磁複製裝置的製作方法

2023-05-20 03:04:51 2

專利名稱：磁複製裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種磁複製裝置，是一種從載持有信息的主載體把其所載持的信息以磁方式複製到從屬媒體上的磁複製裝置。
作為這種磁複製方法，已在例如特開昭63-183623號公報、特開平10-40544號公報、特開平10-269566號公報等上公開。
然而，在使用上述的磁複製方法進行磁複製時，由於反覆地使用主載體，使主載體的表面附著灰塵，造成表面汙染。附著在該主載體上的灰塵例如有因周圍環境所產生的灰塵及因主載體與從屬媒體的接觸而產生的主載體及從屬媒體的磨損渣等。
當在主載體上附著有這些灰塵的狀態下進行磁複製時，在以灰塵附著部為中心到所殃及到的周圍的範圍內，不能確保主載體與從屬媒體的緊密接觸，不能進行規定的信號電平的圖形複製，從而導致磁複製質量的下降。在記錄的信號是伺服信號的情況下，由於不能獲得充分的尋跡功能，導致了可靠性的下降。
上述的附著灰塵在主載體與從屬媒體的反覆緊密接觸的作用下進一步增強了在主載體表面上的附著力，造成對以後進行磁複製的所有從屬媒體都發生同樣的或更嚴重的圖形複製不良，由此將導致出現大量的不良品。並且，這些附著物將會使主載體表面發生變形，喪失正常的功能。
另外，鑑於上述的問題，特開2000-285637公報提出了一種關於把設置在旋轉的清洗盤上的清洗襯墊壓在主載體的表面來除去附著的灰塵的清洗技術。另外，也可以考慮通過清洗來除去附著物。
另外，在從屬媒體是硬碟或高密度軟盤那樣的圓盤狀媒體的情況下，並在把圓盤狀的主載體緊密接觸這種從屬媒體的一面或兩面的狀態下，是在其單面側或兩面側配置由電磁鐵裝置、永久磁鐵裝置構成的施加磁場裝置，來施加複製用的磁場。但為了提高該磁場複製的複製質量，如何使從屬媒體與主載體形成無間隙的緊密接觸是致關重要的問題。即，如果不能形成緊密接觸，則會出現磁複製遺漏的區域，此磁複製的遺漏將會導致被複製到從屬媒體上的磁信息的信號丟失，使信號質量下降，如果所記錄的信號是伺服信號，則將導致不能充分獲得尋跡功能，使可靠性下降的問題。
對於磁記錄媒體，一般在需要增加信息量的同時還希望有可記錄大量信息的大容量且價格便宜的記錄媒體，並且更希望有一種可在短時間內從必要的部位讀出信息的即所謂的高訪問速度的媒體。作為其中的一例人們知道有硬碟和高密度軟盤，為了實現其大容量，一種使磁頭對很窄的磁軌進行準確的尋跡，並以高S/N比進行信號再生的所謂尋跡伺服技術起著決定性的作用。在磁碟的1周內，以一定的間隔記錄尋跡用的伺服信號、地址信息信號、再生時鐘信號等，即所謂的預格式化。
設定磁頭通過讀取這樣的預格式化信號，並根據該信號修正自身的位置，來實現在磁軌上的正確行進。現在的預格式化是通過使用磁碟專用的伺服信號寫入裝置逐盤或逐磁軌地記錄伺服信號來實現。
但是，伺服信號寫入裝置價格昂貴，而且作成預格式化耗費時間，該工序佔有製造成本的很大比重，因此，人們希望降低其成本。
另一方面，出現了使用磁複製方法而不用逐磁軌進行寫入來實現預格式化的方案。這個磁複製的方法已在例如特開昭63-183623號公報、特開平10-40544號公報、特開平10-269566號公報等中公開。這種磁複製是在主載體與從屬媒體緊密接觸的狀態下，通過施加複製用磁場，來進行對應主載體載持的信息(例如伺服信號)的磁化圖形的複製，由於可進行主載體與從屬媒體的相對位置不發生變化的靜止狀態下的記錄，所以能夠進行正確的預格式化，並且只需極短的記錄時間。
另外，在從屬媒體為硬碟或高密度軟盤這樣的圓盤狀磁記錄媒體的情況下，在以該從屬媒體的單面或兩面與圓盤狀的主載體緊密接觸的狀態下，通過在其單面側或其兩面側配置的由電磁鐵裝置、永久磁鐵裝置構成的磁場形成裝置來施加複製用的磁場。這時，為了在從屬媒體的磁軌方向施加磁場，使從屬媒體與主載體緊密接觸，或相對地旋轉磁場，把磁化圖形複製到圓盤狀的從屬媒體的磁軌全周上。
在進行這樣的磁複製時的重要問題之一是，需要對主載體和從屬媒體進行精確的定位。尤其是，對於硬碟等的從屬媒體，其在磁複製後被裝入驅動裝置內時的旋轉中心必須與複製記錄的磁化圖形的中心保持嚴格的一致。然而在製造主載體時，很難做到使複製信息的圖形形成中心與主載體的形狀中心形成精確的一致，例如即使在中央部形成定位孔，也會出現加工精度不夠的情況。
鑑於上述的問題，如特開平11-175973號公報提出的那樣，在使主載體與從屬媒體緊密接觸時，利用圖象裝置進行兩者的定位。具體是，首先，把從屬媒體放置在輪盤上，然後在其上面對應圖形載置具有在透明部分上形成的標記的主載體，然後進行主載體的位置調整，直到圖象裝置觀察到標記與從屬媒體的位置形成一致後，再使兩者緊密接觸。
這裡，在對主載體進行清洗時，必須把該主載體從磁複製裝置上取下，在通過各種方法除去附著物之後，再安裝到裝置中，所以存在著主載體的定位操作複雜，複製運行率低的問題。
尤其是，在主載體上形成的伺服圖形等的複製圖形，相對記錄容量的增大變得越來越小，由於如果圖形的中心位置與從屬媒體的旋轉中心未達到高精度的一致，則不能確保規定的功能，又由於單純的定位達不到精度，因此例如必須使用測定顯微鏡等觀察複製圖形，進行相對複製裝置的位置調整那樣的複雜的操作。由於這樣的裝取主載體的操作耗費時間，所以導致了生產效率低的問題。
另外，在對清洗後的主載體進行運輸或安裝時，會附著空氣中漂浮的灰塵，或因用手或器具來保持主載體，而使附著在手或器具上的灰塵又附著在清洗後的主載體上，因此可能產生複製不良的現象。
本發明的目的是解決上述的問題，其目的在於提供一種容易更換主載體的提高了複製運轉效率和生產效率的磁複製裝置。
另外，在以往的磁複製裝置中，為了提高從屬媒體與主載體的緊密接觸性，通過按壓機構施加按壓力，把從屬媒體壓向主載體，並且通過吸出兩者接觸面上的空氣來減少殘留在接觸面上的空氣。
這時，可考慮配置固定主載體的下側倉和把從屬媒體壓向主載體的上側倉，使下側倉的上面和上側倉的下面通過O環等的密封部件形成接觸，構成兩倉之間的密封。但這樣的結構，當提高其內部真空度時，密封部件會被損壞，同時也提高了按壓力，因此對真空度和接觸壓力不能進行相互獨立地控制。因此，不能獲得最佳的真空度和接觸壓力，將會造成緊密接觸的不良、縮短主載體的使用壽命等。
即，當增大從屬媒體對主載體的按壓力時，在主載體上的對應複製信息而形成的微細的凹凸圖形容易發生損傷，造成耐久性不良的問題。另外，當降低真空度時則在接觸面上容易殘留空氣。
鑑於上述的問題，本發明的另一目的是提供一種通過在從屬媒體與主載體的接觸狀態下保持最佳的接觸壓力和真空度，提高緊密接觸性，從而可進行良好的磁複製的磁複製裝置。
另外，在特開平7-78337號公報中提出了一種通過用由彈性體構成的壓合機構對主載體的全體背面施加均勻的壓力，來提高從屬媒體與主載體的緊密接觸性的技術，但是這種解決方案，由於是用彈性體壓在從屬媒體的全體面上，所以作為整體加大了緊密接觸所需的按壓力，因此存在著使裝置大型化等的問題。
例如，為了保持從屬媒體與主載體之間的緊密接觸所需要的壓力為1～50N/cm2(0.1～5.0kg/cm2)，在從屬媒體為3.5時磁碟時，為了獲得這個壓力，則在全體上必須要有70～3540N(7～354kg)的壓力。為了承受這個壓力，則必須對磁複製裝置進行強度的設計，因此形成裝置的大型化。另外，例如使用由環型頭電磁鐵構成的磁場形成裝置施加複製用磁場的情況下，由於所述的使從屬媒體與主載體壓力接觸的接觸裝置的厚度增大，使得施加複製用磁場的磁極難於設置在接近從屬媒體與主載體的接觸面的部位，因此，增大了漏磁磁場強度，不能施加具有規定的磁場強度分布的磁場，因此導致不良的複製。
另外，即使均勻地把從屬媒體全體面按壓在主載體上，但由於在實際中的各種變形及殘留的空氣等，也難於使全面形成均勻的緊密接觸，從而發生局部的接觸不良，導致不良的複製。尤其是複製信息不是均勻地形成在主載體的全面上，而是如後述的圖3(B)所示的那樣，例如在伺服圖形P的情況下，是大致放射狀地形成在各個局部，由此可見，只要確保在複製圖形部分的緊密接觸性，便可進行良好的複製。
為了解決這樣的問題，本發明的目的又一是提供一種不會施加過大按壓力、確保在磁複製中的從屬媒體與主載體的接觸壓力、提高緊密接觸性及提高複製信號質量的磁複製用彈性按壓部件。
另外，在進行所述的磁複製時，重要的問題是需要進行主載體與從屬媒體的精確定位。尤其是對於硬碟等的從屬媒體，必須要使其在磁複製後被安裝在驅動裝置內時的旋轉中心與複製記錄的磁化圖形中心保持精確的一致，如果發生大的偏移，在複製記錄的信號為伺服信號的情況下，則不能充分獲得尋跡的功能。
在進行主載體與從屬媒體的定位時，一種通過把主載體的中心孔及從屬媒體的中心孔嵌裝在設置在保持部件的中心銷上，來進行定位的構造，從結構方面講是理想的。
在進行上述的定位時，如果主載體與從屬媒體的中心位置發生偏移，則除了造成上述的問題以外，還有在把兩者收容在保持部件中使其形成緊密接觸時，從屬媒體或主載體的中心孔與中心銷形成偏心的接觸，因此將會導致該主載體或從屬媒體的損壞。另外，如果主載體與從屬媒體的中心位置發生偏移，則在使兩者緊密接觸時，有可能形成不均勻的接觸力，所以難於實現在全周上的均勻接觸。並且，由於形成偏移的邊緣部在接觸力的作用下被壓在對方的端部上，會形成滑痕，因此存在著使用壽命短等問題。
本發明的另一目的是解決這樣的問題，提供一種使主載體與從屬媒體形成緊密接觸，可進行良好的磁複製的磁複製裝置。
另外，在進行上述的主載體的位置調整中，在每次更換從屬媒體進行磁複製時，由於使用圖象裝置來進行主載體與從屬媒體的定位，所以存在著該定位動作佔用的大量的時間致使磁複製效率低的問題。
在通常的情況下，是由一片主載體對多片從屬媒體依次地進行磁複製，為了提高複製效率，理想的是預先將主載體置於磁複製裝置內，然後把從屬媒體送到與該主載體緊密接觸的位置上，使兩者緊密接觸，然後施加複製用磁場。這時，由於在像硬碟那樣的從屬媒體中設置有用於安裝到驅動器旋轉軸上的中心孔，並且其中心位置與旋轉中心一致，通過由從屬保持軸(定位軸)保持住上述中心孔，可確保定位的精度。
本發明的又一目的是解決上述的問題，提供一種使主載體與從屬媒體緊密接觸，改善進行磁複製時的定位精度，進行高生產效率的磁複製的磁複製方法。
另外，在施加所述複製用磁場時，可考慮使磁場施加裝置固定，而使緊密接觸的主載體和從屬媒體旋轉的第1種方法和把緊密接觸的主載體和從屬媒體固定，使磁場施加裝置旋轉的第2種方法。
第2種方法在磁場施加裝置為電磁鐵裝置的情況下等，除了磁場生成裝置還要設置旋轉驅動機構，因此，增大了裝置的體積，無論從設備的角度看還是從成本的角度看都是不理想的。對此，在第1種方法中則不存在上述第2種方法的問題，但在主載體與從屬媒體的緊密接觸的狀態下，在對主載體和從屬媒體可分別更換地進行固定並使其與緊密接觸的機構進行一體旋轉時，必須使各個旋轉軸的旋轉中心保持精確的一致。
