一種拆裝工具的製作方法

2023-12-02 12:40:51 3

專利名稱：一種拆裝工具的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體器件生產領域，特別涉及一種拆裝工具。
背景技術：
PI9500大束流注入機為APPLIED MATERIALSS (美國應用材料公司)生產，該設備的晶片承載靶盤拆卸頻次較低，目前國內並沒有針對該晶片承載靶盤的專用拆裝工具，當晶片承載靶盤需要拆裝時，企業通常的做法是向設備原廠租借專用的電動升降車，該電動升降車的結構示意圖如圖1所示，主要包括起吊支撐底座17，用於支撐該電動升降車，在底座下方裝有車輪，可依靠人工推動行走；人工移動手柄13，用於通過該手柄水平移動電動升降車；垂直升降機構14，用於帶動與其相連的專用起吊杆15，使專用起吊杆15隨垂直升降機構14在豎直方向上進行上下移動；專用起吊杆15，用於與需要拆卸的晶片承載靶盤固定並拆卸該晶片承載靶盤；電動升降控制箱16，用於控制垂直升降機構14的位移。由此可見，該專用電動升降車的主要工作原理在於依靠人工推動人工移動手柄13的方式實現電動升降車的水平移動，依靠垂直升降機構14實現電動升降車的豎直移動，從而控制與晶片承載靶盤相連的專用起吊杆的位移，實現拆卸晶片承載靶盤的目的。該專用電動升降車主要存在如下缺陷首先，向設備原廠租借勢必會浪費大量的租金和運費，其次，該電動升降車的垂直升降機構過於依賴電能，在沒有電源的情況下則無法正常運行，而且，人工移動手柄需要人工推動行走，晃動大、不平穩，容易發生碰撞。

實用新型內容本實用新型提供一種拆裝工具，用以解決現有技術中的拆裝設備過於依賴電能， 且晃動大、不平穩的技術問題。本實用新型實施例提供了一種拆裝工具，包括兩端固定的水平位移裝置61 ；行吊小車6，懸掛連接在所述水平位移裝置61上，所述水平位移裝置61在水平方向上拖動行吊小車6在水平方向移動；固定在行吊小車6底部的垂直位移裝置62，以及與垂直位移裝置62固定連接的拆卸裝置11，所述垂直位移裝置62帶動拆卸裝置11在垂直方向上移動。本實用新型實施例中的拆裝工具，可靈活調整位置，避免了過於依賴電能，且晃動大、不平穩的問題。

圖1是現有技術中的專用電動升降車結構示意圖；圖2(a)是本實用新型實施例中的拆裝工具的整體結構示意圖中的前視圖；圖2(b)是本實用新型實施例中的拆裝工具的整體結構示意圖中的側視圖；圖3(a)是本實用新型實施例中的開型支架結構示意圖；[0014]圖3(b)是圖3(a)的俯視圖；圖4是本實用新型實施例中的工型導軌結構示意圖；圖5(a)是本實用新型實施例中的行吊小車結構示意圖；圖5(b)是圖5(a)的左視圖；圖6(a)是本實用新型實施例中的正反旋螺紋垂直調節杆結構示意圖；圖6 (b)是圖6 (a)的側視圖7(a)是本實用新型實施例中的懸臂結構示意圖；圖7 (b)是圖7 (a)的左視圖；圖8(a)是本實用新型實施例中的Λ型爪結構示意圖；圖8 (b)是圖8 (a)的側視圖；圖9是本實用新型實施例中的球窩接頭結構示意圖；圖10是本實用新型實施例中的Γ型穩固主懸臂結構示意圖。
具體實施方式
