研磨墊固定用粘合片的製作方法

2023-04-29 20:38:16 1

本發明涉及用於固定研磨墊的粘合片。本申請要求基於2015年11月30日提出的日本專利申請2015-234111號和2016年8月26日提出的日本專利申請2016-165638號的優先權，將這些申請的全部內容併入本說明書中作為參考。
背景技術：
：液晶用玻璃或矽晶片、硬碟等的高表面光滑性一般通過研磨實現。上述研磨中使用的研磨墊通常使用雙面粘合帶安裝固定到研磨裝置的平臺上。作為公開了使用粘合片作為研磨墊固定手段的現有技術的文獻，可以列舉專利文獻1、2。現有技術文獻專利文獻專利文獻1：日本專利申請公開2012-57135號公報專利文獻2：日本專利申請公開2012-102165號公報技術實現要素：發明所要解決的問題對於用於將研磨墊安裝固定到研磨裝置平臺(以下有時也簡稱為「平臺」)上的粘合片(研磨墊固定用粘合片)要求具有對研磨墊和平臺二者良好膠粘的性能。另外，為了將由於使用而劣化的研磨墊從平臺剝離並更換為新的研磨墊，對於研磨墊固定用粘合片要求具有容易將使用後的研磨墊從平臺剝離的性質。但是，從提高生產率、降低成本等觀點考慮，在存在進一步延長研磨墊的使用時間(耐用時間)而減少研磨墊的更換頻率的要求的情況下，難以通過現有的研磨墊固定用粘合片滿足上述要求。例如，為了在更長時間內可靠性良好地固定研磨墊，要求在不顯著損害上述的剝離容易性的情況下能夠將研磨墊更牢固地膠粘於平臺的粘合片。本發明鑑於上述現有的事項而完成，其目的在於提供一種能夠將研磨墊牢固地固定於平臺的研磨墊固定用粘合片。用於解決問題的手段根據本發明，提供一種研磨墊固定用粘合片。該粘合片以具有基材、設置於上述基材的第一面的第一粘合劑層和設置於上述基材的第二面的第二粘合劑層的雙面粘合片的形式構成。上述第一粘合劑層的粘合面為將要粘貼於研磨墊的面。上述第二粘合劑層的粘合面為將要粘貼於研磨裝置平臺的面。構成上述第一粘合劑層的粘合劑(以下也稱為「研磨墊側粘合劑」)為丙烯酸類粘合劑。構成上述第二粘合劑層的粘合劑(以下也稱為「平臺側粘合劑」)也為丙烯酸類粘合劑。而且，至少構成上述第二粘合劑層(平臺側粘合劑)的丙烯酸類粘合劑為粘合劑s。在一個方式中，該粘合劑s為相對於丙烯酸類聚合物100重量份含有3重量份以上且40重量份以下的聚合松香類增粘樹脂的丙烯酸類粘合劑。這樣構成的粘合片通過具有由上述粘合劑s構成的第二粘合劑層(平臺側粘合劑層)，可以兼顧對平臺的良好的膠粘性和更換研磨墊時的作業性。另外，通過用丙烯酸類粘合劑構成第一粘合劑層(墊側粘合劑層)，可以使上述第一粘合劑層良好地膠粘於研磨墊。因此，根據本發明，提供適合於將研磨墊固定於平臺的用途、並且也適合於將研磨墊的使用時間延長的研磨墊固定用粘合片。在此所公開的技術的一個優選方式中，上述粘合劑s中構成上述丙烯酸類聚合物的單體成分含有(甲基)丙烯酸正丁酯和在酯末端具有碳原子數6～9的烷基的(甲基)丙烯酸烷基酯。利用這樣的組成的粘合劑s，可以適當地兼顧粘合力和保持力。另外，由於所述組成的粘合劑s也適合於兼顧低溫粘合力和保持力，因此也可以優選以第一粘合面和第二粘合面均由粘合劑s構成的方式實施。在此所公開的技術的另一個優選方式中，上述粘合劑s中構成上述丙烯酸類聚合物的單體成分含有40重量％以上且95重量％以下的(甲基)丙烯酸正丁酯。利用這樣的組成的粘合劑s，可以適當地兼顧粘合力和保持力。另外，由於所述組成的粘合劑s也適合於兼顧低溫粘合力和保持力，因此也可以優選以第一粘合面和第二粘合面均由粘合劑s構成的方式實施。在此所公開的技術的另一個優選方式中，上述粘合劑s中構成上述丙烯酸類聚合物的單體成分含有1重量％以上且5重量％以下的含羧基單體。這樣的組成的粘合劑s適合於兼顧低溫粘合力和保持力。