金屬化薄膜電容器和汽車用逆變器平滑用電容器的製作方法

2023-10-18 07:10:29

專利名稱：：金屬化薄膜電容器和汽車用逆變器平滑用電容器的製作方法
技術領域：
：本發明涉及用於電力設備、各種電源電路、通訊設備、包括電動汽車的車輛等的金屬化薄膜電容器。
背景技術：
：在現有的帶有自我保護機構的巻繞型塑料薄膜電容器中，成為電極引出部的部分的電極厚度構成得較厚。以此來提高與成為電極導出部的金屬接點(metallizedcontact)的連接強度。這種薄膜電容器在例如日本專利特開昭62-183506號公報中被公開。另外，已知具有以下構造的自我保護機構。g卩，在蒸鍍電極內使用作為金屬非蒸鍍部的狹縫來構成微小區塊，設在所述狹縫間的保險絲(fuse)連接各微小區塊。這樣使得分割電極並聯連接。再者，近年來將狹縫設置成格子狀的分割電極圖案的自我保護機構也已經公知。此外，在日本專利特開2004-134561號公報中還公開有具有在電流通電時保險絲的發熱少且電容減少也較少的特徵的自我保護機構圖案。圖6A圖7B是現有金屬化薄膜電容器的示意圖。圖6A是現有金屬化薄膜電容器的透視平面圖，圖6B是圖6A的C-C面的剖面圖。圖7A是現有另一金屬化薄膜電容器的透視平面圖，圖7B是圖7A的D-D'面的剖面圖。在圖6A、圖6B所示的構造中，在由聚丙烯薄膜等構成的電介質薄膜(以下，簡稱薄膜)IIA、IIB各自的上表面上，分別設置有由金屬蒸鍍膜構成的高電阻部12A、12B和低電阻部13A、13B。在高電阻部12A、12B上分別設置有第一狹縫16B、第二狹縫16A、第三狹縫16C。各狹縫彼此之間的部分作為保險絲14起作用。微小區塊17由各狹縫包圍。在低電阻部13A、13B上，從薄膜11A、IIB的側面一側焊接有成為電極引出部的金屬接點(未圖示)。為此，低電阻部13A、13B構成得比高電阻部12A、12B厚，膜電阻值較低。並且，在薄膜11A、11B的上表面上設置有未蒸鍍金屬的帶狀部15A、15B作為絕緣邊緣，以便在焊接金屬接點時薄膜IIA、11B上的金屬蒸鍍膜彼此之間不會短路。第一狹縫16B、第二狹縫16A、第三狹縫16C設置在薄膜IIA、11B的寬度方向的中央，或者相較於此更靠近帶狀部15A、15B的一側。在圖7A、圖7B所示的構造中，高電阻部12C、12D的電極圖案與圖6A、圖6B所示的構造不同。艮卩，第一狹縫16B、第二狹縫16A、第三狹縫16C設置在高電阻部12C的整個寬度方向上，而高電阻部12D上未設置狹縫。在圖6A、圖6B所示的金屬化薄膜電容器中，保險絲14作為自我保護機構起作用。然而，在疊層以這樣的方式設置有狹縫的薄膜11A、IIB來構成電容器的情況下，在所疊層的薄膜11A、IIB的寬度方向的中央部設置的保險絲14的位置會重疊。即，分別設置在上下薄膜IIA、IIB上的第一狹縫16B彼此重疊。因此，設置在第一狹縫16B上的保險絲14的位置也重疊。當進行大電流的通電時，在此部分會局部性地發熱顯著。另一方面，在圖7A、圖7B所示的金屬化薄膜電容器中，在整個高電阻部12C上設置有保險絲14，而且在較薄膜11A的寬度方向的中央更靠近電極引出部一側也形成有保險絲14。該電極引出部一側的保險絲14上的發熱較大。如上所述在具有現有構造的薄膜電容器中發熱大，由於該發熱而導致電容器的壽命低下，或者導致作為自我保護機構的保險絲14的工作性不穩定。
