移載到輸送機225、226上。
[0075]當基板從背撐部件41向輸送機225、226的移載完成時，控制器3控制切換驅動部，使可動部件471、472在圖6D的紙面上分別繞逆時針和順時針轉動。由此，基板按壓部件433、434定位於退避位置上。並且，控制器3控制主搬運機構22和搬出機構23，將基板FB從表面安裝機I搬出。
[0076]如上所述，在本實施方式中，沿搬運路徑TP搬運基板FB時使可動部件471、472以及基板按壓部件433、434退避到從搬運路徑TP離開的位置上，但是與第一實施方式同樣地矯正定位於作業位置P2上的基板FB的外周部的翹曲。因此，可獲得與第一實施方式同樣的作用。
[0077]另外，在上述實施方式中，背撐部件41由在上表面穿設有多個吸引孔41a的吸附板構成，通過對多個吸引孔41a供給負壓，從而將基板FB固定於背撐部件41上表面。但是，在由上表面未配置有多個吸引孔41a的背撐部件41支撐基板FB的表面安裝機1、印刷機、基板檢查裝置等基板作業裝置中，基板FB的保持固定也可以通過使基於基板按壓部件431?434的基板按壓力經由從一對輸送機225、226向上方離開的基板FB作用於背撐部件41上而兼作實施基板FB的外周部的翹曲的矯正。
[0078]如此，在上述實施方式中，輸送機框221、222分別相當於本發明的「第一搬運框」和「第二搬運框」的一例。另外，一對輸送機225、226作為本發明的「一對搬運部件」而發揮功能，將膜狀的基板FB搬運到作業位置P2。另外，基板按壓部件431?434分別相當於本發明的「第一基板按壓部件」、「第二基板按壓部件」、「第三基板按壓部件」以及「第四基板按壓部件」的一例。另外，緩衝部件441、442分別相當於本發明的「第一緩衝部件」以及「第二緩衝部件」的一例。另外，可動部件471、472分別相當於本發明的「第一可動部件」和「第二可動部件」的一例。另外，頭單元6作為本發明的「基板作業部」而發揮功能。
[0079]另外，本發明不限於上述實施方式，只要不脫離其主旨，能夠對上述的方案施加各種變更。例如，在上述第三實施方式中，將基板按壓部件433、434分別直接安裝於可動部件471、472，但是也可以與第二實施方式同樣地，經由緩衝部件進行安裝。即，能夠形成如下結構:不將支撐軸473、474的兩端直接固定於輸送機框221、222上，而在相當於第二實施方式的軸461、462的上端部分別連接固定支撐軸473、474，經由支撐軸473、474以及可動部件471、472在基板按壓部件433、434上分別作用相當於壓縮盤簧451、452的作用力，基板按壓部件433、434分別承受相當於壓縮盤簧451、452的作用力的同時相對於輸送機框221、222分別沿上下方向Z移動自如。
[0080]另外，在上述實施方式中，固定配置背撐部件41，而使主搬運機構22的構成元件(輸送機框、輸送機、基板按壓部件等)升降，執行基板FB的移載和翹曲矯正處理，但是也可以固定配置主搬運機構22，而使背撐部件41升降，進行基板移載和翹曲矯正。在這種情況下，本發明也可以適用於將搬入機構21、主搬運機構22以及搬出機構23 —體化的、即以僅由一對輸送機將基板FB搬運到作業位置P2的方式構成基板搬運部2的表面安裝機。
[0081]另外，在上述實施方式中，在主搬運機構22的內側固定配置位於兩個輸送機框221,222的中間的背撐部件41，而使構成背撐部件41的外側的主搬運機構22的構成元件(輸送機框、輸送機、基板按壓部件等)升降，執行基板FB的移載和翹曲矯正處理，所以容易檢查由缸CY、軸SF、套筒SL等構成的升降驅動部，維護管理變得容易。
[0082]另外，在第一實施方式和第二實施方式中，由基板按壓部件431、432矯正在基板FB的Y軸方向側的端部產生的翹曲，在第三實施方式中，由基板按壓部件433、434矯正在基板FB的X軸方向側的端部產生的翹曲，但是基板按壓部件的個數、配置位置不限於此，而是任意的，例如可以通過基板按壓部件431?434壓入基板FB的外周部整體而矯正翹曲。
[0083]另外，在上述實施方式中，將本發明的基板固定技術適用於表面安裝機1，但是該基板固定技術的適用對象不限於此，也能夠適用於檢查安裝於基板上的元件的檢查裝置、在基板上將粘接劑等塗敷於基板的點膠機或固定基板並同時移動掩模側進行對位而在基板表面印刷焊膏的印刷裝置等。
