層疊型壓電元件及使用它的噴射裝置的製作方法

2023-05-20 10:31:21

專利名稱：：層疊型壓電元件及使用它的噴射裝置的製作方法
技術領域：
：本發明涉及安裝在汽車引擎的燃料噴射裝置等中的層疊型壓電元件，以及使用它的噴射裝置。
背景技術：
：圖28為表示以前的層疊型壓電元件的立體圖。圖29為表示該層疊型壓電元件中的層疊體的側面與外部電極之間的接合部分的放大剖面圖。如圖28及圖29所示，該層疊型壓電元件具有層疊體110以及形成在互相相對的一對側面上的外部電極104構成。層疊體110由構成其的壓電體層101與金屬層102交互層疊而成，但金屬層102並非形成在壓電體層101的整個主面上，而是形成所謂的部分電極構造。也即，該層疊體110中，例如在壓電體層101的主面上設有不形成內部電極102的非形成部位。該非形成部位被設為與一對外部電極104交互相鄰。通過這樣，內部電極102每隔一層在層疊體110的不同側面露出來，與形成在層疊體IIO的相對的側面中的一對外部電極104分別每隔一層相連接。層疊體110的層疊方向中的兩端側層疊有非活性層109。—般來說，外部電極104通過將含有銀等導電材料的導電性料漿塗布在層疊體103的側面並進行焙燒而形成(例如特開2000-332312號公報、特開2000-31558號公報、特開2005-174974號公報)。在將該層疊型壓電元件用作壓電調節器的情況下，還使用焊錫在外部電極104上固定了引線106，通過該引線106在一對外部電極104之間加載給定的電位，驅動層疊型壓電元件。特別是近年來，要求小型的層疊型壓電元件在大壓力下確保大變位量，因此加載更高的電場，對其進行長時間連續驅動。專利文獻1日本特開2000-332312號公報專利文獻2日本特開2000-31558號公報專利文獻3日本特開2005-174974號公報但是，以前的層疊型壓電調節器中，存在以下問題在高電場、高壓力下被長時間連續驅動的情況下，由於層疊體的伸縮，層疊體的側面與外部電極的接合部中產生應力，導致外部電極的一部分從層疊體的側面剝離，不再給一部分壓電體提供電壓，驅動時變位特性發生變化。
發明內容本發明的目的在於，提供一種即使在高電場、高壓力下被長期連續驅動的情況下，其外部電極也不會從層疊體側面剝離，耐久性優秀的層疊型壓電元件以及噴射裝置。本發明的層疊型壓電元件及使用它的噴射裝置，採用以下構成。(1)—種層疊型壓電元件，具有層疊體與覆蓋部件，該層疊體包括多個壓電體層與多個金屬層，由所述壓電體層與所述金屬層交互層疊而構成，所述覆蓋部件覆蓋所述層疊體的側面的至少一部分，所述多個金屬層中的至少一個金屬層，是比在層疊方向上與該金萬屬層相鄰的兩側金屬層空隙多的多孔質金屬層，所述覆蓋部件的一部分，進入到在層向上與該多孔質金屬層相鄰的2個壓電體層之間。(2)根據上述(1)中記載的層疊型壓電元件，所述覆蓋部件是覆蓋所述層疊體的側面的被覆樹脂。(3)根據上述(1)中記載的層疊型壓電元件，所述覆蓋部件是與所述多個金屬層交互連接的一對外部電極。(4)根據上述(1)中記載的層疊型壓電元件，所述覆蓋部件是覆蓋所述層疊體的側面的被覆樹脂，以及與所述多個金屬層交互連接的一對外部電極。(5)根據上述(3)或(4)中記載的層疊型壓電元件，所述外部電極含有導電性材料與玻璃材料，進入到所述兩個壓電體層之間的外部電極的一部分中的所述玻璃材料的含有量，比該一部分以外的外部電極中的所述玻璃材料的含有量多。(6)根據上述(3)(5)中任一項記載的層疊型壓電元件，所述外部電極由在垂直於所述層疊體的側面的方向上層疊的多個層構成，這些多個層中與所述層疊體的側面相鄰的層中的所述玻璃材料的含有量，比其他層中的所述玻璃材料的含有量多。(7)根據上述(3)(6)中任一項記載的層疊型壓電元件，所述外部電極的周邊部中，越到周邊側其厚度逐漸變薄，且形成有與所述層疊體的側面分離的分離部。(8)根據上述(7)中記載的層疊型壓電元件，所述分離部與所述層疊體的側面之間存在空隙。(9)根據上述(7)或(8)中記載的層疊型壓電元件，所述分離部與所述層疊體的側面之間的至少一部分中隔有絕緣性樹脂。t型壓電元件，所述絕緣性樹脂，隔在所述分離部(10)根據上述(9)中記載的層與所述層疊體的側面之間的周邊側中。(11)根據上述(9)中記載的層部與所述層疊體的側面之間。(12)根據上述(9)(11)中任一項記載的層；樹脂。(13)根據上述(7)(12)中任一項記載的層疊型壓電元件，所述外部電極由在垂直於所述層疊體的側面的方向上層疊的多個層構成，且外側層的熱膨脹係數比內側層的熱膨脹係數大。(14)根據上述(13)中記載的層疊型壓電元件，所述多個層中與所述層疊體的側面相鄰的層，比其他層更向周邊側突出。(15)根據上述(13)或(14)中記載的層疊型壓電元件，所述分離部僅僅由與所述層疊體的側面相鄰的層構成。(16)根據上述(7)(15)中任一項記載的層疊型壓電元件，所述分離部投影到所述層疊體的側面上的長度為lOym以上。(17)根據上述(7)(16)中任一項記載的層疊型壓電元件，將所述外部電極與所述層疊體的側面相接觸的部分和所述分離部之間的邊界，與所述分離部的尖端連接起來的直線，與所述層疊體的側面所形成的角度為1度以上45度以下。(18)根據上述(7)(17)中任一項記載的層疊型壓電元件，所述分離部的尖端與t型壓電元件，所述絕緣性樹脂，填充在所述分離t型壓電元件，所述絕緣性樹脂是矽所述層疊體的側面之間的距離，為1Pm以上50m以下。(19)根據上述(1)(18)中任一項記載的層疊型壓電元件，所述多孔質金屬層，由在層疊方向上與該多孔質金屬層相鄰的兩個壓電體層之間散布的多個部分金屬層構成，這些部分金屬層彼此分離配置。(20)根據上述(19)中記載的層疊型壓電元件，在層疊方向上與所述多孔質金屬層相鄰的兩側的金屬層是同極的。(21)根據上述(19)或(20)中記載的層疊型壓電元件，所述覆蓋部件的一部分進入到相鄰的所述部分金屬層間。(22)根據上述(21)中記載的層疊型壓電元件，進入到所述部分金屬層間的所述覆蓋部件的一部分，覆蓋了所述部分金屬層的表面。(23)根據上述(1)(22)中任一項記載的層疊型壓電元件，在層疊方向上與所述多孔質金屬層相鄰的兩側的金屬層，是與在層疊方向上和該兩側的金屬層相鄰的金屬層相比，空隙較少的高密度金屬層。(24)根據上述(23)中記載的層疊型壓電元件，所述高密度金屬層的厚度，比在層疊方向上與這些高密度金屬層相鄰的金屬層的厚度大。(25)根據上述(1)(24)中任一項記載的層疊型壓電元件，所述層疊體具有多個所述多孔質金屬層。(26)根據上述(25)中記載的層疊型壓電元件，所述覆蓋部件的一部分，分別進入到設有所述多孔質金屬層的各個壓電體層之間。(27)根據上述(25)中記載的層疊型壓電元件，所述多個多孔質金屬層規則地設置在所述層疊體的層疊方向上，所述覆蓋部件的一部分，分別進入到設有所述多孔質金屬層的各個壓電體層之間。(28)根據上述(1)(27)中任一項記載的層疊型壓電元件，進入到所述壓電體層間的所述覆蓋部件的一部分，其層疊方向的厚度t與進入到所述壓電體層間的深度D之間，滿足D>0.It的關係。(29)—種噴射裝置，具有設置了噴出孔的容器，與上述(1)(28)中任一項所述的層疊型壓電元件，通過所述層疊型壓電元件的驅動，使得所述容器內填充的液體從所述噴射孔噴出。(30)—種燃料噴射系統，具有存儲高壓燃料的公共管道；上述(29)中所述的噴射裝置，噴射該公共管道中所存儲的燃料；向所述公共管道提供高壓燃料的壓力泵；以及向所述噴射裝置提供驅動信號的噴射控制單元。發明效果本發明的層疊型壓電元件，多個金屬層中的至少一個金屬層，是比在層疊方向上與該金屬層相鄰的兩側的金屬層空隙多的多孔質金屬層，因此在元件的製造過程中，覆蓋部件的一部分能夠進入到多孔質金屬層的空隙中。通過像這樣讓覆蓋部件的一部分進入到在層疊方向上與多孔質金屬層相鄰的兩個壓電體層間，能夠提高覆蓋部件與層疊體的側面的接合強度。也即，由於覆蓋部件的一部分進入到相鄰的兩個壓電體層間的一部分區域中，形成從層疊體的側面向層疊體中打入了樁子的構造(錨固效果)。通過這樣，將覆蓋部件與層疊體牢固地接合起來，即使在高電場高壓力下長時間連續驅動的情況下，也能夠防止覆蓋部件從層疊體的側面剝離。另外，驅動時伸縮變形的層疊體與覆蓋部件之間所產生的應力，被基於壓力的壓電體變形與基於空隙的應力緩和效果所緩和，因此進一步提高了覆蓋部件與層疊體的接合可靠性。進而，覆蓋部件的一部分進入到與設置有存在很多空隙的多孔質金屬層的壓電體層間相同的壓電體層間，因此處於基於多孔質金屬層的空隙的應力緩和效果很容易作用到覆蓋部件的一部分上的狀態。其結果，覆蓋部件的一部分被有效地作用應力緩和效果，驅動時的應力變得很難作用到覆蓋部件的一部分上，進一步提高了進入到壓電體層間的覆蓋部件的一部分與壓電體層之間的接合可靠性。通過這樣能夠得到持久性高的長壽的層疊型壓電元件。在覆蓋部件是覆蓋層疊體的側面的被覆樹脂時，被覆樹脂與層疊體的側面被牢固地接合。通過這樣，即使在高溫、高溼、高電場、高壓力下被長期連續驅動的情況下，也能夠防止被覆樹脂從層疊體的側面剝離。其結果，能夠防止環境中的水蒸氣從剝離部分進入，在元件表面產生銀遷移，金屬層間導通，層疊體的功能下降。在覆蓋部件是多個金屬層交互連接的一對外部電極時，能夠防止一部分金屬層與外部電極的連接中斷，因此能夠防止元件的變位特性降低。在覆蓋部件是覆蓋層疊體的側面的被覆樹脂，以及多個金屬層交互連接的一對外部電極時，能夠得到上述各個效果，同時，由於外部電極被牢固地接合在層疊體的側面上的被覆樹脂所覆蓋，因此進一步提高了外部電極的接合強度。在外部電極含有導電性材料與玻璃材料，進入到兩個壓電體層之間的外部電極的一部分中的玻璃材料的含有量，比該一部分以外的外部電極中的玻璃材料的含有量多的情況下，具有以下效果。即，在玻璃成分較多的部位中，與該玻璃成分相比，金屬成分更容易在壓電體層中擴散固溶，因此提高了進入到壓電體層間的外部電極的一部分區域和與其接觸的壓電體層之間的接合強度。結果由於該外部電極的一部分中的錨固效果增高，因此能夠進一步提高外部電極的接合強度。外部電極由在垂直於層疊體的側面的方向上層疊的多個層構成，這些多個層中與層疊體的側面相鄰的層中的玻璃材料的含有量，比其他層中的玻璃材料的含有量多時，由於玻璃成分容易進入相鄰的壓電體層間，因此能夠進一步提高外部電極與層疊體的側面的接合強度。另外，構成外部電極的多個層中，外側的層中含有的玻璃成分，比位於層疊體的側面側的層中含有的玻璃成分少，由此能夠提高外部電極中通過焊接而接合的引線的接合強度。原因是一般來說焊錫對玻璃成分的浸潤性較低。在外部電極的周邊部中，越到周邊側其厚度逐漸變薄，且形成有與層疊體的側面分離的分離部時，該分離部能夠吸收外部電極與層疊體的接合邊界部分中所產生的應力，因此能夠抑制與外部電極相接合的層疊體中產生龜裂。在分離部與層疊體的側面之間存在空隙時，分離部能夠自由變形，因此能夠顯著降低外部電極與壓電體的接合邊界部中產生的應力。在分離部與層疊體的側面之間的至少一部分中隔有絕緣性樹脂時，能夠防止外部電極的周邊部與內部電極之間產生邊緣面放電，因此能夠防止絕緣性降低，確保高可靠性。另外，在絕緣性樹脂，隔在分離部與層疊體的側面之間的周邊側中，或者絕緣性樹脂，填充在分離部與層疊體的側面之間時，能夠防止外部電極的周邊部與內部電極之間產生邊緣面放電。進而，在絕緣性樹脂是矽樹脂時，能夠防止邊緣面放電，同時防止壓電體的變位，因此能夠得到不受壓電體的變位的影響的高可靠性。在外部電極由在垂直於層疊體的側面的方向上層疊的多個層構成，且外側層的熱膨脹係數比內側層的熱膨脹係數大時，或多個層中與層疊體的側面相鄰的層，比其他層更向周邊側突出時，能夠容易且有效地形成與層疊體的側面不接觸的分離部，有效地吸收外部電極與壓電體的接合邊界面中產生的應力。另外，分離部僅僅由與層疊體的側面相鄰的層構成時，能夠更加有效地降低外部電極與壓電體的接合邊界部中產生的應力。在分離部投影到層疊體的側面上的長度為lOym以上時，將外部電極與層疊體的側面相接觸的部分和分離部之間的邊界，與分離部的尖端連接起來的直線，與層疊體的側面所形成的角度為1度以上45度以下時，或分離部的尖端與層疊體的側面之間的距離，為1ym以上50m以下時，能夠最有效地降低外部電極與壓電體的接合邊界部中產生的應力。