檢查電路的方法以及檢查電路的系統的製作方法

2023-05-02 20:47:21 1

專利名稱：檢查電路的方法以及檢查電路的系統的製作方法
檢查電路的方法以及檢查電路的系統
相關申請
本申請要求2005年12月17日申請的序列號為60/749,052的美國臨時專利 狄領域
^~發明涉;Sj^r查電路的系^方法領域。 背景絲
如印刷電5l^晶片的電路是通過非常複雜的制iiit^呈製造的。"些制
造iif呈期間會出現不同類型的缺陷，典型^^檢查該電路，甚至要經歷檢被
程，以〗更保證它們的質量。
該檢查i^flit常包括將電路^lA^查系統，檢查該電路，然後從該檢查系 統卸栽該電路。
在許多檢查系統中，需^t者手動^^和卸載電路，因而^^城慢 了該檢查過程。另一方面，完全自動的檢查系^al雜，並且非常昂貴。 ^"在用於縮^Jiii^ft所需的時間的增長的需要。

發明內容
一種系統，包括第一表面，笫二表面，第錄面，以及多目標傳送器； 其中該多目標傳送器適於抓^ii^該第一表面上的預檢查電路，適於抓^^t 置在第二表面上的在前檢查的電路，並Jit於同時將該預檢查電M送到該第 二表面以及將該在前檢查的電5§#送到該第4面；其中該系^1於檢查方 在該第二表面上的電路。
一種用於檢查電路的方法，該方法包括在第一表面"^:預檢查電路；通
過多目標傳送a^住該預檢查電路以^^在第二表面上的在前檢查的電路；
同時將該預檢查電*送到該第二表面和將該在前檢查的電i^送到第X^面；以及檢查該預檢查電路。
一種系統，包括第一檢M，第二檢驗站，在該第-^第^r^^驗沾t間 定位的第二表面，以及多目標傳送器；其中該多目相傳送器適於抓^1E在該 第二表面上的預檢查電路，同時##在該預檢查電5^^前^#:查的在前檢查的 電路；其中該多目標傳送器適於在第一方向J^多動，以便將該預檢查電^l^供 到該第一檢驗站，並JJt於在與該第一方向相反的第二方向Ji^動，以便將該 在前檢查的電^^供到該第^r^，。


^jtb^照附圖，^1過#^1的方，￡^^發明。5yM^細節上^L^照附 圖，需^l雖調的;l:通過舉例的方式^4示該細節，M為了本發明M實M 式的說明性論述，並JL^示其是為了提供相信是對本發明的原理^t念方面最 有用踏易鄉的描述。組泉上，除了對本發明J^lf所必須的，未嘗試
更詳細^^示本發明的結構細節，該結合附圖的描述使4Wr在實踐中具體化
本發明幾種不同的形式對4^4頁域的技^A員來i議顯而易見的。 在該附圖中
附圖1-8表示才娥本發明不同實財式的系統；以及 附圖9-10是Wl本發明不同實施方式的檢查電路的^f呈圖。
^^本發明的不同實施方式，提^"^t系統。該系統包^-組設備，其適 於^A如電路的目標，並iLit於卸載該檢查的目標，該組i殳備包^^掃描系統的 檢查臺。將該檢查系統方^^包括在該系統中。
下面的描述涉及多目標傳送器，該多目相傳送器沿第一軸^f亍線'f鏈動。 可以注意到，根據本發明的另一實施方式，該多目標傳送器可以沿多個軸移動， 並且可以賄非線^i^動。該多目標微^^'如可以沿tt的x 4*^假想的y 軸移動。這種運動可以提供不必要的第^V或第^面的y^動。
參照附圖和伴隨的描述可以^^k^該組設備的原^^t。
附圖1表示##本發明實施方式的系統8。系統8包:^r查系統12以及不 同的元件(Hfe^作設備)，絲電路^A檢查系統12，並JU^r查系統12械電路。
系統10包括(i)第一表面，如第一臺10的Ji4面10'(或艦)；(ii) 第二表面，如掃描臺12a的Ji^面12'; (iii)第^4面，第二臺11的Ji^面 11'(或艦)；以及(iv)多目標傳送器，如雙夾具14。
