一種拆卸裝置的製作方法

2024-04-15 11:57:05 2

1.本發明涉及晶圓反應設備技術領域，具體涉及一種拆卸裝置。


背景技術：

2.在半導體製造工藝中，通常需要使用鍍膜設備對晶圓進行鍍膜。現有的鍍膜設備通常為一個密閉的反應腔，在反應腔的頂端設有蓋板，在蓋板上側設有噴淋盤和穹頂，穹頂蓋合在噴淋盤上並通過銷釘定位，然後通過螺釘固定，且二者之間設置密封圈，以使穹頂和噴淋盤之間形成密閉的容納腔；穹頂中部設有與所述容納腔連通的進氣孔，一組反應氣組通過進氣孔分散後穿過噴淋盤與另一組反應氣組從噴淋盤側進入噴淋盤夾層並從噴淋盤第二組孔進入反應腔內後進行混合。
3.然而現有技術中沒有專門拆卸穹頂的設備，由於穹頂與噴淋盤之間設有密封圈，且二者之間通過兩個銷釘定位，因此在拆卸穹頂時，通常會將噴淋盤連帶拆卸下來；故現有技術中拆卸穹頂時，需要先將穹頂和噴淋盤之間的螺釘擰下來，然後通過橡膠錘錘擊噴淋盤，使穹頂和噴淋盤之間的密封狀態破開，然後才能夠將穹頂拆卸下來，需要30-60分鐘完成一隻穹頂的拆卸，拆卸效率低，且對穹頂與噴淋盤的外表面會造成傷害，留下拆卸痕跡。


技術實現要素：

4.(一)本發明所要解決的技術問題是：目前沒有專門拆卸穹頂的結構，拆卸穹頂時需要橡膠錘敲擊噴淋盤和穹頂，拆卸效率低，且會對穹頂和噴淋盤表面造成破壞，留下拆卸痕跡。
5.(二)技術方案
6.為了解決上述技術問題，本發明一方面實施例提供了一種拆卸裝置，所述拆卸裝置包括鎖板、鎖塊和頂推件，所述鎖板與穹頂可拆卸連接；所述鎖塊與噴淋盤可拆卸連接；所述頂推件穿過所述鎖板，下端抵在所述鎖塊上，且所述頂推件能夠帶動所述穹頂向上移動與所述噴淋盤分離。
7.根據本發明的一個實施例，所述頂推件包括頂絲，所述鎖板上設有與所述頂絲配合的第一螺孔，所述頂絲的下端與第一螺孔旋合伸至所述鎖板的下側並與所述鎖塊相抵。
8.根據本發明的一個實施例，所述穹頂包括圓柱狀的本體，在所述本體下端邊緣形成向外側延伸的圓環狀的連接板。
9.根據本發明的一個實施例，所述鎖板上設有第一通孔，所述連接板上設有第二螺孔，螺釘穿過所述第一通孔與所述第二螺孔配合，以連接所述鎖板和所述穹頂。
10.根據本發明的一個實施例，所述鎖板側邊緣上開設有弧形的凹口，圓柱狀所述本體卡合於所述凹口內。
11.根據本發明的一個實施例，所述鎖板設有兩個，兩個所述鎖板對稱設於所述本體的兩側。
12.根據本發明的一個實施例，所述鎖板上設有握持孔。
13.根據本發明的一個實施例，所述噴淋盤的側壁上設有卡孔，所述鎖塊與所述卡孔卡接配合。
14.根據本發明的一個實施例，所述鎖塊包括第一塊體和第二塊體，所述第一塊體的上端與所述第二塊體的一端垂直連接，所述第二塊體卡合與所述卡孔內。
15.根據本發明的一個實施例，所述鎖塊設有四個，所述噴淋盤呈圓盤狀，所述噴淋盤側壁上均勻分布有四個所述卡孔；和/或，所述第一塊體和第二塊體一體成型。
16.本發明的有益效果：本發明提供的拆卸裝置包括鎖板、鎖塊和頂推件，所述鎖板與穹頂可拆卸連接；在拆卸穹頂時，先將鎖板與穹頂相連，再將鎖塊連接在噴淋盤上，然後驅動頂推件帶動穹頂向上移動，由於頂推件下端抵在鎖塊上，而鎖塊與噴淋盤相連，因此噴淋盤不動，進而使穹頂與噴淋盤分離，可以比較省力、高效的單獨拆卸穹頂，並且拆卸過程中不需要是用橡膠錘，且頂推件也沒有抵在噴淋盤上，因此不會造成穹頂和噴淋盤出現拆痕或損壞。
附圖說明