在多孔質金屬層，由在層疊方向上與該多孔質金屬層相鄰的兩個壓電體層之間散布的多個部分金屬層構成，這些部分金屬層彼此分離配置時，覆蓋部件容易進入到散布的部分金屬層間，能夠提高錨固效果，因此能夠進一步提高覆蓋部件與層疊體的側面之間的接合強度。在層疊方向上與多孔質金屬層相鄰的兩側的金屬層是同極的時，驅動壓電元件時，與多孔質金屬層相鄰的2個壓電體層不會變位。通過這樣，防止了應力集中在多孔質金屬層中，能夠提供持久性優秀的層疊型壓電元件。另外，本方案中的該多孔質金屬層，由處於彼此分離狀態的散布的多個部分金屬層構成，因此不會作為內部電極起作用。在覆蓋部件的一部分進入到相鄰的部分金屬層間時，得到了更高的錨固效果，因此能夠顯著提高覆蓋部件與層疊體的側面的接合強度。另外，在進入到部分金屬層間的覆蓋部件的一部分，覆蓋了部分金屬層的表面時，由於部分金屬層的表面與覆蓋部件的一部分之間的接觸面積增加，因此能夠進一步提高外部電極的接合強度。在層疊方向上與多孔質金屬層相鄰的兩側的金屬層，是與在層疊方向上和該兩側的金屬層相鄰的金屬層相比，空隙較少的高密度金屬層時，由於該高密度金屬層的端部與覆蓋部件之間的接觸面積增大，因此提高了其接合強度。特別是在覆蓋部件是外部電極時，由於高密度金屬層的端部與覆蓋部件之間很容易發生導電性材料的擴散。這樣，通過基於該擴散的接合(擴散接合)能夠提高外部電極的接合強度。也即，設有多孔質金屬層的壓電體層間，覆蓋部件的一部分進入而得到錨固效果，與該多孔質金屬層相鄰的兩側的金屬層與外部電極之間，實現了基於擴散接合的接合強度的提高。如果為了提高外部電極與層疊體的側面之間的接合強度而過度地配置多孔質金屬層，則有時元件的強度會降低，但通過如上將基於多孔質金屬層的錨固效果與基於高密度金屬層的擴散接合效果組合起來，就能夠在提高外部電極的接合強度的同時，抑制元件整體的強度降低。進而，在高密度金屬層的厚度，比在層疊方向上與這些高密度金屬層相鄰的金屬層的厚度大時，能夠進一步提高上述接合面積的增大效果與擴散接合的促進效果，因此能夠提高覆蓋部件，特別是外部電極的接合強度。在層疊體具有多個多孔質金屬層時，這些多孔質金屬層能夠緩和元件的變位時所產生的應力，因此元件的持久性進一步提高。另外，在覆蓋部件的一部分，分別進入到設有7多孔質金屬層的各個壓電體層之間時，覆蓋部件的接合強度進一步提高。在多個多孔質金屬層規則地設置在層疊體的層疊方向上，覆蓋部件的一部分，分別進入到設有多孔質金屬層的各個壓電體層之間時，由於覆蓋部件對層疊體的側面的接合強度在層疊方向的整個區域中大致均勻地提高，因此元件的持久性最佳。在進入到壓電體層間的覆蓋部件的一部分，其層疊方向的厚度t與進入到壓電體層間的深度D之間，滿足D>0.It的關係時，基於進入到壓電體層間的覆蓋部件的一部分的錨固效果提高。也即，深度D越大，插入部與壓電體層之間的接觸面積越大，因此相應地錨固效果提高。本發明的噴射裝置，在設置了噴出孔的存放容易內部存放有上述層疊型壓電元件，因此在高電場、高壓力下連續使用，也能夠發揮出優秀的持久性。圖1為表示本發明的第1實施方式的層疊型壓電元件的立體圖。圖2為圖1中的A-A線剖面圖(在垂直於金屬層的方向上切斷而得到的剖面圖)。圖3為第1實施方式中的外部電極與層疊體的側面之間的接合部分的放大剖面圖。圖4為表示第2實施方式的層疊型壓電元件的剖面圖(在垂直於金屬層的方向上切斷而得到的剖面圖)。圖5為第2實施方式中的外部電極與層疊體的側面之間的接合部分的放大剖面圖。圖6為放大了第2實施方式的層疊型壓電元件中的金屬層及其附近的放大剖面圖。圖7為放大了第2實施方式中的多孔質金屬層及其附近的放大剖面圖。圖8為表示第3實施方式的層疊型壓電元件的剖面圖(在垂直於金屬層的方向上切斷而得到的剖面圖)。圖9為表示第4實施方式的層疊型壓電元件的剖面圖(在垂直於金屬層的方向上切斷而得到的剖面圖)。圖10為第4實施方式中的外部電極與層疊體的側面之間的接合部分的放大剖面圖。圖11為表示第5實施方式的層疊型壓電元件的放大剖面圖。圖12為表示本發明的另一實施方式的層疊型壓電元件的剖面圖。圖13為表示第6實施方式的層疊型壓電元件中，覆蓋被覆樹脂(覆蓋部件)之前的狀態的立體圖。圖14為表示覆蓋了被覆樹脂的第6實施方式的相關層疊型壓電元件的立體圖。圖15為圖14中的A-A線剖面圖。圖16為第6實施方式中的層疊型壓電元件中被覆樹脂與層疊體的側面之間的接合部分的放大剖面圖。圖17為第6實施方式的層疊型壓電元件中，在金屬層與壓電體層之間的界面處切斷了時的剖面圖。8圖18為表示第7實施方式的層疊型壓電元件的剖面圖。圖19為第7實施方式中的被覆樹脂21與層疊體10的側面之間的接合部分的放大剖面圖。圖20為第7實施方式的層疊型壓電元件中，在金屬層與壓電體層之間的界面處切斷了時的剖面圖。圖21為放大了第7實施方式的層疊型壓電元件中的金屬層及其附近的放大剖面圖。圖22為表示第7實施方式的壓電體層上的部分金屬層的排列狀態的立體圖。圖23為表示第8實施方式的層疊型壓電元件的立體圖。圖24為表示圖23中的壓電體層與外部電極之間的接合狀態之一例的放大剖面圖。圖25為表示圖23中的壓電體層與外部電極之間的接合狀態之另一例的放大剖面圖。圖26為表示本發明的一實施方式的噴射裝置的剖面圖。圖27為表示本發明的一實施方式的燃料噴射系統的概要圖。圖28為表示以前的層疊型壓電元件的立體圖。圖29為表示以前的層疊型壓電元件中的層疊體的側面與外部電極之間的接合部分的放大剖面圖。圖30為以前的層疊型壓電元件中的在包括金屬層(內部電極層)的平面進行了切斷時的剖面圖。圖中l…壓電體，2…金屬層，2a…金屬層，2a'…多孔質金屬層，2b…金屬層，2c…部分金屬層，2d…空隙，2e…高密度金屬層，4…外部電極，4a…插入部，4b、4c、4d、4e…構成外部電極的多個層，6…引線，9…非活性層，10…層疊體，31…存放容器，33…噴射孔，35…閥，37…燃料通道，39…氣缸，41…活塞，43…壓電調節器。具體實施例方式〈層疊型壓電元件〉(第1實施方式)下面對照附圖對本發明的一實施方式進行詳細說明。圖1為表示本發明的第1實施方式的相關層疊型壓電元件的立體圖。圖2為圖1中的A-A線剖面圖。圖3為本實施方式的外部電極4與層疊體10的側面之間的接合部分的放大剖面圖。如圖1及圖2所示，本實施方式的相關層疊型壓電元件，具有交互層疊了多個壓電體層1與多個金屬層2的層疊體IO，在該層疊體10的相對的側面中，接合有每隔一層與金屬層2的端部電導通的一對外部電極(覆蓋部件)4、4'。外部電極4，4'中，通過焊錫等分別固定有引線6。這些引線6能夠與外部的電壓供給部(未圖示)相連接。通過這樣，能夠對各個金屬層2，分別提供為了讓壓電體層1因逆壓電效應而變位所必要的給定電壓。壓電體層1之間所設置的金屬層2由銀-鈀等金屬材料形成。如果通過引線6給各個壓電體層l加載給定的電壓，壓電體層1中便產生基於逆壓電效應的變位。另外，在層疊體10的層疊方向的兩端部，分別設置有多個壓電體層所構成的非活性層9，該非活性層9的一方端部側沒有設置金屬層2，因此即使加載電壓也不會發生變位。如圖2及圖3所示，本實施方式的層疊型壓電元件的特徵在於，在相鄰的兩個壓電體層1間的一部分區域中，形成有使外部電極4(或外部電極4')的一部分進入的插入部4a。具體的說，插入部4a形成在相鄰的兩個壓電體層1間的區域，且是金屬層2a的側端部E與層疊體10的側面S之間的區域中。該區域不但形成在圖3所示的外部電極4側，還形成在外部電極4'側。作為外部電極4的一部分的插入部4a，與層疊體10的側面S相接合的外部電極4的本體連接。通過像這樣事先使得插入部4a侵入到壓電體層1間的一部分區域中，形成從層疊體10的側面S向層疊體10中打入了樁子的構造，通過所謂的錨固的效果，大幅提高了外部電極4與層疊體10之間的接合強度。通過這樣，即使在高電場、高壓力下對層疊型壓電元件進行長時間驅動的情況下，也能夠防止外部電極4從層疊體10的側面S剝離，因此能夠防止因一部分金屬層2與外部電極4之間斷路，而不再給一部分壓電體層1提供電壓這種故障，防止驅動中變位特性降低。另外，因層疊體驅動時伸縮變形而產生的層疊體與覆蓋部件之間的界面中的應力，經使得外部電極4(或外部電極4')的一部分進入的插入部4a，傳播給壓電體層1。對應於該被傳播的應力，與插入部相接的壓電體的結晶構造發生變化，應力被吸收。特別是，在插入部由主要成分是金屬的外部電極的一部分構成時，能夠得到金屬自身變形而緩和應力的效果，同時，由於插入部4a對與其相接觸的壓電體的壓力較大，因此很容易產生壓電體的結晶構造變化。進而，壓電體層1與空隙相接觸的部分中，沒有被加載電壓，起到了根據應力壓電體能夠變形的空間的功能。因此，能夠產生新的緩和功能，即因結晶構造變化而新產生的壓電體內的應力，能夠被與空隙相接的部分所緩和。進而，通過使插入部4a的尖端分叉侵入到多孔質金屬層的部分金屬層間，能夠提高分散應力的效果，從而能夠進一步提高應力緩和效果。通過這樣，能夠得到一種覆蓋部件與層疊體之間的接合的可靠性進一步被提高，且持久性較高的長壽的層疊型壓電元件。插入部4a進入到金屬層2a的側端部E與層疊體10的側面S之間的區域的深度D，相對於插入部4a的厚度t，最好滿足D>0.lt的關係。特別是，從提高接合強度這一點出發，深度D最好為1iim以上，更加優選5iim以上。在深度D為1ym以上的情況下，能夠得到足夠的錨固效果，得到外部電極4與層疊體10的側面S之間的足夠的接合強度。另外，本實施方式中，外部電極4的一部分作為插入部4a'進入'到壓電體層l，1之間，並不意味著外部電極4的一部分以層疊體10的側面的表面粗糙度的程度的凹凸進入，而是意味著外部電極4的一部分進入到壓電體層l，l間的空隙中。進而，優選插入部4a在層疊體10的層疊方向設有多個，更加優選插入部4a在層疊體10的層疊方向規則地設置。通過像這樣在層疊方向規則地設置外部電極4的一部分進入的插入部4a，能夠使得外部電極4在層疊體10的層疊方向的整個區域中大致均勻且牢固地接合。多個插入部4a，優選以層疊體10中的金屬層2的整個層數的1/2以下的層數為單位，更加優選以整個層數的1/8以下的層數為單位，進一步優選以整個層數的1/15以下的層數為單位分別設置。假如插入部4a的設置周期是以超過金屬層2的總層數的1/2的層數為單位的，則由於插入部4a的數目較少，而有可能導致外部電極4的接合強度在層疊方向的整個區域中變得不均勻。這裡，插入部4a'規則地設置'這一概念，當然包括多個插入部4a的設置間隔都相同的情況，此外還包括以能夠在層疊體IO的側面S中，在層疊方向的整個區域中大致均勻且牢固地接合外部電極4的這種程度，使得各個插入部4a的設置間隔近似的情況。具體的說，插入部4a的設置間隔，相對於各個插入部4a的設置間隔的平均值最好在±20%的範圍內，優選在±15%的範圍內，更加優選各個設置間隔均一致。作為規則地設置插入部4a的方法，可以列舉出例如以給定的層數(例如每20層等)為單位設置插入部4a的方法。且這種情況下，在金屬層2的總層數除以上述給定的層數除不盡的情況下，在層疊體10的兩端附近插入部4a的設置可以不按照上述以每給定層數為單位的規則。另外，希望插入部4a在形成有正極側外部電極4與負極側外部電極4的層疊體10的側面中，正極側與負極側交互配置。通過這樣，正極側的外部電極4與負極側的外部電極4的一部分均等地進入到壓電體層1之間，能夠使得兩側的外部電極4與層疊體10牢固、平衡性良好地接合。特別是，如果只重視性能方面，則最好在所有的壓電體層1之間設置插入部。這種情況下，由於能夠使得外部電極4在層疊方向的整個區域中相對層疊體10的側面更加牢固地接合，因此即使在以高電場連續高速驅動的情況下，外部電極4也不會從層疊體10的側面剝離，能夠更加可靠地防止驅動中的變位量下降。另外，通過不是在所有的壓電體層之間，而是如上所述規則地設置插入部4a，能夠平衡地兼顧性能方面與製造成本方面。另外，本實施方式的層疊型壓電元件中，形成有插入部4a的壓電體層l之間所設置的金屬層2a，其主成份最好是從元素周期表的第811族金屬中選出的至少一種。