發明內容本發明的金屬化薄膜電容器中，在電介質薄膜的上下具有金屬蒸鍍電極。金屬蒸鍍電極僅在與金屬接點連接的低電阻部的相反一側設置有狹縫而被分割，並在狹縫間設置有保險絲。這樣在低電阻部一側並未設置自我保護機構的保險絲部，因此保險絲部的工作性提高。另外，能夠採用擴寬用於確保保險絲工作性的保險絲寬度範圍的方式，帶動製造時的產量提高。再者，在疊層的金屬化薄膜中，設置在金屬蒸鍍電極的寬度方向的中央部分且在電介質薄膜的長邊方向上延伸的狹縫不會重疊。因此，由於保險絲不相互重疊而容易散熱，並且保險絲工作的不均勻性小。圖1是本發明實施方式的金屬化薄膜的立體圖。圖2A是圖l所示金屬化薄膜的平面圖。圖2B是圖2A所示金屬化薄膜的剖面圖。圖3A是表示使用圖1所示金屬化薄膜的金屬化薄膜電容器的結構的透視平面圖。圖3B是圖3A所示金屬化薄膜電容器的主要部分剖面圖。圖3C是圖3A所示金屬化薄膜電容器的剖面圖。圖3D是本發明實施方式的另一金屬化薄膜電容器的主要部分剖面圖。圖4是本發明實施方式的保險絲的平面圖。圖5是本發明實施方式的另一保險絲的平面圖。圖6A是表示現有金屬化薄膜電容器的結構的透視平面圖。圖6B是圖6A所示金屬化薄膜電容器的剖面圖。圖7A是表示現有另一金屬化薄膜電容器的結構的透視平面圖。圖7B是圖7A所示金屬化薄膜電容器的剖面圖。附圖標記說明1第一電介質薄膜1A、1B第二電介質薄膜2第一高電阻部2A第二高電阻部3第一低電阻部3A第二低電阻部4第一保險絲4A第二保險絲4B、4C保險絲角部4D平坦部分5A6B6A6C6X6E6D6F6Y6G7、7A8IIA、12A、13A、1415A、16B16A16C1711B12B、13B15B第一帶狀部(絕緣邊緣)第二帶狀部(絕緣邊緣)第一狹縫第二狹縫第三狹縫第四狹縫第五狹縫第六狹縫第七狹縫第八狹縫第一狹縫的寬度微小區塊金屬接點電介質薄膜12C、12D高電阻部低電阻部保險絲帶狀部(絕緣邊緣)第一狹縫第二狹縫第三狹縫微小區塊具體實施方式圖1是本發明第一實施方式的金屬化薄膜的立體圖，圖2A是其平面圖，圖2B是沿圖2A的A-A'面的剖面圖。圖3A是疊層圖1圖2B所說明的金屬化薄膜後的狀態的透視平面圖。圖3B是沿圖3A的B-B'面的剖面圖。圖3C是使用圖1所示金屬化薄膜構成的薄膜電容器的剖面圖。在作為由聚丙烯薄膜等構成的第一電介質薄膜(以下，簡稱薄膜)1的第一面的上表面上，設置有第一金屬蒸鍍電極，該第一金屬蒸鍍電極由第一高電阻部(以下，簡稱高電阻部)2和沿作為薄膜1長邊方向的第一邊的第一低電阻部(以下，簡稱低電阻部)3構成。在高電阻部2上，設置有第一狹縫(以下，簡稱狹縫)6B、第二狹縫(以下，簡稱狹縫)6A、第三狹縫(以下，簡稱狹縫)6C、第四狹縫(以下，簡稱狹縫)6X而形成電極圖案。微小區塊7由各狹縫包圍。這種電極圖案通過以下方式製成例如在對金屬進行蒸鍍之前，先在薄膜1的上表面上通過轉印等將油形成圖案，以此形成作為非蒸鍍部的狹縫。其中，電極圖案的製作方法並無特別限定。如圖3C所示，在低電阻部3上，從薄膜1的側面一側焊接有成為電極引出部的金屬接點8。因此，低電阻部3構成得比高電阻部2厚，膜電阻值低於第一金屬蒸鍍電極的其他部分。並且，為了在焊接金屬接點8吋不發生短路，在薄膜1的上表面，沿與低電阻部3相對的位置的、與第一邊相對的第二邊設置有未蒸鍍金屬的帶狀部5，作為絕緣邊緣。在本實施方式中，僅在比低電阻部3更靠近帶狀部5的一側設置有狹縫6A，且在狹縫6A之間設置有第一保險絲(以下，簡稱保險絲)4。另外，對於狹縫6B、狹縫6C，以連接微小區塊7構成分割電極的方式設置有保險絲4。g卩，實質上相互以一定的間隔設置的多個狹縫6B被設置在薄膜1的從第一邊朝向相對的第二邊的方向上(薄膜1的寬度方向)的中央部分。