17.為了更清楚地說明本發明具體實施方式或現有技術中的技術方案，下面將對具體實施方式或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發明的一些實施方式，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖。
18.圖1為本發明一個實施例提供的拆卸裝置的立體圖；
19.圖2為本發明一個實施例提供的拆卸裝置的爆炸圖；
20.圖3為本發明一個實施例提供的鎖板的結構示意圖；
21.圖4為本發明一個實施例提供的鎖塊的結構示意圖；
22.圖5為噴淋盤與穹頂配合在一起的結構示意圖；
23.圖6為本發明一個實施例提供的穹頂的結構示意圖；
24.圖7為本發明一個實施例提供的噴淋盤的結構示意圖。
25.圖標：1-鎖板；11-凹口；12-第一螺孔；13-第一通孔；14-握持孔；
26.2-鎖塊；21-第一塊體；22-第二塊體；
27.3-噴淋盤；31-卡孔；
28.4-穹頂；41-本體；42-連接板；421-第二螺孔；
29.5-蓋板；6-頂絲。
具體實施方式
30.為了能夠更清楚地理解本發明的上述目的、特徵和優點，下面結合附圖和具體實施方式對本發明進行進一步的詳細描述，在不衝突的情況下，本技術的實施例及實施例中的特徵可以相互組合。顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬於本發明保護的範圍。
31.如圖1至圖7所示，本發明一方面實施例提供了一種拆卸裝置，所述拆卸裝置用於拆卸穹頂4，其中所述穹頂4為晶圓反應室的結構，晶圓反應室用於晶圓鍍膜，其中在反應室
的上端設有蓋板5，噴淋盤3設置在蓋板5上，穹頂4通過螺釘與噴淋盤3固定，同時二者之間設有密封圈，內部形成一個密閉的容納腔，其中噴淋盤3上設有噴淋孔，在穹頂4上設有進氣孔，一組反應氣組通過進氣孔分散後穿過噴淋盤3與另一組反應氣組從噴淋盤3側進入噴淋盤夾層並從噴淋盤3上第二組孔進入反應腔內後進行混合噴淋盤3用於將反應氣體混合均勻；本實施例提供的拆卸裝置包括，鎖板1、鎖塊2和頂推件，所述鎖板1與穹頂4可拆卸連接；所述鎖塊2與噴淋盤3可拆卸連接；所述頂推件穿過所述鎖板1，下端抵在所述鎖塊2上，且所述頂推件能夠帶動所述穹頂4向上移動與所述噴淋盤3分離。
32.本實施例提供的拆卸裝置包括鎖板1、鎖塊2和頂推件，在拆卸穹頂4時，先將鎖板1與穹頂4相連，再將鎖塊2連接在噴淋盤3上，然後驅動頂推件帶動穹頂4向上移動，由於頂推件下端抵在鎖塊2上，而鎖塊2與噴淋盤3相連，因此噴淋盤3不動，進而使穹頂4與噴淋盤3分離，可以比較省力、高效的單獨拆卸穹頂4，不會將噴淋盤3拆卸下來，並且拆卸過程中不需要是用橡膠錘，且頂推件也沒有抵在噴淋盤3上，因此不會造成穹頂4和噴淋盤3出現拆痕或損壞。
33.根據本發明的一個實施例，如圖1和圖2所示，所述頂推件包括頂絲6，如圖3所示，所述鎖板1上設有與所述頂絲6配合的第一螺孔12，所述頂絲6的下端與第一螺孔12旋合伸至所述鎖板1的下側並與所述鎖塊2相抵；本實施例中，頂推件為頂絲6，在使用時，將頂絲6旋入第一螺孔12，繼續旋轉頂絲6直至頂絲6與鎖塊2接觸，此時穹頂4和鎖板1仍然處於連為一體狀態，然後繼續旋轉頂絲6，此時頂絲6頂在鎖塊2上，而鎖塊2設置在蓋板5上，頂絲6旋轉無法使噴淋盤3向下移動，在反作用力的作用下，頂絲6施加給穹頂4向上移動的力，隨著頂絲6的持續旋轉破壞穹頂4與噴淋盤3之間的密封，帶動穹頂4向上移動，此時可以將穹頂4單獨取下，非常的高效便捷，並且拆卸穹頂4時不會將噴淋盤3帶出來。
34.根據本發明的一個實施例，如圖5和圖6所示，所述穹頂4包括圓柱狀的本體41，在所述本體41下端邊緣形成向外側延伸的圓環狀的連接板42；所述噴淋盤3也為圓盤狀，且穹頂4和噴淋盤3同軸設置。