方{^,第二表面12a屬於光學檢查系統12，其適於檢查;M在第二表面 12a上的電路，以使^^位可能的缺陷，並且確定它們的位置。光學檢查系統12 通常包^J^第二表面12a之下的照明模夾，以;SjM^第二表面12a ^Ji 的檢 。這種構itit^4。印刷電路板、掩^;^等的透明電路的^r查。可以注
意到，該檢查系M^可以在^gJ^v或絲光的^^出上^m^查。這種檢查適合
於如晶片的不透明的電路。
方^i4，該多目標傳送器適於抓^^ ^第一表面10'上的預檢查電路(如 電路16c)，抓^M在第二表面12a上的在前檢查的電路(如電路16d)，並 且同時將該預檢查電^m^第二表面12a，以及將該在前檢查的電賄i^'J第 4面ll'。
多目標傳送器14通常抓住該電路，#^抓住的電^€升到該第一至第^4 面10'、 12a和ll'^Ji，拭行lJ^上水平的運動，以將該預檢查電路^tf^第二 表面12aiUi，並且將該在前檢查的電路i^E第^4面11'^Ji。然後，多目 標傳送器14放下抓住的電路，以將它們分別^E^第^第^4面上12a和11' 上。
注意到，多目標^iii器14可以^yt^'lt7lc平運動，*不是必須的。
進一步注意到，多目標傳送器可以^#一個或多個電路，直到按指if^ 該一個或多個電路。因此，可以禍預檢查電路提供到第二表面12a，而該在前被 檢查的電聰粉皮多目標微器14抓住，反之亦然。因此，多目標傳送器14 可以充當緩衝器。方^她，多目標待送器14可以##一個或多個電路，同時釋 放一個或多個電路。
進一步注意到，雖然附圖l-7表示的是適於抓住兩個電路的多目相傳送器 14，但是^4頁域的^t^A員可以理解，該系統8包括可以抓住兩個以上電路的 多目標傳送器，並且由該多目標傳送^Mi的電路的數量不同於系統8的不同 於第二表面12a的表面(如第一^p第4面10'和11')的數量。
可以將第一表面10，4一位置13a，(由支承電路16c表示)移動至第^置13a (由虛線和電路16b表示)。當將第一表面10'定錄第一位置13a，時， 其與第二表面12a對準。當將第一表面IO，定錄第二表面13a'時，其未與第二 表面12a對準。在第四位置處，第4面11'向著系統8的#^者延伸。
第^面ll'在第三位置13b和第四位置13b'之間可移動。當將第4面 11'定#第三位置13b時，其與第二表面12b對準，當將第^面ll'定錄 第四位置13b'時，其未與第二表面ll'對準。在第四位置處，第4面ll'向著 系統8的,者^4伸。
##本發明的實施方式，第一表面10'在該第^第^置13a和13a'之間 的運動由系統8的IMt者l^。
才娥本發明的另一個實^r式，第一表面10'在該第 第^i置13a和 13a'之間的運動與;^^該第二表面上的電路的檢查i^呈同步。例如，當完# 前的檢查〗',時(或稍微之前)第一表面IO，可以移動到第一位置13a，而一旦 多目標^iH器14將在前檢查的電路iil^第4面ll'上，第^面ll'就可以 ^三位置13b移動到第四位置13b'。第一表面10'可以移動，在多目標傳送器 14 ##定的由第一表面10，支撐的電5g^ij第^i置13a'，以^^許辦者在第 一表面10'Ji^t^新的電^t後，同時檢查系鍵檢^i亥特定的電路。！^t者也可 以44面11'^^前檢查的電路，同時檢查系統12檢查該特定的電路。
系統8操怍的流水線方式能夠執行電路檢查，同時將其它電路^^/或卸栽。
可以將第 第二表面10'和11'看作艦，可以將其從它們相應的臺拉出。
