一種用於晶片刷洗的陶瓷盤刷洗結構的製作方法

2024-03-01 06:57:15

本實用新型涉及一種刷洗機刷洗結構，尤其是涉及一種具有清洗液噴灑、毛刷高度調節、毛刷刷洗、晶片固定以及晶片甩幹的一種用於晶片刷洗的陶瓷盤刷洗結構。

背景技術：

目前，市場上有各種各樣的半導體製造領域單晶片刷洗結構，大部分使用時侯不能調節刷子的刷洗高度。

本實用新型為了克服上述缺陷，進行了有益的改進。

技術實現要素：

本實用新型的目的在於解決現有技術中的上述不足，提供了一種具有清洗液噴灑、毛刷高度調節、毛刷刷洗、晶片固定以及晶片甩幹的一種用於晶片刷洗的陶瓷盤刷洗結構。

為了實現上述目的，本實用新型採用以下技術方案：

一種用於晶片刷洗的陶瓷盤刷洗結構，其特徵在於：該陶瓷盤刷洗結構包括工作平臺升降組件，刷洗主軸組件、甩幹軸組件、毛刷移動組件、乾燥空氣吹掃系統、刷洗槽和調速電機組件，所述調速電機組件安裝在工作平臺升降組件的工作平臺和導向柱固定板之間，所述刷洗主軸組件通過螺釘固定安裝在工作平臺升降組件的工作平臺上，通過調速電機組件驅動進行高速旋轉，同時還與真空系統連接在刷洗主軸組件頂部的真空吸附頭產生真空，用於固定晶片，所述的甩幹軸組件通過螺釘固定安裝在工作平臺升降組件的工作平臺上，通 過調速電機組件驅動進行高速或低速旋轉，所述刷洗槽安裝在工作平臺升降組件的工作平臺上，並罩住刷洗主軸組件和甩幹軸組件，所述所述毛刷移動組件上的毛刷在伺服電機系統的驅動下，可以實現毛刷的旋轉運動，並往復刷洗晶片，通過調節毛刷移動組件上氣缸驅動和調節螺杆，實現調整毛刷與晶片在刷洗運動時的距離，所述毛刷移動組件還包括清洗液噴灑結構、清水噴灑結構和吹掃系統，所述清洗液噴灑結構跟隨毛刷的刷洗位置進行藥業噴灑，所述吹掃系統安裝在毛刷移動組件的刷洗總支撐板上，且位於甩幹軸組件的上方，所述毛刷移動組件還包括擋水護罩，所述擋水護照固定在刷洗總支撐板底部，通過工作平臺升降組件的上下移動，使擋水護罩與刷洗槽打開或閉合，刷洗的時候可以保持刷洗液不會飛濺；

進一步地，所述工作平臺升降組件包括工作平臺、升降氣缸、導向柱、直線軸承和導向柱固定板，所述升降氣缸通過緊固螺釘三安裝在工作平臺上，所述直線軸承通過緊固螺釘二固定在工作平臺上，所述導向柱固定板通過緊固螺釘一固定在升降氣缸下部，所述導向柱通過鎖緊螺母固定在導向柱固定板上面，穿過直線軸承並在其內滑動，所述導向柱上部設置有凸臺和螺紋孔，用於固定毛刷移動組件；

進一步地，所述刷洗主軸組件包括真空吸附頭，刷洗主軸、卡簧、軸承座一、軸承一、軸承套一、軸承套二、軸承蓋一、高速旋轉接頭一和同步帶輪一，所述高速旋轉接頭一與外部真空吸附系統連接，在刷洗主軸內產生真空，在真空吸附頭上安裝有密封圈一，可以實現固定晶片的作用，通過所述調速電機組件驅動刷洗主軸組件高速 旋轉，所述刷洗主軸上部的溝槽內安裝密封圈二，所述真空吸附頭通過固定螺釘一安裝在刷洗主軸上，通過擠壓密封圈，使刷洗主軸和刷洗吸附頭之間沒有間隙，可以達到防漏氣的作用，所述刷洗主軸的下部安裝軸承座一，所述軸承座一內部依次安裝有卡簧、軸承一、軸承套一和軸承套二，所述軸承座一的底部設置有軸承蓋一，所述軸承蓋一的下端通過高速旋轉接頭一連接有同步帶輪一；

