配方和元件控制模塊及其方法

2023-10-08 23:52:09 1

專利名稱：配方和元件控制模塊及其方法
配方和元件控制模塊及其方法
背景技術：
等離子體處理的進步促進了半導體工業的增長。為了形
成半導體器件，長時間以來使用處理模塊來進行基片處理。因為半 導體器件通常是易於產生誤差的精密器件，所以可以將傳感器附著
於該處理才莫塊以收集lt據來進行缺陷#r測、端點識別和/或古丈障調 試。考慮這種情況，例如，其中等離子體處理系統中正在執 4亍一種配方(recipe )。圖l顯示了描繪傳感器如何與處理才莫塊相互 作用以及傳感器如<可利用該處理才莫塊來處理和協調的示意圖。 一個 簡化的處理環境可包括連接到處理模塊l02的處理室100，該處理模 塊102連接於多個傳感器(104、 106、 108和110)。通常，由每個傳 感器收集的^b據可以糹皮上傳到處理才莫塊102。在一個實施例中，由 各種傳感器收集的數據可以經由網絡路徑(例如，乙太網^各112) 發送到處理模塊102。多個傳感器104、 106、 108和110可以是由不 同的製造企業製造的。相應地，該多個傳感器很有可能在不同的時 間域收集悽t據並JU皮此不能互相通信。近年來的趨勢走向一種反饋型的自動工藝4空制。相應:l也， 要求更及時的數據以檢測端點、進行缺陷檢測和進行故障調試。結 果，被加到該等離子體處理系統中的傳感器的數量增加了，因為需 要對更多的數據進行處理。儘管增加傳感器的數量也許能夠向軟體 控制的處理模塊提供更多數據以執行其任務，然而該傳感器和該處 理模塊之間交換的更多的數據可能事實上導致整個處理上的耗盡。在一個實施例中，該網紹^各徑可能變得擁堵，因為這些傳感器互相
爭著向該處理模塊發送數據。在另一個實施例中，因為處理模塊102 (其功能是管理基片處理)通常不是被設計來處理來自多個傳感器 的巨量數據流，所以處理模塊102可能遭遇延遲(latency )問題，這 會對該處理模塊控制基片處理的主要功能帶來負面影響。而且，處理模塊102可能沒有處理無限個傳感器的處理能 力和/或存儲容量。在一個實施例中，需要將另一個傳感器模塊附著 到該處理模塊以提供更多的細節。然而，由於處理的能力和存4諸容 量的限制，處理才莫塊102不能處理另一個傳感器。相應地，處J裡才莫 塊102可能必須將它有限的資源從管理基片處理轉移到操作額外的 傳感器上。另外，延遲可能成為問題，導致該處理才莫塊不能處理對 其資源的額外的負擔而最終崩潰。除了存儲來自該多個傳感器的數據以外，處理模塊102 還可以糹皮用來分析該數據。然而，分析任務不僅可能將有限的資源 從管理基片處理的任務轉移走，還可能要求處理模塊102可以訪問 存4諸於單獨的傳感器中的配方的各種不同部分。不幸的是，該處理 模塊通常不能訪問該配方的這些不同部分，而且不能對接收的數據 做出恰當的分析。在一個實施例中，對存4諸在傳感器104上的那部分配方估文 出了改變。為了適應這種改變，工程師可能必須相應於該改變更新 各種糹莫塊(例如，該傳感器、該處理模塊等)。在未對一個或多個 衝莫塊進行改變的可能情況下，該配方的執行可能產生有缺陷的器 件。在分析該數據以確定問題時，處理模塊102可能需要了解配方 的改變以進行恰當的分析。如果該配方不容易取得，該處理才莫塊可 能必須進行對數據的不完善的分析，或者可能必須從該傳感器獲取 該配方，由此為了訪問所需的翁:據而花費不必要的處理能力，由此 導致有限網絡管道上不必要的翁:據通信擁塞。
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另外，由傳感器收集的"不良數據"也可能影響處理才莫 塊102的性能。在一個實施例中，傳感器106已經被損害，因而收集 到了 "不良數據"。當該數據被上傳到處理模塊102的時候，處理模 塊102可能會利用該數據，由此對基片處理帶來負面影響甚至》於其 它傳感器帶來負面影響。除了處理由各種傳感器上傳的大量悽t據之外，處理才莫塊 102還可能負責整合這些數據並協調各傳感器的相互作用。每一個 傳感器可能是獨特的，具有不同的數據收集標準。在一個實施例中， 傳感器104每50微秒收集資料而傳感器106每1 OO微秒收集資料。由 於各傳感器間的差異，比如數據收集時機的差異，各傳感器通常不 能夠彼此通信而必須-使用該處理才莫塊來幫助交換。因此，要求該處 理衝莫塊具有處理這些類型的要求的智能。不幸的是，該處理模塊可能不是總能滿足該要求，因為 該處理模塊可能不能整合來自不同來源的數據。在一個實施例中， 從傳感器104和106收集的數據是以不同的時間間隔收集的。為了能 整合該悽t據以^使傳感器104能夠利用由傳感器106收集的數據，處理 才莫塊102可能需要智能以匹配兩組悽t據。然而，處理才莫塊102可能沒 有進4亍這種複雜運算的處理能力。而且，如果該數據是在不同的時 間域收集的話，整合這兩組數據實際上是不可能的。處理才莫塊102原本是為了管理基片處理而創建的。相應 地，處理一莫塊102可能沒有處理數據存儲、數據處理、數據協調等 其它任務的存儲資源或處理能力。因而，處理4莫塊102的處理和存 儲能力可能被拉伸。隨著連接於處理模塊102的傳感器的數量的增 長，當該處理模塊試圖滿足來自各不同傳感器的需要並儘量管理該 處理室時，處理一莫塊102可能成為並瓦頸。因此，該處理一莫塊可能開 始經歷更長的延遲，不能夠迅速地做出反應以改變執行環境，甚至 可能經歷總關才幾。發明內容[OOll]在一個實施方式中，本發明涉及一種配方和元件控制才莫 塊(RACCM)。該RACCM是用於進行具有多個元件的等離子體處 理系統中的數據管理的月良務器。該RACCM包括多個智能代理，該 多個智能代理中的每個智能代理被配置為與該多個元件的每個元 件互相作用。該RACCM還包括協調代理，該協調代理被配置為4妄 收來自該多個智能代理的處理過的數據。
上述發明內容只涉及此處所揭露的本發明的許多實施方 式中的一個，而非意在限制本發明的範圍，本發明的範圍在4又利要 求中進4亍闡明。下面，在本發明的具體實施方式
部分，並結合附圖， 對本發明的這些和其它特性估文出更加詳細的"i兌明。


本發明是以附圖各圖中的實施例的方式進行描繪的，而 不是通過限制的方式，其中類似的參考標號指示類似的元件，其中