因此，可以優選以第一粘合面和第二粘合面均由粘合劑s構成的方式實施。在此所公開的技術的另一個優選方式中，上述粘合劑s中構成上述丙烯酸類聚合物的單體成分含有含羥基單體。這樣的組成的粘合劑s適合於兼顧低溫粘合力和保持力。因此，可以優選以第一粘合面和第二粘合面均由粘合劑s構成的方式實施。在此所公開的技術可以優選以上述粘合劑s通過異氰酸酯類交聯劑進行了交聯的方式實施。利用這樣的組成的粘合劑s，可以適當地兼顧粘合力和保持力。另外，由上述粘合劑s構成的粘合劑層傾向於對基材顯示出良好的錨固性。從防止將粘合片與使用後的研磨墊一起從平臺剝離時的膠粘殘留等觀點考慮，該方式是優選的。在此所公開的粘合片中，優選上述第一粘合劑層的粘合面(墊側粘合面)的低溫粘合力f1為上述第二粘合劑層的粘合面(平臺側粘合面)的粘合力f2的0.7倍以上(例如大於1.0倍)。從將粘合片與使用後的研磨墊一起從平臺剝離時的作業性的觀點考慮，以這樣的方式構成是優選的。在使用上述粘合片固定的研磨墊為硬質的(例如硬質聚氨酯類的)研磨墊的情況下、或為大面積的研磨墊等的情況下，該方式是特別有意義的。在此所公開的技術可以優選以構成上述第二粘合劑層的丙烯酸類粘合劑(平臺側粘合劑)和構成上述第一粘合劑層的丙烯酸類粘合劑(墊側粘合劑)均為粘合劑s的方式實施。根據這種平臺側粘合劑和墊側粘合劑均為粘合劑s的方式，具有伴隨著研磨墊的使用的粘合片的變質在該粘合片的兩面大致同樣地進行的傾向。從將粘合片與使用後的研磨墊一起從平臺剝離時的作業性的觀點考慮，該方式是優選的。在平臺側粘合劑和墊側粘合劑均為粘合劑s的方式中，平臺側粘合劑和墊側粘合劑可以為相同組成的粘合劑s，也可以為不同組成的粘合劑s。在此所公開的技術可以優選以構成上述第一粘合劑層的丙烯酸類粘合劑和構成上述第二粘合劑層的丙烯酸類粘合劑為相同組成的粘合劑s的方式實施。所述構成的粘合片具有伴隨著研磨墊的使用的粘合片的變質在該粘合片的兩面同樣地進行的傾向。從將粘合片與使用後的研磨墊一起從平臺剝離時的作業性的觀點考慮，該方式是優選的。根據本說明書，提供一種研磨構件，其具有研磨墊和在此所公開的任意一種粘合片，並且該粘合片的上述第一粘合劑層的粘合面(墊側粘合面)粘貼於上述研磨墊。利用所述構成的研磨構件，通過將上述粘合片的第二粘合劑層的粘合面(平臺側粘合面)粘貼於研磨裝置平臺，可以將上述研磨墊牢固地固定於上述平臺。上述研磨構件(帶有粘合片的研磨墊)典型地可以通過將在此所公開的任意一種粘合片的第一粘合面壓接於研磨墊而得到。因此，根據本說明書，作為本發明的另一側面，提供一種帶有粘合片的研磨墊的製造方法，所述製造方法包括將在此所公開的任意一種粘合片的第一粘合面壓接於研磨墊(典型地為在常溫、例如低於40℃的溫度下進行壓接)。附圖說明圖1為表示一個實施方式的研磨墊固定用粘合片和研磨構件的應用例的側視示意圖。圖2為表示一個實施方式的粘合片的構成的剖視示意圖。圖3為示意性地表示剪切膠粘力的測定方法的說明圖。附圖標記1，2，3粘合片11第一粘合劑層11a第一粘合面12第二粘合劑層12a第二粘合面15基材21，22剝離襯墊30研磨墊40研磨裝置50研磨裝置平臺90研磨構件(帶有粘合片的研磨墊)具體實施方式以下，說明本發明的優選實施方式。需要說明的是，關於本說明書中特別提及的事項以外的對於本發明的實施必要的事項，本領域技術人員可以基於本說明書中記載的關於發明的實施的教導和申請時的技術常識而理解。本發明可以基於本說明書中公開的內容和本領域中的技術常識來實施。需要說明的是，以下的附圖中，有時對實現相同作用的構件、部位附上相同的符號進行說明，有時省略或簡化重複的說明。另外，附圖中記載的實施方式為了清楚地說明本發明而進行了示意化，並不準確地表示作為製品實際提供的粘合片的尺寸或縮尺。