本實用新型實施例提供了一種拆裝工具，可以解決現有技術中的拆裝設備過於依賴電能，且晃動大、不平穩的技術問題。本實用新型實施例提供了一種拆裝工具，如圖2(a)和圖2(b)所示，圖2 (a)為拆裝工具的前視圖，圖2(b)為拆裝工具的側視圖，包括兩端固定的水平位移裝置61 ；行吊小車6，懸掛連接在所述水平位移裝置61上，所述水平位移裝置61在水平方向上拖動行吊小車6在水平方向移動；固定在行吊小車6底部的垂直位移裝置62，以及與垂直位移裝置62固定連接的拆卸裝置11，所述垂直位移裝置62帶動拆卸裝置11在垂直方向上移動。較佳的，所述水平位移裝置61包括水平放置的工型導軌1以及位於工型導軌1 上方、且與工型導軌1平行的螺旋運動副7，所述行吊小車6的頂部懸掛固定在螺旋運動副 7上，且行吊小車6隨著螺旋運動副7的旋轉，沿工型導軌1在水平方向上移動。較佳的，所述垂直位移裝置62包括兩根相互平行、且頂部固定在行吊小車6底部的正反旋螺紋垂直調節杆8以及固定在所述正反旋螺紋垂直調節杆8底部的懸臂9，所述懸臂9隨著正反旋螺紋垂直調節杆8的正旋或反旋在垂直方向上移動，帶動與懸臂9固定連接的拆卸裝置11在垂直方向上移動。較佳的，所述拆卸裝置11通過球窩接頭10固定連接在所述懸臂9的一側。較佳的，所述拆卸裝置11為Λ型爪，且所述拆卸裝置11上設置有連接螺杆12，用於與應用該拆裝工具的外部設備固定。較佳的，所述拆裝工具還包括支持所述水平位移裝置61的開型支架，固定連接所述水平位移裝置61—端。較佳的，當應用該拆裝工具的外部設備上設置有滑動導槽時，則所述拆裝工具還包括與水平位移裝置61固定連接的支撐架5，以及與所述支撐架5相連的T型滑塊4，所述T型滑塊4嵌入式固定在所述滑動導槽內部，並可沿所述滑動導槽滑動。較佳的，所述行吊小車6為單軌雙限位四輪行走小車，且所述行吊小車6內部還設置有兩個限位車輪，當行吊小車6沿工型導軌1水平移動時，所述限位車輪緊貼工型導軌1 移動。下面詳細介紹一下本實用新型實施例提供的拆裝工具，具體包括支撐裝置2、水平位移裝置61、行吊小車6、固定在行吊小車6底部的垂直位移裝置62以及與垂直位移裝置62相連的拆卸裝置11，該拆卸裝置11主要用於拆卸晶片承載靶盤。其中，本實施例中的支撐裝置2可以由開型支架組成，如圖3 (a)所示，為開型支架的具體結構示意圖，其中圖3(b)為圖3(a)的俯視圖；開型支架的主要作用在於支撐該拆裝工具，該開型支架固定在水平位移裝置61的底部。水平位移裝置61包括水平放置的工型導軌 1，工型導軌1的剖面圖如圖4所示， 該工型導軌1主要用於確定行吊小車6的運動軌跡；位於工型導軌1的上方、且與所述工型導軌1平行的螺旋運動副7，該螺旋運動副7與行吊小車6的頂部相固定，用於通過螺旋運動副7的旋轉帶動行吊小車6實現水平位移。具體實現時，螺旋運動副7可以通過人工手動旋轉，也可以在其尾部安裝一個電動馬達，通過電力帶動螺旋運動副7旋轉。 行吊小車6主要用於連接水平位移裝置61和垂直位移裝置62，如圖5 (a)所示，行吊小車6的具體結構圖，其中圖5(b)是圖5(a)的左視圖；在行吊小車6的頂部，有一個圓孔用於穿過螺旋運動副7，使行吊小車6掛在螺旋運動副7上；行吊小車6內部設計有與工型導軌1的剖面形狀相吻合的孔洞，用於使行吊小車6沿工型導軌1自由移動。並且，在行吊小車6的內部還有四個滑動車輪，用於與工型導軌1的下導軌頂面相接觸，從而減少行吊小車6移動時的摩擦。而且，為了進一步實現行吊小車6與工型導軌1的可靠接觸，還可以在行吊小車6的底部安裝兩個限位車輪，限位車輪的頂部與工型導軌1的下導軌底面相接觸，從而使行吊小車6與工型導軌1之間接觸緊密。在行吊小車6的底部，安裝有垂直位移裝置62，在本實施例中，垂直位移裝置62包括兩根相互平行、且固定在行吊小車6底部的正反旋螺紋垂直調節杆8，如圖6(a)所示， 為正反旋螺紋垂直調節杆8的結構示意圖，其中圖6(b)是圖6(a)的側視圖；固定在正反旋螺紋垂直調節杆8底部的懸臂9，如圖7 (a)所示，為本實用新型中懸臂結構示意圖，其中圖7(b)是圖7(a)的左視圖；在懸臂9的右側固定有用於拆卸外部設備的拆卸裝置11。