進一步地，所述甩幹軸組件包括甩幹盤、甩幹盤擋柱、甩幹軸上部、甩幹軸下部、小型氣缸、晶片託盤、軸承座二、軸承二、軸承套三、軸承套四、軸承蓋二、高速旋轉接頭二、同步帶輪二，所述甩幹軸組件通過調速電機組件驅動進行高速或者低速旋轉，所述甩幹軸上部通過固定螺釘二與所述甩幹盤連接，所述甩幹盤擋柱的上面有大倒角，下面採用螺紋結構，安裝在所述甩幹盤上，所述晶片託盤安裝在小型氣缸上，託舉或者放下晶片，方便放下或者取出晶片，所述小型氣缸的主體套裝在甩幹盤下部，所述甩幹盤下部插入軸承座二內，所述軸承座二內部還依次設置有軸承二、軸承套三和軸承套四，所述軸承座二的底部安裝有軸承蓋二，所述軸承蓋二外側通過高速旋轉轉接頭二和旋轉接頭連接件安裝有同步帶輪二；

進一步地，所述毛刷移動組件包括毛刷主軸固定組件、毛刷往復移動刷洗組件、定位組件、過線管、擋水護罩和刷洗總支撐板，述刷洗總支撐板上有3個通孔，通過螺釘固定在工作平臺升降組件的導向柱上，所述過線管安裝在刷洗總支撐板的一側，用於線路走線，所述毛刷往復移動刷洗組件包括伺服電機系統、刷洗移動絲槓套、刷 洗軸移動支座、刷洗頭支撐座和直線導軌，所述刷洗移動支座通過螺釘與刷洗總支撐板連接，並通過螺釘與刷洗移動絲槓套連接，由伺服電機系統驅動，可以實現毛刷的往復移動，通過定位組件的定位，可以保護毛刷往復移動的安全；

進一步地，所述毛刷主軸固定組件包括調速電機、調速電機固定板、直線導軌、氣缸固定板、調整螺杆、毛刷旋轉主軸固定板、毛刷、毛刷旋轉主軸、同步帶輪三、氣缸、直線導軌固定板，所述直線導軌固定板通過螺絲固定在刷洗頭支撐板上，所述直線導軌通過螺釘固定在直線導軌固定板上，所述毛刷旋轉主軸固定板通過螺釘安裝在直線導軌上，所述氣缸通過螺釘下部安裝在刷洗頭支撐板上，上部通過螺釘與氣缸固定板連接，所述氣缸固定板通過螺釘連接安裝在毛刷旋轉主軸固定板上，毛刷旋轉主軸通過毛刷連接安裝在毛刷旋轉主軸固定板上，所述毛刷通過螺紋安裝在旋轉主軸上，所述調速電機通過螺釘連接安裝調速電機固定板上，所述調速電機固定板通過螺釘連接安裝在氣缸固定板上，通過氣缸驅動可以實現毛刷旋轉主軸上下移動，所述毛刷高度調節螺絲安裝在氣缸固定板上，調整調節螺絲的高低，可以控制氣缸收縮行程，可以實現毛刷刷洗高度調節的作用，通過調試電機的驅動，可以實現毛刷旋轉主軸旋轉運動；

進一步地，所述清洗液噴灑結構和清水噴灑結構安裝在刷洗支撐板中，跟隨刷洗支撐板運動，位於刷洗主軸組件上方，向刷洗主軸組件上固定的晶片表面噴灑清洗液或者清水。

本實用新型的有益效果：本實用新型是一款有藥液噴灑、毛 刷自動刷洗、毛刷高度調節、晶片固定、晶片甩幹及乾燥空氣吹掃的刷洗結構，其中，毛刷可實現左右旋轉兩個方向的刷洗，並且可以進行毛刷高度的調節，可以實現刷洗軸對晶片的真空固定，甩幹軸的高速甩幹和乾燥空氣的吹乾，上下晶片的時候有自動託舉功能，將晶片託出，可以提高刷洗效率和成品率。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例刷洗結構示意圖；