並且在與從第一邊朝向第二邊的方向正交的方向上(薄膜l的長邊方向)延伸。多個狹縫6A分別與狹縫6B相連通，並且被設置在比狹縫6B更靠近薄膜1的第二邊一側，在從第一邊朝向第二邊的方向上(薄膜1的寬度方向)延伸。實質上相互以一定的間隔設置的多個狹縫6C與狹縫6A相連通，並且在與狹縫6B平行的方向上延伸。狹縫6X在延長狹縫6A的位置上，與狹縫6A隔開間隔設置，且在第一金屬蒸鍍電極的第二邊一側開口。而且在狹縫6B彼此之間、狹縫6C彼此之間、以及狹縫6A和狹縫6X之間分別設置有保險絲4。接著，使用圖3A、圖3B、圖3C對本實施方式的薄膜電容器的結構進行說明。下側的第二電介質薄膜(以下，簡稱薄膜)1A具有與使用圖1圖2B說明的薄膜1相同的構造。而且如圖3A、圖3B所示，疊層在低電阻部3與帶狀部5A、低電阻部3A與帶狀部5相互重疊的位置上。在由聚丙烯薄膜等構成的薄膜1A的上表面，設置有由第二高電阻部(以下，簡稱高電阻部)2A和第二低電阻部(以下，簡稱低電阻部)3A所構成的第二金屬蒸鍍電極。低電阻部3A在作為薄膜1的下表面的第二面一側以平行於第二邊的方式配置。在高電阻部2A上，分別設置有相當於狹縫6B的第五狹縫(以下，簡稱狹縫)6E、相當於狹縫6A的第六狹縫(以下，簡稱狹縫)6D、相當於狹縫6C的第七狹縫(以下，簡稱狹縫)6F、相當於狹縫6X的第八狹縫(以下，簡稱狹縫)6Y。微小區塊7A由各狹縫包圍。在與低電阻部3A相對的位置上，作為絕緣邊緣設置有未蒸鍍金屬的帶狀部5A。S卩，第二金屬蒸鍍電極以不露出第-一邊的方式設置在與薄膜1的第一面相對的第二面一側。而且僅在比低電阻部3A更靠近帶狀部5A的一側設置狹縫6D，在狹縫6D、6Y之間設置第二保險絲(以下，簡稱保險絲)4A。另外，狹縫6E、狹縫6F在各自之間以連接微小區塊7A構成分割電極的方式設置有保險絲4A。艮口，實質上相互以一定的間隔設置的多個狹縫6E被設置在薄膜1的從第一邊朝向第二邊的方向的中央部分，且在與從第一邊朝向第二邊的方向正交的方向上延伸。多個狹縫6D分別與狹縫6E相連通，並且設置在比狹縫6E更靠近薄膜1的第一邊一側，在從第二邊朝向第一邊的方向上延伸。實質上相互以一定的間隔設置的多個狹縫6F與狹縫6D相連通，並在與狹縫6E平行的方向上延伸。狹縫6Y在延長狹縫6D的位置上與狹縫6D隔開間隔設置，且在第二金屬蒸鍍電極的第一邊一側開口。在狹縫6E彼此之間、狹縫6F彼此之間以及狹縫6D和狹縫6Y之間分別設置有保險絲4A。如圖3A所示，設置在薄膜1上的狹縫6B與設置在薄膜1A上的第一狹縫6E以相互不重疊的方式疊層。g卩，在從第一邊朝向第二邊的方向上，狹縫6B的位置與狹縫6E的位置錯開。進一步巻繞它們，並如圖3C所示向薄膜1、1A的兩側面噴鍍金屬，形成分別與低電阻部3、3A連接的作為外部電極引出部的金屬接點8，從而構成金屬化薄膜電容器。金屬接點8彼此之間絕緣。在以上的結構中，按照使狹縫6B、6E相互不重疊的方式疊層薄膜1、1A。因此在進行大電流的通電時即便產生較大發熱，也不會因為該發熱影響到其他保險絲4，作為自我保護機構的保險絲4的工作性穩定。另外，對於高電阻部2上的狹縫6A而言，僅在帶狀部5—側的微小區塊7中設置有保險絲4。因此，如圖2A所示，在由狹縫6A、6B、6C這三條狹縫所構成的微小區塊7中，在兩處連接有保險絲4。因此，在與一個微小區塊7連接的保險絲4上流通的電流變大，而發熱最大的薄膜l、1A的寬度方向中央附近的保險絲4的工作性得到提高。