用於單晶爐的真空封閉結構的製作方法
2023-12-10 16:24:57 1
專利名稱：用於單晶爐的真空封閉結構的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及的是一種單晶爐技術領域的結構，具體是一種用於單晶爐的真空封閉結構。
背景技術：
單晶爐是多晶矽轉化為單晶矽工藝過程中的必備設備，而單晶矽又是光伏發電和半導體行業中的基礎原料。單晶矽作為現代信息社會的關鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料。直拉式單晶爐採用直拉法生產矽單晶棒。生產時，當矽拉製成型後，需在上爐筒中冷卻後取出，以避免高溫矽棒暴露於大氣中，影響矽棒質量，冷卻時上爐筒需保持真空狀態。為了使上爐筒保持真空狀態，單晶爐需要配置隔離閥，現有的豎直隔離閥採用0型圈密封，在高溫環境下0型圈可能因軟化而脫落，且每次生產後均需更換0型圈，同時為了確保0型圈正常工作，需大量冷卻水。
實用新型內容本實用新型的目的就在於克服上述隔離閥密封結構的缺陷，從而提供一種用於單晶爐的真空封閉結構，實現了對上爐筒的真空密封，且結構簡單，加工方便。為達到上述目的，本實用新型的用於單晶爐的真空封閉結構包括隔離閥閥板，隔離閥閥板與隔離閥閥體固定連接，還包括中空環形壓板組件、壓緊環和封閉片，其中中空環形壓板組件與隔離閥閥體固定連接，封閉片的壓入段放置於壓板組件的壓固段上，壓緊環設置於封閉片的壓入段與隔離閥閥體之間，封閉片的固定段與隔離閥閥體面接觸，所述的封閉片的固定段嵌入於隔離閥閥體的凹槽中。所述的壓緊環填滿封閉片的壓入段與隔離閥閥體之間的區域，壓緊環的壓力使封閉片的壓入段位置固定。所述的封閉片為環狀結構，該封閉片的固定段和壓入段之間設有密封段。所述封閉片的固定段的截面為長方形，該封閉片的壓入段的截面為長方形，該封閉片的密封段的截面為半圓環型。所述的隔離閥閥板的橫截面為等腰梯形，該等腰梯形的斜邊的斜度與密封段的下半圓環的外圈的一點相切，等腰梯形的底邊的長度小於壓板組件的內徑長度，等腰梯形的底邊的長度小於壓緊環的內徑長度，該等腰梯形的高度能夠保證隔離閥閥板從打開狀態的90度位置移動到關閉狀態的水平位置的過程中，隔離閥閥板與隔離閥閥體不接觸。所述的中空環形壓板組件包括壓板件和支撐環，其中支撐環設置於壓板件上，封閉片設置於支撐環上。所述的支撐環和壓緊環均為柔性石墨材料。[0013]本實用新型採用支撐環和壓緊環固定封閉片的壓入段，隔離閥閥板的橫截面與封閉片的密封段下部橫截面為點接觸，構成了環形封閉片與隔離閥閥板的面接觸，實現了真空密封效果，本實用新型結構簡單，加工方便。
圖1為本實用新型的結構示意圖。圖2為圖1中A處的局部放大圖。圖3為本實用新型的隔離閥閥板的結構示意圖。圖4為本實用新型的中空環形壓板組件的結構示意圖。圖5為本實用新型的封閉片的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖以具體實施例對本實用新型的技術特徵作進一步說明。應理解，以下實施例僅用於說明本實用新型而非用於限定本實用新型的範圍。實施例1如圖1、圖2和圖3所示，本實用新型的用於單晶爐的真空封閉結構包括隔離閥閥板1，隔離閥閥板1與隔離閥閥體2固定連接，還包括中空環形壓板組件3、壓緊環4和封閉片5，其中中空環形壓板組件3與隔離閥閥體2固定連接，封閉片5的壓入段51放置於壓板組件3的固定段52上，壓緊環4設置於封閉片5的壓入段51與隔離閥閥體2之間，封閉片5的固定段52與隔離閥閥體2面接觸，所述的封閉片5的固定段52嵌入於隔離閥閥體2的凹槽中。