本說明書中，「粘合劑」是指在室溫附近的溫度範圍內呈柔軟的固體(粘彈性體)狀態，並且具有通過壓力而簡單地膠粘於被粘物的性質的材料。在此所說的粘合劑，如「c.a.dahlquist,「adhesion:fundamentalandpractice」,mclaren&sons,(1966),第143頁」所定義，一般而言，可以為具有滿足複數拉伸彈性模量e*(1hz)<107達因/cm2的性質的材料(典型地為在25℃下具有上述性質的材料)。在此所公開的技術中的粘合劑可以理解為粘合劑組合物的固形分(不揮發成分)或粘合劑層的構成成分。本說明書中，粘合劑的「基礎聚合物」是指該粘合劑中所含的橡膠狀聚合物的主要成分。上述橡膠狀聚合物是指在室溫附近的溫度範圍內顯示橡膠彈性的聚合物。另外，本說明書中，在沒有特別說明的情況下，「主要成分」是指含量超過50重量％的成分)。本說明書中，「丙烯酸類聚合物」是指含有來源於一分子中具有至少一個(甲基)丙烯醯基的單體的單體單元作為構成該聚合物的單體單元的聚合物。以下，也將一分子中具有至少一個(甲基)丙烯醯基的單體稱為「丙烯酸類單體」。因此，本說明書中的丙烯酸類聚合物被定義為含有來源於丙烯酸類單體的單體單元的聚合物。作為所述丙烯酸類聚合物的典型例，可以列舉該丙烯酸類聚合物的合成中使用的全部單體成分中丙烯酸類單體的比例大於50重量％的丙烯酸類聚合物。另外，本說明書中，「(甲基)丙烯醯基」概括地指丙烯醯基和甲基丙烯醯基。同樣地，「(甲基)丙烯酸酯」概括地指丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯，「(甲基)丙烯酸」概括地指丙烯酸和甲基丙烯酸。在此所公開的粘合片具有在基材的兩面(第一面和第二面)上分別設置有第一粘合劑層和第二粘合劑層的雙面粘合片的形態，其為通過將上述第一粘合劑層的粘合面粘貼於研磨墊而構成研磨構件(帶有粘合片的研磨墊)、或者用於將研磨墊固定於其它構件(典型地為研磨裝置平臺)的粘合片。在此，研磨墊是指研磨對象物的研磨中使用的構件，其為包括通過在擠壓研磨對象物的同時進行相對運動而將研磨力應用於該研磨對象物的研磨墊(有時也稱為研磨布)和支撐研磨對象物的研磨墊(有時也稱為背墊)二者的概念。在此所公開的粘合片可以用於研磨布固定，也可以用於背墊固定。作為在此所公開的粘合片的粘貼對象的研磨墊的材質，沒有特別限制，可以為例如：聚氨酯泡沫(發泡聚氨酯)類、聚烯烴泡沫(發泡聚烯烴)類以及其它發泡樹脂類研磨墊、非發泡樹脂類研磨墊、無紡布類研磨墊等。可以為具有包含上述研磨墊的至少一層的層疊結構的研磨墊。在此所公開的粘合片可以優選用於聚氨酯泡沫類研磨墊的固定。沒有特別限制，可以優選將在此所公開的粘合片應用於例如密度0.3g/cm3～1.2g/cm3(典型地為0.4g/cm3～1.0g/cm3)的聚氨酯泡沫類研磨墊。關於上述研磨墊的硬度(jisk6400-2(2004)a法)沒有特別限制。在此所公開的粘合片例如可以優選用於上述硬度為約60n～約120n(典型地為約70n～約100n)的研磨墊(為聚氨酯泡沫類研磨墊時，也稱為硬質聚氨酯類研磨墊)的固定。需要說明的是，研磨墊可以為在墊內固定有磨粒的研磨墊。在此所公開的粘合片的優選應用例如圖1所示。粘合片1具有：基材15、配置於基材15的一個表面(第一面)的第一粘合劑層11和配置於基材15的另一個表面(第二面)的第二粘合劑層12。第一粘合劑層11的粘合面(第一粘合面)11a粘貼於研磨墊30的背面30b。由此，構成具有研磨墊30和粘貼於研磨墊30的粘合片1的研磨構件(帶有粘合片的研磨墊)90。第二粘合劑層12的粘合面(第二粘合面)12a粘貼於研磨裝置40所具備的研磨裝置平臺50的表面50a。由此，通過粘合片1將研磨墊30固定於研磨裝置平臺50。