而且由於分割電極被設置成格子狀，因此耐電壓提高，電容減少得到抑制。這些效果對於高電阻部2A也同樣如此。其中，狹縫6B、6E是以相互不重疊的方式進行疊層的，優選錯開距離在薄膜1的寬度的10%以內。通過這樣的方式，也可以抑制由於有效電極面積的低下而導致的電容下降。另外，在本實施方式中，僅在薄膜l、1A的單面進行金屬蒸鍍併疊層。除此以夕卜，也可以如圖3D的剖面圖所示，在薄膜l的雙面進行金屬蒸鍍並設置高電阻部2、2A、低電阻部3、3A，與未進行金屬蒸鍍的第二電介質薄膜1B疊層。通過這樣的方式，能夠縮短高電阻部2、2A之間的距離，從而能夠使電容器高電容化。另外，通過使用較薄的薄膜作為電介質薄膜1B，能夠進一步實現小型化。在現有薄膜電容器中，大多以加厚電介質薄膜作為發熱問題的對策。與此相對，在本實施方式中能夠減小薄膜1、1A的厚度。因此，能夠提高取決於薄膜1的厚度的電位梯度，特別是能夠用於高溫使用環境較多的汽車逆變器平滑用電容器等。接著，對狹縫6B、6E、6D、6F、6Y、6A、6X、6C的形狀進行說明。圖4是設置在圖3A中狹縫6B之間的保險絲4(虛線部)的平面圖。從薄膜1傳導的熱集中在保險絲角部4B。由於該熱的集中，保險絲4可能會熔斷。在這種情況下，有保險絲4易熔斷導致工作性產生不均勻的情況。圖5是表示將保險絲角部4C構成為帶有圓形的形狀後的狀態的平面圖。通過設置成這樣的保險絲角部4C，從薄膜l傳導的熱不會集中在角部，從而降低保險絲4工作的不均勻。因此，優選保險絲4的角部4C像這樣帶有圓形。此吋，更優選除去保險絲角部4C帶有圓形的部分以外的保險絲4的平坦部分4D具有狹縫6B的寬度6G—半以上的長度。通過這樣設置，熱集中的部分變少，從而進一步確保保險絲4的工作性。以上，對狹縫6B進行了說明，狹縫6E、6D、6F、6Y、6A、6X、6C也相同。以下，使用具體的示例來說明本發明的效果。作為樣品1，將厚度3pm、寬度100mm的聚丙烯薄膜用作薄膜1、1A，試製出具有圖1圖3C所示構造的耐壓為750VDC、電容為100^F的電容器。以下，以薄膜1的結構為代表進行說明。蒸鍍鋁以製成高電阻部2，在鋁的基礎上蒸鍍鋅以製成低電阻部3。將作為狹縫6B與狹縫6C之間的間隔的分割邊緣寬度設為10mm，使各個保險絲4的長度為0.3mm。在這種情況下，保險絲4的前端形狀全部是圖5所示的形狀，寬度6G為0.3mm，角部4C的半徑為0.05mm。而且以2片薄膜l、1A為一對時的薄膜寬度方向中央部的保險絲4、4A的錯開距離設為3mm。在巻繞這樣的薄膜對l、1A之後，分別向低電阻部3、3A噴鍍金屬接點8，製成樣品1。接著，作為樣品2，以圖6A所示的電極圖案用與樣品l相同的方式試製出電容器。與樣品1的不同之處在於，薄膜寬度方向中央部的上下的高電阻部12A、12B中的保險絲14重疊。進一步，作為樣品3，以圖7所示的電極圖案用與樣品l相同的方式試製出電容器。將設置有高電阻部12C的薄膜11A與設置有未具有電極圖案的高電阻部12D的薄膜11B作為一對，形成電容器，此高電阻部12C具有將作為第一狹縫16B與第三狹縫16C之間的間隔的分割邊緣寬度設為10mm、且保險絲14的長度設為0.3mm的圖案。使用這些樣品，進行由10Arms30Arms的紋波電流通電引起的溫度上升試驗。該試驗結果示於(表1)。溫度測定在電容器巻芯部並且在寬度方向的中央部進行。表ltableseeoriginaldocumentpage12如(表1)所示，與樣品1相比，樣品2、樣品3的溫度上升值較大。所考慮到的主要原因如下樣品2主要是因為保險絲14在薄膜寬度方向中央部重疊，所以與樣品1相比發熱較大。