例如，使保持有主載體的按壓基盤進行相對於保持有從屬媒體的旋轉基盤進行接觸分離移動，使主載體與從屬媒體形成緊密接觸，在使按壓基盤進行與旋轉基盤一體的旋轉時，如果發生了兩者的旋轉中心的偏移，則在主載體與從屬媒體之間發生微小的滑動，從而不能實現高精度的磁複製。另外，在從屬媒體與主載體的接觸力強，在進行旋轉時沒有發生從屬媒體與主載體的滑動的情況下，雖然可維持複製的精度，但旋轉中心的偏移會導致裝置中的軸及軸承等的反覆的機械變形，導致驅動阻抗的增大，零部件的磨損、疲勞所致的強度降低等，隨著使用次數的增加將會造成對裝置的耐久性不良影響。
並且，在磁複製中，必須在從屬媒體和磁複製用主載體兩者的旋轉中心位置被確定在正確的位置的狀態下，使從屬媒體的一面或兩面的記錄面與主載體的複製信息載持面緊密接觸，因此，人們希望這種操作簡而易行。
本發明鑑於上述的各點，目的在於提供一種可實現從屬媒體和主載體的緊密接觸動作及旋轉動作而不形成在兩者之間的滑動及裝置中的部件位置偏移的磁複製方法。
所述貼靠裝置具有在複製位置上按壓從屬媒體，使其與被保持在主固定臺座上的主載體形成緊密接觸的按壓部件。
另外，理想的是，具有多個所述的主固定臺座，並且具有依次地把其移動到複製位置的移送臺。此時，在各個主固定臺座上預先定位保持好主載體，然後裝載到移送臺上，對每個固定臺座來更換主載體。
最好還具有用於除去被保持在所述主固定臺座上的主載體的附著物的清洗裝置。此時，也可以通過主載體的清洗裝置本身或另外設置的清洗裝置，進行從屬媒體的清洗。清洗裝置使用超聲波清洗頭可達到良好的效果，另外也可以使用超聲波振蕩氣體的吹風，離子風(除電氣體)、清潔氣體的吹風等。在馬上要進行複製之前清洗主載體及從屬媒體，必要時，在複製後立即進行主載體的清洗。
也可以設置把從所述移送臺上取下的主固定臺座與主載體一同清洗的清洗裝置。作為這樣的清洗裝置，可進行由超聲波清洗頭施加了兆級聲波(megasonic)振動的液體清洗、在由超聲波振蕩頭施加振蕩的清洗槽中的液體清洗或在氣體中的超聲波振蕩清洗、利用施加超聲波振蕩的氣體吹風、用滑動頭進行的滑動清洗、在滑動清洗後的超聲波清洗、受激準分子雷射照射的燒去清洗及等離子清洗等。
另外，也可以用保持部件保持住從屬媒體，在進行磁複製之前的工序中把從屬媒體與保持部件一同進行清洗。
另外，理想的是，本發明的磁複製裝置，包括使具有接受複製的磁記錄部的從屬媒體與載持有信息信號的主載體形成密閉狀態接觸的貼靠裝置、施加把從屬媒體壓在所述主載體上的按壓力的按壓裝置、對所述貼靠裝置的密閉空間進行減壓，使其形成一定真空度的減壓裝置及施加複製用磁場的磁場施加裝置，其特徵在於在進行複製時，分別獨立地控制由所述按壓裝置的按壓力形成的主載體與從屬媒體間的接觸壓力和由所述減壓裝置所形成的真空度。
此時，最好是在先控制好真空度的狀態下，再進行按壓力的控制。例如，根據空氣排出量控制真空度，利用上下倉的位置控制按壓力。
另外，在使主載體與從屬媒體緊密接觸時，最好把周圍的真空度控制在50～100kPa、把貼靠壓力控制在0.01～49N/cm2(1～5000gf/cm2)。
另外，理想的是，本發明的磁複製裝置，包括使具有接受複製的磁記錄部的從屬媒體與載持有信息信號的主載體形成密閉狀態接觸的貼靠裝置、施加把從屬媒體壓在所述主載體上的按壓力的按壓裝置、對所述貼靠裝置的密閉空間進行減壓，使其形成一定真空度的減壓裝置及施加複製用磁場的磁場施加裝置，其特徵在於所述貼靠裝置具有下側倉、相對該下側倉可進行接觸分離移動的上側倉、與平行於兩倉接觸分離移動方向的面相滑動接觸，密封上側倉與下側倉的內部空間的密封部件。
另外，理想的是，本發明的磁複製用彈性按壓部件，是在通過使在各個部分上形成對應複製信息的複製圖形的主載體的信息載持面與接受複製的從屬媒體的一面緊密接觸，施加複製用磁場，來進行磁複製時，用於按壓所述從屬媒體的背面的按壓部件，其特徵在於與所述從屬媒體的背面接觸的按壓面，被形成為主要按壓在與所述主載體的複製圖形相接觸部分上的凹凸形狀。
此時，理想的是，所述彈性按壓部件，在與所述從屬媒體的背面接觸的按壓凸部上構成位於內周的內環部、位於外周的外環部、連接該內環部和外環部的與主載體的伺服信號圖形相對應的多個放射部。
另外，作為磁複製方法，是用所述彈性按壓部件上具有的凹凸形狀的按壓面，把基板上部分具有對應於複製信息的複製圖形的主載體與具有接受複製的磁記錄部的從屬媒體從背面對複製圖形的部分主要進行按壓、使其緊密接觸並施加複製用磁場，把對應於主載體複製圖形的磁化圖形複製在從屬媒體上。
最好在進行磁複製時，對於從屬媒體的磁化，如果是面內記錄方式，則向面內磁軌方向，如果是垂直記錄方式則向垂直方向預先進行初始直流磁化，然後使其與主載體緊密接觸，向與其初始直流磁化方向大致相反的磁軌方向或垂直方向施加複製用磁場，進行磁複製。
另外，本發明的磁複製裝置，是使形成有對應複製信息的圖形的圓盤狀主載體與接受複製的圓盤狀的從屬媒體的記錄面形成對峙接觸並收容在保持體內，然後施加複製用磁場，進行磁複製的磁複製裝置，其特徵在於對所述主載體和從屬媒體，根據設置在保持體上的中心銷進行中心位置的定位，使所述主載體與從屬媒體的中心位置的偏心量小於100μm。
此時，理想的是，主載體的圖形中心位置與從屬媒體的中心位置的偏心量應小於50μm。
另外，本發明的磁複製方法，是一種使形成有對應複製信息圖形的圓盤狀主載體的信息載持面與接受複製的圓盤狀磁記錄媒體的從屬媒體形成緊密接觸，施加複製用磁場，進行磁複製的磁複製方法，其特徵在於在定位保持所述從屬媒體的中心孔的從屬保持軸的外周部上，可調整位置地配置所述從屬媒體，把該主載體的圖形中心位置定位在所述從屬保持軸的中心位置上，並固定該主載體，然後把從屬媒體供給到所述從屬保持軸上，並進行主載體與從屬媒體的定位。
此時，使用測定顯微鏡來觀測所述主載體的圖形，理想的是該圖形的中心位置與所述從屬保持軸的中心位置重合。另外，也可以在所述主載體上在形成所述圖形的同時設置定位用的標記，通過用測定顯微鏡觀測該標記來進行所述圖形中心位置與所述從屬保持軸的中心位置的定位。
另外，實施本發明的磁複製方法的磁複製裝置，是基於一種使形成有對應複製信息的圖形的、圓盤狀的主載體的信息載持面，與接受複製的圓盤狀的磁記錄媒體的從屬媒體緊密接觸，通過施加複製用磁場來進行磁複製的的磁複製裝置；具有主載體側的第1基盤、從屬媒體側的第2基盤、被設置在第1基盤的中心位置上的並且定位保持從屬媒體中心孔的從屬保持軸、及被設置在所述從屬保持軸外周部的第1基盤上並可進行XY方向上的位置調整的主保持部件；理想的是把所述主保持部件以所保持的主載體的圖形中心位置與所述從屬保持軸的中心位置形成一致的狀態進行固定。
也可以設置可自由拆裝的所述第1基盤，把該第1基盤從複製位置取下來，進行所述主載體的定位。此時，最好在用測定顯微鏡對所述主載體的圖形或所述標記的觀測下，進行圖形中心位置與所述從屬保持軸中心位置的調整。
所述測定顯微鏡，可使用例如具有可向XY方向移動的平臺，當在觀察觀察部並繪製有多個點時，可畫出近似圓並可求出中心位置的顯微鏡。把所述第1基盤放置在所述平臺上，在該主保持部件上保持主載體，然後求出從屬保持軸的中心位置，然後同樣地根據主載體的圖形或標記求出圖形的中心位置，通過在XY方向調整主載體相對從屬保持軸的位置使兩者達到一致。
並且，所述磁複製裝置，還具有按壓如上所述地進行了位置調整的主載體和從屬媒體，並使其形成緊密接觸的加壓裝置、及對緊密接觸的從屬媒體及主載體施加複製用磁場的磁場施加裝置。也可以通過吸引固定等將主載體固定在主保持部件上。
磁場施加裝置可使用電磁鐵裝置或永磁鐵裝置，向主載體與從屬媒體緊密接觸的部分的一側或兩側施加複製用磁場，使形成緊密接觸的主載體和從屬媒體旋轉或使複製用磁場旋轉，來進行磁複製。
另外，作為本發明的理想的磁複製方法，是基於使載持有信息信號的主載體與作為接受複製的從屬媒體的磁記錄媒體形成緊密接觸，在使其進行旋轉的同時施加複製用磁場，進行磁複製的磁複製方法，其特徵在於在通過加壓裝置的按壓使所述主載體與從屬媒體形成緊密接觸、通過旋轉裝置的旋轉驅動使述主載體與從屬媒體進行一體的旋轉時，所述加壓裝置不阻礙旋轉方向上的旋轉力。
此時，加壓裝置是用於使從屬媒體或主載體在相互接觸或分離的方向上移動，使兩者形成緊密接觸，理想的是從屬媒體及主載體分別被保持在承受按壓力的基盤上。另外，旋轉裝置用於使從屬媒體與主載體在相互緊密接觸的狀態下進行一體的旋轉，理想的是通過兩者的接觸力來傳導旋轉力或通過動力傳導機構來傳導旋轉力。
另外，用於實施本發明的磁複製方法的理想的磁複製裝置，是在使載持有信息信號的主載體與作為接受複製的從屬媒體的磁記錄媒體形成緊密接觸、通過在使其旋轉的同時施加複製用磁場來進行磁複製的磁複製裝置；包括保持所述從屬媒體或主載體並被驅動旋轉的旋轉基盤、把主載體或從屬媒體按壓在所述從屬媒體或主載體上的按壓基盤、保持所述按壓基盤並可相對所述旋轉基盤進行接觸分離移動的加壓主體、及不阻礙所述按壓基盤與加壓主體之間的旋轉方向的旋轉力的按壓力傳導機構。
按壓力傳導機構，由通過軸承滾珠等形成壓力接觸的推力軸承構造，或由噴出加壓空氣的空氣間隙構造構成。在這種情況下，理想的是，按壓基盤通過接觸力或旋轉力傳導機構進行與旋轉基盤一體的旋轉，而加壓主體則在旋轉方向上固定。旋轉力傳導機構也可以兼用於旋轉基盤與按壓基盤的定位。設置驅動旋轉基盤的旋轉軸旋轉的機構，並通過旋轉基盤使按壓基盤旋轉。
此時，也可以在旋轉基盤上定位保持從屬媒體或主載體，在按壓基盤上定位保持主載體或從屬媒體，在旋轉基盤與按壓基盤之間設置兩者的定位機構，由此來進行從屬媒體與主載體的定位。
另外，本發明磁複製裝置，理想的是，在定位保持所述從屬媒體的旋轉基盤或按壓基盤上，設置定位銷或者定位孔，而在被保持在按壓基盤或旋轉基盤上的主載體上設置定位孔或者定位銷，設置由此構成的定位機構。
這時，設置大於從屬媒體的主載體，在與從屬媒體接觸的部分以外的部分上，可以配置保持有從屬媒體的旋轉基盤或按壓基盤與主載體的定位機構。另外，在中心部上也可以配置保持有從屬媒體的旋轉基盤或按壓基盤與主載體的定位機構。定位機構在一側為定位銷，在另一側為定位孔，最好在定位銷的前端形成圓錐形狀。理想的是在外周部設置多個定位銷或在中心部設置1個定位銷。
作為所述施加複製用磁場的磁場施加裝置，雖然可使用電磁鐵裝置或永磁鐵裝置，考慮到對磁場強度等的條件的設定調整，最好是使用電磁鐵裝置。磁場施加裝置，在沿從屬媒體的半徑方向延伸的範圍內生成與磁軌方向平行的磁場，旋轉使從屬媒體與主載體緊密接觸的機構，對圓盤狀的從屬媒體的全體面進行磁化圖形的複製。