^Mt者站在(或錄)檢查系統12之前，並且將電路(或多個4fofe^接的 電路)從臺車15a^A^—表面10'，該臺車運載多個16a表示的電路。這些電 ^ML可以稱作一批目標。
辦者可以將電路(或多個 ^接的電路)4_^面ll，卸載到臺車 15b,該臺車支撐iiU^^L前檢查的電路。
注意到，可以將臺車15a和15b替^^它it^^且件。
附圖2表^##本發明另一個實施方式的系統8，。
附圖2的系統8'不同於附圖1的系統8，其包括四^Ht^U7、 19、 18和 20，並且不包括可移動的表面。注意到，系統8'還可以包括兩^Nti^U7和19， 以及兩個固^面(代替該第^第四it^P機18和20)。因此，第-^第4面10'和ll'可以由itJN^幾的Jl4面形成。才緣本發明
的另一個實財式，該第一^第x^面io'和1l'適於Mit^^^:電路(在第
一表面10'的情況下)，或將電路提供到該i^T^幾(在第^4面11'的情況下)。
#^本發明不同的實財式，IMt者可以將電路;^^第""iSWU7上， 棉^r^^幾19移去電路，甚至促使^S^電路iil^第一表面10'上，和/ 或促使將電m^錄面11'移到第Jiit^19。
該第一^第^it^^幾可以符合SMEMA， ^不是必須的。
方1狄，由第三i^H幾18的Ji^面形成第一表面10'，而由第四it^i^幾20 的Ji4面形成第^面ll'， *不是必須的。
方便地，當檢查系統12檢查;M^第二表面12a上的特定電路時，#^掃 描的電路(在共同表示為16a的多個電5^卜)^"Ht^^U7 (^#作供應 i^T^幾)HA^Xit^ 18 (^Ht第一臺的i^f幾)，並J^L^面10'Jj t準。 在由檢查系統12檢查電路(例如，通過掃描電路)^，多目標傳送器14在 一個動作中立即(i)將在前檢查的電5^/J^二表面12a^到第^^面11'(由 第四i^T^20的Ji^面形成)，以及(ii)將預掃描的電i^^^N^幾18輸 送到笫二表面12a，以便檢查.第-H!t^L20^^前檢查的電路16f以^: 運^19'繼續該;i齡處理，只要從供應it^l7提供目標。
附圖3表^#^本發明的又一個實施方式的系統8"。
系統8"的特絲於具有比附圖1的系統8更高的iyH (^M^查系統12、 多目標傳送器14，以^ 第^4面10'和ll'之間)。
在系統8"'中，將檢查系統12、多目標傳送器14，以紹-^第^^面10'
和ir絲絲一她。
將第一臺10和第二臺11敘己*結構上包括空間21，其中可以M掃描 臺(未示出)。將掃描臺M^第4第三臺10和11之間。
系統8"包括可移動的第-"^第4面10'和11'，該第一^第^面可以在 多個位置之間移動。
附圖4表示#^本發明進一步實施方式的系統8"，。
系統8"，的特#於具有比附圖2的系統8"更高的t^l(^r查系統12、 多目朽傳送器14，第"^第^Tiit^ 17和19之間)。
在系統8"'中，將檢查系統12，多目標^ill器14，第"^第^^L17和19敘己解一她。
注意到，可以將系統8-8'"中的^個^t^一個或多個檢，附l檢驗 站通常從該檢查系,收可能的缺陷位置。可以將該信息與電路標伊^關聯，
者輸入該電絲^^，被不是必須的。#^本發明的實施方式，通itiEP宗電 路的位置(該檢查和檢^3^踏的i^呈)，該檢驗站可以檢索適當的檢^f言息， 而不用接收辦者的^f可輸入。因此，如果絲定的電i^^r查系^U'J檢驗 系統，則該檢驗系統可以從該檢查系^Hr該檢務fT息(否則從該檢查系^ 收)，並iUch理，而不需要來自^t者的附^H只別信息。然而對另一個例子來 說，可以將該檢錄息與時間m聯，這可以筒^f目關檢^fT息的'隨。 附圖5表示^^本發明實施方式的系統9。