圖1顯示了描繪傳感器如何與處理才莫塊相互作用以及該 傳感器如〗可利用該處理才莫塊來處理和協調的示意圖。
圖2顯示了，在本發明的一個實施方式中，配方和元4牛控 制模塊(RACCM)的筒化的整體結構設計。
圖3顯示了，在本發明的一個實施方式中，描繪配置一個 傳感器的各步驟的簡單流程圖。
圖4顯示了，在本發明的一個實施方式中，描繪智能4戈理 (intelligent agent)從緩存中產生摘要數據的各步驟的筒單流程圖。
圖5顯示了，在本發明的一個實施方式中，描繪智能K理 產生端點和/或缺陷4全測數據的各步驟的簡化流程圖。
圖6顯示了，在本發明的一個實施方式中，描繪協調^理 (coordinating agent)進行數據分析的各步驟的簡化流程圖。
圖7顯示了，在本發明的一個實施方式中，描繪經由臨時 4戈理(provisional agent)將配方在RACCM的不同實體間進4亍分配 的簡化流程圖。
圖8顯示了，在本發明的一個實施方式中，描繪用智能^ 理關聯元件的各步驟的簡單流程圖。
具體實施方式
現在參考附圖中所示的一些實施方式對本發明做出詳細 描述。在下面的描述中，闡明了許多的具體細節以提供對本發明的 徹底了解。然而，顯然，對本領i或的4支術人員來il，';殳有這些細節 中的一些或全部本發明仍然可以實玉見。在其它'l"青況下，沒有^於熟知 的處理步驟和/或結構進行詳細描述以免不必要地才莫糊本發明。
下面描述了各種實施方式，包4舌方法和4支術。應當i己4主， 本發明還涵蓋包括計算機可讀介質的製造品，在該計算機可讀介質 存儲有用於執行本發明:技術實施方式的計算機可讀指令。計算4幾可讀介質可包4舌，例如，半導體的、》茲的、光^茲的、光學的或其它的 形式的用於存儲計算機可讀代碼的計算機可讀介質。而且，本發明 還涵蓋用於實現本發明的實施方式的裝置。這樣的裝置可包括用以 執行與本發明的實施方式有關的任務的專用的或可編程的電路。這 樣的裝置的例子包括恰當編程過的通用計算機和/或專用計算裝置，專用的/可編程的電路的結合。
在本發明的一個方面中，發明人在此實現了， 一種處理 模塊，在某些方面，可以以跟傳感器類似的方式運轉。在一個實施 例中，該傳感器和該處理模塊兩者均可根據配方參數收集數據。相 應地，可以使用單獨的控制模塊執行原來在現有技術中由該處理才莫 塊對該傳感器完成的^f壬務。因此，該處理才莫塊可以專注於批^亍它的 執行工藝控制的主要功能。
依照本發明的實施方式，提供一種結構布置，在其中配 方和元件控制才莫塊(RACCM)對附著於該處理系統的元件進4亍悽t 據管理和/或配方管理。此處所討論的元件指的是數據採集元件。元 件可包括但不限於傳感器、度量工具和處理才莫塊。因為處理才莫塊可 以按以跟傳感器類似的方式收集數據，在數據管理和/或配方管理方 面，該RACCM可以以類似的方式對待該處理模塊和該傳感器兩者。
在本文中，〗吏用傳感器作為實例來討^侖各種實現。然而， 本發明不限於傳感器，而可包括任何數據採集元件，比如度量工具。 相反，這些討論意在作為本發明的實例，而本發明並不限於所介紹 的這些實例。
在本發明的一個實施方式中，該RACCM是一種才莫塊化布 置，其中可以添加、移除或<奮改一個元件而不影響另一個元4牛。在 現有4支術中，每次傳感器更新的時候，該處理才莫塊必須^皮重新配置 以適應^f多改過的傳感器。相應地，當重新配置該處理4莫塊時，可能 糹合也耦合於該處理沖莫塊的其它傳感器帶來負面影響，因為該處理才莫 塊可能不能對 它傳感器進行數據管理。與現有技術不同，更新一 個傳感器不會對其它元件中的任一個，尤其是該處理模塊帶來負面 影響。相反，其它元件可以無視可能發生的變化。
在本發明的另 一個實施方式中，該RACCM可以包括多個 ^C理，比如智能^理、妨、調^理和臨時代理，其可扭Z於H據管玉裡和 /或配方管理。因此，該RACCM能夠在多個代理中分配工作量。與 現有技術中該處理模塊執行如果不是全部至少是大部分數據管理 任務不同，工作量的分配使得數據管理能夠淨皮更快和更有效的處 理。另外，該RACCM可包4舌多個處理器。因此，即4吏一個代J裡經 歷了變慢的處理， 一個^理的經歷不會影響乂於其它代理的悽t糹居處 理，因為這些代J裡可以在不同的處3裡器上。
在本發明的另 一個實施方式中，該RACCM可以是分層結 構布置，其中工作量可以根據該代理的等級來分配。在一個實施例 中，該RACCM可包4舌多個智能代理。該智能^^理可以是最{氐等級 的 理，因為該智能4<理直4妾與各元件相互作用，配置各元件並乂人 各元件接收數據。比較起來，該協調代理可以在最高等級。因此， 該協調代理可以只從較低等級的代理接收摘要化數據以進行數據 分析。在一個實施方式中，該協調代理進行的分析可以生成組合識 別才示志(signature),其可只於該處理才莫塊4是供指令。注意，RACCM 中存在的等級的數量可依賴於該RACCM想要如何分配工作量。在 一個實施例中，該協調代理和該智能代理之間可以存在另 一個等級 的代理以減少該智能代理的工作量。
在本發明的又一個實施方式中，該RACCM可包4舌用於進 行配方管理的臨時代理。注意，根據具體實現，可以使用一個或多 個臨時代理執行此項任務。在現有技術中，該配方的不同部分可以 位於各種位置，比如在該處理才莫塊中、在該傳感器中等。因此，對 配方的改變通常要求手動(physically)更新在各種不同位置的配方 的多個步驟。不幸的是，忘記更新一個模塊可能對基片處理產生負 面影響甚至導致有缺陷的器件。與現有技術不同，將修改過的配方 分配到相關實體的任務是一項利用編輯器界面來對該配方做出修。在該RACCM可以如〗可分配。通過〗吏用該臨時^理，配方管理可以由一個實體集 中並自動完成。
在一個實施方式中，該臨時代理可以分析該配方以確定 哪個傳感器需要該參數。 一旦該臨時代理做出決定，該臨時代理可 以將該配方的各部分分配到與各傳感器有關的智能代理。換句話 i兌，該配方是^f呆持在該智能4《理中而不是分配症合該元件。通過在該 RACCM內存儲該配方，該RACCM可以4艮容易訪問該配方以#丸4亍悽史 據分析和^t據4喿作。