有把主載體緊密接觸所述從屬媒體的一面，逐次地進行單面複製和把主載體分別緊密接觸在從屬媒體的兩面上、對兩面同時進行複製的兩種情況。在單面逐次複製的情況下，在旋轉基盤上保持從屬媒體(或主載體)，在按壓基盤上保持主載體(或從屬媒體)。在兩面同時複製的情況下，在旋轉基盤上保持第1主載體，在按壓基盤上保持第2主載體，將從屬媒體夾持在兩者之間。由此，使從屬媒體的一面或兩面與主載體形成緊密接觸，在其一側或兩側配置磁場施加裝置，進行複製用磁場的施加。
另外，作為所述的磁複製方法，理想的是，首先對從屬媒體進行向磁軌方向的直流磁化的初始磁化，使該從屬媒體與在對應複製信息的微細凹凸圖形上形成磁性層的主載體緊密接觸，通過向與從屬媒體面的初始直流磁化方向大致相反的方向施加複製用磁場，來進行磁複製。所述信息可以是伺服信號。
依照如上所述的本發明，具有定位保持主載體的主固定臺座和使從屬媒體與主載體緊密接觸的貼靠裝置，並通過每個主固定臺座來更換主載體，省略了在只更換主載體時的對貼靠裝置的定位，由於縮短了主載體的更換操作時間，所以可提高複製運轉效率，並提高生產效率。
另外，在具有多個主固定臺座，並且具備依次把其移動到複製位置上的移送臺的情況下，可進一步提高更換主載體時的工作效率，可提高磁複製的運轉效率。
並且，如果進一步具備用於除去被保持在主固定臺座上的主載體的附著物的清洗裝置，並在進行複製之前對主載體進行清洗，則可除去在更換主固定臺座時或搬運過程中附著在主載體表面上的灰塵，可儘量減少在複製時的灰塵附著，可防止不良的複製，並可進行質量穩定的磁複製及提高複製的可靠性。
另一方面，如果進一步具備把從移送臺上取下的主固定臺座與主載體一同進行清洗的清洗裝置，則在通過如上所述地除去附著物，防止複製不良的同時，在更換時及清洗時不需要進行主載體的拆裝，所以同樣地提高了工作效率。
另外，在本發明中，在通過貼靠裝置使主載體與從屬媒體形成密封狀態下的緊密接觸，通過按壓裝置施加把從屬媒體按壓在主載體上的按壓力，通過減壓裝置對密封空間進行減壓來獲得一定的真空度時，如果對由按壓裝置的按壓力構成的主載體與從屬媒體之間的接觸壓力和通過減壓裝置形成的真空度進行獨立的控制，則可獲得最佳的接觸條件，可確保主載體與從屬媒體在全體面上的緊密接觸，可防止因緊密接觸狀態不良而導致的信號丟失，可實現均勻性良好的複製，並且，即使在真空度上升時也不會使按壓力過度增大，從而可防止主載體耐久性的下降，並可通過提高真空度來除去殘留在接觸面上的空氣。
尤其是在通過從密封空間排出空氣，先進行真空度控制的狀態下，再控制接觸壓力使主載體與從屬媒體緊密接觸時，在兩者的接觸面上不會殘留空氣，並可提高緊密接觸性，可提高複製等級。
另外，貼靠裝置如果具有與在平行於可進行相互接觸分離移動的下側倉和上側倉的接觸分離移動方向的面形成滑動接觸、密封兩倉的內部空間的密封部件，則可通過簡單的構造容易地進行接觸壓力與真空度的獨立控制。
並且，即使在改變了主載體、從屬媒體及根據需要所配置的按壓從屬媒體的彈性部件的厚度的情況下，貼靠裝置也可不需改變上下倉等的狀態而與其相適應，從而可對磁複製時的真空度和壓力進行獨立的控制。
另外，在本發明中，在把按壓在與主載體緊密接觸的從屬媒體背面上的彈性按壓部件的按壓面，形成為主要按壓在與主載體的複製圖形緊密接觸部分上的凹凸形狀的情況下，作為全體來說降低了按壓力，而又確保了必要的接觸部分的壓力，而且，由於相當於彈性按壓部件的凹部部分的壓力低，所以形成空氣的逸出通路，從而可進一步提高緊密接觸性，可防止因接觸不良而導致的信號丟失，並可提高複製信號的等級以及提高可靠性。
也就是說，在複製信號為例如伺服信號的情況下，並且在形成在主載體上的複製圖形的面積小於全體面積10％、對應該複製圖形，形成相當於從屬媒體全體面積的10％的彈性按壓部件的按壓面上凹凸形狀的按壓面積的情況下，為了使從屬媒體與主載體的接觸壓力達到50N/cm2(5.0kg/cm2)而所需要的全體按壓力，當從屬媒體為3.5時的軟盤時，為354N(35.4kg)，可減少到在全體面按壓情況下的1/10，從而可減小確保強度用的各個部件的厚度等，構成裝置的小型化。並且，因此可配置磁場施加裝置的磁極更接近從屬媒體與主載體的接觸面，減小了漏磁磁場強度，可通過施加具有規定磁場強度分布的複製用磁場來進行良好的磁複製。
另外，在本發明中，在使圓盤狀的從屬媒體與主載體對峙接觸，進行磁複製時，通過設置在保持體上的中心銷來確定兩者的中心位置，當把該主載體與從屬媒體的中心位置調整到其偏心量小於100μm時，可形成均勻的全體面的緊密接觸，可防止因局部接觸而造成的損傷，以及端部的損傷，從而可提高耐久性。
尤其是當把主載體的圖形中心位置與從屬媒體的中心位置的中心位置偏心量調整到小於50μm時，可確保高的複製精度。
另外，在本發明中，在在定位保持從屬媒體的中心孔的從屬保持軸的外周部上配置位置可調的主載體，當把該主載體固定並把其圖形的中心位置定位在從屬保持軸的中心位置上之後，把從屬媒體供給到從屬保持軸上並進行主載體與從屬媒體的定位的情況下，成為被裝入驅動裝置內時從屬媒體旋轉中心的從屬保持軸的中心位置，與形成在主載體上的圖形的中心位置可形成高精度的一致，在提高了可靠性的同時，可通過把從屬媒體供給從屬保持軸來進行與主載體的定位，不需要在每次的供給時進行從屬媒體的定位，從而可進行高生產效率的磁複製。
另外，如果在測定顯微鏡的觀測下進行主載體的圖形中心位置與從屬保持軸的中心位置的定位，則可容易地進行高精度的定位。
如果在主載體上，在形成圖形的同時設置定位用的定位標記，則可容易地進行主載體定位的基準設定，可容易地通過測定顯微鏡進行定位操作。
另外，磁複製裝置，通過具備主載體側的第1基盤、從屬媒體側的第2基盤、定位保持從屬媒體的中心孔的從屬保持軸、可在從屬保持軸外周部上的XY方向上進行位置調整的主保持部件，可容易地進行如上所述的從屬媒體與主載體的精確定位，可實現高生產效率的磁複製。
如果把第1基盤設置為可自由拆裝，並可從複製位置上拆下來進行主載體的定位，則可利用測定顯微鏡等容易地進行定位操作。
另外，在本發明中，在使主載體與從屬媒體緊密接觸、使其旋轉的同時施加複製用磁場進行磁複製時，在對主載體與從屬媒體的按壓不阻礙旋轉方向上的旋轉力的情況下，不會發生旋轉側與按壓側的中心錯位，通過主載體與從屬媒體的一體旋轉，可實現高精度的磁複製，裝置本身也不會發生反覆的變形，可延長使用壽命。
另外，如果通過定位機構，對定位保持有從屬媒體的基盤與緊密接觸該從屬媒體的主載體進行定位，則可使兩者的中心位置的定位簡單化，可效率高地進行高精度的複製。
圖2是表示其他實施例的貼靠裝置部分的示意圖。
圖3表示本發明其他實施例的磁複製裝置的複製狀態的主要部分的立體圖。
圖4是貼靠裝置的剖視圖。
圖5表示本發明又一其他實施例的磁複製裝置的複製狀態的主要部分的立體圖。
圖6是貼靠裝置的分解立體圖。
圖7表示本發明又一其他實施例的彈性按壓部件及主載體的俯視圖。
圖8表示本發明又一其他實施例的磁複製裝置的複製狀態的主要部分的立體圖。
圖9是圖8中的保持體的分解立體圖。


圖10是表示中心位置的偏心量的說明圖。
圖11是表示本發明又一其他實施例的磁複製裝置的複製狀態的主要部分的立體圖。
圖12表示在貼靠狀態下的磁複製裝置的主要部分的剖視圖。
圖13是用於進行主載體位置調整的測定顯微鏡的結構示意圖。
圖14表示主載體的位置調整之前的狀態的俯視圖。
圖15表示主載體的位置調整之後的狀態的俯視圖。
圖16是在貼靠前狀態的磁複製裝置的主要部分的剖視圖。
圖17是表示其他實施例的主載體的俯視圖。
圖18是其他實施例的磁複製裝置在貼靠前狀態的主要部分的剖視圖。
圖19是本發明又一其他實施例的實施磁複製方法的磁複製裝置的示意剖視圖。
圖20是圖19中的加壓主體的俯視圖。
圖21是其他實施例的具有按壓力傳導機構的磁複製裝置的主要部分的剖視圖。
圖22是表示其他實施例的具有定位機構的旋轉盤及按壓盤的視圖。
圖23是圖22中的主載體的俯視圖。
圖24是表示其他實施例的具有定位機構的旋轉盤及按壓盤的視圖。
圖中1、20、40、60、70、100-磁複製裝置，2、22、42、62、72、102-從屬媒體，3、23、43、63、64、73、103-主載體，5、25、45-貼靠裝置，6-移送臺，7、8-清潔機構，11-主固定臺座，12-按壓部件，13-平臺，14、152-旋轉軸，15-保持部，24-彈性部件，26-按壓機構，27-減壓機構，28、47、65、75、106-磁場施加裝置，31-下側倉，32-上側倉，33-密封件，43b-信息載持面，44-彈性按壓部件，44a-按壓面，46-加壓裝置，48、49-壓合部件，50-內環部，51-外環部，52-放射部，53-凹部，61-保持部件，62a、63a、64a-中心孔，68-下保持部件，68b-中心銷，69-上保持部件，72a-中心孔，76-第1基盤，77-第2基盤，80-測定顯微鏡，83-觀察部，84-平臺，86-圖形，86a-基準點，88-標記，89-電磁鐵裝置，93-盤座部件，94-付保持軸，95-主保持部件，104-加壓機構，105-旋轉機構，107～109-定位機構，141-按壓基盤，142-加壓主體，142a-圓板部，142c-扣鎖部，143、144-按壓力傳導機構，143a-軸承滾珠，144a-噴氣孔，151-旋轉基盤，171、181、191-定位銷，172、182、192-定位孔。
圖1所示的磁複製裝置1包括具有在中心位置對齊的狀態下把在複製位置上的主載體3上的、具有接受複製的磁記錄部的從屬媒體2壓向保持有載持信息信號的主載體3的下側的主固定臺座11、使兩者形成緊密接觸的上側的按壓部件12的貼靠裝置5；具有多個所述主固定臺座11，並依次地把其移動到複製位置的移送臺6；除去被保持在所述主固定臺座11上的主載體3上的附著物的清洗裝置7。並且磁複製裝置1還具有未在圖中表示的對貼靠裝置5施加貼靠力的按壓裝置和在使貼靠裝置5進行旋轉的同時對其施加複製用磁場的磁場施加裝置。
而且，主載體3被預先定位並保持在各個主固定臺座11上，把多個該主固定臺座11載置在移送臺6上，在更換主載體3時，通過移送臺6對主固定臺座11進行逐個地更換。
移送臺6(組合轉臺)的圓盤狀的圓臺13的中心部被保持在旋轉軸14上，在圓臺13上的3個部位上具有所述主固定臺座11的保持部15，通過未圖示的旋轉驅動機構依次地被移動到複製位置、更換位置及清洗位置。另外，對於移送臺6上的保持部15的數量不限定為3個。