系統9包括(i)包括第一表面10'的第一臺10， (ii)包括第二表面12a 的第二臺12, (iii)多目標傳送器14, (iv)檢l^it^^幾22， (v)第一檢驗站 30以及(vi)第二檢驗站32。
辦者可以#^檢查電路^1^第一表面IO，上，同時檢查另一個電路。同 時，在前檢查的電路通it^驗站30和/或32經歷檢4^i^。
錄查完成(通過包括第二表面12a的檢查系統12) ^，多目 14可以同時(i)將該在前檢查的電5^^二表面12a傳il!J!j檢^t^22,以 及(ii) #^檢查電5&^—表面10'傳it^第二表面12a。
該檢l^^ 22將在前檢查的電路運輸到最接近該第一第二檢驗站的 位置。該檢驗站30和32的辦者可以取出在前檢查的電路，並ibf刀始^^驗 抓
檢查系統12也可以將與涉躲陷位置有關的信息發,l]檢驗站30和32。 因此，可以至少與該檢查itf呈部分並行地實施該^^i^t程。 附圖6表示#^本發明另一個實#式的系統9，。
附圖6的系統9'不同於附圖5的系統9，其具有代替檢J^t^t/L22的臺或 託盤23。將該託盤23的A面表示為23'，並ibf目當於在前附圖的第^面11，。
多目標傳送器14適於抓^tWL笫一表面IO，上的預檢查電路，抓^^ 在笫二表面12a上的在前檢查的電路，並且同時將該預檢查電醋iHJ'J第二表 面12a，以及將該在前檢查的電^i!U!l笫4面23'。檢驗站30和32的辦者可以取出被檢查目標，並JW刀始^^l^t程。 附圖7表甜條本發明實施方式的系統7'。
系統7，與在前系統的區別在於其檢查系統和^^ 的相對位置(將檢查 站12 M在兩個檢驗站30和32之間)，以及^H^^r查電i^^/v^r查系統12 的方式。
雖然在前表示的系錄^A過程期間^^1多目標4送器14，但是在系統T 中，辦者^A該預檢查電路。^^多目標傳送器14將在前檢查的電^M^r查 系統12傳illJiJ檢^^ 30和32。
多目標概器14適於抓^Xjfc第二表面12a上的預檢查電路，同時儲 在前檢查的電路。多目標傳送器14適於在第一方向J^多動，以便將該預檢查電 i^C供到第一檢驗站30，並戰於在與該第一方向相反的第二方向_]1#動，以 便將該在前檢查的電i^l供到第Ji^驗站32。
方^i也，多目標傳送器14可以沿第二表面12a、第一檢，30和第1 驗站32後^4Ui的^f球動。因此，可以在將其定#第二表面12a的前部 (12a')時檢查電路，並且一^E^其定^i^部12"，就可以通過多目標傳送器 14將雞住。
在附圖7中，檢查系統12的M者以及該第4第^r^驗站30和32的操 作者;^靠a就坐，位於多目標^ill器14的同側。
才^#本發明的實施方式，可以定位該檢查系統的IMt者，使其面對該檢驗 站的,者。該多目標^il可以在檢查系統32和檢M之間傳送目標。
附圖8表示系統7"，其與附圖7的系統7，的區別在於檢查系統12的， 者面對檢驗站30和32的^ft者，以及該多目標傳送器由單個目標傳送器14' 替換。
附圖9是##本發明實施方式的檢查電路的方法100的流程圖。 重複該方法100的不同階段，以提供5iM^^^^傳i!Ui^。因此，當檢
查特定電路時，#^檢查電路 在第一表面上，將該在前檢查的電5^^三
表面械。
方法ioo以在第一表面接收預檢查的電路的階段no開始。參m^前面附 圖中所述的例子，可以通iiJt3^N^通過辦者提微收的電路。該第一表面
可以是固定的，或者可以在多個位置之間移動。該第一表面還可以是it^的Jl^面，或者是臺的滑動表面.
