專利
降低復晶矽層的反射率的方法
專利名稱：降低復晶矽層的反射率的方法技術領域：本發明是有關於半導體裝置(semiconductor device)的製程技術，特別是有關於利用在單一晶圓式化學氣相沉積的反應室(single-wafer chemicalvapot deposition chamber)，亦即以同步製程(in-situ
一種降低矽片表面光反射率的方法
專利名稱：一種降低矽片表面光反射率的方法技術領域：本發明涉及一種降低矽片表面反射率的方法。 背景技術：隨著科技的進步，現在用於製備太陽能電池的材料越來越多，但是由於矽本身的良好的特性以及其在地球上豐富的儲量，矽基太陽能電池仍然是現在以及將來在清潔能源領域的主導。由於一般矽表面對於太陽光的反射很高，因
一種基於反射光強的多孔矽微腔生物傳感器檢測生物分子的方法
一種基於反射光強的多孔矽微腔生物傳感器檢測生物分子的方法【專利摘要】本發明提供一種基於反射光強的多孔矽微腔生物傳感器檢測生物分子的方法，其特徵在於：主要的實驗儀器為氦氖雷射器和光功率檢測計；雷射器以一定的角度入射到以多孔矽微腔為基底的材料上，用功率接收計接收反射光，找到微腔結構對應的最小光強功率的角
一種基於隧穿反射層的高效矽基薄膜多結太陽電池的製作方法
一種基於隧穿反射層的高效矽基薄膜多結太陽電池的製作方法【專利摘要】本發明公開了一種基於隧穿反射層的高效矽基薄膜多結太陽電池，屬於高效矽基薄膜太陽電池領域。該電池從上到下包含頂電池、隧穿反射層TRR1、中電池、隧穿反射層TRR2和底電池，其中所述頂、中、底電池的吸收層為矽基薄膜或矽基合金薄膜，且Eg頂
一種紅外反射法測矽基圖形片表面苯並三唑濃度的方法
專利名稱：一種紅外反射法測矽基圖形片表面苯並三唑濃度的方法技術領域：本發明涉及檢測矽基圖形片表面苯並三唑(BTA)濃度領域，更具體的說，涉及一種利用紅外反射法檢測矽基圖形片表面苯並三唑(BTA)濃度的方法。背景技術：隨著集成電路的快速發展，器件的集成度不斷提高，器件特徵尺吋越來越小，因此對襯底表面清
一種超高效電鍍金剛線快速切割矽片的方法與流程
本發明涉及多線切割太陽能級矽片的方法，特別是一種超高效電鍍金剛線快速切割矽片的方法。背景技術：太陽能是一種可再生的清潔能源，其應用領域越來越廣泛，光伏發電就是最重要的領域之一，根據光生伏特效應原理，利用太陽能電池將太陽能直接轉化為電能。矽片是太陽能電池的重要組成部分，目前矽片的製備工藝幾乎都是採用一