[0084]在如上所述構成的發明中，在基板在作業位置從一對搬運部件向上方離開並同時由背撐部件從下方進行支撐的狀態下，基板按壓部件向下方按壓上述基板的外周部表面。由此，基於基板按壓部件的全部按壓力經由基板傳遞給背撐部件，從而通過基板按壓部件和背撐部件來固定基板，並且良好地矯正基板的外周部的翹曲。另外，通過利用這樣的基板固定技術，能夠在矯正了基板外周部的翹曲的狀態下對除由基板按壓部件按壓的區域以外的基板的表面區域進行規定的作業，能夠良好地進行該作業。特別是，即使在基準標記位於基板的外周部上表面的情況下，也能夠以矯正了該部分的翹曲的狀態進行識別，能夠檢測準確的基板位置、基板方向，能夠在對之後的基板的表面區域進行的規定的作業中良好地進行該作業。
[0085]在此，也可以構成為，背撐部件在上表面具有吸引孔，由上表面支撐並同時吸附固定被搬運到作業位置的基板的下表面。在如此由背撐部件的上表面吸附基板的情況下，例如日本特開2004 — 296632號公報所記載的發明那樣，即使將基板按壓部件按壓於基板表面而矯正了翹曲，當使基板按壓部件從基板表面退避時，基板的外周部也會產生翹曲，而且由於該翹曲使基板周邊附近的吸引力降低，使翹曲進一步擴大。相對於此，本發明中，基板按壓部件向下方按壓上述基板的外周部表面而矯正了翹曲，所以即使在基板周邊附近也不會使吸引力降低，能夠通過背撐部件可靠而且穩定地固定基板。
[0086]在此，升降驅動部也可以構成為在背撐部件的外側使基板按壓部件與一對搬運部件一起升降。由此，升降驅動部位於背撐部件的外側，從而容易檢查，維護管理變得容易。[0087]另外，為了使基板按壓部件與一對搬運部件一起下降，例如也可以將基板按壓部件安裝於第一搬運框和第二搬運框中的至少一方上，其中，上述第一搬運框支撐一對搬運部件中的一方，上述第二搬運框支撐上述一對搬運部件中的另一方。在這種情況下，為了同時實現基板搬運和基板矯正，優選使基板按壓部件從一對搬運部件向上方離開比基板的厚度和翹曲量相加所得的值大的距離。
[0088]另外，作為基板按壓部件，能夠使用與搬運路徑平行而分別延伸設置的第一基板按壓部件和第二基板按壓部件，例如將第一基板按壓部件安裝於第一搬運框上，並且將第二基板按壓部件安裝於第二搬運框上。通過採用這樣的結構，能夠分別由第一基板按壓部件和第二基板按壓部件向下方按壓與搬運方向正交的基板寬度方向上的基板的兩端部而矯正翹曲。
[0089]另外，也可以構成為，第一基板按壓部件經由第一緩衝部件安裝於第一搬運框上，第二基板按壓部件經由第二緩衝部件安裝於第二搬運框上。通過如此安插緩衝部件，從而能夠使基板按壓部件向基板的外周部表面施加的按壓力穩定化。另外，即使在使基板按壓部件從基板的外周部表面離開時，也能夠抑制上述按壓力急劇變動，緩解在該離開時作用於基板上的衝擊。
[0090]另外，作為基板按壓部件，也可以使用在與搬運方向正交的基板寬度方向上延伸設置的第三基板按壓部件和第四基板按壓部件。即，可以構成為，設置:在搬運基板的搬運方向上的背撐部件的上遊側相對於第一搬運框和第二搬運框移動自如地被支撐的第一可動部件；在搬運方向上的背撐部件的下遊側相對於第一搬運框和第二搬運框移動自如地被支撐的第二可動部件；以及使第一可動部件和第二可動部件移動的移動部，第三基板按壓部件安裝於第一可動部件上，並且第四基板按壓部件安裝於第二可動部件上，移動部通過第一可動部件的移動而使第三基板按壓部件移動到在背撐部件的上遊側被搬運到作業位置的基板的外周部表面的上方位置和從搬運路徑離開的第一退避位置，通過第二可動部件的移動而使第四基板按壓部件移動到在背撐部件的下遊側被搬運到作業位置的基板的外周部表面的上方位置和從搬運路徑離開的第二退避位置。通過採用這樣的結構，分別由第三基板按壓部件和第四基板按壓部件向下方按壓搬運方向上的基板的兩端部而矯正翹曲。
[0091]另外，也可以構成為，第三基板按壓部件經由第三緩衝部件安裝於第一可動部件上，第四基板按壓部件經由第四緩衝部件安裝於第二可動部件上，由此，能夠獲得與設有第一緩衝部件和第二緩衝部件的情況相同的作用效果。
[0092]根據本發明，在基板從一對搬運部件向上方離開並同時由背撐部件從下方進行支撐的狀態下，基板按壓部件向下方按壓上述基板的外周部表面。由此，基於基板按壓部件的全部按壓力經由基板傳遞給背撐部件，所以能夠良好地矯正該基板的外周部上所產生的翹曲變形。另外，能夠在由基板按壓部件按壓基板的外周部的狀態下對除由基板按壓部件按壓的區域以外的表面區域實施規定的作業，能夠不受翹曲的影響而良好地進行該作業。
【權利要求】