樣品3中，在高電阻部12C的整個寬度方向上設置有保險絲14，並且在電極引出部一側也形成有保險絲14。主要是因為該電極引出部一側的保險絲14的發熱較大，所以導致整體的溫度上升。樣品1、2的溫度上升與樣品3相比較小的主要原因在於，流過電流路徑上的保險絲中的電流值較小。由於發熱與電流值的大約2次方成比例，所以流過保險絲的電流值較小是發熱得到抑制的最大主要原因。這樣，通過抑制發熱使得作為電容器的耐熱性被提高，從而能夠在以汽車用為首的高溫領域中使用。接著，通過通電20Arms的紋波電流，來進行用於確認高溫領域下的安全性的IO(TC和ll(TC下的電壓提升試驗。電壓提升試驗是以50V/lh的速率提升電壓，直至電容大致為O。結果示於(表2)。表2tableseeoriginaldocumentpage12在IO(TC下樣品13全部的自我保護機構均工作，但在ll(TC下，樣品2、3中發生電容器損壞。這樣，在樣品2、3中的若干個試驗對象中，由於紋波發熱而導致電容器內部溫度上升變高，從而阻礙了自我保護機構的工作性。另一方面，作為本實施方式的樣品l，即使是在ll(TC下自我保護機構也全數工作。即可知通過本發明可以提高耐熱性。接著，作為樣品4，製作前端形狀為圖4所示的狹縫角部4B的形狀的電容器。圖4所示的狹縫的前端形狀成角形。對樣品4的試驗對象和形成前端形狀如圖5所示帶有圓形的角部4C的狹縫的樣品1一起進行保險絲4的耐電流試驗。將發生保險絲斷開的個數作為試驗結果示於(表3)。表3tableseeoriginaldocumentpage13樣品1的試驗對象在1200A下全數發生保險絲斷開，與此相對，樣品4從IOOOA開始發生保險絲斷開，也有的即便在1200A下也未發生保險絲斷開。如上所述，樣品4中保險絲強度的不均勻性較大。在樣品4的保險絲4中，熱集中在保險絲角部4B。B口，對於保險絲強度而言，只有作為前端部分的保險絲角部4B的一個最小距離反映到工作上。因此，最小距離的不均勻性直接反映到保險絲強度的不均勻性上。另一方面，樣品1具有穩定的保險絲強度，能夠獲得自我保護機構工作性非常好的電容器。在本實施方式中，使用聚丙烯薄膜來作為薄膜1、1A，但並不限定於此。也可以使用聚對苯二甲酸乙二酯(PET:polyethyleneterephthalate)、聚苯石t醚(PPS:polyphenylenesulfide)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN:polyethylenenaphthalate)等其他塑料薄膜。另外，在本實施方式中，如圖2A、圖3A所示，作為具有自我保護機構的電極圖案，在薄膜l的寬度方向上設置有兩個微小區塊7。以上對這樣的電極圖案進行了敘述，但是對於在薄膜1的寬度方向上設置有3個以上微小區塊7，且作為電極分割部的狹縫6B、6C總共有3條以上的情況，也同樣奏效。本實施方式的金屬化薄膜電容器即便在高溫使用環境下保險絲4、4A的工作性也較高。因此，能夠在高溫使用環境下的汽車用逆變器中作為平滑用電容器使用。工業利用可能性本發明的金屬化薄膜電容器即便在高溫使用環境下保險絲的工作性也較高。因此，能夠適用於汽車用逆變器的平滑用電容器等。權利要求1.