圖2是本實用新型實施例刷洗結構分解示意圖；

圖3是本實用新型實施例刷洗結構工作平臺升降組件分解示意圖；

圖4是本實用新型實施例刷洗結構刷洗軸組件分解示意圖；

圖5是本實用新型實施例刷洗結構甩幹軸組件分解圖；

圖6是本實用新型實施例刷洗結構毛刷固定結構組件分解圖。

附圖標記：1、工作檯升降組件；1-1、工作平臺；1-2、導向柱；1-3、直線軸承；1-4、升降氣缸；1-5、導向柱固定板；1-6、鎖緊螺母；1-7、緊固螺釘一；1-8、緊固螺釘二；1-9、緊固螺釘三；2、刷洗軸組件；2-1、固定螺釘一；2-2、密封圈一；2-3、真空吸附頭；2-4、密封圈二；2-5、刷洗主軸；2-6、軸承座一；2-7、卡簧；2-8、軸承一；2-9、軸承套一；2-10、軸承套二；2-11、軸承蓋一；2-12、同步帶輪一；2-13、高速旋轉接頭一；3、甩幹軸組件；3-1、晶片託盤；3-2、甩幹盤擋柱；3-3、甩幹盤；3-4、甩幹軸上部；3-5、小型 氣缸；3-6、甩幹軸下部；3-7、軸承座二；3-8、軸承二；3-9、軸承套三；3-10、軸承套四；3-11、軸承蓋二；3-12、同步帶輪二；3-13、旋轉接頭連接件；3-14、高速旋轉接頭二；3-15、固定螺釘二；4、毛刷移動組件；4-1、調速電機；4-2、調速電機固定板；4-3、直線導軌；4-4、氣缸固定板；4-5、調整螺杆；4-6、毛刷旋轉主軸固定板；4-7、毛刷；4-8、毛刷旋轉主軸；4-9、同步帶輪三；4-10、清洗液噴灑結構；4-11、毛刷移動支座；4-12、伺服電機系統；4-12-1、刷洗移動絲槓套；4-13、定位組件；4-14、清水噴灑裝置；4-15、過線管；4-16、擋水護罩；4-17、刷洗總支撐板；4-18、直線導軌；4-19、刷洗頭支撐板；4-20、氣缸；4-21、刷洗頭支撐座；5、調速電機組件；6、陶瓷盤；7、刷洗槽；8、吹掃系統；9、檢測元件；10、緊固件；

具體實施方式

下面結合附圖與實施例對本實用新型作進一步的說明。

本實用新型的實施例整體結構參考圖1-2所示，一種刷洗機清洗液單晶片刷洗結構，包括工作平臺升降組件1，刷洗主軸組件2、甩幹軸組件3、毛刷移動組件4，還包括清洗液噴灑結構4-10和清水噴灑結構4-14、乾燥空氣吹掃系統8、刷洗槽7、擋水護罩4-16、調速電機組件5、檢測元件9、待刷洗晶片及螺釘緊固件，所述工作平臺升降組件包括工作平臺1-1、升降氣缸1-4、導向柱1-2、直線軸承1-3、導向柱固定板1-5、鎖緊螺母1-6及緊固螺釘一1-7、緊固螺釘二1-8、緊固螺釘三1-9，所述刷洗主軸2，通過螺釘固定在工 作臺升降平臺組件1的工作平臺1-1上，通過調速電機驅動5進行高速旋轉，通過與真空系統連接在再真空吸附頭2-3產生真空，用於固定晶片，所述甩幹主軸組件3通過調速電機5驅動進行高速或者低速旋轉，通過螺釘固定在工作檯升降平臺組件的工作平臺1上，所述毛刷移動組件4通過伺服電機系統4-12驅動，可實現帶動毛刷4-7往復刷洗晶片，毛刷移動組件通過調試電機4-1驅動，可以實現毛刷4-7旋轉運動，通過氣缸驅動4-20和調節螺杆4-5的調整，可以實現調整毛刷4-7與晶片在刷洗運動時候的距離，所述清洗液噴灑結構4-10和清水噴灑結構4-14安裝在毛刷固定組件上，可以跟隨毛刷的刷洗位置進行藥業噴灑，所屬乾燥空氣吹掃系統8安裝在毛刷移動組件4的刷洗總支撐板4-17上，在甩幹軸組件3上方，在甩幹軸組件3高速旋轉時吹掃晶片表面，讓晶片表面乾燥，所述刷洗槽7安裝在工作平臺組件的工作平臺1上，所述擋水護罩4-16固定在刷洗總支撐板上，通過工作平臺升降組件1的上下移動，使擋水護罩4-16與刷洗槽7打開或閉合，刷洗的時候可以保持刷洗液不會飛濺。

本實用新型的工作平臺升降組件如圖3所示，工作平臺升降組件包括工作平臺1-1、升降氣缸1-4、導向柱1-2、直線軸承1-3、導向柱固定板1-5、鎖緊螺母1-6及緊固螺釘一1-7、緊固螺釘二1-8、緊固螺釘三1-9，所述升降氣缸1-4、通過緊固螺釘三1-9安裝在工作平臺1-1上，所述直線軸承1-3通過緊固螺釘二1-8固定在工作平臺1-1上，，所述導向柱固定板通過緊固螺釘一1-7固定在升降氣缸1-4上，所述導向柱1-2通過鎖緊螺母固定在導向柱固定板1-5上面， 並穿過直線軸承-3並在其內滑動，其上部的凸臺和螺紋孔，用於固定毛刷移動組件4。