方^4，階段110包括當將該第一表面定#第1置時通過該第一表 面接收該預檢查電路；將該第一表面移動到第一位置，以便與該第二表面對準。 方{她，當將該第一表面定站該第一位置時，其與該第二表面對準；以及當 將該第一表面定^該第；置時，其未與該第二表面對準。
階段110後面的是通過多目標傳送H^住該預檢查電路和;^E第二表面 上的在前檢查的電路的階艮120。該在前檢查的電路是通過檢查系#前檢查 的，當將其定錄該第二表面上時。方^狄，該多目標傳送器是雙夾具。
階段120後面的是同時將該預檢查的電騎i^J!]該第二表面，以及將該在 前檢查的電賄靡'J第X4面的階段130。方l她，將該第二電錶面從該檢查系 鄉去(械)，並且^^ili去檢驗。
方<線，階段130包括將該預檢查電^#^'』該笫二表面的前部，階段140 之t^lfi亥預檢查電^U亥前部移動到該第二表面的後部。
階敬130後面的是階度110、 140，以及^i^的階提160、 170和180。
階段140包総查該預檢查電路。
階段160包^"^i亥在前檢查的電路的缺陷。階段160包Mit^(或 其它方法)將該在前檢查的電縛從該第^4面提供到檢 。該提供包^fM i^H幾，通過,者取出該在前檢查的電路等等。可以將該第^面接近該檢 ,定位。進一步注意，可以將階度170看作是階敬160的-"^分，特別是將 ^的在前^r查的電i2^^^到;^,。
階敬170包^0P^該在前檢查的電路。該^後面的是階險160 (為了解 釋簡單，絲附圖9中說明該連接)，或者可以實際上結束該電路的測試。
方^^，階段170包拾^^該多目標傳送ll^^該在前檢查的電^^ 將該第^4面4三位置移動到第四位置。方^AL，當將該第^面定^該 第三位置時，其與該第二表面對準，當將該第棘面定錄該第四位置時，其 未與該第二表面對準。
方便地，該第-^p第4面的移動(在階段110和170期間)響應於來自 ,者的觸發器。才M^本發明的另一個實施方式，該第-"^第^面的移動與 iiE^E該第二表面上的電路的檢查同步。
階段180包括將^JiJ檢驗站的該電路中可能缺陷的位狄id^該檢驗站。方^^該檢驗階段出m^前^W亍階段180。
方便地，可以通過附圖14中所示的任一系^Lft階提110-140和170。注 意到，可以通iiil些系統的組合以及一個或多個檢驗^fti亥階艮160。方i"JU也， 可以通過附圖5和6中所示的任一系鍵^f亍方法100。
附圖10表示檢查電路的方法200。
重複方法200的不同階段以4^^^^K^r^^傳送ii^呈。
方法200以通it^二表面^^預檢查電路的階敬210開始。
階敬210後面的是檢查^X在第二表面上的預檢查電路的階度220。可以 將該第二表面定位在第""^第^"驗站之間。注意到，可以以不同的方式定位 該第二表面，以Af 第^n^"驗站，只要該多目標傳送器可以將目標從該檢 查系統傳iH^檢mfe。
階敬220後面的是通過多目標傳ilH4/Mi該^5^r查電路，同時##在該預 ;^r查的電i2M^前^r查的在前^r查的電路的階段230。
階段230後面的是階段210、 240和250。
階段240包括在第一方向移動該多目標傳送器，以便將該預檢查的電i^ 供到該第一檢,。
階度250包括在與該第一方向相反的第二方向Ji^多動該多目標傳送器，以 便將該在前檢查的電5&^供到該第^^#^。
方<線，階段220 ^^r查該預檢查電路，同時將其^J^E該第二表面的 前部上，以及將該預檢查電5^Wt1t部移動到該第二表面的後部。