被設置在上述清洗位置上的清洗裝置7具有把被施加超聲波振蕩的液體或氣體噴到主載體3表面的超聲波清洗噴頭16，對通過移送臺6的旋轉被移動到複製位置之前的清洗位置上的被保持在主固定臺座11上的主載體3進行清洗，除去附著物。另外，作為該清洗裝置也可以使用離子風(除電氣體)、清潔氣體的吹風裝置。在清洗為溼洗的情況下，通過使用IPA液體或IPA蒸汽和進行乾燥風的吹風等來進行乾燥處理。
主固定臺座11為圓盤狀，並具有大於主載體3外徑的圓形的上面11a，通過對主載體3的下面進行吸附等把其保持在該上面11a的中央部上。上側的按壓部件12同樣也是圓盤狀，具有大於從屬媒體2外徑的下面12a，該按壓部件12相對主固定臺座11可在上下方向進行接觸分離的移動，用於把從屬媒體2壓在主載體3上，並使兩者形成緊密接觸。另外，也可以在按壓部件12的下面12a上設置片狀的彈性材料，通過該彈性材料來按壓從屬媒體2。
另外，在主固定臺座11的底面及按壓部件12的上面設有突出的旋轉軸部11b、12b。該主固定臺座11及按壓部件12在進行磁複製時與未圖示的旋轉機構構成連結，形成一體的驅動旋轉。
未圖示的按壓裝置具有加壓汽缸裝置，其按壓連杆的前端對貼靠裝置5的按壓部件12施加規定的按壓載荷。另外，在按壓狀態下，貼靠裝置5為了進行旋轉，對按壓部件12的旋轉軸部12b施加按壓力。
在進行磁複製時，在進行從屬媒體2的磁化時，如果是面內記錄，則在面內磁軌方向，如果是垂直記錄，則在垂直方向預先進行初始直流磁化。然後使該從屬媒體2與主載體3緊密接觸，通過在與初始直流磁化方向大致相反的磁軌方向或垂直方向施加複製用磁場，進行磁複製。
作為從屬媒體2，可使用在兩面或單面上形成磁記錄部(磁性層)的硬碟或高密度軟盤等的圓盤狀磁記錄媒體。該磁記錄部由塗敷型磁記錄層或金屬薄膜型磁記錄層構成。
主載體3被形成為剛體的圓盤磁碟形狀。該主載體3在形成在基板上的微細凹凸圖形上覆蓋上軟磁性體，這個面就是與從屬媒體2緊密接觸的並形成有複製圖形的複製信息載持面。與其相反側的面被保持在主固定臺座11上。
作為主載體3的基板，可以使用鎳、矽、石英板、玻璃、鋁、合金、陶瓷及合成樹脂等。可用打痕法等形成凹凸圖形。關於軟磁性體的形成是將磁性材料通過真空蒸鍍法、噴鍍法、離子鍍法等的真空成膜方法或電鍍法等進行成膜。面內記錄和垂直記錄使用的是基本相同的主載體3。
在圖中未示出的用於施加複製用磁場及初始磁場的磁場施加裝置，在面內記錄的情況下，例如把環型頭電磁鐵設置在上下兩側，向上下同方向施加與磁軌方向平行生成的複製用磁場。使貼靠裝置5旋轉，對從屬媒體2和主載體3的全體面施加複製用磁場。也可以設成使磁場施加裝置旋轉移動的構造。磁場施加裝置也可以只設置在單側，也可以把永磁鐵裝置配置在兩側或一側。另外，在垂直記錄情況下的磁場施加裝置，是在貼靠裝置5的上下配置不同極性的電磁鐵或永久磁鐵，生成並施加垂直方向的複製用磁場。由於是部分地施加磁場的裝置，所以通過使貼靠裝置5移動或使磁場移動來進行全體面的磁複製。
也可以在所述磁複製裝置1的複製位置，也就是在貼靠裝置5的部分上，如圖2所示，設置清洗裝置8，對馬上要進行複製的主載體3進行清洗。另外，也可以對貼靠後的主載體3進行清洗。
圖2中的清洗裝置8，在複製位置的附近設有相對貼靠裝置5可進退移動的超聲波清洗頭17。超聲波清洗頭17是與上述相同地把被超聲波加振的液體或氣體噴到清洗面上的裝置，或是噴出離子風(除電氣體).·清洗空氣的裝置。而且，在上側的按壓部件12放開的狀態下移動到被保持在主固定臺座11上的主載體3上，對其進行清洗，在完成清洗後移動到退避位置。
並且，也可以清洗與主載體3形成接觸之前的從屬媒體2。可使用與主載體3的同一個清洗裝置8或另外設置的清洗裝置進行從屬媒體2的清洗。
在所述磁複製裝置1中，由同一主載體3對多個從屬媒體2進行磁複製，首先，分別把各個主載體3定位並保持在各個主固定臺座11上，然後把這些主固定臺座11安放在移送臺6上。並且在被移動到複製位置之前，由清洗裝置7對被保持在主固定臺座11上的主載體3進行清洗。然後通過移送臺6的旋轉把被清洗後的主固定臺座11移動到複製位置，在使按壓部件12與主固定臺座11分離的分離狀態下，調整好中心位置地放置預先在面內方向或垂直方向進行了初始磁化的從屬媒體2，然後使貼靠裝置5的按壓部件12移動到接近主固定臺座11，通過按壓裝置以規定的壓力按壓從屬媒體2和主載體3，形成兩者的緊密接觸。圖2所示的具有清洗裝置8的裝置對在該緊密接觸之前的主載體3(及從屬媒體2)進行清洗。
然後，使磁場施加裝置接近貼靠裝置5的上下面，在使貼靠裝置5旋轉的同時由磁場施加裝置施加與初始磁化大致相反方向的複製用磁場，把對應主載體3的複製圖形的磁化圖形複製到從屬媒體2的磁記錄部。
在所述磁複製時所施加的複製用磁場被吸收在由主載體3複製圖形中的與從屬媒體2緊密接觸的軟磁性體所形成的凸部圖形內，在面內記錄的情況下，該部分的初始磁化不發生反轉，而其他部分的初始磁化發生反轉，在垂直記錄的情況下，該部分的初始磁化反轉而其他部分的初始磁化不反轉，從而使對應主載體3的複製圖形的磁化圖形被複製到從屬媒體2上。
而且，在進行了規定次數的磁複製後，在發生了複製後的主載體3或從屬媒體2的表面附著了灰塵等的異常時，在發生了複製不良時等，驅動移送臺6旋轉，把被清洗後的新的主固定臺座11移動到複製位置，與上述相同地繼續進行下一個的磁複製。另外，也可以在每一次磁複製後轉動一次移送臺6，進行主載體3的更換。
從複製位置被移動到待機位置的主固定臺座11，在其相應的狀態下從移送臺6上取下，進行更換。在更換時，逐個地取下主固定臺座11，然後換上保持有新主載體3的主固定臺座11。另外，在直接用清洗裝置7清洗後可再次使用的情況下，不需要進行更換。
被取下的主固定臺座11也可以通過另外設置的未圖示的清洗裝置對各個主固定臺座11上的主載體3進行清洗。該清洗裝置也可以取代上述圖1中的清洗裝置7進行設置，也可以進行雙重設置，使用兩者進行清洗。
由該清洗裝置例如把呈保持住主載體3狀態的主固定臺座11浸泡在清洗槽的清洗液中，然後用超聲波加振頭對清洗液進行超聲波加振，以此來清洗除去主載體3表面上的附著物。除此之外，可以使用由超聲波清洗頭施加機械振動的清洗液體、通過超聲波振蕩頭的氣體中的超聲波振動清洗、噴射被超聲波振蕩激勵的氣體、滑動頭的滑動清洗、在滑動清洗後的超聲波清洗、用受激準分子雷射器照射的燒去清洗及等離子清洗等。
另外，也可以把從屬媒體2保持在未圖示的保持體上，在磁複製的前一道工序把從屬媒體2與保持部件一同進行清洗。
依照本實施例，由於在移送臺6上具有多個分別定位保持各個主載體3的主固定臺座11，依次地把被清洗裝置7、8清洗後的主載體3移動到複製位置進行磁複製，對每個磁複製後的主固定臺座11進行主載體3的更換，因此，使得主載體3的更換容易，更換操作效率高，提高了生產效率，並且通過在進行複製之前對主載體3進行清洗，可防止複製的不良，可實現良好的磁複製。並且，即使在把從移送臺6上取下的主固定臺座11與主載體3一同進行清洗的情況下，由於在更換時及清洗時不需要進行主載體3的取出操作，所以提高了操作效率。
下面，對本發明其他實施例進行詳細地說明。圖3表示本發明其他實施例的磁複製裝置的複製狀態的主要部分的立體圖。圖4是貼靠裝置的剖視圖。另外，各個圖僅是示意圖，各個部分的尺寸用與實際尺寸不同的比率表示。
圖3所示的磁複製裝置20包括，具有下側倉31和上側倉32的、在其內部如圖4所示的那樣配置從屬媒體22、主載體23和彈性部件24，並在調整好其中心位置的狀態下，使從屬媒體22與主載體23緊密接觸的貼靠裝置25；對貼靠裝置25施加壓力的按壓裝置26；將貼靠裝置25內的空氣排出、使其內部形成減壓狀態的減壓裝置27(參照圖4)；在使貼靠裝置25旋轉的同時，施加複製用磁場的磁場施加裝置28。並且，分別獨立地對由減壓裝置27進行貼靠裝置25內的真空度進行控制和對由按壓裝置26向從屬媒體22與主載體23施加的壓力進行控制。
貼靠裝置25的下側倉31為圓盤狀，具有大於主載體23外徑的圓形的上面31a，通過吸附等把主載體3的下面保持在該上面31a的中央部。上側倉32為圓盤狀，具有大於從屬媒體22外徑的下面32a，在該下面32a上設置有片狀的彈性部件24，從屬媒體22被保持在該彈性部件24的下面。上側倉32相對下側倉31，可在上下方向上進行接觸分離的移動，從而把從屬媒體22壓在主載體23上形成兩者的緊密接觸。另外，也可以把從屬媒體22載置到主載體23上。
在下側倉31的外周和上側倉32的外周分別形成向上方和下方突出的環壁部31b及32b。上側倉32的環壁部32b的外周面直徑小於下側倉31的環壁部31b的內周面直徑，形成能夠把上側倉32的環壁部32b插入在下側倉31的環壁部31b的內周側內(也可以是相反的大小關係)。而且在上側倉32的環壁部32b的外周上裝有由O環構成的密封部件33，該密封部件33，在把上側倉32向下側倉31一側移動時，與下側倉31的環壁部31b的內周面形成滑動的接觸，構成在接觸分離方向(軸方向)上兩平行面之間的密封，從而密封兩倉31、32之間形成的內部空間。另外，也可以把密封部件33安裝在下側倉31上。
在由所述的密封部件33使內部空間保持密封的狀態下，下側倉31與上側倉32能夠進行接觸分離的移動。另外，通過變化從屬媒體22、主載體23、彈性部件24的厚度，即使在從屬媒體22與主載體23的接觸高度發生變化，也能夠確保密封的狀態。
在下側倉31的底面和上側倉32的上面，設置有突出的旋轉軸部31c、32c。該下側倉31及上側倉32與未圖示的旋轉機構連接，形成一體的旋轉驅動。
另外，在下側倉31環壁部31b的內周側、主載體23外周部的上面31a上形成減壓裝置27的排氣口27a。與該排氣口27a連通的空氣通路27b形成在下側倉31內，並通過旋轉軸部31c被導向外部，與未圖示的真空泵連接。通過由該減壓裝置27進行空氣的排出，把由上側倉32與下側倉31形成的密封空間的真空度控制在規定的50～100kPa。
如圖3所示，按壓裝置26具有加壓汽缸34，其按壓連杆35的前端對貼靠裝置25的上側倉32施加規定的按壓載荷。另外，為了在按壓狀態下使貼靠裝置25旋轉，配置對上側倉32的旋轉軸部32c施加按壓力的承受部件36。與所述真空度控制相對獨立地把由該按壓裝置26生成的按壓力控制在最佳值，使從屬媒體22與主載體23形成0.01～49N/cm2(1～5000gf/cm2)的接觸壓力。
在進行磁複製時，對從屬媒體22的磁化，如果是面內記錄，則在面內磁軌方向，如果是垂直記錄，則在垂直方向預先進行初始直流磁化。然後使該從屬媒體22與主載體23緊密接觸，通過在與初始直流磁化方向大致相反的磁軌方向或垂直方向施加複製用磁場，進行磁複製。
作為從屬媒體22，可以使用在兩面或單面上形成磁記錄部(磁性層)的硬碟或高密度軟盤等的圓盤狀磁記錄媒體。該磁記錄部由塗敷型磁記錄層或金屬薄膜型磁記錄層構成。