通過如上設置金屬層2a的主成份，能夠同時對壓電體層1與金屬層2進行煅燒，牢固地接合壓電體層1與金屬層2a的接合界面。另外，即使在壓電元件變位而給金屬層2a施加了壓力的情況下，由於金屬層2a自身由伸縮容易的上述金屬構成，因此應力不會集中在一點，從而能夠提供一種持久性優異的層疊型壓電元件。特別是構成金屬層2a的金屬成分，優選是由從元素周期表第810族金屬Ni、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru及Os中選出的至少一種以上，與從元素周期表第11族金屬Cu、Ag、及Au中選出的至少一種以上所構成的合金。這是近年來合金粉末合成技術中量產性優秀的金屬組成。另外，構成金屬層2a的金屬成分也可以是周期表第ll族金屬單體。進而，優選金屬層2其主成份是周期表第11族金屬，形成有插入部4a的壓電元件1之間所配置的金屬層2a，與該金屬層2a以外的其他金屬層2b相比，周期表第11族金屬的比率R被設定的較高。通過像這樣設置楊氏模量較低的銅、銀、金等周期表第11族金屬的比率R，能夠相對降低金屬層2a的楊氏模量。通過這樣，金屬層2a能夠有效地吸收因驅動時層疊體10的伸縮而產生的變形，降低與層疊體10的側面牢固地接合的外部電極4中，發生因層疊體10的伸縮而產生的應力。因此，即使在高電場、高壓力下長時間連續驅動，也能夠防止外部電極4的一部分從層疊體10的側面S剝離，外部電極4斷線。另夕卜，通過讓金屬層2與外部電極4的主成份相同，在將成為外部電極4的導電性11料漿塗覆到層疊體10的側面並進行過焙燒時，外部電極4與金屬層2a的接合部中相同的主成份互相擴散，通過所謂的擴散接合將外部電極4與金屬層2a牢固地接合起來。在像這樣外部電極4與金屬層2a擴散接合的情況下，形成外部電極4與金屬層2a相溶的相溶區域。這種情況下，前述'金屬層2a的側端部E'，表示相溶區域與僅僅是金屬層2a的區域之間的邊界部分。壓電體層l例如通過以鈦酸鋯酸鉛Pb(Zr、Ti)03(以下簡稱作PZT)，或以鈦酸鋇BaTi(^為主成份的壓電陶瓷材料等形成。該壓電陶瓷優選表示其壓電特性的壓電形變常數(133較高者。另外，壓電體層1的厚度，也即金屬層2間的距離最好為40250iim。通過這樣，即使為了給層疊型壓電元件作用電壓得到較大的變位量，而增加層疊數，也能夠實現層疊型壓電元件調節器的小型化、低高度化，同時防止壓電體層1的絕緣破壞。(第2實施方式)圖4為表示本發明的第2實施方式的相關層疊型壓電元件的剖面圖。圖5為第2實施方式中的外部電極4與層疊體10的側面S之間的接合部分的放大剖面圖。如圖4及圖5所示，第2實施方式的相關層疊型壓電元件中，多個金屬層2中的幾個金屬層2a'，與和該金屬層2a'相鄰的兩側的金屬層2b相比，空隙2d較多。為了比較空隙2d的多少，例如可以測定各個金屬層的空隙率。本實施方式中，金屬層2a'與和該金屬層2a'相鄰的兩側的金屬層2b相比，空隙率較高。以下有時將金屬層2a'稱作"多孔質金屬層2a'"。圖6為放大了第2實施方式中的多孔質金屬層2a'及其附近的放大剖面圖。如圖6所示，該層疊型壓電元件中，多孔質金屬層2a'由散布在壓電體層l之間的多個部分金屬層2c(呈島狀分布的多個部分金屬層)與空隙2d構成。另外，設有該多孔質金屬層2a'的壓電體層1之間，形成有使得外部電極4的一部分進入的插入部4a。多孔質金屬層2a'具有比相鄰兩側的金屬層2b多的空隙2d，由此，外部電極4的成分能夠較深地侵入到空隙2d多的金屬層2a'中，從而能夠更加有效地提高外部電極4與層疊體10的接合強度。也即，在將成為外部電極4的導電料漿塗敷在層疊體10的側面S並進行過焙燒時，在該導電型料漿軟化的溫度以上，導電型料漿通過毛細管現象侵入到島狀分布的金屬層2c中。結果能夠形成外部電極4有效地侵入到了金屬層2a中的層疊型壓電元件。通過這樣，外部電極4能夠牢固地接合在層疊體10的側面，即使在高電場、高發生力下被高速、長時間驅動的情況下，也能夠防止產生外部電極4的一部分從層疊體10的側面剝離的這種問題。另外，本實施方式中，萬一驅動電路中流通異常的大電流，發生了外部電極4從層疊體20的側面S剝離的狀況的情況下，也具有以下優點。也即，在外部電極4通過錨固效果進入到了細密的金屬層中的情況下，外部電極4的一部分被從層疊體10的側面S剝離時，與外部電極4緊密接合的細密的金屬層有可能也會同時從層疊體10的內部被剝離。因此，被剝離時的應力有時會導致壓電體層1中產生裂縫。另外，本實施方式中，使得外部電極4的一部分侵入到空隙2d較多的金屬層2a'中，即使萬一產生了上述的驅動電路的異常從而流通了大電流的情況下，在外部電極4的一部分進入的金屬層2a'的部分中，也只是外部電極4的樁子被拔出，外部電極4的一部分從層疊體10的側面剝離，因此不會給層疊型壓電元件整體帶來影響。這裡，為了讓外部電極4的一部分有效地進入到壓電體層1之間，該金屬層2a'的空隙率最好為1095%，更加優選為4090%。在空隙率為10%以上的情況下，由於外部電極4的一部分能夠有效地進入，因此外部電極4與層疊體10的側面S的接合能夠得到足夠的強度。另外，在空隙率為95X以下的情況下，能夠防止金屬層2a'與設置在其兩側的壓電體層1之間的接合強度減弱，從而不會發生煅燒時的剝離等故障。另外，散布在金屬層2a中的部分金屬層2c的大小(垂直於層疊方向的方向上的寬度)，最好為1100iim。在部分金屬層2c的大小為1ym以上的情況下，由於該多孔質金屬層2a'的厚度不會過於薄，因此外部電極4的一部分能夠有效地侵入到該金屬層2a中。另外，在部分金屬層2c的大小為lOOym以下的情況下，層疊體10的伸縮所產生的應力能夠被該多孔質金屬層2a'分散並吸收，抑制了應力集中於部分金屬層2c，能夠防止壓電體層1中產生龜裂。也即，通過將散布在多孔質金屬層2a'中的部分金屬層2c的大小設為1100i!m，能夠讓外部電極的一部分進入到多孔質金屬層2a'中，且多孔質金屬層2a'能夠分散並吸收因層疊體10的伸縮而產生的應力。更加優選散布在多孔質金屬層2a'中的部分金屬層2c的大小為350iim。另外，多孔質金屬層2a'的形狀可以為大致球形，也可以是其他形狀。另外，在多孔質金屬層2a'中散布有多個部分金屬層2c的情況下，也可以不電導通，不起到電極的功能。這種情況下，該金屬層2a'可以相對於壓電體層1部分形成(所謂的部分電極構造)，也可以形成在壓電體層1的整個面上。在比較金屬層2a'與金屬層2b之間的空隙的多少時，例如使用掃描型電子顯微鏡(SEM)、金屬顯微鏡、光學顯微鏡等，觀察金屬層2a'的剖面以及金屬層2b的剖面(平行於層疊方向的剖面或垂直於層疊方向的剖面)得到剖面圖像，並評價該剖面圖像。該剖面圖像中，在金屬層2a'與金屬層2b的空隙的多少能夠明顯辨認到差時，可以通過肉眼觀察來比較。另外，在通過肉眼觀察無法判斷金屬層2a'與金屬層2b的空隙的多少時，可以通過以下的方法來分別測定並比較空隙率。金屬層的空隙率，表示在層疊體10的剖面(垂直或平行於層疊方向的剖面)中，空隙面積相對於金屬層整體的面積所佔據的比率(％)。測定空隙率的方法大體上可以分為以下兩種。第1方法是對通過平行於層疊方向的面切開層疊體10時的剖面進行觀察的方法，第2方法是對通過垂直於層疊方向的面切開層疊體10時的剖面進行觀察的方法。通過第1方法測定空隙率時，例如可以如下來進行，首先，通過使用公知的研磨裝置對層疊體IO進行研磨處理，使得平行於層疊方向的剖面露出來。具體的說，例如使用KemetJ即an(股份公司)生產的桌面研磨機KEMET-V-300作為研磨裝置，通過金剛石研磨膏進行研磨。例如用掃描型電子顯微鏡(SEM)、金屬顯微鏡、光學顯微鏡等，對通過該研磨處理而露出的剖面進行觀察得到剖面圖像，並對該剖面圖像進行圖像處理，通過這樣能夠測定金屬層2a'的空隙率與金屬層2b的空隙率。如果舉出具體例子，則對於通過光學顯微鏡所拍攝的金屬層2a'或金屬層2b的圖像，將空隙部分塗成黑色，將空隙以外的部分塗成白色，求出黑色部分的比率，即(黑色部分的面積)/(黑色部分的面積+白色部分的面積)，並通過百分比來表示，由此能夠計算出空隙率。例如，在剖面圖像為彩色的情況下，變換成灰度級(grayscale)，分成黑色部分與白色部分。此時，在需要設定用來對黑色部分與白色部分進行2灰度化的邊界閾值時，可以通過圖像處理軟體或肉眼觀察來設定邊界的閾值，並進行2值化。另外，通過第2方法測定空隙率時，例如可以如下來進行。首先，通過使用公知的研磨裝置對層疊體10的層疊方向進行研磨，直到希望測定空隙率的金屬層2a'或金屬層2b的剖面(垂直於層疊方向的剖面)露出來。具體的說，例如使用KemetJ即an(股份公司)生產的桌面研磨機KEMET-V-300作為研磨裝置，通過金剛石研磨膏進行研磨。例如用掃描型電子顯微鏡(SEM)、金屬顯微鏡、光學顯微鏡等，對通過該研磨處理而露出的剖面進行觀察得到剖面圖像，並對該剖面圖像進行圖像處理，通過這樣能夠測定金屬層2a'的空隙率與金屬層2b的空隙率。具體而言，則對於通過光學顯微鏡所拍攝的金屬層2a'或金屬層2b的圖像，將空隙部分塗成黑色，將空隙以外的部分塗成白色，求出黑色部分的比率，即(黑色部分的面積)/(黑色部分的面積+白色部分的面積)，並通過百分比來表示，由此能夠計算出空隙率。例如，在剖面圖像為彩色的情況下，變換成灰度級，分成黑色部分與白色部分。此時，在需要設定用來對黑色部分與白色部分進行2灰度化的邊界閾值時，可以通過圖像處理軟體或肉眼觀察來設定邊界的閾值，並進行2值化。另外，在觀察金屬層2a'或金屬層2b的剖面時，優選研磨到其厚度的約1/2的位置處，對通過這樣所露出來的剖面進行觀察。但在金屬層2a'的厚度或金屬層2b的厚度較薄，且厚度的偏差較大的情況下，有時會無法通過研磨處理使得金屬層2a'的剖面整體或金屬層2b的剖面整體露出來。這種情況下，可以在研磨處理到金屬層2a'或金屬層2b的一部分露出來時，觀察該露出部分並得到剖面圖像之後，進一步推進研磨，對除了已觀察過的部分之外的其他部分進行觀察，多次重複以上操作。只要能夠將這樣多次操作所得到的觀察圖像合起來，對金屬層2a'或金屬層2b的剖面整體進行觀察即可。第2實施方式中，如圖7所示，進入到多個部分金屬層2c間的外部電極4的一部分即插入部4a，最好覆蓋部分金屬層2c的表面。通過像這樣覆蓋部分金屬層2c的表面，插入部4a與部分金屬層2c的接觸面積增加，因此外部電極4與層疊體10的側面S之間的接合強度進一步提高。(第3實施方式)圖8是表示本發明的第3實施方式的相關層疊型壓電元件的剖面圖。如圖8所示，該元件中的層疊體10的側面S中，形成有一對外部電極4，4'，兩個壓電體層1間的一部分區域中，形成有使一方的外部電極4的一部分進入的插入部4a，在與此相同的壓電體層l間的另一部分區域中，形成有使另一方的外部電極4'的一部分進入的插入部4a'。通過這樣，能夠防止兩方的外部電極從層疊體的側面剝離，因此能夠進一步提高元件的持久性。並且，與使一方的外部電極的一部分進入的壓電體層間與使另一方的外部電極的一部分進入的壓電體層間不同的情況相比，在同一個壓電體層間形成兩個插入部時，能夠降低插入部的形成所必需的製造成本，因此能夠低價地製造持久性優秀的元件。(第4實施方式)圖9為表示本發明的第4實施方式的相關層疊型壓電元件的剖面圖。圖10為本實施方式中的外部電極4與層疊體10的側面S之間的接合部分的放大剖面圖。如圖9及圖IO所示，本實施方式的元件中，多孔質金屬層2a'的層疊方向兩側的金屬層2e，2e，比在層疊方向上與這些金屬層2e相鄰的金屬層(多孔質金屬層2a'及金屬層2b)的空隙少。以下有時將金屬層2e稱作高密度金屬層2e。為了在高密度金屬層2e、多孔質金屬層2a'及金屬層2b之間，比較空隙的多少，例如可以測定空隙率。空隙率的測定方法與上述相同。本實施方式中，高密度金屬層2e，2e，比在層疊方向上與這些金屬層2e，2e相鄰的金屬層2a'，2b的空隙率低。通過像這樣將高密度金屬層2e形成得比其他金屬層2a'，2b的空隙率低，由於該高密度金屬層的端部與外部電極之間的接合面積增加，因此在其間很容易發生導電性材料的擴散。