所述的壓緊環4填滿封閉片5的壓入段51與隔離閥閥體2之間的區域，壓緊環4的壓力使封閉片5的壓入段51位置固定。所述的封閉片5為環狀結構，該封閉片5的固定段52和壓入段51之間設有密封段53。如圖5所示，所述封閉片5的固定段52的截面為長方形，該封閉片5的壓入段51的截面為長方形，該封閉片5的密封段53的截面為半圓環型。如圖2和圖3所示，所述的隔離閥閥板1的橫截面為等腰梯形11，該等腰梯形11的斜邊111的斜度與密封段53的下半圓環的外圈的一點相切於B點，等腰梯形11的底邊112的長度Ll小於壓板組件3的內徑長度dl，等腰梯形11的底邊112的長度Ll小於壓緊環4的內徑長度dl，該等腰梯形11的高度hi能夠保證隔離閥閥板1從打開狀態的90度位置移動到關閉狀態的水平位置的過程中，隔離閥閥板1與隔離閥閥體2不接觸。如圖4所示，所述的中空環形壓板組件3包括壓板件31和支撐環32，其中支撐環32設置於壓板件31上，封閉片5設置於支撐環32上。所述的支撐環32和壓緊環4均為柔性石墨材料。如圖1所示，本實用新型採用支撐環32和壓緊環4固定封閉片5的壓入段51，隔離閥閥板1的橫截面與封閉片5的密封段53下部橫截面為點接觸，構成了環形封閉片5與隔離閥閥板1的面接觸，實現了真空密封效果，本實用新型結構簡單，加工方便。
權利要求1.一種用於單晶爐的真空封閉結構，包括隔離閥閥板，隔離閥閥板與隔離閥閥體固定連接，其特徵在於，還包括中空環形壓板組件、壓緊環和封閉片，其中中空環形壓板組件與隔離閥閥體固定連接，封閉片的壓入段放置於壓板組件的壓固段上，壓緊環設置於封閉片的壓入段與隔離閥閥體之間，封閉片的固定段與隔離閥閥體面接觸，所述的封閉片的固定段嵌入於隔離閥閥體的凹槽中；所述的封閉片為環狀結構，該封閉片的固定段和壓入段之間設有密封段。
2.根據權利要求1所述的用於單晶爐的真空封閉結構，所述的壓緊環填滿封閉片的壓入段與隔離閥閥體之間的區域，壓緊環的壓力使封閉片的壓入段位置固定。
3.根據權利要求1所述的用於單晶爐的真空封閉結構，其特徵是所述封閉片的固定段的截面為長方形，該封閉片的壓入段的截面為長方形，該封閉片的密封段的截面為半圓環型。
4.根據權利要求1所述的用於單晶爐的真空封閉結構，其特徵是，所述的隔離閥閥板的橫截面為等腰梯形，該等腰梯形的斜邊的斜度與密封段的下半圓環的外圈的一點相切，等腰梯形的底邊的長度小於壓板組件的內徑長度，等腰梯形的底邊的長度小於壓緊環的內徑長度，該等腰梯形的高度能夠保證隔離閥閥板從打開狀態的90度位置移動到關閉狀態的水平位置的過程中，隔離閥閥板與隔離閥閥體不接觸。
5.根據權利要求1所述的用於單晶爐的真空封閉結構，其特徵是，所述的中空環形壓板組件包括壓板件和支撐環，其中支撐環設置於壓板件上，封閉片設置於支撐環上。
6.根據權利要求5所述的用於單晶爐的真空封閉結構，其特徵是，所述的支撐環為柔性石墨材料。
7.根據權利要求1所述的用於單晶爐的真空封閉結構，其特徵是，所述的壓緊環為柔性石墨材料。
專利摘要本實用新型公開了一種單晶爐技術領域的用於單晶爐的真空封閉結構，包括隔離閥閥板，隔離閥閥板與隔離閥閥體固定連接，還包括中空環形壓板組件、壓緊環和封閉片，中空環形壓板組件與隔離閥閥體固定連接，封閉片的壓入段放置於壓板組件的壓固段上，壓緊環設置於封閉片的壓入段與隔離閥閥體之間，封閉片的固定段與隔離閥閥體面接觸，所述的封閉片的固定段嵌入於隔離閥閥體的凹槽中。本實用新型實現了對上爐筒的真空密封，且結構簡單，加工方便。
文檔編號C30B15/00GK202297846SQ20112037728
公開日2012年7月4日 申請日期2011年10月9日 優先權日2011年10月9日
發明者楊永錄, 葛亮, 賀賢漢 申請人:上海漢虹精密機械有限公司