主載體23被形成為剛體的圓盤狀的磁碟。該主載體23在形成在基板上的微細凹凸圖形上覆蓋一層軟磁性體，這個面就是形成與從屬媒體22緊密接觸的複製圖形的複製信息載持面。與其相反一側的面被真空吸附地保持在下側倉31中。
作為主載體23的基板，可以使用鎳、矽、石英板、玻璃、鋁、合金、陶瓷及合成樹脂等。可用打痕法等形成凹凸圖形。關於軟磁性體的形成是將磁性材料通過真空蒸鍍法、噴鍍法、離子鍍法等的真空成膜方法或電鍍法等進行成膜。面內記錄和垂直記錄使用的是基本相同的主載體23。
彈性部件24用於接觸並按壓在從屬媒體22的背面(上面)，由具有彈性的材料構成，具有圓盤形狀，並被保持在上側倉32內。作為具有彈性的材料，可以使用矽橡膠、聚氨酯橡膠、氟化乙烯橡膠、丁二烯橡膠、特氟綸(註冊商標)橡膠、氟化橡膠等普通的橡膠或海綿橡膠等的發泡樹脂等。
施加複製用磁場及初始磁場的磁場施加裝置28，在面內記錄的情況下，例如在上下兩側配置在具有在從屬媒體22的半徑方向上延伸的縫隙37的鐵心38上卷有線圈39的環型頭電磁鐵，在上下相同的方向施加與磁軌方向平行發生的複製用磁場。然後使貼靠裝置25旋轉，對從屬媒體22和主載體23的全體面施加複製用磁場。也可以構成使磁場施加裝置28旋轉的構造。磁場施加裝置28也可以只配置在一側，也可以在兩側或一側配置永久磁鐵裝置。
另外，在垂直記錄情況下的磁場施加裝置28是在貼靠裝置25的上下位置上配置不同極性的電磁鐵或永久磁鐵，在垂直方向上生成並施加複製用磁場。由於磁場只能施加在一部分上，所以或是移動貼靠裝置25、或是移動磁場進行全面的磁複製。
在所述磁複製裝置20中，由於由同一主載體23對多個從屬媒體22進行磁複製，所以首先把主載體23及彈性部件24保持在下側倉31及上側倉32中並調整好位置關係。然後，在上側倉32與下側倉31分離的狀態下，把預先以面內方向或垂直方向的一方被初始磁化的從屬媒體22放入並調整好其中心位置後，驅動按壓裝置26使上側倉32向接近下側倉31方向移動。
然後，上側倉32的密封部件33與下側倉31的環壁部31b的內周面形成滑動接觸，使收容從屬媒體22及主載體23的兩個倉31、32的內部空間形成密封。在從屬媒體22與主載體23形成按壓狀態之前，由減壓裝置27排除密封空間內的空氣進行減壓，在內部達到規定的真空度之後，使上側倉32進一步向下移動。由按壓裝置26施加按壓力，按壓力通過彈性部件24作用於從屬媒體22的背面，使從屬媒體22與主載體23形成具有規定接觸壓力的緊密接觸。
然後，使磁場施加裝置28接近貼靠裝置25的上下面，在使貼靠裝置25旋轉的同時由磁場施加裝置28施加與初始磁化大致相反方向的複製用磁場，把對應主載體23的複製圖形的磁化圖形複製到從屬媒體22的磁記錄部。
在所述磁複製時所施加的複製用磁場，被吸收在由主載體23複製圖形中的與從屬媒體22緊密接觸的軟磁性體所形成的凸部圖形內，在面內記錄的情況下，該部分的初始磁化不反轉，而其他部分的初始磁化反轉，在垂直記錄的情況下，該部分的初始磁化反轉而其他部分的初始磁化不反轉，從而使對應主載體23的複製圖形的磁化圖形被複製到從屬媒體22上。
依照本實施例，由於在使兩個倉31、32內形成密封狀態、並對內部進行減壓、使其達到規定的真空度、排出殘留在密封面上的空氣之後，以規定的壓力進行獨立的加壓，使主載體23與從屬媒體22形成緊密接觸，所以可實現在最佳真空度和壓力下的緊密接觸，從而可提高緊密接觸性，並可防止因接觸性不良而導致的複製效果不良，從而可進行效果良好的複製。
下面對本發明又一其他實施例進行詳細的說明。圖5表示本發明又一其他實施例的磁複製裝置的複製狀態的主要部分的立體圖。圖6是貼靠裝置的分解立體圖，圖7表示又一其他實施例的彈性按壓部件及主載體的俯視圖。另外，各個圖只是示意圖，其中的厚度等的尺寸用與實際尺寸不同的比例表示。
圖5所示的磁複製裝置40包括具有下側壓合部件48和上側壓合部件49的、在其內部如圖6所示地配置從屬媒體42、主載體43、彈性按壓部件44、並在被定位在中心位置的狀態下形成緊密接觸的貼靠裝置45；對貼靠裝置45加壓的加壓裝置46；在使貼靠裝置45進行旋轉的同時施加複製用磁場的磁場施加裝置47。
在進行磁複製時，對從屬媒體42的磁化，如果是面內記錄，則在面內磁軌方向，如果是垂直記錄，則在垂直方向預先進行初始直流磁化。然後使該從屬媒體42與主載體43緊密接觸，通過在與初始直流磁化方向大致相反的磁軌方向或垂直方向施加複製用磁場，進行磁複製。
作為從屬媒體42，可以使用形成有中心孔42a的、在兩面或單面上形成磁記錄部(磁性層)的硬碟或高密度軟盤等的圓盤狀磁記錄媒體。該磁記錄部由塗敷型磁記錄層或金屬薄膜型磁記錄層構成。
主載體43被形成為由具有中心孔43a的剛性體的圓環狀磁碟。該主載體43在形成在基板上的微細凹凸圖形上覆蓋一層軟磁性體，這個面就是形成與從屬媒體42緊密接觸的複製圖形的複製信息載持面43b。與其相反一側的面被真空吸附在下側壓合部件48上。
作為主載體43的基板，可以使用鎳、矽、石英板、玻璃、鋁、合金、陶瓷及合成樹脂等。可用打痕法等形成凹凸圖形。關於軟磁性體的形成是將磁性材料通過真空蒸鍍法、噴鍍法、離子鍍法等的真空成膜方法或電鍍法等進行成膜。面內記錄和垂直記錄使用的是基本相同的主載體43。
在複製信息為伺服信號時，如圖7(B)所示，在主載體43的信息載持面43b上，在從中心部等間隔地向放射方向(圖中表示的情況有稍微的彎曲)延伸的窄幅區域內部分地形成伺服圖形P(複製圖形)。該伺服圖形P的部分即是要求與從屬媒體42緊密接觸的部分，通過磁複製把對應伺服圖形P的磁化圖形複製到從屬媒體42上。
彈性按壓部件44用於從背面(上面)接觸並按壓從屬媒體42，由具有彈性的材料構成圓盤狀，被保持在上側壓合部件49上。該彈性壓合部件44的與從屬媒體42背面接觸的按壓面44a的形狀，如圖7(A)所示，為對應主載體43的所述伺服圖形P，主要按壓該圖形P所在部分的凹凸形狀。
在所述按壓面44a上，由位於內周側的內環部50、位於外周側的外環部51及連接內環部50和外環部51的與主載體43上的伺服圖形P相對應的多個放射部52，構成用於與從屬媒體42接觸的按壓凸部。其他部分形成凹部53(也可以貫通至背面)，不與從屬媒體42接觸。
彈性按壓部件44的材料，具有在施加壓力時其按壓面積不會過度增大的彈力特性。作為具體的材料，有矽橡膠、聚氨酯橡膠、氟化乙烯橡膠、丁二烯橡膠、特氟綸(註冊商標)橡膠、氟化橡膠等普通的橡膠或海綿橡膠等的發泡樹脂等。
貼靠裝置45的下側壓合部件48具有對應主載體43尺寸大小的圓形的吸附面48a，並構成平整的該表面。在該吸附面48a上，形成大致分布均勻的吸氣孔(也可以是多孔材質面)。雖未在圖中表示，但該吸氣孔經過從內部到下側壓合部件48外部的吸氣通路連接到真空泵，通過真空泵的吸引，對與吸附面48a緊密接觸的主載體43的底面進行真空吸附，理想的是沿著吸附面48a來矯正主載體43的平坦性。在上側壓合部件49的下面設置保持彈性按壓部件44的支撐面49a。
下側壓合部件48及上側壓合部件49具有圓盤狀的外形，上側壓合部件49可在軸方向上移動，在通過加壓裝置46進行接觸或分離的移動的同時，形成在規定壓力下的相互壓合。在外周上具有環壁部48b、49b在閉合動作時，上下壓合部件48、49的環壁部48b、49b相互對接，由此來保持內部的密封狀態。在下側壓合部件48的中心部形成有可嵌入主載體43及從屬媒體42的中心孔43a、42a內的定位銷48c。在上側壓合部件49的支撐面49a上保持有彈性按壓部件44，並通過未圖示的定位機構對其進行相對主載體43的伺服圖形P的位置和放射部52的位置的調整。另外，下側壓合部件48和上側壓合部件49與未圖示的旋轉驅動機構連接構成一體的驅動旋轉。
如圖5所示，加壓裝置46具有加壓筒裝置54，其按壓杆55的前端對貼靠裝置45的上側壓合部件49施加規定的按壓載荷。根據接觸面積設定該按壓力，使在從屬媒體42與主載體43上的伺服圖形P附近的接觸壓力在各部分達到1～50N/cm2(0.1～5.0/cm2)的適當值。另外，為了在按壓狀態下使貼靠裝置45旋轉，配置對上側壓合部件49的中心軸部49c施加按壓力的承受部件56。
施加複製用磁場及初始磁場的磁場施加裝置47，在面內記錄的情況下，例如，在上下兩側配置在具有從屬媒體42的半徑方向延伸的縫隙57的鐵心58上卷有線圈59的環型頭電磁鐵，在上下向相同的方向施加與磁軌方向平行發生的複製用磁場。然後使貼靠裝置45旋轉，對從屬媒體42和主載體43的全體面施加複製用磁場。也可以構成使磁場施加裝置47旋轉的構造。磁場施加裝置47也可以只配置在一側，也可以在兩側或一側配置永久磁鐵裝置。
另外，在垂直記錄情況下的磁場施加裝置47，是在貼靠裝置45的上下位置上配置不同極性的電磁鐵或永久磁鐵，在垂直方向上生成並施加複製用磁場。對於部分地施加磁場的裝置，是通過移動貼靠裝置45或移動磁場進行全體面的磁複製。
所述磁複製裝置40，是由同一主載體43對多個從屬媒體42進行磁複製的裝置，首先在下側壓合部件48及上側壓合部件49上保持住被調整好各自中心位置和各自圖形位置的主載體43及彈性部件44。然後，在上側壓合部件49與下側壓合部件48分離的狀態下，把預先以面內方向或垂直方向的一方被初始磁化的從屬媒體42放入並調整好其中心位置後，驅動按壓裝置46使上側壓合部件49向接近下側壓合部件48方向作閉合動作，使從屬媒體42的背面接觸彈性按壓部件44，使在該按壓面44a的凸部主要按壓在伺服圖形P的附近，與主載體43形成緊密接觸。然後，使上下的磁場施加裝置47接近貼靠裝置45的上下面，在使貼靠裝置45旋轉的同時，由磁場施加裝置47施加與初始磁化大致相反的複製用磁場，從而把對應主載體43複製圖形的磁化圖形複製記錄到從屬媒體43的磁記錄部。
在所述的磁複製時施加的複製用磁場，被吸收在由主載體43的複製圖形中的與從屬媒體42緊密接觸的軟磁性體所形成的凸部圖形內，在面內記錄的情況下，該部分的初始磁化不反轉，而其他部分的初始磁化反轉，而在垂直記錄的情況下，該部分的初始磁化反轉而其他部分的初始磁化不反轉，從而把對應主載體43的複製圖形的磁化圖形複製到從屬媒體42上。
依照本實施例，由於在使從屬媒體42與主載體43緊密接觸時，由具有凹凸形狀的按壓面44a的彈性按壓部件44主要按壓在從屬媒體42背面的複製圖形部分上，因此，提高了在需要該緊密接觸的複製圖形部分的緊密接觸性，可防止因接觸狀態的不良而導致的複製效果不良，可進行效果良好的複製，並且，可降低全體的按壓力，可實現裝置的小型化。
下面，對本發明的又一其他實施例進行詳細的說明。圖8表示本發明又一其他實施例的磁複製裝置的複製狀態的主要部分的立體圖。圖9是圖8中的保持體的分解立體圖。