這樣，通過基於該擴散的接合(擴散接合)能夠提高外部電極的接合強度。也即，設有多孔質金屬層的壓電體層間，形成有插入部而得到錨固效果，與該多孔質金屬層相鄰的兩側的金屬層與外部電極之間，實現了基於擴散接合的接合強度的提高。如果為了提高外部電極與層疊體的側面之間的接合強度而過度地配置多孔質金屬層，則有時元件的強度會降低，但通過如上將基於多孔質金屬層的錨固效果與基於高密度金屬層的擴散接合效果組合起來，就能夠在提高外部電極的接合強度的同時，抑制元件整體的強度降低。具體而言，金屬層2e的空隙率可以為金屬層2b的空隙率的95%以下，優選90%以下。另外，本實施方式中的高密度金屬層2e，2e，形成為與在層疊方向上與這些金屬層2e相鄰的金屬層2a'，2b相比，厚度較大。這樣，由於金屬層2e比其他的金屬層2a'，2b的厚度大，因此該高密度金屬層2e的端部與外部電極之間，導電性材料的擴散很容易發生，通過基於該擴散的接合(擴散接合)，能夠提高外部電極的接合強度。具體而言，金屬層2e的厚度最好為金屬層2b的厚度的105%以上，優選為110%以上。(第5實施方式)圖11是表示本發明的第5實施方式的層疊型壓電元件的剖面圖。如圖11所示，本實施方式中的外部電極4，由在垂直於層疊體10的側面S的方向上層疊的多個層4b、4c、4d、4e構成。該實施方式中，外部電極4含有導電性材料與玻璃材料，在插入部4a中的玻璃材料的含有量比插入部以外的其他部位(外部電極4的本體)多時，具有以下效果。也即，在玻璃成分較多的部位中，由於該玻璃成分，金屬成分更容易在壓電體層中擴散固溶，因此提高了插入部和與其接觸的壓電體層之間的接合強度。結果由於插入部4a中的錨固效果增高，因此能夠進一步提高外部電極4對層疊體10的接合強度。另外，多個層4b-4e中位於層疊體10的側面S的層4b，與其他層4c_4e相比，玻璃材料的含有量較高。通過這樣，由於玻璃成分容易進入相鄰的壓電體層間，因此能夠進一步提高外部電極4與層疊體10的側面S的接合強度。另外，構成外部電極4的多個層4b-4e中，外側的層4e中含有的玻璃成分，比位於層疊體10的側面S側的層4b中含有的玻璃成分少，由此能夠提高外部電極4中通過焊接而接合的引線6的接合強度。原因是一般來說焊錫對玻璃成分的浸潤性較低。另外，上述各實施方式中，列舉出了金屬層2a(或金屬層2a')的層疊方向上相鄰的兩側的金屬層2b，2b(或金屬層2e，2e)為同極的情況為例進行了說明。在像這樣兩側的金屬層2b，2b(或金屬層2e，2e)為同極時，具有以下優點。也即，在金屬層2a'由多個部分金屬層2c和空隙2d構成，部分電極層2c以彼此絕緣的狀態孤立地散布的情況下，金屬層2a'沒有起到電極的功能。這種情況下，與金屬層2a'相鄰的壓電體層1被同極的金屬層2b，2b(或金屬層2e，2e)所夾持，因此即使給外部電極4加載電壓，該壓電體層1也不會變位。通過這樣，能夠防止對多個部分金屬層2c散布而構成的金屬層2a'的應力集中。其結果，即使在高電場、高發生力下高速長時間驅動的情況下，也能夠可靠地防止外部電極4的一部分從層疊體10的側面剝離這種問題。15另外，在金屬層2a(或金屬層2a')的層疊方向上相鄰的兩側的金屬層2b，2b(或金屬層2e，2e)為異極時(例如圖12)，具有以下優點。也即，在金屬層2a'沒有作為電極起作用的情況下，被兩側的金屬層2b，2b(或金屬層2e，2e)所夾持的壓電體層1的變位量，比被其他的金屬層2b，2b所夾持的壓電體層1的變位小。在各個壓電體層1的厚度相同的情況下，被兩側的金屬層2b，2b(或金屬層2e，2e)所夾持的壓電體層1的變位量，變成被其他的金屬層2b，2b所夾持的壓電體層的變位量的1/2。因此能夠降低作用在外部電極4與金屬層2之間的界面上的應力。其結果，即使在高電場、高發生力下高速長時間驅動的情況下，也能夠可靠地防止外部電極4的一部分從層疊體10的側面剝離這種問題的發生。[OH3](製造方法)接下來對本發明的層疊型壓電元件的製造方法進行說明。本發明的層疊型壓電元件，首先將PZT等構成的f丐鈦礦型(perovskite)氧化物的壓電陶瓷的燒制粉末，與丙稀類、丁縮醛類等有機高分子所構成的粘合劑，以及DBP(酞酸二丁脂)、DOP(酞酸二辛酯)等可塑劑混合起來，製作料漿，用該料漿通過公知的刮刀(doctorblade)法或砑光輥(calenderroll)法等料帶成型法，製造成為壓電體層1的陶瓷印刷電路基板。接下來，在銀-鈀等構成的金屬層2的金屬粉末中，添加混合粘合劑、可塑劑等，根據需要還可以添加混合上述壓電陶瓷的燒制粉末等，製作成為金屬層2的導電性料漿，通過絲網印刷等將其以140ym的厚度印刷到上述各個印刷電路基板的上面。另外，通過控制厚度還能夠製作任意厚度的金屬層2。接下來，將上面印刷有導電性料漿的印刷電路基板多張層疊起來，以給定的溫度對該層疊體進行了脫粘合劑處理後，在900120(TC下進行煅燒，由此製作出層疊煅燒體。此時，形成金屬層2的導電性料漿中，通過使其事先含有在乾燥時接合固定有丙稀顆粒，並在煅燒時揮發的有機物，能夠形成具有任意的空隙率的金屬層2。也即，通過控制添加給導電性料漿的丙稀顆粒的量，能夠控制該金屬層2的空隙率。也即，在丙稀顆粒較少的情況下，空隙率減少，反之，在丙稀顆粒較多的情況下，空隙率提高。也即，在形成希望使外部電極4的一部分侵入的金屬層2的情況下，可以提高添加到上述導電性料漿中的丙稀顆粒的量，反之，在形成不希望使得外部電極4侵入的金屬層2的情況下，可以減少丙稀顆粒的量，或不添加丙稀顆粒。為了降低空隙率，可以減少導電性料漿中的粘合劑的量。另外，此時，通過在成為非活性層9的印刷電路基板中，添加銀-鈀等構成金屬層2的金屬粉末，或在層疊形成非活性層9的印刷電路基板時，將銀-鈀等構成金屬層2的金屬粉末與無機化合物以及粘合劑與可塑劑等構成的料漿，印刷到印刷電路基板上，由此能夠使得非活性層9與其他部分的燒結時的收縮動作乃至收縮率一致，由此能夠形成細密的層疊體io。另外，層疊體10並不僅限於通過上述製法所製造的，只要能夠製造多個壓電體層1與多個金屬層2交互層疊而構成的層疊體10，則不管通過什麼樣的製法來形成均可。接下來，使用公知的平面研削盤等，將所得到的層疊煅燒體研削成給定的形狀。之後，將在以銀為主成分的導電劑粉末與玻璃粉末中，添加粘合劑、可塑劑、以及溶劑而製造的銀玻璃導電性料漿，通過絲網印刷等印刷到形成外部電極4的層疊體10側面中。之後，以給定的溫度進行乾燥、焙燒，由此能夠形成外部電極4。這裡，從提高與壓電體層1之間的接合強度，且有效地侵入到金屬層2中的觀點出發，上述玻璃成分優選含有氧化鉛或氧化矽中的至少一種的軟化點為80(TC以下的玻璃。另外，除了前述以外，玻璃成分也可以使用石英玻璃、鈉鈣玻璃、鉛鹼矽酸玻璃、鋁硼矽酸鹽玻璃、鋁矽酸鹽玻璃、硼酸鹽玻璃、磷酸鹽玻璃、鉛玻璃等。例如，作為硼矽酸鹽玻璃，可以使用含有4070%質量比的Si02、230%質量比的8203、020%質量比的八1203、總量為010X質量比的MgO、CaO、SrO、BaO之類的鹼土類金屬氧化物、以及010%質量比的鹼金屬氧化物者。另外，上述硼矽酸鹽玻璃，還可以含有530%質量比的ZnO。ZnO具有降低硼矽酸鹽玻璃的作業溫度的效果。另外，作為磷酸鹽玻璃，可以使用含有4080%質量比的P205、030%質量比的A1203、030%質量比的B203、030%質量比的Zn0、030%質量比的鹼土類金屬氧化物、以及010%質量比的鹼金屬氧化物的玻璃。另外，作為鉛玻璃，可以使用含有3080X質量比的Pb0、070%質量比的Si02、020%質量比的A1203、030%質量比的Zn0、030%質量比的鹼土類金屬氧化物、以及010%質量比的鹼金屬氧化物的玻璃。另外，構成外部電極的導電劑，從具有耐氧化性，楊氏模量低且低價的觀點出發，優選以銀為主成份。另外，從提高耐電子遷移性這一點出發，可以添加微量的鉑或鈀。另外，上述銀玻璃導電性料漿的焙燒溫度，從使得外部電極4的一部分進入到金屬層2中，且提高外部電極4與層疊體10側面的接合強度的觀點出發，優選為該銀玻璃導電性料漿中含有的玻璃的軟化點以上的溫度50080(TC。另外，希望該銀玻璃料漿中的玻璃的軟化點為500800°C。另外，在外部電極4的外面，可以形成埋置有金屬的網格或網格狀的金屬板的導電性粘合劑所構成的導電性輔助部件。這種情況下，通過在外部電極4的外面設置導電性輔助部件，即使在調節器被加載大電流，被高速驅動的情況下，由於大電流能夠在導電性輔助部件中流動，降低外部電極4中流動的電流，因此能夠防止外部電極4產生局部發熱並斷線，從而能夠大幅提高持久性。進而，由於在導電性粘合劑中埋置有金屬網格或網格狀的金屬板，因此能夠防止上述導電性粘合劑中產生龜裂。金屬網格是編入有金屬線的，網格狀的金屬板是指在金屬板中形成孔並設置成網格狀。進而，構成上述導電性輔助部件的導電性粘合劑優選是分散有銀粉末的聚亞胺樹脂。即，通過使得相對電阻低的銀粉末分散在耐熱性高的聚亞胺樹脂中，能夠形成一種即使在高溫下使用，電阻值也較低且維持了高接合強度的導電性輔助部件。更加優選，上述導電性粒子是薄片狀或針狀等非球形的粒子。這是由於，通過將導電性粒子的形狀設為薄片狀或針狀等非球形的粒子，能夠使得該導電性粒子間的絡合牢固，進一步提高該導電性粘合劑的剪斷強度。之後，在含有外部電極4的層疊體10的側面，使用浸漬等方法塗覆矽料膏等構成的被覆樹脂，同時通過焊錫等在外部電極4上連接引線6，通過這樣完成本發明的層疊型壓電元件。另外，本發明的層疊型壓電元件並不僅限於此，在不脫離本發明的要點的範圍內，17可以進行各種變更。另外，上述實施方式中，對在層疊體10相對的側面中形成有外部電極4的例子進行了說明，但本發明中，例如也可以在相鄰的側面中形成一對外部電極4。(第6實施方式)以往的層疊型壓電調節器那樣，僅僅在層疊體的側面覆蓋被覆樹脂的情況下，被覆樹脂與層疊體側面以及金屬層之間的接合不一定充分。因此在高電場下連續驅動的情況下，由於層疊體的伸縮，層疊體側面與被覆樹脂的接合部中產生應力，有可能會發生被覆樹脂從層疊體側面以及金屬層端部剝離，環境中的水蒸氣進入到該剝離部中。這種情況下，由於被加載了高電場，因此有可能會產生元件表面發生銀遷移，金屬層間導通，層疊體的功能降低等問題。如圖30所示，通過蝕刻去除金屬層102形成後退部分，如果只在後退部分中填充高分子有機絕緣材料122，由於被蝕刻過的金屬層面很平滑，高分子有機絕緣材料122與被覆樹脂121的接合強度不充分等原因，而無法防止在高電場下被連續驅動的情況下的被覆樹脂的剝離(例如特開平-369277號公報)。圖13為表示本發明的第6實施方式的層疊型壓電元件中，覆蓋被覆樹脂(覆蓋部件)之前的狀態的立體圖。圖14為表示覆蓋了被覆樹脂的第6實施方式的相關層疊型壓電元件的立體圖。圖15為圖14中的A-A線剖面圖。圖16為本實施方式中的被覆樹脂與層疊體的側面之間的接合部分的放大剖面圖。圖17為本實施方式的層疊型壓電元件中，在金屬層與壓電體層之間的界面處切斷了時的剖面圖。如圖1315所示，本實施方式的相關層疊型壓電元件，具有多個壓電體層1與多個金屬層2交互層疊而成的層疊體IO，該層疊體10的相對的側面中，接合有每隔一層與金屬層2的端部電導通的一對外部電極4。各個外部電極4中，通過焊錫等連接固定有引線6。該引線6能夠與外部的電壓供給部(未圖示)相連接。該層疊型壓電元件中，如圖14、15所示，覆蓋有將層疊體10的側面及外部電極4覆蓋起來的被覆樹脂21。如圖16、17所示，本實施方式的層疊型壓電元件的特徵在於，被覆樹脂21的一部分(內設樹脂21a)，進入到了相鄰的兩個壓電體層1間的一部分區域中。具體地說，作為被覆樹脂21的一部分的內設21a，進入到相鄰的兩個壓電體層1間的區域中、金屬層2a的側端部E與層疊體10的側面S之間的區域T中。進入到區域T中的內設樹脂21a，與接合在層疊體10的側面S上的被覆樹脂21的本體21b—體化。這裡，"一體化"並不僅僅是指內設樹脂21a與被覆樹脂本體21b相接，還指內設樹脂21a與被覆樹脂本體21b相連的狀態(相結合的狀態)。