35.如圖3所示，所述鎖板1上設有第一通孔13，如圖6所示，所述連接板42上設有第二螺孔421，螺釘穿過所述第一通孔13與所述第二螺孔421配合，以連接所述鎖板1和所述穹頂4；本實施例中，所述鎖板1通過螺釘連接的方式與連接板42可拆卸連接，作業人員操作非常便捷，優選的，所述鎖板1上設有三個第一通孔13，三個所述第一通孔13在軸向上間隔均勻分布，對應的所述連接板42的周向上均布有三個第二螺孔421，連接時將螺釘穿過第一通孔13與第二螺孔421旋合來固定鎖板1和連接板42，也即是將鎖板1固定在穹頂4上，通過使用多個螺釘固定來保證鎖板1與連接板42固定的牢靠性。
36.當然，在本實施例中，所述鎖板1還可以通過其他可拆卸的方式與穹頂4連接，例如卡接等，並且所述第一通孔13也並不一定與所述第二螺孔421一一對應，例如設有三個第一通孔13但是設有四個、五個或者六個第二螺孔421等，且所述第一通孔13的數量也不僅僅限於三個，也可以是兩個、四個、五個等，均能夠實現本實施例中鎖板1與穹頂4可拆卸連接的目的，其宗旨未脫離本發明的設計思想，應屬於本發明的保護範圍。
37.根據本發明的一個實施例，如圖1至圖3所示，所述鎖板1側邊緣上開設有弧形的凹口11，圓柱狀所述本體41卡合於所述凹口11內；本實施例中，鎖板1側邊緣設有與本體41形狀適配的凹口11，使本體41卡合於凹口11內，在鎖板1與穹頂4連接固定後，能夠進一步對於
鎖板1進行限位，防止鎖板1相對於本體41在軸向上出現晃動的情況。其中，如圖3所示，本實施例中，所述鎖板1呈矩形板狀，在矩形板狀遠離所述凹口11朝向一側的兩個邊角均設有倒角。
38.根據本發明的一個實施例，如圖1和圖2所示，所述鎖板1設有兩個，兩個所述鎖板1對稱設於所述本體41的兩側；如圖1和圖2所示，兩個所述鎖板1之間還留有縫隙，即兩個所述鎖板1上形成的凹口11均為圓弧形而不是半圓形的，實施例中設置兩個鎖板1，因此在鎖板1與穹頂4相連時，鎖板1在整個穹頂4連接板42的周向上均有與鎖板1的連接處，因此連接更加牢靠，同時在將穹頂4與噴淋盤3分離時，作業人員可以通過兩側的鎖板1將穹頂4抬起或者抱起，對於穹頂4的搬運更加方便，同時本實施例提供的拆卸裝置，不僅僅可以用於拆卸穹頂4，也可用於穹頂4安裝以及維護環節，可以方便的抬起搬運。
39.根據本發明的一個實施例，如圖1至圖3所示，所述鎖板1上設有握持孔14，所述在分離或者搬運穹頂4時，作業人員可以通過握持孔14握住鎖板1，方便於作業人員對穹頂4進行搬運，其中本實施例中，所述握持孔14可以為長條形孔、橢圓形孔或者弧形孔等。
40.根據本發明的一個實施例，如圖1、圖2、圖5和圖7所示，所述噴淋盤3的側壁上設有卡孔31，所述鎖塊2與所述卡孔31卡接配合；本實施例中，所述鎖塊2通過卡接的方式固定在噴淋盤3上，因此對於鎖塊2拆卸或者安裝更加便捷，當然，本實施例中，所述鎖塊2也可以通過其他的方式與噴淋盤3相連，例如通過螺釘連接的方式；並且本實施例中也可以是在噴淋盤3的外側壁上向外凸出形成卡柱，而在鎖塊2上開設有卡槽，通過將鎖塊2的卡槽卡在卡柱上實現鎖塊2與噴淋盤3的連接固定，其同樣能夠實現本發明的設計思想，應屬於本發明的保護範圍。