即，研磨構件90固定於研磨裝置平臺50。使用了如上所述的研磨墊30的研磨例如可以通過以下方式進行：在使旋轉軸a旋轉並且供給研磨液(未圖示)的狀態下，將研磨對象物(未圖示)擠壓至固定在研磨裝置平臺50上的研磨墊30的研磨麵30a。另外，例如可以通過以下方式進行：通過吸附等將研磨對象物(未圖示)的一個面保持在研磨墊30上，並將未圖示的研磨墊(研磨布)擠壓至該研磨對象物的另一個面。在使用規定時期後，將研磨墊30從研磨裝置平臺50上拆除(典型地在研磨裝置平臺50與第二粘合面12a之間拆除)，並更換為新的研磨墊。在此所公開的粘合片(可以為帶狀等長尺寸狀的形態)例如可以為具有圖2所示的截面結構的雙面粘合片的形態。該雙面粘合片1具有基材15和由基材15的兩面分別支撐的第一粘合劑層11和第二粘合劑層12。更詳細地說，基材15的第一面15a和第二面15b(均為非剝離性)上分別設置有第一粘合劑層11和第二粘合劑層12。使用前(向被粘物上粘貼前)的雙面粘合片1如圖2所示可以是與正面21a和背面21b均為剝離面的剝離襯墊21重疊並卷繞成旋窩狀的形態。所述形態的雙面粘合片1中，第二粘合劑層12的表面(第二粘合面12a)由剝離襯墊21的正面21a保護，第一粘合劑層11的表面(第一粘合面11a)由剝離襯墊21的背面21b保護。或者，也可以是第一粘合面11a和第二粘合面12a由兩片獨立的剝離襯墊分別保護的形態。從提高生產率等觀點考慮，在此所公開的粘合片優選為具有適合於傾向於大型化的研磨墊或研磨裝置平臺的尺寸的尺寸的粘合片。作為這樣的粘合片，可以列舉例如寬度為600mm以上(典型地為1050mm以上)的粘合片、粘貼於具有上述寬度的研磨墊的粘合片。伴隨著研磨墊的大型化(寬幅化)，降低研磨墊的更換頻率的要求傾向於變強，因此應用在此所公開的技術的意義變大。粘合片或粘貼有該粘合片的研磨墊的寬度的上限沒有特別限制，通常為3000mm以下，典型地為2500mm以下。構成在此所公開的粘合片的基材沒有特別限制，可以適當選擇使用例如：聚乙烯(pe)膜、聚丙烯(pp)膜、乙烯-丙烯共聚物膜等聚烯烴類膜、聚對苯二甲酸乙二醇酯(pet)膜等聚酯膜、聚氯乙烯膜等塑料膜；包含聚氨酯泡沫、聚乙烯泡沫、聚氯丁二烯泡沫等發泡體的發泡體片；由各種纖維狀物質(可以是麻、棉等天然纖維、聚酯、維尼綸等合成纖維、醋酯纖維等半合成纖維等)單獨或混紡等而得到的織布和無紡布(是包括日本紙、道林紙(上質紙)等紙類的含義)；鋁箔、銅箔等金屬箔；等。作為上述塑料膜(典型地是指非多孔塑料膜，是與織布或無紡布不同的概念)，可以使用未拉伸膜和拉伸(單軸拉伸或雙軸拉伸)膜的任意一種。可以對基材實施底塗劑的塗布、電暈放電處理等表面處理(典型地為用於提高粘合劑對基材的錨固性的處理)。從對研磨墊的粘貼作業性、粘貼有粘合片的研磨墊(帶有粘合片的研磨墊，即研磨構件)的操作性等觀點考慮，可以優選採用塑料膜作為基材。其中，作為優選的塑料膜，可以列舉聚酯膜(典型地為pet膜)。在此，上述研磨構件的操作性中包括例如將該研磨構件粘貼到平臺的作業性、將使用後的研磨墊與粘合片一起從平臺上拆除時的剝離作業性等。基材的厚度可以根據目的適當選擇，一般為約10μm以上(典型地為約25μm以上、例如約50μm以上)且約300μm以下(典型地為約250μm以下、例如約200μm以下)。在一個優選方式中，可以優選採用厚度為約50μm以上且約100μm以下的基材(例如塑料膜、典型地為pet膜)。使用了這樣的厚度的基材的粘合片利用該基材所具有的剛性，可以成為容易粘貼於更大型的研磨墊的粘合片。另外，粘貼有這樣的粘合片的研磨墊(研磨構件)可以成為即使為更大型也具有良好的操作性的研磨構件。在此所公開的粘合片中，構成第一粘合劑層的粘合劑(墊側粘合劑)和構成第二粘合劑層的粘合劑(平臺側粘合劑)均為丙烯酸類粘合劑。