一種金屬化薄膜電容器，其特徵在於，包括第一電介質薄膜；第一金屬蒸鍍電極，其具有沿所述第一電介質薄膜的第一邊設置的第一低電阻部，且被設置在所述第一電介質薄膜的第一面上，此處，第一低電阻部比第一金屬蒸鍍電極中的其他部分的膜電阻值低；第二金屬蒸鍍電極，其具有在與所述第一邊相對的第二邊一側，與所述第二邊平行地設置的第二低電阻部，且以不露出於所述第一邊的方式被設置在與所述第一面相對的第二面一側，此處，第二低電阻部比第二金屬蒸鍍電極中的其他部分的膜電阻值低；和多個金屬接點，其分別與所述第一低電阻部和所述第二低電阻部連接，並且相互絕緣，其中，所述第一電介質薄膜具有在所述第一面上沿所述第二邊設置的無金屬的帶狀部，並且在所述第一金屬蒸鍍電極上設置有多個第一狹縫，其設置在所述第一金屬蒸鍍電極的從所述第一邊朝向所述第二邊的方向的中央部分，且在與從所述第一邊朝向所述第二邊的方向正交的方向上延伸，實質上相互以一定的間隔設置；多個第二狹縫，其與所述各第一狹縫相連通，並且從所述第一狹縫設置到所述第二邊一側，在從所述第一邊朝向所述第二邊的方向上延伸；多個第三狹縫，其與所述第二狹縫相連通，並且在與所述第一狹縫平行的方向上延伸，實質上相互以一定的間隔設置；和第四狹縫，其在所述第二狹縫延長的位置與所述第二狹縫隔開間隔設置，且在所述第一金屬蒸鍍電極的所述第二邊一側開口，在所述第一狹縫彼此之間、所述第三狹縫彼此之間、以及所述第二狹縫與所述第四狹縫之間分別設置有第一保險絲，並且在所述第二金屬蒸鍍電極上設置有多個第五狹縫，其設置在所述第二金屬蒸鍍電極的從所述第一邊朝向所述第二邊的方向的中央部分，並在與從所述第一邊朝向所述第二邊的方向正交的方向上延伸，實質上相互以一定的間隔設置；多個第六狹縫，其與所述各第五狹縫相連通，並且從所述第五狹縫設置到所述第一邊一側，在從所述第二邊朝向所述第一邊的方向上延伸；多個第七狹縫，其與所述第六狹縫相連通，並且在與所述第五狹縫平行的方向上延伸，實質上相互以一定的間隔設置；和第八狹縫，其在所述第六狹縫延長的位置上與所述第六狹縫隔開間隔設置，且在所述第二金屬蒸鍍電極的所述第一邊一側開口，並且在所述第五狹縫彼此之間、所述第七狹縫彼此之間、以及所述第六狹縫與所述第八狹縫之間分別設置有第二保險絲，在從所述第一邊朝向所述第二邊的方向上，所述第一狹縫的位置與所述第五狹縫的位置錯開。2.根據權利要求1所述的金屬化薄膜電容器，其特徵在於，還包括第二電介質薄膜，其在表面上形成有所述第二金屬膜，且與所述第一電介質薄膜疊層。3.根據權利要求1所述的金屬化薄膜電容器，其特徵在於還包括與所述第一電介質薄膜疊層的第二電介質薄膜，並且在所述第一電介質薄膜的所述第二面上形成有所述第二金屬膜。4.根據權利要求l所述的金屬化薄膜電容器，其特徵在於所述第一保險絲的角部和所述第二保險絲的角部中的至少一個帶有圓形。5.根據權利要求4所述的金屬化薄膜電容器，其特徵在於在所述第一保險絲的角部帶有圓形的情況下，所述第一保險絲具有所述第一狹縫寬度的一半以上的平坦部，在所述第二保險絲的角部帶有圓形的情況下，所述第二保險絲具有所述第五狹縫寬度的一半以上的平坦部。6.—種汽車用逆變器平滑用電容器，其特徵在於使用權利要求1所述的金屬化薄膜電容器。全文摘要本發明的金屬化薄膜電容器在電介質薄膜上具有金屬蒸鍍電極。金屬蒸鍍電極僅在與金屬接點連接的低電阻部的相反一側設置有狹縫而被分割，並且狹縫間設置有保險絲。再者，在被疊層的金屬化薄膜中，設置在金屬蒸鍍電極的寬度方向的中央部分且在電介質薄膜的長邊方向上延伸的狹縫並不重疊。文檔編號H01G4/015GK101156224SQ20068001125公開日2008年4月2日申請日期2006年1月23日優先權日2005年4月8日發明者中坪和弘,奧野茂男,鹽田浩平申請人:松下電器產業株式會社