在本發明的一個實施方式中，該RACCM可將部分工作量 卸載到該元件。在現有4支術中，傳感器在向該處理沖莫塊上傳該悽t據 方面沒有選4奪性。與現有l支術不同，該RACCM可以將配置要求發 送給各元件，提供上傳數據的條件。有了該配置要求，該元件可以 進行預處理以確定該數據是否滿足該配置要求。因此，該網絡不會 被該RACCM不需要的數據不必要地阻塞。
參考下面的附圖和討-淪，可以更好i也理解本發明的特徵 和4尤點。
圖2顯示了在本發明的一個實施方式中，配方和元件控制 模塊(RACCM)的筒化的整體結構設計。RACCM環境200可包括 多個元件，比如處理才莫塊202和多個傳感器204、 206、 208和210。 與現有技術不同，各種不同的傳感器不直接耦合於處理才莫塊202 。 相反，各種不同的傳感器耦合於RACCM212。因此，數據被發送到 RACCM 212而不是處玉裡才莫Jt夾202。
另外，在一個實施方式中，處理模塊202也耦合於RACCM 212。與現有技術中處理才莫塊負責收集、加工、協調和/或處理悽史據 不同，RACCM環境中的處理才莫塊202可以以類似傳感器的方式運 轉，處理才莫塊202也將悽t據上傳到RACCM212。因此，通過/人婆t據 管理<壬務中除去該處理才莫塊，該處理才莫塊可以專注於扭^f亍它進4亍工 藝控制的主要任務，並有足夠的帶寬以及時而高效的方式對可能出 i見的問題^故出響應。因為該處理才莫塊基本上以於傳感器類似的方式運轉，該 處理才莫塊，在本發明的一些方面中，可以作為連4妄到該RACCM的 另一個"元件"出現。為了i"更於討i侖，該術語"元件"^皮用於指^ 等離子體處理系統中的凝:才居採集元fK在一個實施例中，元件可包 括^f旦不限於處理一莫塊、傳感器和度量工具。在一個實施方式中，RACCM212可以是計算才幾系統，比 如伺服器。在一個實施方式中，RACCM212可包括用於進行數據管 理和/或配方管理的一個或多個處理器。處理器的ft量耳又決於該 RACCM的具體實現。在一個實施方式中，RACCM212還可以包括「 存儲器。存儲器的數量可以根據該RACCM的存儲需求方便而便宜 地擴展。在一個實施方式中，RACCM 212可包括用於管理lt據和 進行配方管理的智能(intelligence )。在一個實施例中，RACCM 212 可包括用於配置接收輸入數據文件的條件、處理數據、處置數據請 求、分配配方等的智能。與現有4支術中用於處理收集的^i:據的智能 是由處理4莫塊單獨處置不同，RACCM 212中用於處理該悽t據的智能 可以在RACCM 212中的各不同代理間分配。在一個實施方式中， RACCM212可包括多個智能代理(214、 216、 218、 220和222 )、協 調代理246和臨時代理248。通過將該智能分配於多個實體中，可以將工作量分配開，因此能夠獲得更高效的處理環境。所以，數據傳
專lr擁堵和延遲可以減少，帶來更穩、定的環境。在一個實施方式中，RACCM 212可包4舌多個智能^理 (214、 216、 218、 220和222)。每個智能代理關聯於一個元件(204、 206、 208和210)。在一個實施例中，智能代理214關聯於傳感器210。 在一個實施方式中，當將數據上傳到RACCM212時，傳感器210可 以沿著i 各徑224和226發送數據文件以由智能代理214接收。類似地， 處理才莫塊202也可以有對應的智能代理222,該智能代理222被配置 為接收由處理才莫塊202沿路徑224和228發送的數據。在一個實施方式中，每個^口肯^PC玉裡(214、 216、 218、 220 和222)具有智能，以將配置要求發送到對應的元件，提供上傳數 據文件的標準。在現有4支術中，該傳感器可以將悽t據上傳到該處理 模塊而不進行預處理。相反，該傳感器趨向於依靠該處理模塊來進 行凌t據分析和處理。與現有4支術不同，以前在該處理才莫塊中存在的 部分智能現在可以壓^f氐到傳感器等級。在一個實施例中，由該智能 代理提供的該配置要求可以向該傳感器提供上傳數據的標準。利用 該配置要求，該傳感器可以進4亍預處理(例如確定什麼已經改變了 ) 並只向該智能代理提供該智能代理想要的lt據，由此減少網絡擁 塞。在一個實施方式中，智能^理可以發送配置要求，該配 置要求指導相應元件只發送在小於工藝控制速率的時間域的數據。 為便於討論，還使用術語"時間周期"來指代工藝控制速率。考慮 這種情況，例如，其中確定工藝控制速率為每125樣t秒一次。智能 代理214可以向傳感器210發送配置要求，該配置要求指示傳感器 210在每10(M效秒的時間域發送lt據。因此，在智能4氣理214必須向 協調代理246提供數據之前，智能代理214具有足夠的時間從傳感器2104妄收悽t才居並處理該悽丈據，該協調^理246,皮配置為採集並處理來 自各種智能代理的數據。通過配置該時間域，該智能代理能夠控制何時接收數據 文件。在現有技術中，匹配來自每一個傳感器的數據文件是一項困 難的(如果不是不可能的話)的任務，因為數據文件是以不同的時 間周期收集的。然而，本發明的實施方式可要求該時間域為一個時 間周期(工藝控制速率)中至少一次。因此，在單一時間周期中由 各種智能代理接收的多個數據文件可以匹配，以允許更容易的數據 共享以及更全面的分才斤。可以分別對各智能代理多少時間要求一次數據文件進行 編程。在一個實施例中，傳感器210可每50孩i秒收集一次悽t梧。在 一個實施方式中，智能代理可以要求傳感器在產生數據文件的時候 將該H據文件上傳。在一個實施例中，智能^理214可選擇在該傳 感器210接收到數據時收集該數據。換句話說，傳感器210可以每50 微秒發送更新過的數據文件到智能代理214 。在另一個實施方式中，智能^理可以要求基於乘法器 (multiplier)的數據文件。在一個實施例中，傳感器208可以每25 樣吏秒收集一次數據。因此，對每一個時間周期(IIO微秒的工藝控 制速率)，傳感器208可以產生至少4組悽t據文件。智能K理216可配 置傳感器208為只在2的乘法器中發送數據(例如每55微秒)。因此， 傳感器208可以只發送兩個lt據文件，而不收集到的4個lt據文件。 例如，在每55孩i秒時，傳感器208可以向智能代理216發送所產生的 最近更新的lt據文件。在又一個實施方式中，該智能 J裡可以每個時間周期只 收集一次。在一個實施例中，智能^理214可以每10(M鼓秒收集一次 數據。