圖8及圖9所示的磁複製裝置60是以面內記錄方式同時對兩面進行複製的裝置，在使把圓盤狀的主載體63、64對峙地緊密接觸在圓盤狀的從屬媒體62的上下面上的保持裝置61進行旋轉的同時，通過被配置在該保持裝置61上下側的磁場施加裝置65(電磁鐵裝置)施加複製用磁場，把載持在主載體63、64上的信息同時向從屬媒體62的兩面進行磁記錄複製。
保持裝置61具有汽缸構造的下保持體68和上保持體69，在內部空間內收容了可更換的接受複製的從屬媒體62、向從屬媒體62的下側記錄面複製伺服信號等的信息的下側主載體63、向從屬媒體62的上側記錄面複製伺服信號等的信息的上側主載體64。下保持體68具有用於吸附保持下側主載體63、矯正其平坦性的下側吸附部件66，上保持體69具有用於吸附保持上側主載體64，矯正其平坦性的上側吸附部件67(與下側吸附部件66的構造相同)。從屬媒體62的兩面與下側主載體63和上側主載體64在中心位置重合的狀態下壓合，形成對峙的貼靠。這裡所說的對峙貼靠是指由以微小間隙對峙的雙方中的任意一方形成的緊密接觸。
下保持體68及上保持體69中的一方或雙方能夠在軸方向上移動，通過未圖示的開閉機構的驅動進行開閉動作。另外，所述保持體61具有未圖示的抽真空裝置，通過該抽真空裝置對由滑動接觸的下保持體68與上保持體69形成的內部空間進行空氣的抽真空，形成內部減壓狀態，從而形成所述從屬媒體62與上下主載體63、64的緊密接合力。
圖示的從屬媒體62是在中心部形成用於嵌套在驅動裝置的旋轉軸上的中心孔62a的硬碟，在圓盤狀的基盤的兩面上具有形成磁性層的記錄面。
另外，在下保持體68的中心部上，立向設置以從屬媒體62的中心孔62a為基準的定位用的中心銷68b。該中心銷68b同時也對下側的主載體63進行定位，在下側主載體63的中心部上形成嵌裝在該中心銷68b上的定位用的中心孔63a。
在上保持體69的中心部上設置與所述中心銷68b相同的未圖示的中心銷，並把其嵌裝在上側主載體64的中心孔64a內，進行上側主載體64在上保持體69中的定位。並且，設置通過下保持體68和上保持體69的定位來調整下側主載體63和上側主載體64的中心位置的定位機構。
對於如上所述的通過設置在下保持體68上的中心銷68b進行定位的情況，如圖10所示的那樣，設定下側主載體63的中心位置63c與從屬媒體62的中心位置62c的偏心量d小於100μm。對於上側主載體64與從屬媒體62的中心位置的偏心量同樣也設定為小於100μm。
另外，理想的是把在主載體63、64上所形成的圖形的中心位置與從屬媒體62的旋轉中心位置的偏心量設定為小於50μm。
所述從屬媒體62在進行磁複製時，如果是面內記錄，則向面內磁軌方向，如果是垂直記錄，則向垂直方向預先進行初始直流磁化。在進行該從屬媒體62與主載體63、64緊密接觸的的磁複製時，向與初始直流磁化方向大致相反的磁軌方向或垂直方向施加複製用磁場。
所述下側主載體63及上側主載體64被形成為所述那樣的圓盤狀磁碟，在其一側面上具有由與所述從屬媒體62的記錄面緊密接觸的磁性體圖形構成的複製信息載持面，其背面被真空吸附地保持在下側吸附部件66及上側吸附部件67上。
主載體63、64通過在形成在基板上的微細凹凸圖形上附著軟性磁性體來形成複製圖形。作為主載體63、64的基板，可以使用鎳、矽、石英板、玻璃、鋁、合金、陶瓷及合成樹脂等。可用打痕法等形成凹凸圖形。關於軟磁性體的形成是將磁性材料通過真空蒸鍍法、噴鍍法、離子鍍法等的真空成膜方法或電鍍法等進行成膜。面內記錄和垂直記錄使用的是基本相同的主載體。
把下側吸附部件66(上側吸附部件也一樣)設置成與主載體63的大小相對應的圓盤狀，其表面通過以中心線平均表面粗糙度Ra為0.01～0.1μm左右的平面度加工，形成平坦的吸附面66a。在該吸附面66a上均勻地形成約25～100個直徑約為2mm以下的吸引孔66b。雖未圖示，但實際上該吸引孔66b經過從吸附部件66的內部被導出到下保持體68外部的吸引通路與真空泵構成連接，形成吸引，以此對與吸引面66a緊密接觸的主載體63的背面進行真空吸引，使該主載體63的平坦性沿著吸引面66a得到矯正。
下保持體68及上保持體69為圓盤狀，分別在下保持體68的外周上形成向上方突出的環壁部68a及在上保持體69的外周上形成向下方突出的環壁部69a。雖然在圖中為做詳細的表示，但實際上上保持體69的環壁部69a的外周面直徑小於下保持體68的環壁部68a的內周面直徑，並且上保持體69的環壁部69a可插入在下保持體68的環壁部68a的內周側內(也可以構成相反的大小關係)。而且，在上保持體69的環壁部69a的外周上設置有由O環等構成的未圖示的密封部件，該密封部件在使上保持體69在下保持體68側移動時，與下保持體68的環壁部68a的內周面滑動接觸，構成平行於接觸分離移動方向(軸方向)的兩滑動面之間的密封，從而在兩保持體68、69之間形成密封的內部空間。另外，也可以把密封部件設置在下保持體68上。
保持體61構成在所述內部空間的密封狀態下，下保持體68與上保持體69能夠進行接觸分離移動的汽缸構造，從而即使在從屬媒體62、主載體63、64的厚度發生變化，使從屬媒體62與主載體63、64的接觸高度改變時，也可以確保其密封的狀態。該下保持體68及上保持體69與未圖示的的旋轉機構連接，構成一體的驅動旋轉。
另外，在保持體61的內面上，具有向內部空間開口的真空吸引裝置的吸引口。與該吸引口連通的空氣通路形成在下保持體68或上保持體69內，並被導出到外部與真空泵連接。通過該真空吸引裝置進行的空氣真空吸引，把保持體61內的內部空間控制在規定的真空度。
在進行磁複製時，在隨所述真空吸引而產生的壓力作用下，使上保持體69和下保持體68向相互接近的方向移動，使上下主載體63、64的信息載持面與從屬媒體62的磁記錄面形成對峙貼靠，在該主載體63、64與從屬媒體62的貼靠狀態下，通過由磁場施加裝置65施加複製用磁場，進行伺服信號等信息的磁複製記錄。另外，關於貼靠力的施加方式，也可以採用結合所述的真空吸引方式或取代該方式的從外部施加機械壓力的方式。
施加複製用磁場及初始磁場的磁場施加裝置65，在面內記錄的情況下，例如，在上下兩側配置在具有向從屬媒體62的半徑方向延伸的縫隙的鐵心上卷有線圈的環型頭電磁鐵，在上下向相同的方向上施加與磁軌方向平行發生的複製用磁場。然後使保持體61旋轉，對從屬媒體62和主載體63的全體面施加複製用磁場。也可以構成使磁場施加裝置65旋轉的構造。磁場施加裝置65也可以只配置在一側，也可以在兩側或一側配置永磁鐵裝置。
另外，在垂直記錄情況下的磁場施加裝置，是在保持體61的上下位置上配置不同極性的電磁鐵或永久磁鐵，在垂直方向上生成並施加複製用磁場。對於部分地施加磁場的裝置，是通過移動保持體61或移動磁場來進行全體面的磁複製。
下面，對由所述的磁複製裝置60進行的磁複製工序進行說明。該磁複製裝置60可通過同一主載體63、64對多個從屬媒體62進行反覆的磁複製，首先在調整好各自的中心位置的狀態下通過真空吸引分別把下側主載體63及上側主載體64保持在保持體61的下保持體68及上保持體69的下側吸引部件66及上側吸引部件67上。
然後，在上保持體69與下保持體68分離的打開的狀態下，在把預先在面內方向或垂直方向進行了初始磁化的從屬媒體62置入並調整好中心位置之後，使上保持體69進行向接近下保持體68方向移動的閉合動作，通過兩保持體68、69的環壁部68a、69a的嵌合的滑動接觸，形成密封的保持體61內部空間。通過真空吸引裝置抽取內部空間中的空氣，實施減壓，到達規定的真空度。從而使上保持體69以對應真空度的外力(大氣壓)所形成的壓力對下保持體68施加貼靠力，把從屬媒體62夾在上下主載體63、64之間，以規定的貼靠壓力均勻地貼靠。
然後，使磁場施加裝置65接近保持體61的上下面，在使保持體61旋轉的同時，由磁場施加裝置65施加與初始磁化大致相反方向的複製用磁場。該被施加的複製用磁場被由在主載體63、64的複製圖形中的與從屬媒體62緊密接觸的軟磁性體構成的凸部圖形吸收，在面內記錄的情況下，該部分的初始磁化不反轉而其他部分的初始磁化反轉，在垂直記錄的情況下，該部分的初始磁化反轉而其他部分的初始磁化不反轉，這樣的結果，可在從屬媒體62上複製記錄出對應主載體63、64的複製圖形的磁化圖形。
依照本實施例，保持體61使上下主載體63、64與從屬媒體62的兩面形成對峙的緊密接觸，在這樣構成的緊密接觸構造中，通過使從屬媒體62的中心位置與主載體63、64的中心位置的偏心量小於100μm，可實現在主載體63、64與從屬媒體62的接觸區域的均勻接觸力的全面接觸，可防止對局部施加接觸力，並且防止了因邊緣不完全接觸而導致的損傷。並且，通過主載體63、64的圖形中心與從屬媒體62的高精度的位置調整，可記錄具有所需性能的圖形複製信號。
下面，對本發明又一其他實施例進行詳細地說明。圖11是表示本發明又一其他實施例的實施磁複製方法的磁複製裝置的複製狀態的主要部分立體圖。圖12是表示在緊密接觸狀態下的主要部分的剖視圖，圖13是用測定顯微鏡進行主載體位置調整的結構示意圖，圖14及圖15是表示主載體的位置調整過程的俯視示意圖，圖16是在緊密接觸前狀態下主要部分的剖視圖。另外，各個視圖為示意圖，對其中厚度等用與實際尺寸不同的比例表示。
圖11所示的磁複製裝置70，在第1基盤76(旋轉臺)與第2基盤77(按壓部件)之間，如圖12所示地通過未圖示的加壓裝置(Press機構)按壓由接受複製的圓盤狀的磁記錄媒體構成的從屬媒體72和形成對應伺服信號等的複製信息圖形的圓盤狀主載體73的信息載持面，使其形成緊密接觸，在通過上下配置的磁場施加裝置75施加複製用磁場。主載體73被配置在位於下側的第1基盤76的上部，從屬媒體72被配置在位於主載體73上側的第2基盤77的下部。
位於下側的第1基盤76，在盤座部件93上部的中心位置上具有用於決定從屬媒體72中心孔72a位置的從屬媒體保持軸94，並且在該從屬保持軸94的外周部上具有保持主載體73的主載體保持部件95。主載體保持部件95相對從屬保持軸94可在XY方向上進行位置調整。
而且，預先把保持有主載體73的主載體保持部件95如後述那樣進行位置調整並且固定，使形成在主載體73上的圖形86(參照圖14)的中心位置與從屬保持軸94的中心位置形成一致，把供給到該主載體73上的從屬媒體72通過使其中心孔72a與從屬保持軸94的嵌合來確定位置，這樣地進行主載體73與從屬媒體72的定位。
從屬媒體72是在兩面形成磁記錄層的硬碟等的圓盤狀磁記錄媒體。保持該從屬媒體72的從屬保持軸94被形成為突起的形狀，其外徑與從屬媒體72的中心孔72a的直徑基本相同，通過對其的定位，使從屬媒體72的中心位置與從屬保持軸94的中心基準位置形成一致。可以使從屬保持軸94的主載體73上面的突出量小於從屬媒體72的厚度(在第2基盤77的中心部上形成凹部的情況下可以大於從屬媒體72的厚度)。