41.根據本發明的一個實施例，如圖4所示，所述鎖塊2包括第一塊體21和第二塊體22，所述第一塊體21的上端與所述第二塊體22的一端垂直連接，所述第二塊體22的另一端卡合於所述卡孔31內；本實施例中，所述第一塊體21和第二塊體22連接成l型，第一塊體21的下端抵在蓋板5上，上端與第二塊體22的一端垂直連接，第二塊體22的另一端插入所述卡孔31內，實現鎖塊2與噴淋盤3之間的連接；由於鎖塊2的第二塊體22的下端抵在蓋板5上，因此在頂絲6抵在鎖塊2上，並旋擰頂絲6時，能夠給鎖塊2足夠的支撐，進而能夠提供給穹頂4穩定的反作用力將穹頂4與噴淋盤3分離；優選的，本實施例中，所述第一塊體21和所述第二塊體22為一體成型結構，當然，本實施例中，所述第一塊體21與第二塊體22也可以是分體式結構，例如所述第一塊體21和第二塊體22通過焊接鉚接等方式進行連接，其同樣能夠實現本發明的目的。
42.根據本發明的一個實施例，所述鎖塊2設有四個，所述噴淋盤3呈圓盤狀，所述噴淋盤3側壁上均勻分布有四個所述卡孔31；也即是四個所述卡孔31的之間的圓心角為90
°
，通過在四個方位均設置卡孔31，然後對應設置四個鎖塊2，對應通過四個頂絲6來使穹頂4和噴淋盤3各個方向均有一個頂絲6在作業，提供頂推力，能夠保證穹頂4各個方位均能夠與噴淋盤3分離。
43.下面來具體說明本發明提供的拆卸裝置拆卸穹頂4的工作過程。
44.首先，將一個鎖板1的戶型凹口11扣合在穹頂4的本體41的側壁上，並使凹口11的內壁與穹頂4本體41的外壁面貼合，依次將三顆螺釘穿過鎖板1上的第一通孔13並旋入連接板42的第二螺孔421內；再將另一個鎖板1的凹口11扣合在穹頂4的本體41另一側的側壁上，
並使凹口11的內壁與穹頂4本體41的外壁面貼合，再依次將三顆螺釘穿過鎖板1上的第一通孔13並旋入連接板42的第二螺孔421內，實現兩個鎖板1與穹頂4的固定。
45.其次，將鎖塊2的第一塊體21的下端抵在噴淋盤3下端的蓋板5上，上端的第二塊體22插入噴淋盤3上開設的卡孔31內；重複上述步驟依次將四個鎖塊2連接固定。
46.最後，將頂絲6從鎖板1上的第一螺孔12旋入，由於鎖板1上設置第一螺孔12的位置距離圓心的半徑大於噴淋盤3的半徑，而噴淋盤3的半徑等於連接板42的半徑，而鎖塊2是設置在噴淋盤3外側壁上，頂絲6從上側旋入第一螺孔12時，可以對準鎖塊2的位置；旋轉頂絲6，頂絲6下端與鎖塊2相抵，然後繼續旋轉頂絲6，直至穹頂4與噴淋盤3之間出現縫隙，穹頂4和噴淋盤3之間的密封狀態解除，此時可以兩個人手持鎖板1上的握持孔14將穹頂4搬離噴淋盤3，完成穹頂4的拆卸。
47.在本發明的描述中，需要說明的是，術語「上」、「下」等指示的方位或位置關係為基於附圖所示的方位或位置關係，僅是為了便於描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。此外，術語「第一」、「第二」僅用於描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。
48.在本發明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語「安裝」、「連通」、「連接」應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接連通，也可以通過中間媒介間接連通，可以是兩個元件內部的連通。對於本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本發明中的具體含義。此外，在本發明的描述中，除非另有說明，「多個」的含義是兩個或兩個以上。
49.以上所述僅為本發明的較佳實施例，並不用以限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護範圍之內。