由傳感器210收集的任何其它數據文件可以被智能代理214忽略。在一個實施方式中，智能^理214可以不管所產生的其它悽t據 文件，因為智能代理214隻關心每100微秒接收一次數據文件。通過 控制該時間i或，可以管理沿該網紹-路徑的悽t據傳輸擁塞。另外，通 過只在必要時收集悽t據，可以最小化處理/人各元件-接收的每一個悽t 據文件所需的處理能力。因此，可以顯著減少延遲而網全各變4尋更加 可靠。除了發送具有時機指令的配置要求之外，該智能代理還 可以向該元件發送具有限定發送悽t據文件的條件的標準的配置要 求。在一個實施例中，智能^理214可以限定由傳感器210收集的參 ^:的最小和最大範圍。例如，智能^理214可以指導傳感器210隻在 參數在特定範圍之外的情況下，發送新的數據文件。相應地，只要 收集到該參悽t的^t據在特定範圍內，不需要將新的悽t據文件上傳到 智能^理214。通過限定可以上傳新的數據文件的條件，該智能代理能 最小化沿該網絡路徑(例如路徑224)的數據通信擁塞。而且，智 能代理還能夠減少總開銷(overhead)成本，比如用於存儲和處理 數據的不必要的存儲器的使用和處理能力的使用，其對整個lt據分 牙斤只有4艮小的貢獻或者沒有貢獻。在一個實施方式中，由智能代理收到的最新數據可以存 4諸在位於每一個智能代理中的糹爰存(230、 232、 234、 236和238)
中。在另一個實施方式中，該緩存可存儲一個或多個數據文件(最 新的lt據文件和一定量的過去的悽t據文件)。因為有數才居文件存4諸 在緩存中，該數據文件很容易得到以進行分析和/或與其它代理(例 如智能代理、協調代理、臨時代理等)共享。在一個實施例中，通 過使用緩存，即便沒有上傳新的數據，智能代理也能夠向發出請求 的實體提供數據。
在一個實施方式中，如果在一個時間周期內接收了超過 一個數據文件，只共享最新的數據文件。在一個實施例中，傳感器 208向智能代理216發送了兩組數據文件，數據流a和數據流b,其中 數據流b是最新的悽t據流。當協調代理246要求來自智能代理216的 悽丈據文件時，智能^理216可以與協調4戈理246共享該最新的lt:悟文 件(數據流b)。RACCM 212還可以包括臨時代理248,可以利用該臨時 代理248來接收各種不同的配方並將該配方在各種智能代理間分 配。考慮這種情況，例如，其中一個配方已經#皮<務改。該配方可以 在單一的集中區域j皮-修改，而不是手動更新在各種不同傳感器和處 理才莫塊的配方。更新過的配方可以上傳到主才幾，然後該主才幾與處理 模塊202共享該更新過的配方。在一個實施方式中，該處理模塊可 以拷貝該配方中與處理才莫型有關的部分。在另一個實施方式中，該 處理模塊可以選擇不存儲更新過的配方的任何部分。無論如何，然 後，該處理4莫塊可以將更新過的配方轉送到臨時代理248。臨時代理248可以;險查該配方並將該配方的不同部分分 配到該各種代理(例如智能代理和/或協調代理)。例如，該配方可 以包4舌不同的參凌t。那些參悽t中的每一個均與該傳感器中的一個或 多個有關。臨時代理248有確定哪個智能代理需要更新過的配方的 哪一部分的智能。利用臨時代理248,配方可以更新一次而自動在 各種^理間分配。現在在各代理間分配該配方，而不是將該配方存儲在不 同元件(傳感器、度量工具和/或處理才莫塊)中。與現有技術不同， 該智能代理很容易得到該配方以使得該智能代理能夠進行全面的 悽t據分析。在一個實施方式中，該協調代理可包括整個配方的高等 級副本以便於進行數據分析。在一個實施例中，存儲在每個智能代 理的那部分配方可包括涉及與該智能代理關聯的傳感器的配方的
19整個部分。在一個實施例中，因為該協調^理不需要該智能^理需 要的細節，存儲在該協調代理中的配方可以只包括該限定每一個參 數如何跟其它參數相互關聯的那部分配方。在一個實施方式中，每個智能代理具有執行不同的與數 據有關的任務的智能，比如數據匯總、基於存儲在該智能代理上的 配方的端點檢測、缺陷檢測等。在一個實施例中， 一旦接收了數據 文件，該智能代理可以進行數據分析以生成識別標誌數據，其摘要 化對特定時間周期收集的該lt據。例如，才艮據4妻收的數據文件和存 4諸在智能K理214的酉己方，才企測出一個斷點。通過同化(assimilating) 各種IW居點，該智能^理可以生成一個該智能^理可以共享的識別 標誌數據。在一個實施方式中，每個智能代理與一個協調代理共享 它的識別標誌。在一個實施例中，協調代理246可以,皮配置為在每 個時間周期接收來自每一個智能代理的識別標誌數據。相應地，分配在各種智能代理中的智能可以進行該分析 並提供該協調代理需要的數據。在一個實施方式中，在接收該多個 識別標誌後，該協調代理可以才艮據存儲在該協調代理中的配方分析 各種不同的數據識別標誌以產生組合識別標誌。可以與需要該數據 的元件共享該組合識別標誌。在一個實施方式中，該妨、調^理可以 才艮據該組合識別標誌才丸4亍動作。因為該協調代理不會,皮上傳到該RACCM的過量的數據 淹沒，該協調代理能專注於確定配方的整個執行狀態所需的數據。 因而，該協調代理能夠對潛在的問題快速做出反應。在一個實施例 中，根據從該智能代理接收到的那組識別標誌，協調代理246能針 對存儲在該協調代理中的配方在協調代理等級進行數據分析以產 生組合識別標誌，該組合識別標誌指示當前基片處理中可能存在的 問題。因此，協調^理246能夠通過向處理;模塊202發送停止4丸行消 息而快速啦文出反應。
如果該組合識別標誌要求來自該處理才莫塊的立即動作， 提供專用信道(比如專用信道240)以便於協調代理246和處理才莫塊 202間的通信。專用信道可以使得該協調代理能夠快速通知該處理 模塊而不需要對付公用網絡路徑(例如路徑224)中可能的通信擁 塞。在一個實施方式中，如果不需要來自該處理模塊202的立即動 作的話，協調代理246可以沿公用網絡路徑(路徑224)與處理模塊 202通信。在一個實施方式中，還可以使用該協調代理來協調各種 智能代理間的數據共享。在一個實施例中，智能代理214可能需要 由智能^理216存儲的^:據。為了i青求該數據，該智能4戈理間可摘: 此通信。然而，如果所要求的lt據來自多個智能^理，乂人該切、調^ 理取得該多個悽t據而不是分別與不同的智能^理協調可以更有歲文率。在又一個實施方式中，還可以使用該協調代理取得進行 故障調試所需的數據。在一個實施例中，協調代理246可以連接到 用於進行故障調試的計算才幾系統244。當故障調試計算4幾系統244需 要數據時，經由路徑250向協調代理246發送請求。協調代理246可