注意到，Jiil每個方法都^r監Wr姊檢^^呈的錄，並且響應於所 iij&視，通ii^絲利用檢查系統產生的檢餘息，而不需要該檢驗^IMt者 的附加輸入。
雖然連同絲定的實施方 §述了本發明，但AJ1然，許多替換、修錄 變形對^4頁域的衝iL^員來iX^P是顯而易見的，因此，打算包含所有這種落入 附加的W，j^求的樹申和廣闊範圍內的替換、修#變形。
權利要求
1. 一種系統，包括第一表面，第二表面，第三表面，以及多目標傳送器；其中所述多目標傳送器適於抓住放置在所述第一表面上的預檢查電路，適於抓住放置在所述第二表面上的在前檢查的電路，並且適於同時將所述預檢查電路傳送到所述第二表面以及將所述在前檢查的電路傳送到所述第三表面；其中所述系統適於檢查放置在所述第二表面上的電路。
2. 才^tWJ要求l所述的系統，其中所述多目標傳送器是雙夾具。
3. ##^'澳求1所迷的系統，其中所錄一表面在第一位置和第^置 之間可移動；其中當將所鄉一表面定雜所鄉一位置時，其與所錄二表 面對準；以及其中當將所絲一表面定#所錄^置時，其未與所錄二表面對準。
4. 根據擬'J^求3所述的系統，其中所i^^面在第三位置和第四位置 之間可移動；其中當將所錄^4面定*所4三位置時，其與所絲二表面對準；以及其中當將所鄉^4面定絲所i^四位置時，其未與所iif二表面對準。
5. ##;^'漆求3所述的系統，其中所錄一表面在所i^ 第4置 之間的運動由所述系統的^ft者)t^。
6. 才MtW漆求3所述的系統，其中所錄一表面在所錄一第^i置 之間的運動與it^所i^二表面上的電路的檢查;M同步。
7. ^^5U'j要求l所述的系統，其中定^^斤i^一表面，以Mi^u^: 所述嫩查電路。
8. ##粉'決求1所述的系統，其中所述系統包^it於支撐多個電路的可 移動的臺車。
9. #^ ']^求1所述的系統，進一步包^^麟，其中所述檢驗站包括 所錄4面。
10. 才M^5U'漆求9所述的系統，其中所iif^4面是檢a^r^的Ji4面；其中所i^i^^^it於將在前檢查的電5Wi^ij至少一個檢驗站。
11. 才Ht^5U'溪求9所述的系統，其中所述系絲所述電路中可能缺陷的 位置提供到所微狄
12. ##^'溪求1所述的系統，進一步包括至少一個檢驗站；其中第三 表面糹皮"^i^少一個;i^^的—個而定位。
13. 才M^U^"求1所述的系統，其中所鄉二表面包括前部和後部；其 中當將所述電路;M在所述前部上時，所述系統光學檢查所述電路；以及其中 當將所述電路itl^所^部上時，所述多目標傳送器適於抓^^斤述電路。
14. 才M^U'J^求1所述的系統，其中所述多目標微器適於絲電路， 直到被命4^W述電路。
15. —種用於;^r查電路的方法，所ii^r法包拾 在第一表面^^預檢查電路；通過多目標傳送^M^斤述預檢查電路以;Sj^J^笫二表面上的在前檢查 的電路；同時將所述預檢查電i^i^ij所i^二表面和將所^前檢查的電*送 到第4面；以及檢查所述預檢查電路。
16. 才^&擬'決求15所述的方法，其中所述抓住包^itit^夾^lM^斤述 第-"^在前檢查的電路。
17. #^*U'JJN^ 15所述的方法，其中所述M包拾 當將所述第一表面定#笫^置時由所述第一表面接》1^斤述預檢查電路；將所錄一表面移動到第j置，以便與所鄉二表面對準； 其中當將所鄉一表面定錄所鄉一位置時，其與所錄二表面對準； 以及其中當將所錄一表面定錄所鄉1置時，其未與所鄉二表面對準。