另一方面，主載體73被形成為具有直徑大於從屬保持軸94外徑的內孔73a的圓環磁碟狀，雖未詳細地表示，但在其一面(圖中的上面)上具有由磁性層構成的微細凹凸圖形86對應圓環狀磁軌形成的同心圓狀的複製信息載持面，其背面(圖中的下面)被保持在主載體保持部件95的上面。
所述第1基盤76的盤座部件93被形成為圓盤狀，在其上面中心部上，立向設置上下貫通主保持部件95中央的從屬保持軸94，在從屬保持軸94外周部的盤座部件93上配置主保持部件95，並且通過例如由設置在垂直交叉的2方向上的導軌96形成重疊的X方向移動部和Y方向移動部，使其能夠在XY方向上移動，通過未圖示的調整機構可調整其在各個方向上的移動量，並且能夠固定在調整後的不能移動的位置上。在該主保持部件95的上面通過空氣吸引等保持主載體73。例如在主保持部件95的上面形成多個吸引孔，通過空氣吸引力來吸引固定住所載置的主載體73。
第1基盤76能夠從磁複製位置上取下，放置在圖13所示的測定顯微鏡80下進行位置調整，使保持在主保持部件95上的主載體73的圖形86中心位置與從屬保持軸94的中心位置形成一致。另外，第1基盤76通過未圖示的旋轉驅動裝置被驅動旋轉。
第2基盤77形成與第1基盤76相同的圓盤狀，該第2基盤77構成加壓裝置，能夠在未圖示的升降機構的驅動下上下移動，通過未圖示的機構施加由汽缸裝置等所生成的按壓力。
圖13所示的測定顯微鏡80，在其底座81的上面垂直設置支柱82，在該支柱82上設置可上下移動的由光學系統構成的觀察部83。在底座81的上面設有可在XY方向上移動的平臺84，通過操作手柄85，可進行X方向及Y方向的移動操作。圖中雖未表示出，但在平臺84上設有移動量檢測裝置，根據其檢測信號，用運算部(個人計算機)進行各種運算，並在顯示部上進行坐標形式的顯示。
在所述平臺84上載置所述的第1基盤76，在通過觀察部83的觀測下進行平臺84的移動操作，當在視野的基點上標有主載體73的圖形86的多個基準點86a(參照圖14)或標記88(參照圖17)時，畫出近似圓，計算出中心位置，並把其位置坐標顯示在顯示部。另外，用同樣的方法測定出從屬保持軸94的中心位置，並把其坐標顯示在顯示部。另外，理想的是，可顯示兩者的坐標偏移量的裝置也可進行位置調整。
下面結合圖14及圖15對通過測定顯微鏡80的主載體73的位置確定進行說明。首先，如圖14所示的那樣，通過手動操作等把主載體73放置在主保持部件95的上面，此時的主載體73的圖形86的中心位置與從屬保持軸94的中心位置為錯開的(在圖14中是向左下方錯開)的偏心狀態。然後把第1基盤76放置在測定顯微鏡80的平臺84上，通過觀察部83的觀察和對平臺84的操作，求出從屬保持軸94的中心位置，同樣地，把主載體73的圖形86中的例如在外周磁軌上的多個扇區的起點信號作為基準點86a進行標記，求出圖形86的中心位置，對主保持部件95進行X方向及Y方向(圖中是向右上方向)的位置調整，使兩者形成一致，通過反覆進行這個操作，在如圖15所示的那樣兩者的中心位置形成一致的狀態下固定在主保持部件95上。
另外，也可以取代把所述圖形86的一部分作為基準點86a的觀測，而如圖17所示地在主載體73上形成圖形86的同時，還設置定位標記88，通過用測定顯微鏡80觀測該標記88來求出圖形86的中心位置。標記88例如是形成在圖形86外部上的同心圓上的多個點。
圖11的磁場施加裝置75，在上下兩側配置在具有向從屬媒體72及主載體73的半徑方向延伸的縫隙90的鐵心91上卷有線圈92的電磁鐵裝置89、89，在上下側向相同的方向施加與磁軌方向平行的複製用磁場。另外，作為磁場施加裝置75也可以取代電磁鐵裝置而由永磁鐵裝置構成，也可以只配置在一側。
在施加磁場時，使從屬媒體72與主載體73進行一體旋轉，同時通過磁場施加裝置75施加複製用磁場，從而把主載體73的複製信息複製記錄在從屬媒體72的磁軌全周上。也可以構成使複製用磁場旋轉的構造。另外，磁場施加裝置75中的電磁鐵裝置89可進行退避的移動，從而形成容許第1基盤76與第2基盤77的開閉動作的空間。
下面，對所述的磁複製裝置70的動作，即磁複製方法進行說明。首先，如圖16所示的那樣，在第2基盤77上升移動後的接觸之前的狀態下，如上述的那樣，預先在第1基盤76的主保持部件95上對主載體73進行其圖形86中心與從屬保持軸94中心的位置調整，然後，在該主載體73上放置從屬媒體72，使其中心孔72a嵌合在從屬保持軸94上。通過該從屬保持軸94的定位，形成了從屬媒體72的旋轉中心與主載體73的圖形86的中心位置的高精度的定位。
然後，加壓裝置使第2基盤77下降，使第2基盤77的按壓面與從屬媒體72的上面接觸，通過對該從屬媒體72的按壓，使其下面(磁記錄面)以規定的壓力與主載體73的上面(信息載持面)接觸。然後，向接近的方向移動兩側的電磁鐵裝置89、89，在使第1基盤76及第2基盤77一體旋轉的同時，通過電磁鐵裝置89、89施加複製用磁場，從而把對應主載體73的複製信息的磁化圖形記錄到從屬媒體72的記錄面上。
在完成磁複製之後，使第2基盤77進行分離動作，解除按壓力，從主載體73上揭下並取出完成複製後的從屬媒體72並進行運送。然後，通過其他工序將從屬媒體72反轉，再次放置到從屬保持軸94上，使主載體73與從屬媒體72的背面接觸，進行同樣的磁複製。
另外，也可以如圖18所示那樣地對兩面同時進行複製。位於下側的第1基盤76與上述同樣，具有把從屬媒體72的中心孔72a定位在盤座部件93上部的中心位置上的從屬保持軸94，並且在該從屬保持軸94的外周部上具有保持下側的主載體73的主保持部件95，使圖形的中心位置與從屬保持軸94的中心位置重合併固定。在從屬保持軸94的中心部設置有定位孔94a。
另一方面，上側的第2基盤77在盤座部件97下部的中心位置上具有用於通過插入到所述從屬保持軸94的定位孔94a中，來進行定位的定位銷98，並且具有把上側的主載體74保持在該定位銷98外周部上的主保持部件99，使其圖形的中心位置與定位銷98的中心位置重合併固定。
然後，在進行磁複製時，將從屬媒體72移動到被保持在第1基盤76的主保持部件95上的下側的主載體73上，並通過把其中心孔72a嵌合在從屬保持軸94上進行裝載，從而完成了從屬媒體72的旋轉中心與下側的主載體73的定位。然後，使第2基盤77下降，使其定位銷98嵌合在從屬保持軸94的定位孔94a內，從而完成了被保持在第2基盤77的主保持部件99上的上側的主載體74與從屬媒體72的旋轉中心的定位。然後，使位於從屬媒體72的下面及上面的上下主載體73、74的信息載持面分別以規定的壓力接觸從屬媒體72的上下面，施加複製用磁場，從而把對應主載體73、74的複製信息的磁化圖形同時記錄到從屬媒體72的兩面上。
對所述從屬媒體72預先進行初始磁化。該初始磁化是，使其磁場強度分布至少在1處以上的磁軌方向位置上具有大於從屬媒體72矯頑力的磁場強度部分的磁場、理想的是，使其磁場強度分布在磁軌方向位置上只有在一個方向上的大於從屬媒體72矯頑力的磁場強度部分，其反方向的磁場強度在任意磁軌方向位置上都小於從屬媒體72的矯頑力的磁場，在磁軌方向上的一部分上生成，通過使從屬媒體72或磁場向磁軌方向旋轉，來進行對全磁軌的初始磁化(直流消磁)。
另外，複製用磁場是施加在與所述初始磁化的磁軌方向相反的磁軌方向，在磁軌方向的任意位置都不存在超過最佳複製磁場強度範圍(從屬媒體72的矯頑力的0.6～1.3倍)最大值的磁場強度，在1個磁軌方向上至少有1處以上的磁場強度是在最佳複製磁場強度範圍內的部分。並且，與此相反的磁軌方向的磁場強度在從屬媒體72的記錄面全體區域內，在任意磁軌方向位置上都小於最佳複製磁場強度範圍。
依照本實施例，在進行磁複製時，通過預先把主載體73保持在其圖形86的中心位置與從屬保持軸94的中心位置形成一致，把從屬媒體72移動到其上面，並定位保持在從屬保持軸94上，然後使其與主載體73緊密接觸地進行兩者的定位，這樣，可形成從屬媒體72的中心位置與被複製的磁化圖形86的中心位置的高精度的重合，可提高在把磁複製後的從屬媒體72裝入驅動裝置時的與旋轉中心的位置精度。對於一次定位固定的主載體73可在確保定位精度的同時高效地進行多個從屬媒體72的供給，可高效地連續進行質量良好的磁複製，從而可提高生產效率。
另外，在所述實施例中，主保持部件95能夠在XY方向上移動，但在固定式主保持部件的情況下，也可以通過直接移動主載體73來進行定位。
下面，對本發明又一其他實施例進行詳細的說明。圖19是本發明又一其他實施例的實施磁複製方法的磁複製裝置的示意剖視圖。圖20是加壓主體的俯視圖。另外，各個圖為示意圖，對各個部分的尺寸以與實際尺寸不同的比例表示。
圖19的進行單面逐次複製的磁複製裝置100在進行複製時，使進行了後述的初始磁化後的從屬媒體102(磁記錄媒體)的從屬面(磁記錄面)與主載體103的信息載持面接觸，通過加壓裝置104形成規定按壓力的緊密接觸。在該從屬媒體102與主載體103緊密接觸的狀態下，由旋轉裝置105使從屬媒體102及主載體103進行旋轉，同時通過磁場施加裝置106施加複製用磁場，把伺服信號等的磁化圖形複製記錄到從屬媒體102上。在該磁複製過程中，在通過旋轉裝置105的旋轉驅動使主載體103和從屬媒體102在緊密接觸的狀態下進行旋轉時，加壓裝置104在對旋轉方向的旋轉力不形成阻礙的狀態下施加按壓力。
從屬媒體102是在兩面形成磁記錄層的硬碟、軟盤等的圓盤狀的磁記錄媒體。對從屬媒體102預先進行初始磁化。該初始磁化使，其磁場強度分布至少在1處以上的磁軌方向位置上具有大於從屬媒體102矯頑力Hcs的磁場強度部分，理想的是，其磁場強度分布在磁軌方向位置上只有在一個方向上具有大於從屬媒體102矯頑力Hcs的磁場強度部分，而其反方向的磁場強度在任意磁軌方向位置上都小於從屬媒體102的矯頑力的磁場，在磁軌方向上的一部分上生成；通過使從屬媒體102或磁場向磁軌方向旋轉，來進行對全磁軌的初始磁化(直流消磁)。
圖19中的下側的從屬媒體102，被保持在旋轉裝置105中的圓盤狀的旋轉基盤151的上面。旋轉基盤151在底面中心部上設有旋轉軸152，旋轉軸152被支撐在軸承部件153上，並可自由旋轉。在該旋轉軸152上，驅動馬達的旋轉驅動力通過同步皮帶、鏈條等的傳導部件被傳導至未圖示的鏈輪，或通過使用齒條/小齒輪機構等傳導旋轉力，或通過直接輸出旋轉力的馬達、旋轉作動缸(氣壓、油壓)等傳導旋轉力，由此使旋轉基盤151在磁複製時以規定的速度進行大致一周的旋轉。