該垂直位移裝置62的工作原理為通過正反旋螺紋垂直調節杆8的正旋或反旋實現懸臂9的垂直位移，即向上移動或向下移動，進而實現與懸臂9相連的拆卸裝置11的垂直位移。這裡，正反旋螺紋垂直調節杆8可以直接通過人工手動調節，也可以額外安裝一個電動馬達， 利用電力調節。並且，也可以調節懸臂9與晶片承載靶盤軸的平行度，在調節杆上裝有互鎖螺母保證晶片承載靶盤在軸向平移，即水平移動時不移位。拆卸裝置11在本實施例中可以設計為Λ型爪，如圖8(a)所示，是本實用新型實施例中的Λ型爪結構示意圖，圖8(b)是圖8(a)的側視圖；在Λ型爪的側面安裝四個連接螺杆12，用於與外部設備固定，以便於拆卸。為了便於調整Λ型爪相對於外部設備的位置，可以將Λ型爪和懸臂9之間通過可調整方向的球窩接頭10進行連接和固定，球窩接頭 10的具體結構如圖9所示，由於球窩接頭10可以進行一定的轉動，所以Λ型爪相對於外部設備的位置也可以得到調整。這裡，Λ型爪的具體尺寸和開口角度可根據要拆卸的外部設備進行調整，且Λ型爪可實現360度轉動。當要拆卸的外部設備為ΡΙ9500大束流注入機時，連接螺杆12可以和晶片承載靶盤受力孔連接，從而避免晶片承載靶盤及上面的部件直接受力而發生形變，球窩接頭10和Λ型爪可保證晶片承載靶盤自由換向，避免和高真空室體內其他器件發生碰撞，可以平穩方便的將晶片承載靶盤與主軸分離或復位。[0044]並且，在本實施例中，為了實現拆裝工具與外部設備之間的可靠固定，還需要設置固定裝置63。固定裝置63的具體結構和安裝位置可根據實際需要進行設計。在本實施例中，由於主要用於拆卸ΡΙ9500大束流注入機，而該設備上具有滑動導槽3，因此，可以利用該滑動導槽3實現固定裝置63，這時，固定裝置63包括與工型導軌1相連的支撐架5，即 Z型過渡支架以及與Z型過渡支架相連的T型滑塊4，該T型滑塊4嵌入式固定在滑動導槽 3內部，在使用時，可根據需要使T型滑塊4在滑動導槽3內部移動，從而改變該拆裝工具與外部設備之間的距離。本實施例中的支撐裝置2、工型導軌1以及固定裝置63—起構成了 Γ型穩固主懸臂結構，如圖10所示，可以實現該拆裝工具的可靠固定。本實施例中借用設備真空室門的滑動導槽作為搭接基準端，輔於τ型滑塊4和Z型過渡支架共同作為受力支撐點，與「工」型導軌1和「開」型支柱連接形成「 Γ 」型穩固滑動懸臂結構，且採用了固定式單軌雙限位四輪行走的行吊小車6、螺旋運動副7實現懸吊平移，配有正反旋螺紋垂直調節杆8，設有「 A，， 型爪連接、球窩接頭方向調整裝置，從而可穩固牢靠的完成拆裝。本實用新型實施例中，通過垂直位移裝置62和水平位移裝置61實現拆卸裝置11 的自由移動，並配合球窩接頭10實現拆卸裝置11的靈活轉動，該拆裝工具可應用於ΡΙ9500 大束流注入機的晶片承載靶盤的拆卸，且拆卸時可通過支撐裝置2和固定裝置63實現該拆裝工具的固定，再通過調節垂直位移裝置62和水平位移裝置61實現拆卸裝置11的移動， 避免了現有技術中需要人工推動行走，導致晃動大不平穩的缺陷，並且，該拆裝工具可手動調節，即使在斷電情況下也不會影響使用，拓寬了應用範圍，且佔地面積小，使用靈活。當然，本實施例還可以採用其他的形式實現，例如，水平位移裝置61也可以由同步帶、皮帶傳動裝置或鏈條傳動裝置來實現，垂直位移裝置62也可以由氣缸來實現。並且，支撐裝置2也可以採用其他的設計形狀，且拆卸裝置11也可以設計為其他形式。