通過像這樣使得被覆樹脂21的一部分即內設樹脂21a侵入到壓電體層1間的區域T中，且設為內設樹脂21a與被覆樹脂本體21b—體化的狀態，形成從層疊體10的側面S向層疊體10中打入了樁子的構造，通過所謂的錨固的效果，大幅提高了被覆樹脂21與層疊體IO之間的接合強度。通過這樣，即使在高電場、高壓力下對層疊型壓電元件進行長時間驅動的情況下，也能夠防止被覆樹脂21從層疊體10的側面S剝離。另外，因層疊體驅動時伸縮變形而產生的層疊體與覆蓋部件之間的界面中的應力，經進入到了區域T中的內設樹脂2la，傳播給壓電體層1。對應於該被傳播的應力，與進入到了區域T中的內設樹脂21相接的壓電體的結晶構造發生變化，應力被吸收。特別是，由於內設樹脂21a的主成份是樹脂，因此不僅僅樹脂自身變形從而緩和應力，由於還能夠覆蓋與內設樹脂21a相接的壓電體，因此能夠吸收壓電體的結晶構造變化所弓I起的體積變化，抑制新應力的發生。進而，壓電體層1與空隙相接的部分中，壓電體根據周圍的環境氣體的氧氣濃度及溼度而被氧化還原，在層疊型壓電元件的長時間使用中，壓電特性有可能會變化，通過內設樹脂21能夠抑制使用環境的影響。通過這樣，壓電體的應力緩和功能的持久性高，覆蓋部件與層疊體之間的接合的可靠性被進一步提高，從而得到了長壽的層疊型壓電元件。被覆樹脂21的一部分即區域T內的內設樹脂21b進入到金屬層2a的側端部E與層疊體10的側面S之間的區域T的深度D，從提高接合強度這一點出發，深度D最好為1iim以上，更加優選5i！m以上。在深度D為1iim以上的情況下，能夠得到足夠的錨固效果，得到被覆樹脂21與層疊體10的側面S之間的足夠的接合強度。進而，優選被覆樹脂21的一部分所進入的壓電體層1間的區域T存在多個，這些區域T在壓電體層1的層疊方向規則地設置。通過像這樣在層疊方向規則地設置內設樹脂21a進入的區域T，能夠使得被覆樹脂21在層疊體10的層疊方向的整個區域中大致均勻且牢固地接合。多個區域T，優選以層疊體10中的金屬層2的整個層數的1/2以下的層數為單位，更加優選以整個層數的1/8以下的層數為單位，進一步優選以整個層數的1/15以下的層數為單位分別設置。假如區域T的設置周期是以超過金屬層2的總層數的1/2的層數為單位的，則由於區域T的數目較少，而有可能導致被覆樹脂21的接合強度在層疊方向的整個區域中變得不均勻。另外，區域T優選在層疊體10的層疊方向上大致規則地設置，但層疊方向的兩端部附近可以排除層疊體10的中央附近的規則性。這裡，區域T'規則地設置'這一概念，當然包括多個區域T的設置間隔都相同的情況，此外還包括以能夠在層疊體10的側面中，在層疊方向的整個區域中大致均勻且牢固地接合被覆樹脂21的這種程度，使得各個區域T的設置間隔近似的情況。具體的說，區域T的設置間隔，相對於各個區域T的設置間隔的平均值最好在±20%的範圍內，優選在±15%的範圍內，更加優選各個設置間隔均一致。另外，金屬層2a所進入的兩個區域T間，存在金屬層2a以外的其他金屬層2b，該金屬層最好存在有多個，更加優選成為正極的金屬層2b與成為負極的金屬層2b的層數相同。通過這樣，位於正極側的被覆樹脂21與位於負極側的被覆樹脂21均等地進入到金屬層2a中，從而能夠將位於正極側的被覆樹脂21與位於負極側的被覆樹脂21牢固且平衡性良好地接合在層疊體10上。另外，本實施方式的層疊型壓電元件中，被覆樹脂21的一部分即內設樹脂21a所進入的壓電體層1之間所存在的金屬層2a，其主成份最好是從元素周期表的第811族金屬中選出的至少一種。通過如上設置金屬層2a的主成份，能夠同時對壓電體層1與金屬層2進行煅燒，牢固地接合壓電體層1與金屬層2a的接合界面。另外，即使在壓電元件變位而給金屬層2a施加了壓力的情況下，由於金屬層2a自身由伸縮容易的上述金屬構成，因此應力不會集中在一點，從而能夠提供一種持久性優異的層疊型壓電元件。特別是構成金屬層2a的金屬成分，優選是由從元素周期表第810族金屬Ni、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru及0s中選出的至少一種以上，與從元素周期表第11族金屬Cu、Ag、及Au中選出的至少一種以上所構成的合金。這是近年來合金粉末合成技術中量產性優秀的金屬組成。另外，構成金屬層2a的金屬成分也可以是周期表第11族金屬單體。進而，優選金屬層2其主成份是周期表第11族金屬，內設樹脂21a所進入的壓電元件1之間所存在的金屬層2a，與該金屬層2a以外的其他金屬層2b相比，周期表第11族金屬的比率R被設定的較高。通過這樣能夠同時煅燒壓電體層1與金屬層2a、2b、另外，在楊氏模量較低的銅、銀、金等周期表第11族金屬的比率這一點上，使得金屬層2a比金屬層2b的高，由此能夠相對降低與內設樹脂21a所進入的區域T相鄰的金屬層2a的楊氏模量。通過這樣，金屬層2a能夠有效地吸收因驅動時層疊體10的伸縮而產生的變形，降低與層疊體10的側面牢固地接合的被覆樹脂21中，發生因層疊體10的伸縮而產生的應力。因此，即使在高電場、高壓力下長時間連續驅動，也能夠防止被覆樹脂21的一部分從層疊體10的側面S剝離這種故障的發生。被覆樹脂21優選從矽樹脂、環氧樹脂、聚醯亞胺樹脂、氟類樹脂、聚氨酯樹脂、聚醯胺醯亞胺樹脂、丙烯樹脂、尼龍樹脂、以及聚脂樹脂所構成的群中選出的至少一種。內設樹脂21a也優選含有從上述樹脂中選出的至少一種。壓電體層l例如通過以鈦酸鋯酸鉛Pb(Zr、Ti)03(以下簡稱作PZT)，或以鈦酸鋇BaTi(^為主成份的壓電陶瓷材料等形成。該壓電陶瓷優選表示其壓電特性的壓電形變常數(133較高者。另夕卜，壓電體層l的厚度，也即金屬層2間的距離最好為40250iim。通過這樣，即使為了給層疊型壓電元件作用電壓得到較大的變位量，而增加層疊數，也能夠實現層疊型壓電元件調節器的小型化、低高度化，同時防止壓電體層1的絕緣破壞。(第7實施方式)圖18為表示本發明的第7實施方式的相關層疊型壓電元件的剖面圖。圖19為第7實施方式中的被覆樹脂21與層疊體10的側面之間的接合部分的放大剖面圖。如圖18及圖19所示，第7實施方式的相關層疊型壓電元件的特徵在於，多個金屬層2中的幾個金屬層2a'，與和該金屬層2a'相鄰的兩側的金屬層2b相比，空隙2d的比率(空隙率)較高，是該空隙2d的一部分中有被覆樹脂21的一部分(內設樹脂21a)進入的多孔質金屬層2a'。這樣，一部分多孔質金屬層2a'由部分金屬層2c與空隙2d構成，該多孔質金屬層2a'具有比相鄰兩側的金屬層2b多的空隙2d，使得被覆樹脂21的成分能夠深入到空隙2d較多的多孔質金屬層2a'中，更加有效地提高被覆樹脂21與層疊體10的接合強度。另外，本實施方式中"空隙"是指壓電體層1間的區域中，不存在構成金屬層的金屬的部分。因此，即使在內設樹脂21a進入到了該空隙中情況下，為了表述方便，也將該部分稱作空隙。這裡，為了讓被覆樹脂21的一部分有效地進入到壓電體層l之間，該多孔質金屬層2a'的空隙率最好為1095%，更加優選為4090%。在空隙率為10%以上的情況下，由於被覆樹脂21的一部分能夠有效地進入，因此被覆樹脂21與層疊體10的側面S的接合能夠得到足夠的強度。通過這樣，能夠防止驅動時被覆樹脂21從層疊體10的側面剝離。另外，在空隙率為90X以下的情況下，能夠防止金屬層2a'與設置在其兩側的壓電體層1之間的接合強度減弱，從而不會發生煅燒時的剝離等故障。另外，空隙率是通過百分比來表示的，在平行於多孔質金屬層2a'的層疊方向的剖面中觀察時，相對於觀察區域中的多孔質金屬層2a'整體的面積，空隙(void)的佔據比率。另外，關於金屬層2a及金屬層2b的20空隙率也與上述相同。圖20為第7實施方式的層疊型壓電元件中，在金屬層與壓電體層之間的界面處切斷了時的剖面圖。圖21為放大了第7實施方式的層疊型壓電元件中的金屬層及其附近的放大剖面圖。圖22為表示第7實施方式的壓電體層上的部分金屬層的排列狀態的立體圖。如圖2022所示，第7實施方式的相關層疊型壓電元件中，金屬層2a'最好由散布的多個部分金屬層2c(呈島狀分布的多個部分金屬層)構成。另外，該散布的多個部分金屬層2c間的一部分中，被覆樹脂21的一部分進入。這樣，在將被覆樹脂21塗敷在層疊體10的側面上時，被覆樹脂21通過毛細管現象侵入到島狀分布的金屬層2c中。結果能夠形成被覆樹脂21有效地侵入到了多孔質金屬層2a'中的層疊型壓電元件。通過這樣，被覆樹脂21能夠牢固地接合在層疊體10的側面，即使在高電場、高發生力下被高速、長時間驅動的情況下，也能夠防止產生被覆樹脂21從層疊體10的側面剝離的這種問題。這裡，處於散布有上述多個部分金屬層2c的狀態的多孔質金屬層2a'的金屬填充率，最好為555%，更加優選為1040%。這是由於，在金屬填充率為5%以上的情況下，能夠防止該金屬層2a'與和其相鄰的壓電體層1的接合強度減弱。另外，在金屬填充率為55%以下的情況下，該金屬層2a'很容易變為多個金屬散布的狀態，即所謂的島狀分布，在塗覆被覆樹脂21時容易產生毛細管現象。因此能夠使得被覆樹脂21的一部分有效地進入到金屬層2a'中。也即，通過將該金屬填充率設為555X，能夠將該金屬層2a與壓電體層1的接合強度維持的較高，且在塗覆被覆樹脂21使其與層疊體10的側面接合時，被覆樹脂21通過毛細管現象能夠有效地侵入到金屬層2a中，從而能夠提高層疊體10的側面與金屬層2a的接合強度。另外，金屬填充率是在平行於該金屬層2a'的層疊方向的剖面中觀察的情況下，金屬層2a'的任意剖面中金屬組成物所佔比率，通過百分比來表示。另外，散布在金屬層2a'中的部分金屬層2c的大小，最好為1lOOym。在散布在金屬層2a'中的部分金屬層2c的大小為lym以上的情況下，能夠防止該多孔質金屬層2a'的厚度變得過於薄，被覆樹脂21的一部分能夠有效地侵入到該金屬層2a中。另外，在部分金屬層2c的大小為100iim以下的情況下，層疊體10的伸縮所產生的應力能夠被該金屬層2a'分散並吸收，抑制了應力集中於該金屬組成物。通過這樣，能夠防止壓電體層1中產生龜裂等問題的發生。也即，通過將散布在金屬層2a中的部分金屬層2c的大小設為1100iim，能夠讓被覆樹脂21的一部分進入到金屬層2a中，且金屬層2a能夠分散並吸收因層疊體10的伸縮而產生的應力。更加優選散布在金屬層2a'中的部分金屬層2c的大小為350iim。另外，金屬層2a'的形狀可以為大致球形，也可以是其他形狀。另外，在被覆樹脂21的一部分即內設樹脂21a所侵入的金屬層2a'中散布有多個部分金屬層2c的情況下，也可以不電導通，不起到電極的功能。這種情況下，該金屬層2a'可以相對於壓電體層1部分形成(所謂的部分電極構造)，也可以形成在壓電體層1的整個面上。另外，本發明並不僅限於上述實施方式那樣的內設樹脂是被覆樹脂的一部分的情況，內設樹脂還可以由與被覆樹脂不同的成分構成。但如果從內設樹脂與被覆樹脂的接合強度的觀點出發來判斷，則內設樹脂最好是與被覆樹脂相同的成分，更加優選是被覆樹脂的一部分。(製造方法)接下來對本發明的層疊型壓電元件的製造方法進行說明。本發明的層疊型壓電元件，首先將PbZr03-PbTi03等構成的f丐鈦礦型氧化物的壓電陶瓷的燒制粉末，與丙稀類、丁縮醛類等有機高分子所構成的粘合劑，以及DBP(酞酸二丁脂)、D0P(酞酸二辛酯)等可塑劑混合起來，製作料漿，用該料漿通過公知的刮刀(doctorblade)法或砑光輥(calenderroll)法等料帶成型法，製造成為壓電體層1的陶瓷印刷電路基板。接下來，在銀-鈀等構成的金屬層2的金屬粉末中，添加混合粘合劑、可塑劑等，根據需要還可以添加混合上述壓電陶瓷的輔助性燒制的粉末等，製作成為金屬層2的導電性料漿，通過絲網印刷等將其以140iim的厚度印刷到上述各個印刷電路基板的上面。接下來，將上面印刷有導電性料漿的印刷電路基板多張層疊起來，以給定的溫度對該層疊體進行了脫粘合劑處理後，在900120(TC下進行煅燒，由此製作出層疊煅燒體。此時，形成金屬層2的導電性料漿中，通過使其事先含有在乾燥時接合固定有丙稀顆粒，並在煅燒時揮發的有機物，能夠形成具有任意的空隙率的金屬層2。也即，通過控制添加給導電性料漿的丙稀顆粒的量，能夠控制該金屬層2的空隙率。