以耳又得所_清求的悽t據並將該悽t據發送到該古文障調試計算才幾系統。如圖2所示，RACCM是能夠對處理系統進4亍數據處置和 配方管理的控制模塊。與現有技術不同，不將該處理模塊作為收集、 處置和協調數據的集中模塊。相反，新RACCM環境中的處理才莫塊 在悽t據和配方管理方面^象其中一個傳感器一才羊運轉。在一個實施方 式中，當需要更多的傳感器來使得基片的處理更精確時，可以相對 容易和便宜地將該RACCM修改為具有更大的存儲容量和更強的處 理能力。因為該RACCM可以包括多個實體(例如智能代理、協調 代理、臨時代理)，可以分配工作量以便單一實體不會不必要地承 擔完成所有這些任務的重擔。通過分配工作量，可以顯著減少現有技術中存在的數據通信擁塞和延遲，提供更加穩定的網絡以進行數 據共享和數據分析。圖3-8顯示了 ，在本發明的各實施方式中，實現該RACCM 的方法。圖3顯示了，在本發明的一個實施方式中，描《會配置一個 傳感器的各步驟的簡單流程圖。在第一個步驟302中，智能代理可以從臨時代理接收該配 方。如上所述，該臨時代理可以通過將該配方分配給需要該配方的 各實體而進4於配方管理。在一個實施方式中，只有該配方的一部分 可以淨皮分配給任一個特定實體。在一個實施例中，智能代理214可 能只需要涉及與傳感器210有關的參數的那部分配方。在下一個步驟304中，該智能代理可以根據該配方生成配 置要求。在一個實施方式中，配置要求可包括限定傳感器何時將數 據文件發送到該智能代理的標準。在一個實施例中，配置要求可包 括時間域(例如，關於多長時間發送一次數據文件的指令)。在另 一個實施方式中，配置要求可包括發送悽t據文件到該智能代理的悽t 據條件。在一個實施例中，只有在該參數在特定範圍內時上傳數據 文件。在下一個步驟306中，該智能代理可以將該配置要求傳送 到相應的傳感器。在一個實施例中，智能^C理214可與傳感器210關
於該配置要求進行通信。在一個實施方式中，該傳感器具有應用該 配置要求以確定應該在4可時將數據文件發送到該智能 理的智能。 在一個實施例中，配置要求可以要求每10(M效秒發送一次數據文件。 然而，該傳感器可以每5(M鼓秒收集一次悽t據。該傳感器可以應用該 配置要求而只依照該配置要求發送數據文件，即使該傳感器更頻繁地收集數據。在另一個實施例中，該傳感器已經收集了多個悽t據文
件；然而，該傳感器可能不上傳該數據文件到該智能代理，因為參 數的變化可能不匹配該配置要求。通過經由配置要求管理lt據文件的傳送，該智能^理連 同該傳感器能夠管理該網絡上的數據傳輸。與現有^^支術中的處理才莫 塊不同，該智能代理能夠控制由該傳感器上傳的數據的量；因此，
可以顯著減少不必要的tt據傳iir擁塞。圖4顯示了，在本發明的一個實施方式中，描《會智能代理 從緩存中產生摘要數據的各步驟的簡單流程圖。在第一個步驟402中，智能代理從傳感器接收數據。在一 個實施例中，智能代理214可以從傳感器210接收數據文件。在一個
實施方式中，被上傳的數據文件是基於該配置要求的(如圖3中所 討i侖的)。在另一個實施方式中，進來的教:據文件可以存儲在l^存 中。該緩存可包含一個或多個數據文件。在一個實施例中，該緩存 可包含最新的悽t據文件和/或多個4交新的悽t悟文件。通過在該糹爰存中 存儲該數據文件，該數據文件容易取得以進行分析、數據操作，以 及與發出請求的實體(例如協調代理、其它的智能代理等)共享。另外，通過在該緩存中存4諸悽t據，可以進4亍數據鎖存 (latching )。換句話說，如果該傳感器沒有收集到新的數據，就無 法取得新的數據文件上傳到該智能代理。因此，當處理才莫塊向該智 能代理請求更新過的數據時，該智能代理仍能向該處理模塊糹是供數 據文件，即目前存儲在該緩存中的數據文件(因為沒有新的文件上 傳過)。在下一個步-驟404中，該智能4義理可以計算該悽t據。在一 個實施方式中，該數據計算可以基於存儲在該智能代理中的配方。例如，協調^理)請求彰:據 時，進4亍悽t據計算。在一個實施例中，協調^理可要求識別標誌悽t 據(例如，端點、缺陷才企測數據等)每125孩史秒計算一次。因此， 一旦接收到該數據文件，智能代理214就可以根據本地存儲的配方 分析接收到的數據以形成可以與協調代理246共享的識別標誌。在下一個步驟406中，該智能代理可以向發出請求的實體 才是供該悽t據。在一個實施例中，該智能^理可以每125孩史秒向該妨、 調^理髮送一次識別標誌彩:據。在一個實施方式中，如果沒有出3見 對該數據的更新的話，就不發送lt據文件。在一個實施例中，智能 ^理214沒有/人該傳感器4姿收到更新過的tt據文件，因為沒有滿足 新的凝:據文件的標準。因此，當智能^理必須在下次-清求時向妨、調 代理244提供更新過的識別標誌時，智能代理214可能不會發送更新 過的識別標誌文件。在一個實施方式中，該妨、調4戈理可包4舌能夠4偉 斷出擊夾乏更新過的識別標誌表明當前的識別標誌沒有改變的智能。與現有技術中的處理模塊不同，不是由單一的代理負責 數據管理。相反，通過在多個代理間分配數據分析、數據操作和數 據協調的智能，將該工作量在i午多不同實體間分配。因此，可以通 過多個代理的協調實現更高效的數據管理。另外，因為有進行數據 管理的智能代理，該處理才莫塊可以減輕職責轉而專注於管理工藝控 制的主要任務。圖5顯示，在本發明的一個實施方式中，描繪智能代理產 生端點和/或缺陷檢測數據的各步驟的簡化流程圖。在第一個步驟502中，智能代理/人傳感器接收數據。在一 個實施例中，智能^理214可以乂人傳感器2104妄收^i:據文件。如上所 述，被上傳的數據文件是基於該配置要求的(如圖3中所討論的)。