上側的主載體103被形成為磁碟狀，在其一面上具有由磁性層構成的微細凹凸圖形而形成複製信息載持面，並使該信息載持面與從屬媒體102緊密接觸。與此相反的背面被保持在加壓裝置104中的圓盤狀的按壓基盤141的下面，該按壓基盤141使主載體103對從屬媒體102進行按壓。
在按壓基盤141的上部設置加壓主體142，該加壓主體142保持按壓基盤141，並且能夠在上下方向上進行與所述旋轉基盤151接觸或分離的移動。而且，設置有不阻礙加壓主體142與按壓基盤141之間的旋轉方向上的旋轉力的按壓力傳導機構143。
加壓主體142，在圓板部142a的外周上設有向下側延伸的周壁142b，在該周壁142b的下端部上形成有向內側突出的扣鎖部142c。在加壓主體142的上部安裝連杆142d，與未圖示的升降機構連接，可上下移動。在該加壓主體142的底面上，埋入設置有構成按壓力傳導機構143的多個軸承滾珠143a。在加壓主體142的142a的底面側，把按壓基盤141設置在扣鎖部142c的上部，在加壓主體142向上移動時，按壓基盤141被扣鎖部142c保持，形成一體的移動，在下降後的緊密接觸時軸承滾珠143a壓在按壓基盤141的上面，作為推進軸承傳導按壓力。
所述加壓主體142在旋轉方向上固定，通過軸承滾珠143a的旋轉，容許按壓基盤141與旋轉基盤151構成一體的旋轉。為了在加壓時，扣鎖部142c可與按壓基盤141分離，設置按壓基盤141可在加壓主體142內可進行若干的上下移動。
如圖20所示，在加壓主體142的上面形成可插入磁場施加裝置106的磁頭部的凹部142e，使其接近主載體103與從屬媒體102的接觸面，並施加磁場。最好在對應凹部142e的底面部上不設置所述的軸承滾珠143a。理想的是，使軸承滾珠143a具有彈簧，通過出沒的移動，使軸承滾珠143a全部接觸到按壓基盤141的上面，形成均勻的按壓。
另外，旋轉基盤151與按壓基盤141通過配置在從屬媒體102及主載體103的外側部分上的定位機構107來進行中心位置的定位。在如圖所示的情況下，在旋轉基盤151上立向設置多個定位銷171，在按壓基盤141上形成定位孔172，通過使兩者的相互嵌合來進行從屬媒體102與主載體103的中心位置的定位。另外，旋轉基盤151的旋轉力通過該定位機構107被傳導至按壓基盤141。旋轉力還通過從屬媒體102與主載體103的緊密接觸被傳導。定位銷171的前端形成圓錐形狀，從而可被順利地導入定位孔172內形成嵌合。
施加複製用磁場的磁場施加裝置106在一側或上下兩側配置了在具有在被緊密接觸地保持在旋轉基盤151和按壓基盤141之間的從屬媒體102及主載體103的半徑方向上延伸的磁頭部的鐵心上卷有線圈的電磁鐵裝置或永磁鐵裝置，向平行於磁軌方向的與所述初始磁場大致相反的方向施加複製用磁場。另外，磁場施加裝置106在加壓主體142進行升降移動時，可退避到不形成幹涉的位置。
複製用磁場在磁軌方向的任意位置都不存在超過最佳複製磁場強度範圍(從屬媒體102的矯頑力Hcs的0.6～1.3倍)的最大值的磁場強度，在1個磁軌方向上至少有1處以上的部分其磁場強度在最佳複製磁場強度範圍內。並且，與此相反的磁軌方向的磁場強度在從屬媒體102的記錄面全體區域內，在任意磁軌方向位置上都小於上述強度範圍的最小值。
通過所述磁複製裝置100的磁複製，首先，使預先定位固定有主載體103的按壓基盤141與加壓主體142一起上升，在其與旋轉基盤151之間形成了裝卸從屬媒體102的操作空間的狀態下，在確定好從屬媒體102的中心位置的狀態下載置在旋轉基盤151的上面。然後使加壓主體142下降，通過定位機構107進行按壓基盤141與旋轉基盤151的定位，同時通過按壓力傳導機構143把主載體103的複製信息載持面以規定的按壓力緊密接觸在從屬媒體102的記錄面上。然後啟動驅動馬達驅動旋轉軸152旋轉，使通過定位機構107連接的按壓基盤141與旋轉基盤151一同形成一體的旋轉驅動。與此同時，由磁場施加裝置106施加複製用磁場，從而把在主載體103的複製信息載持面上所形成的伺服信號等的複製信息以磁形式複製記錄到從屬媒體102的記錄面上。
依照本實施例，在施加複製用磁場時的旋轉時，由於加壓裝置104中的按壓基盤141是通過由軸承滾珠143a構成的按壓力傳導機構143的作用對旋轉方向的旋轉力不產生阻力成分，所以可以使按壓基盤141在施加按壓力的同時，進行獨立於加壓主體142的以旋轉基盤151的旋轉中心為中心的旋轉。由此，因旋轉所致的驅動負荷不會施加到加壓主體142側，另外，可使從屬媒體102與主載體103進行一體的旋轉而不會發生兩者之間的滑動，可進行高精度的磁複製。
圖21是其他實施例的具有按壓力傳導機構144的磁複製裝置100的主要部分剖視圖。
在本實施例中，按壓力傳導機構144由空氣間隙構成。按壓基盤141具有與上述相同的構造，並被保持在加壓主體142的圓板部142a與扣鎖部142c之間。在加壓主體142的圓板部142a的底面上形成多個空氣噴出孔144a。在圓板部142a的內部形成與空氣噴出孔144a連通的空氣通路144b，該空氣通路144b被導向外部，與未圖示的加壓源連接，供給壓縮空氣。
在按壓基盤141進行下降加壓時，從加壓主體142的空氣噴出孔144a向按壓基盤141的上面噴出加壓空氣，阻止兩者之間的接觸，在加壓主體142與按壓基盤141之間形成空氣間隙的狀態下傳導按壓力。相對在旋轉方向上被固定的加壓主體142，由於有中間存在空氣間隙的非接觸滑動，所以容許按壓基盤141與旋轉基盤151進行一體的旋轉。其他的構造與圖19相同，進行能夠同樣的磁複製。
在本實施例中同樣是，在施加磁複製磁場時的旋轉時，加壓裝置104中的按壓基盤141在通過噴出加壓空氣而形成空氣間隙的按壓力傳導機構144的作用下，旋轉方向上的旋轉力不受加壓主體142的阻礙，使按壓基盤141在施加按壓力的同時，獨立於加壓主體142進行以旋轉基盤151的旋轉中心為中心的旋轉。由此，因旋轉所致的驅動負荷不會施加到加壓主體142側，另外，可使從屬媒體102與主載體103進行一體的旋轉而不會發生兩者之間的滑動，可進行高精度的磁複製。
下面，圖22是表示其他實施例的具有從屬媒體102與主載體103的定位機構108的旋轉基盤151及按壓基盤141的視圖，圖23是主載體103的俯視圖。
本實施例的旋轉基盤151及按壓基盤141的基本構造與圖19相同。被保持在按壓基盤141上的主載體103大於被保持在旋轉基盤151上的從屬媒體102的外徑，在與從屬媒體102緊密接觸部分的外側部分上配置對旋轉基盤151與主載體103進行定位的定位機構108。
在定位保持從屬媒體102的旋轉基盤151上立向設置4根定位銷181，在主載體103上形成4個定位孔82(參照圖23)，由此構成了定位機構108。定位銷181的前端形成圓錐狀，從而可引導插入定位孔182內。
依照本實施例，由於在接觸動作時，旋轉基盤151的定位銷181插入到主載體103的定位孔182內，從而構成了旋轉基盤151即從屬媒體102與主載體103的定位。因此，與圖19所示的定位機構107相比，不需要進行按壓基盤141與主載體103的精密定位，簡化了設置精度要求高的部分。
圖24是表示其他實施例的具有定位機構109的旋轉基盤151及按壓基盤141的視圖。
本實施例的旋轉基盤151及按壓基盤141的基本構造與圖19的構造相同。在旋轉基盤151的中心部上配置對旋轉基盤151與主載體103進行定位的定位機構109。在旋轉基盤151的中心部上立向設置大直徑的定位銷191，在主載體103的中心部上形成定位孔192，由此構成了定位機構109。定位銷191貫通從屬媒體102的中心孔並向上突出。定位銷191的前端形成圓錐形狀，從而可引導插入定位孔192內。另外，也可以通過使旋轉基盤151的定位銷191插通從屬媒體102的中心孔，來進行從屬媒體102的定位。
依照本實施例，在加壓動作時，旋轉基盤151的中心定位銷191插到主載體103的定位孔192內，構成旋轉基盤151即從屬媒體102與主載體103的定位。從而，與圖22同樣地不需要進行按壓基盤141與主載體103的精密的定位，簡化了設置精度要求高的部分。並且，如果根據定位銷191對從屬媒體102進行定位，則可進一步簡化構造。
另外，也可以與所述各個實施例相反地把主載體103保持在旋轉基盤151上，而把從屬媒體102保持在按壓基盤141上。通過空氣吸引的吸附固定等進行在這些基盤151、141上的從屬媒體102及主載體103的固定，並為此形成吸引通路。另外，最好使主載體103在複製圖形以外的部分上形成小孔，用來吸引與從屬媒體102緊密接觸部分的空氣，使接觸表面之間沒有殘留的空氣。
另外，如所述的各個實施例那樣，有使主載體103緊密接觸從屬媒體102的一面，逐片地進行單面複製和使主載體103分別接觸從屬媒體102的兩面，對兩面同時進行複製的情況。在單面逐次複製的情況下，在旋轉基盤151上保持從屬媒體102(或主載體103)，在按壓基盤141上保持主載體103(或從屬媒體102)並使其相互形成緊密接觸，然後施加複製用磁場。在完成一面的複製後，使從屬媒體102的背面緊密接觸具有背面用的圖形的主載體103，然後施加複製用磁場。另外，在對兩面同時進行複製的情況下，分別由旋轉基盤151保持第1主載體103，由按壓基盤141保持第2主載體103，在兩主載體103、103之間夾持從屬媒體102，並緊密接觸在兩面上，然後施加複製用磁場。
本發明的磁複製，基本是通過對從屬媒體102向磁軌方向的一方向施加初始磁場，來進行預先初始磁化(直流消磁)。然後，使該從屬媒體102的從屬面(磁記錄面)與主載體103的由附著在基板上的微細凹凸圖形上的磁性層構成的信息載持面緊密接觸，通過在從屬媒體102的磁軌方向上施加與所述初始磁場相反方向施加複製用磁場來進行磁複製。其結果可把對應主載體103的信息載持面的磁性層上的由形成緊密接觸的凸部和凹部空間所形成的圖形的磁化圖形複製記錄到從屬媒體102的從屬面(磁軌)上。
權利要求
1.一種磁複製裝置，其特徵在於包括定位並保持載持有信息信號的主載體的主固定臺座和使接受複製的從屬媒體與所述主載體形成緊密接觸的貼靠裝置；由每個所述主固定臺座更換所述主載體。
全文摘要
一種磁複製裝置,包括定位並保持載持有信息信號的主載體(3)的主固定臺座(11)和使接受複製的從屬媒體(2)與主載體(3)形成緊密接觸的貼靠裝置(5),由每個主固定臺座(11)更換主載體(3)。理想的是還具有清洗裝置(7)。這種磁複製裝置,通過構成簡便化的主載體更換,來提高工作效率和複製效率,從而可提高生產效率。
文檔編號G11B23/50GK1381835SQ0210574
公開日2002年11月27日 申請日期2002年4月16日 優先權日2001年4月16日
發明者鐮谷彰人, 乾恆雄, 青木理史, 西川正一 申請人:富士膠片株式會社