也即，在丙稀顆粒較少的情況下，空隙率減少，反之，在丙稀顆粒較多的情況下，空隙率提高。也即，在形成希望使被覆樹脂21的一部分侵入的多孔質金屬層2a'的情況下，可以提高添加到上述導電性料漿中的丙稀顆粒的量，反之，在形成不希望使得被覆樹脂21侵入的金屬層2的情況下，可以減少丙稀顆粒的量，或不添加丙稀顆粒。另外，此時，通過在成為非活性層9的印刷電路基板中，添加銀-鈀等構成金屬層2的金屬粉末，或在層疊形成非活性層9的印刷電路基板時，將銀-鈀等構成金屬層2的金屬粉末與無機化合物以及粘合劑、可塑劑等構成的料漿，印刷到印刷電路基板上，由此能夠使得非活性層9與其他部分的燒結時的收縮動作乃至收縮率一致，從而能夠形成細密的層疊體10。另外，層疊體10並不僅限於通過上述製法所製造的，只要能夠製造多個壓電體層1與多個金屬層2交互層疊而構成的層疊體10，則不管通過什麼樣的製法來形成均可。接下來，通過與上述相同的方法形成外部電極4。這裡，作為玻璃成分、構成外部電極的導電劑，能夠採用與上述相同的例示。銀玻璃導電性料漿的焙燒溫度優選與上述相同的溫度範圍。進而，可以在外部電極4的外面，形成與上述相同的埋置有金屬網格或網格狀金屬板的導電性粘合劑所構成的導電性輔助部件。之後，通過焊錫等將引線6接合到外部電極4上，使用浸漬等方法將矽料膏等構成的被覆樹脂塗覆在含有外部電極4的層疊體10的側面，通過這樣完成本發明的層疊型壓電元件。這裡，為了讓被覆樹脂21利用毛細管現象有效地進入到相鄰的壓電體層1間的一部分區域，最好如上所述，讓金屬層由散布的多個部分金屬層構成，進而可以在進行過浸漬等後進行真空吸引。更為理想的是，通過降低被覆樹脂21的浸漬前的粘度，能夠使得毛細管現象容易發生，被覆樹脂21能夠進入到上述區域中。通過這樣的製造方法，能夠得到覆蓋層疊體的側面的被覆樹脂21的一部分進入到區域T中成為內設樹脂21a，且該內設樹脂21a與被覆樹脂本體21b—體化的狀態。另外，本發明的層疊型壓電元件並不僅限於此，在不脫離本發明的要點的範圍內，可以進行各種變更。另外，上述實施方式中，對在層疊體io相對的側面中形成有外部電極224的例子進行了說明，但本發明中，例如也可以在相鄰的側面中形成一對外部電極4。(第8實施方式)圖23為表示第8實施方式的相關層疊型壓電元件的立體圖。圖24為表示圖23中的壓電體層與外部電極之間的接合狀態的放大剖面圖。如圖23所示，本實施方式的層疊型壓電元件，具有交互層疊了多個壓電體層1與多個內部電極12的層疊體IO，在該層疊體10的層疊方向的兩端側，層疊有由壓電體所形成的非活性層9。層疊體10的相對的側面中，設有一對外部電極15(—方的外部電極未圖示)。另外，各個內部電極不是形成在壓電體層1的整個主面上的，而是形成所謂的部分電極構造。該部分電極構造的多個內部電極12，按照每隔一層從層疊體10的相對的側面分別露出來的方式配置。通過這樣，內部電極12每隔一層與一對外部電極15電連接。一對外部電極15也可以形成在相鄰的側面上。外部電極15的材質，可以使用電阻低且容易處理的銀或以銀為主成分的合金。另外，如圖24所示，本實施方式的層疊型壓電元件中，外部電極15的周邊部15a越到周邊側其厚度越薄，且形成有與層疊體10的側面分離(不接觸)的分離部16。這樣的層疊型壓電元件，能夠避免因外部電極15與層疊體10的熱膨脹差或變位差，而在外部電極15與層疊體10的接合邊界部分中產生應力集中，從而能夠顯著降低與外部電極15相接合的層疊體10自身產生龜裂的可能性，提高層疊型壓電元件的持久性。為了讓外部電極15的周邊部15a形成為越到周邊側其厚度越薄，可以適度調整對外部電極15進行絲網印刷時的粘度，將外部電極15的周邊部15a在層疊體10上薄且寬地形成。另外，作為其他方法，還可以在按照使得外部電極15的周邊部15a的厚度一定的方式進行過印刷後，實施切削等加工，使得周邊部15a的厚度漸次變薄。如果像這樣讓外部電極15的周邊部15a形成為越到周邊側其厚度越薄，便會在該傾斜的外部電極15中產生基於煅燒收縮或熱膨脹差的內部變形，外部電極15的周邊部15a自然地從層疊體10的側面剝離，由此形成外部電極15與層疊體10的側面之間的分離部16。另外，作為其他的方法，為了積極地形成外部電極15與層疊體10的側面之間的分離部16，可以預先在希望成為分離部16的層疊體10上，印刷與外部電極15的反應性低的鉬等分離型材。作為再一種方法，可以如後所述將外部電極15多層重疊，利用其熱膨脹差，由此形成分離部16。與此相對，在外部電極15的周邊部15a的厚度一定，沒有形成與層疊體10的側面之間的分離部16的情況下，會產生如下的故障。也即，在層疊體10中燒制外部電極15時相互的熱膨脹差所引起的殘留應力，集中作用到接合邊界部中，由於外部電極15與層疊體10的變位差，導致外部電極15與層疊體10的接合邊界部分中產生了極大的應力。由此，與外部電極15相接合的層疊體會產生從該邊界部分開始的龜裂，有時會漸漸發展成橫斷層疊體10的龜裂。另外，本發明的層疊型壓電元件中，可以在分離部16與層疊體10的側面之間設置空隙。通過存在有空隙，能夠顯著降低外部電極15與層疊體10的接合邊界部分中產生的應力。這裡，為了在分離部16與層疊體10的側面之間設置空隙，如果如前所述，形成為外部電極15的周邊部15a越向著周邊側其厚度越薄便可，即，使外部電極15的周邊部15a越向著周邊側其厚度越薄，便會在該傾斜的外部電極15中產生基於煅燒收縮或熱膨脹差等的內部變形，從而能夠得到外部電極15的周邊部15a自然地從層疊體10的側面剝離的這種空隙。當然，如後所述將外部電極15多層層疊，利用熱膨脹差，能夠更加可靠地形成空隙。另外，如圖25所示，分離部16與層疊體10的側面之間的至少一部分中，可以隔有絕緣性樹脂17。通過這樣，即使在給層疊型壓電元件加載了高電壓時，也能夠確保良好的絕緣性。特別是，絕緣性樹脂17最好隔在分離部16與層疊體10的側面之間的周邊側(外部電極15的周邊側)。通過這樣，即使在給層疊型壓電元件加載了200V以上的高電壓時，也能夠確保良好的絕緣性。進而，還優選絕緣性樹脂17還填充到設置在分離部16與層疊體10的側面之間的空隙中。通過這樣，能夠確保極高的絕緣性，不會發生邊緣面放電，能夠防止絕緣降低，確保高可靠性。另外，絕緣性樹脂17的材質還可以採用矽樹脂。矽樹脂對層疊體10的接合牢固，且富耐熱性，經年變化也較少，彈性率低，因此對層疊型壓電元件的變位的追蹤性高。因此，能夠確保高絕緣性，防止邊緣面放電，同時不會妨礙層疊體10的變位，從而能夠得到高可靠性。另外，矽樹脂中有脫醋酸型與脫氧型等通過變更固化反應而得到的各種類型，但最好使用不會發生固化時的氣體副產品的脫醇樹脂。另外，由於用於200V以上的高電場的時候較多，所以最好使用不含矽氧烷的高分子型矽樹脂。進而，在分離部16與層疊體10的側面之間或周邊側，特別是分離部16與層疊體的側面之間所設置的空隙部分中，填充矽樹脂的方法，可以使用真空裝置等進行泡沫消除以及真空含浸，簡單而可靠地填充。外部電極15可以由多種電極材料層疊而成。通過這樣，外部電極15中有可能發生內部變形，使得外部電極15的周邊部15a自然地從層疊體10的側面剝離。此時的多層的電極材料，如果採用彼此有細微的不同的組成，則內部變形容易發生，但即使是相同的組成，通過變更其焙燒溫度，也能夠產生內部變形。另外，優選多個電極材料中，外層側的熱膨脹係數比內層側的大。通過這樣，能夠在內層側的外部電極15中產生應力，越到周邊側其厚度越薄的外部電極15的周邊部15a被剝離，形成與層疊體10的側面不接觸的分離部16。相反，在內層側的熱膨脹係數比外層側大的情況下，即使發生內部應力，也會有使得周邊部15a很難剝離的壓縮應力發生作用，很難形成與層疊體10的側面不接觸的分離部16，從而不理想。另外，優選使得最內層的電極材料比其他電極材料更向周邊側突出。2層以上的多個電極材料所構成的外部電極15中產生的內部應力，在層疊邊界部分中變得最大，但如果此時事先使得最內層的電極材料比其他電極材料更向周邊側突出，突出的最內層的電極材料的周邊部15a便被剝離，能夠形成與層疊體的側面不接觸的分離部16，非常理想。另外，在外層側的電極材料比其他電極材料更向周邊側突出的情況下，雖然發生內部應力，但由於形成為外層側的電極材料將其他電極材料覆蓋起來，由此周邊部15a變得很難被剝離，很難形成與層疊體10的側面不接觸的分離部16，從而不理想。特別是，分離部16可以僅僅是最內層的電極材料151。通過這樣，能夠利用最內層的電極材料151的向周邊側突出的部分被剝離這一點，良好地形成與層疊體10的側面不接觸的分離部16。進而，優選讓分離部16投影到層疊體10的側面上時的長度L為10iim以上。通過這樣，能夠避免在外部電極15與層疊體10的接合邊界部中產生的應力集中，與外部電極15相接合的層疊體10自身不會產生龜裂，從而能夠提高層疊型壓電元件的持久性。如果分離部16投影到層疊體10的側面上時的長度L不滿10m，外部電極15與層疊體10的接合邊界部中產生的應力集中就會增大，與外部電極15相接合的層疊體10自身很容易產生龜裂，從而不理想。另外，在分離部16投影到層疊體10的側面上時的長度L為500ym以上而變得過大時，外部電極15本身強度降低，使得外部電極15容易剝離，也不理想。另外，將外部電極15與層疊體10的側面相接觸的部分和分離部16之間的邊界，與分離部16的尖端連接起來的直線，與上述層疊體的側面所形成的角度9，優選為1度以上45度以下。通過這樣，外部電極15的周邊部15a越到周邊側其厚度越薄，能夠避免外部電極15與層疊體10的接合邊界部中產生的應力集中，同時在傾斜的外部電極15中會發生煅燒收縮或熱膨脹差所引起的內部變形，從而能夠得到外部電極15的周邊部15a自然地從層疊體10的側面剝離的這種空隙。在角度e不滿1度的情況下，得到外部電極15的周邊部15a越到周邊側其厚度越薄的這種厚度有可能會變得困難。另外，在該角度9超過了45度的情況下，外部電極15與層疊體10的接合邊界部很容易被牢固地接合起來，外部電極15與層疊體10的接合邊界部中有可能會發生高應力集中。進而，分離部16的尖端與層疊體10的側面之間的距離H優選為1iim以上50iim以下。如果像這樣適當地保持距離H，則不但能夠將外部電極15與層疊體10的接合邊界部中產生的應力最大程度地降低，還能夠在分離部16與層疊體10的側面之間填充絕緣性樹脂17，從而能夠確保極高的絕緣性。在距離H處於上述範圍內時，還不會發生邊緣面放電，能夠確保高可靠性。如果距離H不滿1iim，則很難充分地填充絕緣性樹脂17，從而不理想。另外，如果距離H超過了50iim，則外部電極15本身的強度降低，樹脂填充時外部電極15變得容易剝離，因此不理想。優選外部電極15層疊有多個電極材料151，152，…，多個電極材料中，外層側的熱膨脹係數比內層側的熱膨脹係數大，另外最內層的電極材料151比其他電極材料152，…更向周邊側突出。通過這樣，能夠良好地形成與層疊體10的側面不接觸的分離部16，吸收外部電極15與層疊體10的接合邊界部中產生的應力。另外，還可以讓分離部16僅僅是最內層的電極材料151，分離部16投影到層疊體10的側面上時的長度L為10iim以上，將外部電極15與層疊體10的側面相接觸的部分和分離部16之間的邊界，與分離部16的尖端連接起來的直線，與層疊體10的側面所形成的角度9，為1度以上45度以下，分離部16的尖端與層疊體10的側面之間的距離H為1iim以上50ym以下。通過這樣，能夠最大程度地降低外部電極15與層疊體10的接合邊界部中產生的應力。接下來，對本發明的層疊型壓電元件的製法進行說明。首先將PbZrOfPbTi03等構成的鈣鈦礦型氧化物的壓電陶瓷的輔助性燒制的粉末，與丙稀類、丁縮醛類等有機高分子所構成的粘合劑，以及DBP(酞酸二丁脂)、DOP(酞酸二辛酯)等可塑劑混合起來，製作料漿，用該料漿通過公知的刮刀法或砑光輥法等料帶成型法，製造成為壓電體11的陶瓷印刷電路基板。接下來，在銀一鈀等構成的內部電極12的金屬粉末中，添加混合粘合劑、可塑劑等，製作導電性料漿，通過絲網印刷等將其以140ym的厚度印刷到上述各個印刷電路基板的上面。