在下一個步驟504中，該智能代理可分析該數據文件以識 別端點和/或缺陷4企測。在一個實施例中，才艮據在本地存儲的配方， 智能代理214能夠根據接收到的數據文件識別端點。在另一個實施 例中，智能代理可分析該數據文件以進行缺陷檢測。在一個實施方 式中，進行缺陷檢測可包括將接收到的文件與存儲在該智能代理本 ;也的配方進4於比4交。在下一個步驟506中，該智能代理可向發出請求的實體提 供該端點和/或缺陷檢測數據。在一個實施方式中，從智能代理髮送 到協調代理的數據可以是摘要化數據(例如，識別標誌文件、端點 等)。換句話說，該協調代理接收從該傳感器收集的數據的摘要； 因此向上遊發送的數據量大大減少，因為該智能代理已經進行了數 據分析和悽t據處理。在一個實施例中，智能代理214可以只向協調 代理246發送該端點，而不是發送全部的數據文件。 —旦接收到該端點，協調代理可以將該端點與在本地存 儲的配方進行比4交。在一個實施方式中，存儲在該協調代理的配方 可包4舌存〗諸在多個智能^理中的配方。然而，該協調4戈理可以不詳 細地存儲在每一個智能代理中的全部配方。相反，該協調代理可以 只存儲一,J、部分，從而該協調代理能夠進行高級別的綜合分析。在 一個實施例中，如果從智能代理214接收的預料的端點實際上是一 個端點，或者該協調代理需要請求更多數據時，該協調代理可存儲 足夠的配方以十辦助該十辦調代i理估文出決定。與現有4支術不同，該處理才莫塊不負責^^測該^:據以識別 端點和/或進行缺陷4企測。相反，該任務可以在多個代理間進行分配， 其中該多個代理能夠根據在本地存儲的配方分析該數據以確定端 點/缺陷;險測數據。如前，通過分配用於識別端點和/或4丸行缺陷才企 測的智能，在許多不同代理間分配工作量。而且，網絡上的數據通 信擁塞可以顯著減少，因為該多個智能代理能夠比單一處理才莫塊處置更大量的悽史據。因此，可以存在更加穩定的網絡環境而該處理才莫 塊可以專注於進4於工藝控制的任務。圖6顯示了，在本發明的一個實施方式中，描繪協調代理 (coordinating agent)進行數據分析的各步驟的簡化流程圖。在第一個步-驟602中，協調代理可4妄收來自多個智能^理 的悽t悟。在一個實施方式中，；波上傳到該協調^理的悽t才居可以是摘 要化數據，比如端點、缺陷檢測數據等。在下一個步驟604中，該協調代理可以決定是否要求扭J亍 一個動作。在一個實施方式中，根據在該協調代理本地存儲的配方， 該協調代理可以產生輸出。在一個實施例中，協調代理246可以分 析由該多個智能代理髮送的悽t據以確定是否實際上識別出了 一個 或多個端點。在另一個實施例中，協調代理246可以根據在本地存 儲的配方對該數據進行進一步的分析以產生組合識別標誌。如果要求執行一個動作，在下一個步驟606中，該協調代 理可以執行該動作。在一個實施例中，如果已經識別出了一個端點， 該十辦調4<5裡必須要4丸4亍一個或多個動4乍。例3口，該十辦調^理必須通 知該處理模塊有關該端點的信息。在另一個實施例中，該組合識別 標誌表明存在問題而且該處理才莫塊必須停止運4爭。在一個實施方式 中，如果該動作不是關鍵(critical)的，該協調代理可以通過相應 的智能代理通知該處理才莫塊。然而，如果該動作4艮關4定，該協調代 理可以直4姿通過專用信道(比如專用信道240)通知該處理4莫塊。3o果沒有要求扭J於一個動作，該妨、調代J裡可以退回步-驟 602以繼續*接收來自該多個智能^理的lt據。
因為該協調代理接收的數據是由該傳感器發送的數據的 摘要，該協調代理不會糹皮大量不需要由該協調代理進行數據分衝斤的 悽史據淹沒。相應地，該協調^理能夠快速地進^f於數據分一斤並能夠方 l更地對任何請求和/或識別出的潛在問題做出響應。因此，該協調代 理能夠,人該處理糹莫塊卸下一些4壬務，比如協調和IW居分一斤。圖7顯示了，在本發明的一個實施方式中，描繪經由臨時 代理將配方在RACCM的不同實體間分配的簡化流程圖。在第一個步驟702中，將配方裝載到該處理才莫塊上。考慮 這種情況，例:V,其中配方已經^皮改變。在;見有4支術中，配方的 文 變要求在不同元件(例如，在一個或多個傳感器中、在該處理才莫塊 中等)分別更新該改變。與現有才支術不同，該改變是在一個集中的 位置更新的，然後將更新過的配方上傳到該處理糹莫塊。在下一個步驟704中，該處理模塊可將該配方上傳到臨時 代理。在一個實施方式中，處理模塊202可以將修改過的配方上傳 到相應的智能^理。在一個實施例中，處理衝莫塊202可以將該配方 上傳到智能代理222。 一旦接收到該配方之後，智能代理222可以將 該配方轉送到臨時代理248。在一個實施例中，智能代理222可以將 修改過的配方沿著路徑242發送到臨時代理248。在下一個步驟706中，該臨時代理可以在該RACCM中的 各種不同代理之間分配該配方。在一個實施方式中，可以根據各代 理(智能代理/協調代理)和該元件之間的關係分配該配方。在一個 實施例中，智能代理222與處理模塊202關聯。相應地，智能代理222 可以只接收處理模塊202要求的那部分配方。通過由該RACCM存4諸和管理該配方，可以快速地進4亍配 方的更新。與現有技術不同，該配方更新一次，由此最小化出現人為誤差的風險。而且，分配該配方的任務可以自動化，由此減少更 新沒有在其中一個元件上扭j亍的可能性。實際上，不再要求將該配 方分配到該各種元件，因為該配方存在於該智能代理中，該智能4戈 理向該元件^是供該配置要求。通過將該配方在該RACCM中的多個^理間分配，需要進 行數據操作和數據分析的不同實體都可以取得該配方。在一個實施 例中，智能代理222在進行數據分析。然而，為了進行精確的分析， 智能代理222可能需要訪問存儲在智能代理214中的配方。因為該配 方是存儲在該RACCM本地的，智能代理222很容易與智能代理214 通信以取得所需的配方。圖8顯示了，在本發明的一個實施方式中，描《會用智能代i 理關聯元件的各步驟的簡單流程圖。在第一個步驟802中，元件附裝於處理系統。考慮這種情 況，例如，其中一個新的傳感器被附裝於處理系統。在一個實施方 式中，當該傳感器第一次連接到RACCM時，它會宣布它的存在。 可以通過至少三個不同的方法使該RACCM得知該新的傳感器的存在。在下一個步驟804中，該方法決定該元件是否通知該 RACCM。在一個實施方式中，元件可以向該RACCM發送報告數據 包。在一個實施例中，傳感器210可以向RACCM 212發送報告悽t據