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和範圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬於本實用新型權利要求及其等同技術的範圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求1.一種拆裝工具，其特徵在於，包括 兩端固定的水平位移裝置(61)；行吊小車(6)，懸掛連接在所述水平位移裝置(61)上，所述水平位移裝置(61)在水平方向上拖動行吊小車(6)在水平方向移動；固定在行吊小車(6)底部的垂直位移裝置(62)，以及與垂直位移裝置(62)固定連接的拆卸裝置(11)，所述垂直位移裝置(62)帶動拆卸裝置(11)在垂直方向上移動。
2.如權利要求1所述的拆裝工具，其特徵在於，所述水平位移裝置(61)包括 水平放置的工型導軌(1)以及位於工型導軌(1)上方、且與工型導軌(1)平行的螺旋運動副(7)，所述行吊小車(6)的頂部懸掛固定在螺旋運動副(7)上，且行吊小車(6)隨著螺旋運動副(7)的旋轉，沿工型導軌(1)在水平方向上移動。
3.如權利要求1所述的拆裝工具，其特徵在於，所述垂直位移裝置(62)包括 兩根相互平行、且頂部固定在行吊小車(6)底部的正反旋螺紋垂直調節杆(8)以及固定在所述正反旋螺紋垂直調節杆(8)底部的懸臂(9)，所述懸臂(9)隨著正反旋螺紋垂直調節杆(8)的正旋或反旋在垂直方向上移動，帶動與懸臂(9)固定連接的拆卸裝置(11)在垂直方向上移動。
4.如權利要求3所述的拆裝工具，其特徵在於，所述拆卸裝置(11)通過球窩接頭(10) 固定連接在所述懸臂(9)的一側。
5.如權利要求1所述的拆裝工具，其特徵在於，所述拆卸裝置(11)為Λ型爪。
6.如權利要求1或5所述的拆裝工具，其特徵在於，所述拆卸裝置(11)上設置有連接螺杆(12)，用於與應用該拆裝工具的外部設備固定。
7.如權利要求1所述的拆裝工具，其特徵在於，還包括支持所述水平位移裝置(61)的開型支架，固定連接所述水平位移裝置(61) —端。
8.如權利要求1所述的拆裝工具，其特徵在於，當應用該拆裝工具的外部設備上設置有滑動導槽時，則所述拆裝工具還包括與水平位移裝置(61)固定連接的支撐架(5)，以及與所述支撐架(5)相連的T型滑塊 (4)，所述T型滑塊(4)嵌入式固定在所述滑動導槽內部，並可沿所述滑動導槽滑動。
9.如權利要求1所述的拆裝工具，其特徵在於，所述行吊小車(6)為單軌雙限位四輪行走小車。
10.如權利要求9所述的拆裝工具，其特徵在於，所述行吊小車(6)內部還設置有兩個限位車輪，當行吊小車(6)沿工型導軌(1)水平移動時，所述限位車輪緊貼工型導軌(1)移動。
專利摘要本實用新型公開了一種拆裝工具，包括兩端固定的水平位移裝置(61)；行吊小車(6)，懸掛連接在所述水平位移裝置(61)上，所述水平位移裝置(61)在水平方向上拖動行吊小車(6)在水平方向移動；固定在行吊小車(6)底部的垂直位移裝置(62)，以及與垂直位移裝置(62)固定連接的拆卸裝置(11)，所述垂直位移裝置(62)帶動拆卸裝置(11)在垂直方向上移動。本實用新型實施例中的拆裝工具可靈活調整，使用方便，避免了人工推動行走時晃動大不平穩的問題。
文檔編號H01L21/67GK202183363SQ201120130308
公開日2012年4月4日 申請日期2011年4月28日 優先權日2011年4月28日
發明者劉其金, 朱厚華, 林偉旺, 毛鍾巍, 胡德明 申請人:北大方正集團有限公司, 深圳方正微電子有限公司