通過變更粘合劑以及可塑劑與金屬粉末的比、變更絲網的網格度數、變更形成絲網的圖案的抗蝕劑厚度，能夠變更內部電極12的厚度以及內部電極中的空隙等。接下來，將印刷有導電性料漿的印刷電路基板多張層疊起來，進行了脫粘合劑處理後，在900120(TC下進行煅燒，由此製作出層疊體10。此時，通過在成為非活性層9的部分的印刷電路基板中，添加銀-鈀等構成內部電極12的金屬粉末，或在層疊形成非活性層9的部分的印刷電路基板時，將銀_鈀等構成金屬層2的金屬粉末與無機化合物以及粘合劑、可塑劑等構成的料漿，印刷到印刷電路基板上，由此能夠使得非活性層9與其他部分的燒結時的收縮動作乃至收縮率一致，從而能夠形成細密的層疊體10。另外，層疊體10並不僅限於通過上述製法所製造的，只要能夠製造多個壓電體層1與多個內部電極12交互層疊而構成的層疊體IO，則也可以通過其他製法來形成。接下來，按照能夠與在層疊型壓電元件的側面露出端部的內部電極12導通的方式，形成外部電極15。該外部電極15，能夠在玻璃粉末中添加粘合劑而製作出銀剝離導電性料漿，並對其進行印刷焙燒而得到。這裡，必須印刷為使得外部電極15的周邊部15a越到周邊側其厚度越薄，為此可以適度調整絲網印刷外部電極15時的粘度，使得外部電極15的周邊部15a在層疊體10上形成的薄且寬。這裡舉出一個具體例子，在平均粒徑為2iim的薄片狀的銀粉末，與剩餘部分以平均粒徑2iim的矽為主成分且軟化點為64(TC的非結晶的玻璃粉末的混合物中，添加約為銀粉末與玻璃粉末的合計質量的8%的粘合劑，充分混合而得到銀玻璃導電性料漿，添加溶劑，並進行調整使得粘度為200dPas左右之後，絲網印刷到層疊體10上的給定位置上。之後，對銀玻璃導電性料漿進行焙燒。為了有效地形成頸部，使得銀玻璃導電性料漿中的銀與內部電極12擴散接合，且外部電極15中有效地留有空隙，該焙燒溫度最好為500800°C。如果像這樣讓外部電極15的周邊部15a形成為越到周邊側其厚度越薄，便會在該傾斜的外部電極15中產生基於煅燒收縮或熱膨脹差的內部變形，外部電極15的周邊部15a自然地從層疊體10的側面剝離，由此形成外部電極15與層疊體10的側面之間的分離部16。接下來，將形成有外部電極15的層疊體IO浸漬到矽樹脂溶液中，同時對矽樹脂溶液進行真空脫氣，通過這樣，在層疊體10的溝內部填充矽樹脂，之後從矽樹脂溶液中撈出層疊體IO，在層疊體10的側面中塗敷矽樹脂。這樣，在分離部16與層疊體10的側面間所設置的空隙中也能夠填充矽樹脂。之後，使得矽樹脂硬化，由此完成本發明的層疊型壓電元件。本發明的層疊型壓電元件並不僅限於此，在不脫離本發明的要點的範圍內，可以進行各種變更。另外，上述實施方式中，對在層疊體IO相對的側面中形成有外部電極15的例子進行了說明，但本發明中，例如也可以在相鄰的側面中形成一對外部電極15。另外，本發明中，外部電極的接合可靠性最高的，是外部電極的一部分與被覆樹脂的一部分均從層疊體的側面進入到壓電體層間的內部，且外部電極的周邊部越到周邊側其厚度越薄，同時具有與層疊體的側面分離(不接觸)的分離部的形態。通過這樣，能夠將上述各個效果相乘組合起來，得到非常優秀的外部電極的接合可靠性。〈噴射裝置>圖26為表示本發明的一實施方式的噴射裝置的概要剖面圖。如圖26所示，本實施方式的相關噴射裝置，在一端具有噴射孔33的存放容器31的內部，存放有上述實施方式所代表的本發明的層疊型壓電元件。存放容器31內，設有能夠開閉噴射孔33的針閥(needlevalve)35。噴射孔33中，燃料通道37被設為能夠對應於針閥35的動作而連通。該燃料通道37與外部的燃料供給源相連接，常時以一定的高壓向燃料通道37提供燃料。因此，如果針閥35打開噴射孔33，提供給燃料通道37的燃料便以一定的高壓噴出到未圖示的內燃機的燃料室內。另外，針閥35的上端部設有內徑增大，能夠在形成在存放容器31中的氣缸39中滑動的活塞41。存放容器31內，存放有具備上述層疊型壓電元件的壓電調節器43。這樣的噴射裝置中，如果壓電調節器43被加載電壓而伸長，活塞41便被推壓，針閥35塞住噴射孔33，停止燃料的供給。另外，如果停止電壓的加載，壓電調節器43便收縮，彈簧45壓回活塞41，噴射孔33與燃料通道37連通，進行燃料的噴射。另外，本發明的噴射裝置包括具有噴出孔的容器，以及上述層疊型壓電元件，通過層疊型壓電元件的驅動使得容器內所填充的液體從噴射孔噴出。也即，元件不一定要位於容器內部，可以通過層疊型壓電元件的驅動，給容器的內部加載壓力。另外，本發明中，液體除了燃料、墨水等之外，還包括各種液體流體(導電性料漿等)。另外，本發明關於層疊型壓電元件以及噴射裝置，但並不僅限於上述實施例，例如還可以應用於汽車引擎的燃料噴射裝置、噴墨器等的液體噴射裝置、光學裝置等的精密定位裝置、安裝在振動防止裝置等中的驅動元件(壓電調節器)、以及安裝在燃燒壓力傳感器、爆震傳感器(knocksensor)、加速度傳感器、荷重傳感器、超聲波傳感器、感壓傳感器、偏航率(yawrate)傳感器等中的傳感器元件，以及安裝在壓電陀螺儀、壓電開關、壓電變壓器、壓電斷路器等中的電路元件等。另外，除此之外只要是使用壓電特性的元件，就能夠應用本發明。〈燃料噴射系統>圖27為表示本發明的一實施方式的相關燃料噴射系統的概要圖。如圖27所示，本實施方式的相關燃料噴射系統51具有存儲高壓燃料的公共管道(commonrail)52、噴射該公共管道52中所存儲的燃料的多個上述噴射裝置53、向公共管道52提供高壓燃料的壓力泵54、以及向噴射裝置53提供驅動信號的噴射控制單元55。噴射控制單元55—邊通過傳感器等對引擎的燃燒室內的狀況進行感知，一邊控制燃料噴射的量與時序。壓力泵54的作用是從燃料儲室56將燃料加壓到10002000氣壓左右，理想的是15001700氣壓左右，並輸入到公共管道52中。公共管道54中存儲從壓力泵54送來的燃料，並適當輸送給噴射裝置53。噴射裝置53如上所述，從噴射孔33將少量的燃料以霧狀噴射到燃燒室內。實施例1如下製作本發明的層疊型壓電元件所構成的層疊型壓電調節器。首先，製作混合有以平均粒徑為0.4iim的以鈦酸鋯酸鉛PZT為主成份的壓電陶瓷的輔助性燒制的粉末、粘合劑、以及可塑劑的料漿，通過刮刀法製造成為厚150ym的壓電體層1的陶瓷印刷電路基板。在該陶瓷印刷電路基板的單面，通過絲網印刷法形成在銀-鈀合金中添加有粘合劑的導電性料漿，將印刷有該導電性料漿的薄片層疊300張，在980110(TC下進行煅燒得到層疊煅燒體。接下來，通過平面研削盤將所得到的層疊煅燒體研削成給定的形狀，得到層27疊體10。接下來，將在平均粒徑為2m的銀粉末，與剩餘部分以平均粒徑2ym的矽為主成分且軟化點為650°C的玻璃粉末的混合物中，添加粘合劑而製造的銀玻璃導電性料漿，通過絲網印刷以約30iim的厚度形成到層疊體10側面的外部電極4形成面上，在70(TC下進行30分鐘的焙燒，由此形成外部電極4。這裡，試料編號1中，在壓電體層1間形成有使得外部電極4的一部分進入的插入部4a，在試料編號2中，沒有形成插入部。試料編號1中，形成有插入部4a的壓電體層1間的金屬層2a，如下來形成。也即，使用在銀_鈀合金中，添加相對於銀_鈀合金100%體積為200%體積的平均粒徑為0.5ym的丙烯顆粒，進而加入粘合劑調製而成的導電性料漿，在陶瓷印刷電路基板的單面上印刷厚4ym的該導電性料漿。另外，沒有形成插入部的壓電體層1間的金屬層2b中，印刷厚4iim的在沒有添加丙烯顆粒的銀_鈀合金中加入了粘合劑的導電性料漿。另外，試料1中，將印刷有用來形成金屬層2a的導電性料漿(添加了丙烯顆粒)的薄片，與印刷有用來形成其他金屬層2b的導電性料漿(沒有添加丙烯顆粒)的薄片，以l層對20層的比率層疊起來。添加有丙烯顆粒的導電性料漿所形成的金屬層2a的側端部與層疊體10的側面之間的區域中，形成有外部電極4的一部分平均以20ym的深度侵入的插入部4a。金屬層2a的空隙率A平均為80%，其他金屬層2b的空隙率B平均為20%。另外，金屬層2a為金屬組成物(部分金屬層)散布而成的島狀分布。之後，在外部電極4中連接引線，經由引線對正極與負極的外部電極4加載15分鐘的3kV/mm的直流電場，進行極化處理，製造出使用了圖1所示的層疊型壓電元件的壓電調節器。給所得到的層疊型壓電調節器加載160V的直流電壓，在層疊方向得到40iim的變位量。進而，在室溫下以150Hz的頻率對該層疊型壓電調節器加載0+160V的交流電壓，進行連續驅動到1X109次的實驗。所得到的結果如表1所示。[表1]tableseeoriginaldocumentpage28如表1所示，本發明的層疊型壓電調節器(試料編號1)中，得到了與連續驅動之前相同的變位量40ym，另外，外部電極4中沒有發現異常。另外，本發明的權利要求外的試料編號2，由於外部電極的一部分沒有進入到金屬層中，因此IX109次驅動後，變位量降低到30ym。這是由於，試料編號2沒有形成插入部(外部電極的一部分沒有進入到金屬層中)，因此外部電極與層疊體側面的接合強度弱，外部電極的一部分從層疊體側面剝離，一部分的內部電極與外部電極間產生了斷線。結果，由於不再給一部分壓電體提供電壓，因此變位量降低。實施例2製造除了插入部4a的進入深度D、形成有插入部4a的壓電體層間的金屬層2a的空隙率A、其他金屬層2b的空隙率B、金屬層2a的構造、金屬層2a的配置狀態、以及構成金屬層的Ag的含有率如表1進行了變化以外，均與實施例1相同的層疊型壓電元件。另外，所有的試料中，將初始的變位量都設為一定(40ym)，因此在金屬層2a沒有起到電極功能(不導通)的試料中，考慮到金屬層2a的層數，通過增加導通的金屬層2b的層疊，來調整變位特性。評價結果如表2所示。[表2]tableseeoriginaldocumentpage29tableseeoriginaldocumentpage30※1多孔質金屬層①由以彼此絕緣的狀態散布的多個部分金屬層構成的多孔質金屬層，不作為電極起作用。※2多孔質金屬層②雖然是多孔質金屬層，但同時是空隙較多的獨立氣孔，因此作為電極起作用。※3以其他金屬層20層對金屬層2a—層的比率進行層疊。※4以其他金屬層10層對金屬層2a—層的比率層疊而成的部分，與以其他金屬層30層對金屬層2a—層的比率層疊而成的部分彼此交互混合在一起。※5比率Rl=(金屬層2a中含有的Ag的含有率)/(金屬層2b中含有的Ag的含有率)根據表2，作為本發明的層疊型壓電調節器的試料編號1、3、4、5、6、7，即使在1X109次連續驅動後，也得到了與連續驅動前相同的變位量，是一種具備高可靠性的壓電調節器。實施例3製造除了金屬層2a的層疊方向兩側的金屬層2e的空隙率E、金屬層2e與其他金屬層的厚度、金屬層2a的層疊方向兩側的金屬層2e的極性(正極或負極)等進行了變化以外，均與實施例l相同的層疊型壓電元件。另外，所有的試料中，將初始的變位量都設為一定(40ym)，因此因金屬層2e的極性不同而引起的變位特性的差，能夠通過增減金屬層2b的層數來調整。另外進行除了通過將驅動電壓提高了40V作為0200V的交流電壓，來加速實驗以外，均與實施例1相同的連續驅動實驗，所得到的結果如表3所示。[表3]30tableseeoriginaldocumentpage31※2以其他金屬層20層對金屬層2a—層的比率進行層疊。※3比率Rl=(金屬層2a中含有的Ag的含有率)/(金屬層2b中含有的Ag的含有率)根據表3，作為本發明的層疊型壓電調節器的試料編號1、8、9，得到了驅動後的變位量的改善效果，是一種具備高可靠性的壓電調節器。實施例4製造如圖ll所示，4個層4b、4c、4d、4e所構成的外部電極4形成在層疊體的側面，如表4所示，除了對外部電極中的玻璃材料的含有量等進行了各種變更之外，其他均與實施例1相同的層疊型壓電元件。另外，所有的試料中，將初始的變位量都設為一定(40iim)，因此在金屬層2a不作為電極起作用(不導通)的試料中，考慮金屬層2a的層數，通過增加導通的金屬層2b的層疊來調整變位特性。另外進行除了通過將驅動電壓提高了40V作為0200V的交流電壓，來加速實驗以外，均與實施例1相同的連續驅動實驗，所得到的結果如表4所示。