包。該才艮告數據包可包括關於該傳感器的資料數據。在下一個步驟808中，該RACCM可激活一個智能代理。 一旦接收到該報告數據包之後，RACCM 212可分析該報告數據包以 識別出想要開始通4言的傳感器。在一個實施方式中，RACCM可包 括多個智能代理，即便該多個智能代理中的 一個或多個可以保持不活動(inactive )。在一個實施例中，RACCM可包括100個智能代J裡， 每一個智能代理都是不活動的，直到一個傳感器糹皮連接到該 RACCM。在一個實施方式中，該RACCM可以激活一個智能^^理並 將那個智能代理與發出請求的傳感器關聯。在一個實施方式中，可
以在啟動時將該智能代理類裝載入RACCM。當 一個傳感器第 一次 宣布它的存在時，該RACCM會/人該關聯的智能代理類實例化一個 智能代理對象。 一旦該智能代理對象被實例化，該智能代理可以初 始化到該目標傳感器的通信序列。在一個實施例中，智能代理214保持不活動，直到RACCM 212將智能4<理214指定症合傳感器210。在一個實施方式中， 一旦智 能4戈理一皮激活之後，臨時^理可以發送與該新的傳感器有關的配 方。在一個實施例中，傳感器210已經被添加到該處理系統。大和無 在同一時間內，該配方已經,皮^f奮改以負責(account for)傳感器210 將要收集數據的新的參數。該修改過的配方被裝載到臨時代理248 上，然後該臨時代理將涉及傳感器210的那部分配方分配到智能代 理214。在下一個步驟810中，該智能代理可以向該元件發送配置 要求。在一個實施例中， 一旦智能^理2K敫活之後，智能代J裡可 以進行向傳感器210發送配置要求(例如時間域、數據流條件等)。 因為該智能代理已經4皮預裝載入該RACCM，傳感器就具有即插即 用能力，當該傳感器連4妄到該處理系統時，該傳感器可以幾乎立即 被激活。回頭參考步驟804,如果該元件不能夠向該RACCM自動 宣布它的存在，那麼在下一個步驟806中，人類用戶可以通知該 RACCM。在一個實施例中，技術人員將傳感器210連接到處理系統。
在下一個步驟808中，該RACCM可以激活一個智能代J裡。 在一個實施例中，該技術人員可以將可與該傳感器通信的智能代理 下載到RACCM 212上以使得RACCM 212能夠與傳感器210通信。在 一個實施例中，智能代理214可以-波下載到RACCM212。換句話i兌， 如果該元件不能夠自動向該RACCM宣布它的存在的話，技術人員 可以手動乂人相關的智能代理類實例化一個智能4戈理對象。 一旦該智 能^理對象實例化後，它會初始化到目標傳感器的通信序列。與上面類似(步驟810)， 一旦該智能代理214激活之後， 智能代理可以進行向傳感器210發送配置要求(例如，時間域、邀: 據流條件等)。有利地，通過只維持活動的智能代理，可以將該 RACCM的存儲要求最小化。回頭參考步驟806，如果不進行人工幹預，那麼在下一 個步驟812中，該RACCM可以進4亍自我發現(self-discovery )。考慮 這種情況，例如，其中新的傳感器已經連4妄到該處理系統。然而， 該傳感器沒有發送自我報告數據包的能力，而且也沒有發生人工幹 預。在一個實施例中，傳感器210已經被添加到該處理系統。然而， 傳感器210沒有辦法向RACCM212宣布它的存在。在一個實施方式中，該RACCM可具有自我發現特't"生， 其可偵:得該RACCM能夠定期^r查該處理系統以確定是否發生了變 (例如，新的4專感器、只於該處理系統的改變等)。在另一個實施 方式中，該自我發現特性可包4舌中斷事件，當出現乂於該處理系統的 改變時利用中斷事件通知該RACCM。 一旦該RACCM確定新的傳感 器已經一皮添加到該處理系統，該RACCM可以與該新的傳感器建立 通4言以耳又4尋該4專感器的資衝+ ( profile the sensor )。在下一個步驟808中， 一旦進行完取得資料(profiling) 之後，該RACCM可以激活一個智能代理，其可以與該新的傳感器通信。在一個實施方式中，該智能代理可以已經存在於該RACCM 中。在另一個實施方式中，該RACCM必須下載該智能^理。有了 自我發現，該RACCM就有了處置不同類型傳感器(例如自我才艮告
傳感器、非自我報告傳感器等)的通用性。從上文可以看出，本發明的實施方式大體上減少了該處 理才莫塊的數據管理的重擔。通過使用RACCM,創建了一種結構布 置，其中該處理才莫塊看起來但J又成為另一個元件，其可以受益於該 RACCM的功能。有了該RACCM，網絡中的延遲和數據通信擁塞一皮 顯著減少，因為數據管理在不同代理與元件間進行了分配。而且， 可以進行更全面的數據分析，因為數據和/或配方在各代理間是共享 的。通過將該處理才莫塊從耗時而複雜的數據管理任務中解放出來， 工藝控制和悽t據管理的4壬務不再為了相同的資源而4皮此竟爭。儘管本發明是依據幾個優選實施方式描述的，然而有落 入本發明範圍的變更、置換和等同。儘管此處提供了各種實施例， 這些實施例意在對本發明進行說明而非限制。而且，此處提供的名稱和發明內容是為了方i"更，不應當 被用於解釋此權利要求的範圍。而且，發明內容是以高度簡略的形 式寫成的，在這裡提供是為了方便，因此不應被用於解釋或限制整 個發明，該發明用權利要求來表述。如果此處使用了術語"組"， 這種術語意在具有其通常理解的數學含義，涵蓋零、 一或一個以上 成員。應當注意，有許多實現本發明的方法和裝置的替代方式。因 此，所附權利要求的範圍意在被解讀為包括所有這些落入本發明的 真實精神和範圍的變更、置換和等同。
權利要求
1.一種配方和元件控制模塊(RACCM)，所述RACCM是用於進行具有多個元件的等離子體處理系統中的數據管理的伺服器，所述RACCM包含多個智能代理，所述多個智能代理中的每個智能代理被配置為與所述多個元件的每個元件互相作用；以及協調代理，所述協調代理被配置為接收來自所述多個智能代理的處理過的數據。
2. 根據斥又利要求1所述的RACCM,進一步包括一組臨時^理， 所述組臨時代理被配置為進行配方管理，所述配方管理包括將 配方的至少部分分配到所述多個智能 理中的至少一個和所 述協調代理。
3. 根據權利要求2所述的RACCM,其中所述多個智能代理的所 述每個智能代理包括限定對所述多個元件的所述每個元件的 配置要求的智能，所述配置要求包括向所述多個智能 理的所 述每個代理髮送數據文件的標準，所述標準是基於存儲在所述 多個智能代理的所述每個智能代理本地的所述配方的所述部 分的。