本實用新型的刷洗主軸組件如圖4所示，所述刷洗主軸組件包括真空吸附頭2-3，刷洗主軸2-5、軸承座一2-6、軸承一2-8、軸承套一2-9和軸承套二2-10、軸承蓋一2-11、高速旋轉接頭2-13、同步帶輪一2-12、密封圈一2-2、密封圈二2-4、卡簧2-7及固定螺釘一2-1，所述高速旋轉接頭2-13與外部真空吸附系統連接，在刷洗主軸2-5內產生真空，在真空吸附頭2-3上安裝有密封圈一2-2，可以實現固定晶片的作用，通過調速電機組件5驅動刷洗主軸組件2高速旋轉。所述刷洗主軸2-5上部有溝槽用於安裝密封圈二2-4，所述刷洗吸附頭2-3通過固定螺釘一2-1安裝在刷洗主軸2-5上，通過擠壓密封圈二2-4，使刷洗主軸2-5和刷洗吸附頭2-3之間沒有間隙，可以達到防漏氣的作用。

本實用新型的甩幹軸組件如圖5所示，所述甩幹軸組件包括甩幹盤3-3、甩幹盤擋柱3-2、甩幹軸上部3-4、甩幹軸下部3-6、小型氣缸3-5、晶片託盤3-1、軸承座二3-7、軸承二3-8、軸承蓋二3-11、軸承套三3-9和軸承套四3-10，通過調速電機組件5驅動進行高速或者低速旋轉，所述晶片託盤3-1安裝在小型氣缸3-5上，託舉或者放下晶片，方便放下或者取出晶片。所述甩幹擋住3-2，上面有個大倒角，下面是螺紋，直接安裝在甩幹盤3-3上。

本實用新型的毛刷移動組件如圖6所示，所述毛刷移動組件包括毛刷主軸固定組件、毛刷往復移動刷洗組件、定位組件4-13、， 穿線管4-15、擋水護罩4-16、刷洗總支撐板4-17，所述刷洗總支撐板上有3個通孔，通過螺釘固定在工作平臺升降組件的導向柱1-2上，所屬毛刷往復移動刷洗組件包括伺服電機系統4-12、刷洗移動絲槓套4-12-1、刷洗軸移動支座4-11、刷洗頭支撐座4-19、直線導軌4-18，所述刷洗移動支座4-11通過螺釘與刷洗總支撐板4-17連結，通過螺釘與刷洗移動絲杆套4-12-1連結，通過伺服電機系統4-12驅動，可以實現毛刷的往復移動，通過定位組件4-13的定位，可以保護毛刷往復移動的安全，所述毛刷主軸固定組件包括調速電機4-1、調速電機固定板4-2、直線導軌4-3、氣缸固定板4-4、調整螺杆4-5、毛刷旋轉主軸固定板4-6、毛刷4-7、毛刷旋轉主軸4-8、同步帶輪三4-9、氣缸4-20、直線導軌固定板4-21，所述直線導軌固定板4-21通過螺絲固定在刷洗頭支撐板4-19上，所述直線導軌4-3通過螺釘固定在直線導軌固定板4-21上，所述毛刷旋轉主軸固定板4-6通過螺釘安裝在直線導軌4-3上，所述氣缸4-20通過螺釘下部安裝在刷洗頭支撐板4-19上，上部通過螺釘與氣缸固定板4-4連接，所述氣缸固定板4-4通過螺釘連接安裝在毛刷旋轉主軸固定板4-6上，毛刷旋轉主軸4-8通過毛刷連接安裝在毛刷旋轉主軸固定板4-6上，所述毛刷4-7通過螺紋連接，直接安裝在旋轉主軸4-8上面，所述調速電機4-1通過螺釘連接安裝調速電機固定板4-2上，所述調速電機固定板4-2通過螺釘連接安裝在氣缸固定板4-4上，通過氣缸驅動可以實現毛刷旋轉主軸上下移動，所述毛刷高度調節螺杆4-5安裝在氣缸固定板4-4上，調整調節螺杆4-5的高低，可以控制氣缸收縮行程，可以實 現毛刷刷洗高度調節的作用，通過調試電機4-1的驅動，可以實現毛刷旋轉主軸4-8旋轉運動。所述清洗液噴灑噴頭，安裝在刷洗支撐板4-19中，跟隨刷洗支撐板運動，位於刷洗軸上方，向刷洗軸上固定的晶片表面噴灑清洗液或者清水。

以上所述實施方式僅表達了本實用新型的一種實施方式，但並不能因此而理解為對本實用新型範圍的限制。應當指出，對於本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬於本實用新型的保護範圍。