[表4]tableseeoriginaldocumentpage33tableseeoriginaldocumentpage34※1多孔質金屬層①由以彼此絕緣的狀態散布的多個部分金屬層構成的多孔質金屬層，不作為電極起作用。※2多孔質金屬層②雖然是多孔質金屬層，但同時是空隙較多的獨立氣孔，因此作為電極起作用。※3以其他金屬層20層對金屬層2a—層的比率進行層疊。※4以其他金屬層10層對金屬層2a—層的比率層疊而成的部分，與以其他金屬層30層對金屬層2a—層的比率層疊而成的部分彼此交互混合在一起。※5比率R2=(金屬層2a中含有的Ag的含有率)/(金屬層2a的層疊發現兩側的金屬層中含有的Ag的含有率)※6S側是指構成外部電極的多個層中的位於層疊體的側面一側的層外側是指構成外部電極的多個層中位於最外側的層。根據表4，作為本發明的層疊型壓電調節器的試料編號310，得到了驅動後的變位量的改善效果，是一種具備高可靠性的壓電調節器。實施例5首先，製作混合有以平均粒徑為0.4iim的以鈦酸鋯酸鉛PZT為主成份的壓電陶瓷的燒制粉末、粘合劑、以及可塑劑的料漿，通過刮刀法製造成為厚150iim的壓電體層1的陶瓷印刷電路基板。在該陶瓷印刷電路基板的單面，通過絲網印刷法形成在銀-鈀合金中添加有粘合劑的導電性料漿，將印刷有該導電性料漿的薄片層疊300張，在9801IO(TC下進行煅燒得到層疊煅燒體。此時，在形成使得被覆樹脂21侵入的多孔質金屬層2a的部分中，通過在銀-鈀合金中，添加相對於銀_鈀合金100%體積為200%體積的平均粒徑為0.5iim的丙烯顆粒，進而加入粘合劑調製而成的導電性料漿，印刷到厚4iim。另外，在形成不讓被覆樹脂21侵入的其他金屬層2b的部分中，印刷厚4iim的在沒有添加丙烯顆粒的銀_鈀合金中加入了粘合劑的導電性料漿。不讓被覆樹脂21侵入的金屬層2b與讓被覆樹脂21侵入的多孔質金屬層2a'的比率，設為20:1。也即，將印刷了金屬層2b用導電性料漿的印刷電路基板層疊20層之後，層疊1層印刷了多孔質金屬層2a'用導電性料漿的印刷電路基板，按照該順序規則地層疊各個印刷電路基板。接下來，通過平面研削盤將所得到的層疊煅燒體研削成給定的形狀，得到層疊體10。接下來，將在平均粒徑為2iim的銀粉末，與剩餘部分以平均粒徑2iim的矽為主成分且軟化點為650°C的玻璃粉末的混合物中，添加粘合劑而製造的銀玻璃導電性料漿，通過絲網印刷以約30iim的厚度形成到層疊體10側面的外部電極4形成面上，在70(TC下進行30分鐘的焙燒，由此形成外部電極4。之後，在外部電極4中連接了引線後，對元件外周的矽樹脂進行基於浸漬的真空除泡，形成了被覆樹脂21.此時，添加有丙烯顆粒的導電性料漿所形成的多孔質金屬層2a'的側端部與所述層疊體10的側面之間的區域中，被覆樹脂21的一部分(內設樹脂21a)平均以lOym的深度侵入。進而，多孔質金屬層2a'的空隙率平均為80X，其他金屬層2b的空隙率平均為10%。另外，多孔質金屬層2a'為金屬組成物構成的部分金屬層散布而成的島狀分布。之後，經由引線對正極與負極的外部電極4加載15分鐘的3kV/mm的直流電場，進行極化處理，製造出使用了圖13所示的層疊型壓電元件的壓電調節器(試料編號10)。另一方面，製造除了不使用印刷有金屬層2a用導電性料漿的印刷電路基板，而只層疊有都是印刷有金屬層2b用導電性料漿的印刷電路基板的層疊體之外，都與上述相同的壓電調節器(試料編號11)。該調節器中，被覆樹脂沒有進入到壓電體層間的一部分區域中。給上述所得到的各層疊型壓電調節器加載160V的直流電壓，得到絕電阻30MQ。進而，在溫度851:，溼度85%RH下，以100Hz的頻率對該層疊型壓電調節器加載0+160V的交流電壓，進行連續驅動到1X109次的實驗。所得到的結果如表5所示。[表5]tableseeoriginaldocumentpage36如表5所示，本發明的層疊型壓電調節器(試料編號10)中，得到了與連續的驅動前相同的絕緣電阻30MQ，另外，被覆樹脂中沒有發現異常。另外，本發明的權利要求之外的試料編號11的被覆樹脂的一部分(內設樹脂)沒有進入到金屬層中的層疊型壓電調節器中，初始的絕緣電阻與本發明的層疊型壓電調節器相同，但1X10"欠驅動後，矽樹脂的一部分存在燒損痕跡，且絕緣電阻降低到1MQ以下。認為是試料編號11的層疊型壓電調節器中，被覆樹脂的一部分(內設樹脂)沒有進入到金屬層中，因此被覆樹脂與層疊體的側面的接合強度弱，結果，被覆樹脂的一部分從層疊體側面剝離，環境中的水分進入到剝離後的部分中，該水分使得絕緣電阻降低。實施例6接下來，製造除了對被覆樹脂21的一部分(內設樹脂)所進入的金屬層2a的狀態進行了變更之外，都與實施例5相同的層疊型壓電調節器。另外，被覆樹脂21的一部分(內設樹脂)所進入的金屬層2a不導通的試料編號的層疊型壓電元件中，考慮到該不導通的金屬層2a的層數，而增加了導通的沒有被被覆樹脂21侵入的金屬層2b的層疊。表6中示出了評價結果。另外，表6中的"空隙率A"，表示被覆樹脂的一部分進入的金屬層的空隙率。表6中的"空隙率B"，表示在層疊方向上與被覆樹脂的一部分進入的金屬層相鄰的兩側的金屬層的空隙率。表6中的"金屬層的狀態"，表示被覆樹脂的一部分所進入的金屬層是否由多個散布的部分金屬層構成，"o"的試料表示由部分金屬層構成，"-"的試料表示不存在部分金屬層。表6中的"金屬層的配置狀態"，是指被覆樹脂的一部分所進入金屬層是否在層疊方向上被規則地設置，"-"的試料表示該金屬層被隨機設置。表6中的"ll族金屬的比率"，表示構成被覆樹脂的一部分所進入的金屬層的周期表第ll族金屬，與構成與該金屬層相鄰的兩側的金屬層的周期表第11族金屬的比率(被覆樹脂的一部分進入的金屬層/兩側的金屬層)。[表6]試料編號被覆樹脂的一部分進入壓電體層間金屬層的空隙率A(%)金屬層的空隙率B(%)金屬層的狀態金屬層的配置狀態11族金屬的比率初始的絕緣電阻1X109次驅動後的絕緣電阻10〇8020〇每20層配置1.230MQ30MQ12〇4040130MQ30MQ13〇4020130MQ30MQ14〇8020〇130MQ30MQ15〇8020〇130MQ30MQ16〇8020〇每20層配置130MQ30MQ根據表6，作為本發明的層疊型壓電調節器的試料編號10U2、13、14、15、16，即使在被連續驅動了1X109次的情況下，也得到了與連續的驅動前相同的絕緣電阻，是一種具備高可靠性的壓電調節器。[O304]實施例7首先，製作混合有以平均粒徑為0.4iim的以鈦酸鋯酸鉛PZT為主成份的壓電陶瓷的輔助性燒制的粉末、粘合劑、以及可塑劑的料漿，通過刮刀法製造成為厚150iim的壓電體層l的陶瓷印刷電路基板。將銀-鈀合金(銀95%質量比_鈀5%質量比)中添加有粘合劑的導電性料槳，通過絲網印刷法印刷在該陶瓷印刷電路基板的單面而形成的薄片層疊300張進行煅燒。煅燒在保持為80(TC後，以IOO(TC進行煅燒，研磨成一邊為8mm，長100mm的形狀。接下來，製作在平均粒徑為2iim的銀粉末，與剩餘部分以平均粒徑2ym的矽為主成分且軟化點為640°C的非結晶玻璃粉末的混合物中，添加粘合劑，並對銀粉末與玻璃粉末的混合量、粘度進行了各種各樣的變更的銀玻璃導電性料漿，絲網印刷後進行焙燒。進而再次準備銀玻璃導電性料漿，對已經製造完畢的內層側電極，細微變更了位置後，再次絲網印刷銀玻璃導電性料漿後，作為外設電極進行焙燒，重複以上操作，製造多個電極材料構成的外部電極15。之後，在外部電極15中連接引線，經由引線對正極與負極的外部電極15加載15分鐘的3kV/mm的直流電場，進行極化處理，製造出使用了層疊型壓電元件的壓電調節器。給所得到的層疊型壓電調節器加載170V的直流電壓，所有的壓電調節器中，在層疊方向得到變位量。進而，在室溫下以150Hz的頻率對該層疊型壓電調節器加載0+170V的交流電壓，進行連續驅動到1X10"欠的實驗。所得到的結果如表7所示。另外，表7中的長度L是指將分離部投影到層疊體的側面時的長度，角度e表示將外部電極與層疊體的側面相接觸的部分和分離部之間的邊界，與分離部的尖端連接起來的直線，與層疊體的側面所形成的角度，距離H表示分離部的尖端與層疊體的側面之間的距離。[表7]tableseeoriginaldocumentpage39tableseeoriginaldocumentpage40接合邊界部中產生大應力。由此，與外部電極15相接合的層疊體10，其邊界部中產生龜裂，漸漸發展成橫斷層疊體10的龜裂，電絕緣性惡化到1Xl(^Qcm以下。與此相對，本發明的實施例的試料編號1722，即使被連續驅動了1X10"欠後，元件變位量也沒有變化，具有作為壓電調節器所必須的實效變位量，電絕緣性也良好地保持在lX1012Qcm以上，能夠製造出具備優秀的持久性的壓電調節器。特別是試料No.1922，即使被連續驅動了1X109次後，元件變位量也高達60ym以上，是一種可靠性優秀的層疊型壓電元件。4權利要求一種層疊型壓電元件，具有多個壓電體層和多個內部電極，且具備交替層疊了所述壓電體層和所述內部電極的層疊體；和配置在所述層疊體的側面的一對外部電極，在所述外部電極的周邊部，越到周邊側其厚度逐漸變薄，且形成有與所述層疊體的側面分離的分離部，2.根據權利要求1所述的層疊型壓電元件，其特徵在於所述分離部與所述層疊體的側面之間存在空隙。3.根據權利要求1所述的層疊型壓電元件，其特徵在於所述分離部與所述層疊體的側面之間的至少一部分中隔有絕緣性樹脂。4.根據權利要求3所述的層疊型壓電元件，其特徵在於所述分離部與所述層疊體的側面之間隔有所述絕緣性樹脂。5.根據權利要求3所述的層疊型壓電元件，其特徵在於所述絕緣性樹脂，填充在所述分離部與所述層疊體的側面之間。6.根據權利要求3所述的層疊型壓電元件，其特徵在於所述絕緣性樹脂是矽樹脂。7.根據權利要求1所述的層疊型壓電元件，其特徵在於所述外部電極由在與所述層疊體的側面垂直的方向上層疊的多個層構成，且外側層的熱膨脹係數比內側層的熱膨脹係數大。8.根據權利要求7所述的層疊型壓電元件，其特徵在於所述多個層中與所述層疊體的側面相鄰的層，比其他層更向周邊側突出。9.根據權利要求7所述的層疊型壓電元件，其特徵在於所述分離部僅由與所述層疊體的側面相鄰的層構成。10.根據權利要求1所述的層疊型壓電元件，其特徵在於所述分離部投影到所述層疊體的側面上的長度為lOym以上。11.根據權利要求1所述的層疊型壓電元件，其特徵在於將所述外部電極與所述層疊體的側面相接觸的部分和所述分離部之間的邊界，與所述分離部的尖端連接起來的直線，與所述層疊體的側面所形成的角度為1度以上45度以下。12.根據權利要求1所述的層疊型壓電元件，其特徵在於所述分離部的尖端與所述層疊體的側面之間的距離，為1Pm以上50iim以下。13.—種噴射裝置，具有具備噴出孔的容器；禾口權利要求112中任意一項所述的層疊型壓電元件，所述噴射裝置構成為通過所述層疊型壓電元件的驅動，使得所述容器內填充的液體從所述噴射孔噴出。14.一種燃料噴射系統，具有存儲高壓燃料的公共管道；權利要求13中所述的噴射裝置，其噴射該公共管道中所存儲的燃料；向所述公共管道提供高壓燃料的壓力泵；以及向所述噴射裝置提供驅動信號的噴射控制單元。全文摘要提供一種即使在高電場、高壓力下長期連續驅動的情況下，外部電極也不會從層疊體表面剝離，持久性優秀的層疊型壓電元件及其製造方法與噴射裝置。該層疊型壓電元件包括具有多個壓電體層(1)與多個金屬層(2)，由壓電體層(1)與金屬層(2)交互層疊而成的層疊體(10)，以及覆蓋層疊體(10)的側面的一部分的外部電極(覆蓋部件)(4)，多個金屬層(2)中的至少1個金屬層(2a)，是與在層疊方向上與該金屬層(2a)相鄰的兩側的金屬層(2b)相比空隙較多的多孔質金屬層(2a)，外部電極(4)的一部分，進入到在層疊方向上與該多孔質金屬層(2a)相鄰的兩個的壓電體層(1，1)之間。文檔編號F02M51/00GK101728479SQ200910254110公開日2010年6月9日申請日期2006年10月26日優先權日2005年10月28日發明者中村成信,加藤剛,小野進,長崎浩一申請人:京瓷株式會社