18. 條權被求17所述的方法，進一步包拾^^^斤述多目標傳送II^1^斤錄前檢查的電5M^，將所錄^4面從 第三位置移動到第四位置；其中當將所絲^面定縣所鄉三位置時，其與所絲二表面對準； 以及其中當將所鄉^^面定錄所鄉四位置時，其未與所鄉二表面對準。
19. 才^^U'漆求17所述的方法，其中所錄4第4面的移動響應於來自,者的M器。
20. 才^t似，j要求17所述的方法，其中所^-"^第^4面的移動與itX 在所iif二表面上的電路的檢查同步。
21. 才N^M'決求15所述的方法，其中所述M包括Mi^^;u^l^斤述預檢查電路。
22. 根據^'J要求15所述的方法，進一步包括將所述預^:查電*支撐多 個電路的臺車提供到所ii^一表面。
23. 才^t^，jj^求15所述的方法，ii一步包^t4^^到所ii^^面的電 糊憤驗殊
24. ##^^要求23所述的方法,其中在^e^將所述電路i^r到檢^。
25. 才^^5U，J^求24所述的方法，進一步包括^i^T到所述檢驗站的電路 中可能缺陷的位Jj^lU'j所述檢，。
26. 條W慎求15所述的方法，進一步包滅過檢艦對提供到所i^ ^面的電i^f^^驗^ft;其中接i^斤絲^4面定^^斤述檢驗站。
27. ##權利要求15所述的方法，其中所述傳送包括將所述預檢查電, iHJij所錄二表面的前部；以及其中在所ii^r查前將所述預檢查電路^J斤述前 部移動到所錄二表面的後部。
28. 才^^5U'j^"求15所述的方法，進一步包^iiit/斤述多目標傳送^^住 電路，直到被命4^#^斤述電路。
29. —種系統，包括第一檢驗站，第二檢驗站，定^所i^ 第二 檢驗站之間的第二表面，以及多目相傳送器；其中所述多目標傳送器適於抓住 ^J^所絲二表面上的預檢查電路，同時^#在所述預檢查的電5^1前微 查的在前檢查的電路；其中所述多目標傳送器適於在第一方向Ji^多動，以便將 所述預檢查電5^i供到所i^一檢驗站，並ilit於在與所述第一方向相反的第 二方向Ji^多動，以便將所^前檢查的電i &^供到所i^^r:^1^。
30. ^^M'J要求29所述的系統，其中所ii^二表面包括前部和後部；其 中當將所述電路妙在所述前部上時所述系統光學檢查所述電路；以及其中當 將所述電路 ^所^部上時所述多目標傳送器適於抓^^斤述電路。
31. —種用於;j^查電路的方法，所^法包拾檢查 ^第二表面上的預檢查電路，將所^二表面定錄第—第二檢驗狀間；通過多目標傳送m傾述預檢查電路；同時絲在所述預檢查電秋前^r查的在前檢查的電路；在第一方向上移動所述多目標傳送器，以便將所述預檢查電^^供到所述 第一檢驗站；以及在與所i^一方向相反的第二方向上移動所述多目標傳送器，以便將所述 在前檢查的電i^^^^到所itf J^^iHfe。
32.才M^M'J^求29所述的方法，其中所ii^r查包^j^查所述預檢查電路， 同時將其; ^所錄二表面的前部上，以;5L將所ii預^r查電^J斤述前部移 動到所i^二表面的後部。
全文摘要
一種檢查電路的方法和系統。該系統包括第一表面，第二表面，第三表面，以及多目標傳送器；其中該多目標傳送器適於抓住放置在該第一表面上的預檢查電路，抓住放置在該第二表面上的在前檢查的電路，並且同時將該預檢查電路傳送到該第二表面以及將該在前檢查的電路傳送到該第三表面；其中該系統適於檢查放置在該第二表面上的電路。
文檔編號G01R31/00GK101430362SQ20061013097
公開日2009年5月13日 申請日期2006年12月15日 優先權日2005年12月17日
發明者埃維·列維, 拉菲·阿米特 申請人:卡姆特有限公司