1.一種基板固定裝置，對由彼此分離配置的一對搬運部件從下方支撐並沿搬運路徑進行搬運的膜狀的基板，在所述搬運路徑的途中的作業位置進行支撐並固定， 所述基板固定裝置的特徵在於，具備: 背撐部件，從上方俯視觀察時，位於所述一對搬運部件之間，並且位於被搬運到所述作業位置的基板的下方； 基板按壓部件，位於被搬運到所述作業位置的基板的外周部表面的上方；以及 升降驅動部，使所述背撐部件以及所述基板按壓部件中的至少一方升降， 所述升降驅動部使所述背撐部件上升及/或使所述基板按壓部件與所述一對搬運部件一起下降，從而由所述背撐部件從下方支撐所述基板並使所述基板從所述一對搬運部件向上方離開，並且由所述基板按壓部件向下方按壓所述基板的外周部表面而矯正所述基板的外周部的翹曲。
2.根據權利要求1所述的基板固定裝置，其中， 所述背撐部件在上表面具有吸引孔，由所述上表面支撐並吸附固定被搬運到所述作業位置的基板的下表面。
3.根據權利要求1或2所述的基板固定裝置，其中， 所述升降驅動部 在所述背撐部件的外側使所述基板按壓部件與所述一對搬運部件一起升降。
4.根據權利要求1或2所述的基板固定裝置，其中， 所述基板按壓部件在從所述一對搬運部件向上方離開了比所述基板的厚度與翹曲量相加所得的值大的距離的狀態下安裝於第一搬運框和第二搬運框中的至少一方上，所述第一搬運框支撐所述一對搬運部件中的一方，所述第二搬運框支撐所述一對搬運部件中的另一方。
5.根據權利要求4所述的基板固定裝置，其中， 作為所述基板按壓部件，具有與所述搬運路徑平行地分別延伸設置的第一基板按壓部件和第二基板按壓部件， 所述第一基板按壓部件安裝於所述第一搬運框上，並且所述第二基板按壓部件安裝於所述第二搬運框上。
6.根據權利要求5所述的基板固定裝置，其中， 所述第一基板按壓部件經由第一緩衝部件安裝於所述第一搬運框上，所述第二基板按壓部件經由第二緩衝部件安裝於所述第二搬運框上。
7.根據權利要求4所述的基板固定裝置，其中， 所述基板固定裝置具備: 第一可動部件，被支撐為在搬運所述基板的搬運方向上的所述背撐部件的上遊側相對於所述第一搬運框和所述第二搬運框移動自如； 第二可動部件，被支撐為在所述搬運方向上的所述背撐部件的下遊側相對於所述第一搬運框和所述第二搬運框移動自如；以及 切換驅動部，使所述第一可動部件和所述第二可動部件移動而切換所述第一可動部件和所述第二可動部件的位置， 作為所述基板按壓部件，具有在與所述搬運方向正交的基板寬度方向上延伸設置的第三基板按壓部件和第四基板按壓部件， 所述第三基板按壓部件安裝於所述第一可動部件上，並且所述第四基板按壓部件安裝於所述第二可動部件上， 所述切換驅動部通過所述第一可動部件的移動而使所述第三基板按壓部件移動到在所述背撐部件的上遊側被搬運到所述作業位置的基板的外周部表面的上方位置和從所述搬運路徑離開的第一退避位置，通過所述第二可動部件的移動而使所述第四基板按壓部件移動到在所述背撐部件的下遊側被搬 運到所述作業位置的基板的外周部表面的上方位置和從所述搬運路徑離開的第二退避位置。
8.根據權利要求7所述的基板固定裝置，其中， 所述第三基板按壓部件經由第三緩衝部件安裝於所述第一可動部件上，所述第四基板按壓部件經由第四緩衝部件安裝於所述第二可動部件上。
9.一種基板作業裝置，其特徵在於，具備: 基板搬運部，由彼此分離配置的一對搬運部件從下方支撐並沿搬運路徑搬運膜狀的基板； 基板固定部，具有與權利要求1所述的基板固定裝置相同的結構，對由所述基板搬運部搬運到所述搬運路徑的途中的作業位置的基板進行支撐並固定；以及 基板作業部，對由所述基板固定部固定的基板的表面中的、除由所述基板按壓部件按壓的區域以外的表面區域實施規定的作業。
10.一種基板固定方法，對由彼此分離配置的一對搬運部件從下方支撐並沿搬運路徑進行搬運的膜狀的基板在所述搬運路徑的途中的作業位置進行支撐並固定， 所述基板固定方法的特徵在於，具備如下工序: 支撐工序，代替所述一對搬運部件，由在所述作業位置處從上方俯視觀察時位於所述一對搬運部件之間的背撐部件從下方支撐被搬運到所述作業位置的基板；以及 矯正工序，由基板按壓部件向下方按壓由所述背撐部件支撐的所述基板的外周部表面而矯正所述基板的外周部的翹曲。
11.根據權利要求10所述的基板固定方法，其中， 所述支撐工序中，由所述背撐部件的上表面吸附保持被搬運到所述作業位置的基板的下表面。
【文檔編號】H05K3/00GK103974542SQ201310705898
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2013年12月19日 優先權日:2013年2月6日
【發明者】岸本洋平 申請人:山葉發動機株式會社