4. 糹艮據權利要求3所述的RACCM，其中所述多個元件在向所述 多個智化7白B匕'述數據文件進行預處理,
5. 根據權利要求4所述的RACCM，其中所述多個智能代理的所 述每個智能代理包括緩存，所述緩存^^皮配置為至少存儲最新的 數據文件以使數據能夠鎖存。
6. 根據權利要求5所述的RACCM，其中所述多個智能代理的所 述每個智能代理進行所述數據文件的數據分析以生成識別標 志數據，所述識別標誌數據是所述數據文件的摘要化數才居。
7. 根據權利要求6所述的RACCM，其中所述協調4戈理^皮配置為 接收來自所述多個智能代理的每個智能代理的所述識別標誌 悽t據，所述協調代理進朽售t據分析以生成組合識別標誌。
8. 根據權利要求7所述的RACCM，其中所述協調代理包括才艮據 所述組合識別標誌向所述多個元件提供指令的智能。
9. 根據權利要求8所述的RACCM，其中所述多個元件包括處理 模塊、傳感器和度量工具中的至少一個。
10. 才艮據4又利要求1所述的RACCM,其中所述RACCM包括寺丸行 自我發現以識別對所述等離子體處理系統的改變的智能，所述 自我發現包括當所述多個元件中的元件被連接到所述等離子 體處理系統中時進行識別。
11 所述計算機可讀代碼一皮配置為進行等離子體處理系統的悽t據 管理，包含用於提供配方和元件控制模塊(RACCM)的代碼，所述 RACCM是伺服器，其中所述RACCM包括多個智能代理，所述多個智能代理中的每個智能代 理-故配置為與所述多個元件的每個元件互相作用，以及協調^理，所述協調代理^皮配置為4妻^L來自所述多 個智能代理的處理過的數據。
12. 根據權利要求11所述的製造品，其中所述RACCM包括一組 臨時代理，所述組臨時代理被配置為包括用於進行配方管理的 代碼，所述配方管理包括用於將配方的至少部分分配到所述多 個智能代理中的至少一個和所述協調代理的代碼。
13. 根據權利要求12所述的製造品，其中所述多個智能代理的所 述每個智能代理包括用於包含限定對所述多個元件的所述每 個元件的配置要求的 碼的智能，所述配置要求包4舌向所述多 個智能代理的所述每個代理髮送數據文件的標準，所述標準是 基於存儲在所述多個智能代理的所述每個智能^f戈理本地的所 述配方的所述部分的。
14. 根據權利要求13所述的製造品，其中所述多個智能代理的所 述每個智能代理包括緩存，所述緩存,皮配置為包括用於至少保 存最新的數據文件以使得數據能夠鎖存的代碼。
15. 根據權利要求14所述的製造品，其中所述多個智能代理的所別標誌數據的代碼，所述識別標誌數據是所述數據文件的摘要 化數據。
16. 根據權利要求15所述的製造品，其中所述協調^理被配置為 包括用於接收來自所述多個智能代理的每個智能代理的識別 標誌數據的代碼，所述識別標誌數據是所述數據文件的摘要化數據。
17. 根據權利要求16所述的製造品，其中所述協調代理包括進行 數據分析以產生組合識別標誌的智能，所述協調^理包4舌用於 使用所述識別標誌數據向所述多個元件提供指令的代碼。
18. 才艮據權利要求11所述的製造品，其中所述RACCM包4舌4丸行 自我發現以識別對所述等離子體處理系統的改變的智能，所述 自我發現包括用於當所述多< 個元件中的元件被連接到所述等 離子體處理系統中時進行識別的代碼。
19. 一種進行等離子體處理系統中的數據管理的由計算機實現的 方法5 包括二提供配方和元件控制模塊(RACCM),所述RACCM是 月良務器，其中所述RACCM包括多個智能代理，所述多個智能代理中的每個智能代 理,皮配置為與所述多個元件的每個元件互相作用，協調代理，所述協調代理4皮配置為4妄收來自所述多 個智能代理的處理過的數據，以及一組臨時代理，所述組臨時代理;陂配置為進4於配方 管理，所述配方管理包4舌將配方的至少部分分配到所述多個智 能^理中的至少一個和所述協調^理。
20. 根據權利要求19所述的由計算機實現的方法，其中所述多個 智能〗<理的所述每個智能 理包括限定對所述多個元件的所 述每個元件的配置要求的智能，所述配置要求包4舌向所述多個 智能代理的所述每個代理髮送數據文件的標準，所述標準是基 於存儲在所述多個智能代理的所述每個智能代理本地的所述 配方的所述部分的。
21. 根據權利要求20所述的由計算機實現的方法，其中所述多個 智能代理的所述每個智能代理包括緩存，所述緩存被配置為包 括用於至少保存最新的數據文件以使得數據能夠鎖存的代碼。
22. 根據權利要求21所述的由計算機實現的方法，其中所述多水4口 6匕 S 3匕'分析以產生識別標誌數據的代碼，所述識別標誌數據是所述數 據文件的摘要化數據。
23. 根據權利要求22所述的由計算機實現的方法，其中所述協調 代理一皮配置為包括用於接收來自所述多個智能代理的每個智 能代理的識別標誌數據的代碼，所述識別標誌數據是所述^t據 文件的摘要化數據。
24. 根據權利要求23所述的由計算機實現的方法，其中所述協調 代理包括進行數據分析以產生組合識別標誌的智能，所述協調 代理包括用於4吏用所述識別標誌數據向所述多個元件才是供指 令的代碼。
25. 才艮據斥又利要求24所述的由計算4幾實現的方法，其中所述 RACCM包括執行自我發現以識別對所述等離子體處理系統 的改變的智能，所述自我發現包括用於當所述多個元件中的元 件4皮連4妄到所述等離子體處理系統中時進行識別的代碼。
26. 才艮據斥又利要求19所述的由計算才幾實現的方法，其中所述 RACCM包括執行自我發現以識別對所述等離子體處理系統 的改變的智能，所述自我發現包括用於當所述多個元件中的元 件^皮連接到所述等離子體處理系統中時進行識別的代碼。
全文摘要
提供一種配方和元件控制模塊(RACCM)。該RACCM是用於進行具有多個元件的等離子體處理系統中的數據管理的伺服器。該RACCM包括多個智能代理。該多個智能代理中的每個智能代理被配置為與該多個元件的每個元件互相作用。該RACCM還包括協調代理，該協調代理被配置為接收來自該多個智能代理的處理過的數據。
文檔編號H01L21/3065GK101652838SQ200880010750
公開日2010年2月17日 申請日期2008年3月26日 優先權日2007年3月29日
發明者安德魯·呂, 黃忠河 申請人:朗姆研究公司