在此，「丙烯酸類粘合劑」是指含有丙烯酸類聚合物作為基礎聚合物的粘合劑。墊側粘合劑的組成和平臺側粘合劑的組成可以相同也可以不同。在此所公開的粘合片的典型方式中，在該第一粘合劑層和第二粘合劑層中，至少第二粘合劑層(平臺側粘合劑層)由滿足規定條件的丙烯酸類粘合劑s構成。構成第一粘合劑層(墊側粘合劑層)的粘合劑和構成平臺側粘合劑層的粘合劑可以均為粘合劑s。在這種情況下，平臺側粘合劑和墊側粘合劑可以為相同的粘合劑s，也可以為選自滿足粘合劑s的條件的粘合劑的不同粘合劑。(丙烯酸類聚合物)作為丙烯酸類聚合物，優選例如含有(甲基)丙烯酸烷基酯作為主單體，並且可以還含有與該主單體具有共聚性的副單體的單體原料(單體成分)的聚合物。在此，主單體是指佔上述單體原料中的單體組成的超過50重量％的成分。作為(甲基)丙烯酸烷基酯，可以優選使用例如下述式(1)所表示的化合物。ch2＝c(r1)coor2(1)在此，上述式(1)中的r1為氫原子或甲基。另外，r2為碳原子數1～20的烷基。以下，有時將這樣的碳原子數的範圍表示為「c1-20」。從粘合劑的儲能彈性模量等觀點考慮，優選r2為c1-14(例如c2-10、典型地為c4-9)的烷基的(甲基)丙烯酸烷基酯，更優選r1為氫原子且r2為c4-9的烷基的丙烯酸烷基酯(以下，也簡稱為丙烯酸c4-9烷基酯)。作為r2為c1-14的烷基的(甲基)丙烯酸烷基酯，可以列舉例如：(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸異壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸異癸酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十四烷基酯等。這些(甲基)丙烯酸烷基酯可以單獨使用一種或者組合使用兩種以上。作為優選的(甲基)丙烯酸烷基酯，可以列舉丙烯酸正丁酯(ba)和丙烯酸-2-乙基己酯(2eha)。(甲基)丙烯酸烷基酯在用於合成丙烯酸類聚合物的全部單體成分中所佔的比例優選為約70重量％以上，更優選為約85重量％以上，進一步優選為約90重量％以上。(甲基)丙烯酸烷基酯的比例的上限沒有特別限制，通常優選設定為約99.5重量％以下(例如約99重量％以下)。或者，丙烯酸類聚合物可以為實質上僅將(甲基)丙烯酸烷基酯聚合而得到的丙烯酸類聚合物。另外，使用丙烯酸c4-8烷基酯作為單體成分時，該單體成分中所含的(甲基)丙烯酸烷基酯中丙烯酸c4-8烷基酯的比例通常設定為約50重量％以上是適當的，優選為約70重量％以上，更優選為約90重量％以上，進一步優選為約95重量％以上(典型地為約99重量％～約100重量％)。作為上述丙烯酸類聚合物的一個優選例，可以列舉至少共聚有ba的丙烯酸類聚合物(即，全部單體成分中ba的含量大於0重量％的丙烯酸類聚合物)。含有這樣的ba共聚丙烯酸類聚合物作為基礎聚合物的粘合劑作為研磨墊固定用粘合劑可以適當地兼顧粘合性和凝聚性。在此所公開的技術可以優選以至少構成平臺側粘合劑層的粘合劑(粘合劑s)的基礎聚合物為ba共聚丙烯酸類聚合物的方式實施。上述ba共聚丙烯酸類聚合物中的ba的共聚比例例如可以設定為全部單體成分的約30重量％以上，優選設定為約40重量％以上。從更適當地兼顧作為研磨墊固定用粘合劑的粘合性和凝聚性的觀點考慮，在一個優選方式中，ba共聚丙烯酸類聚合物中的ba的共聚比例可以設定為全部單體成分的約50重量％以上(典型地為約超過50重量％，例如約60重量％以上)，也可以設定為約65重量％以上。另外，ba共聚丙烯酸類聚合物中的ba的共聚比例可以為全部單體成分的100重量％，通常為約99.5重量％以下是適當的，優選約99重量％以下(典型地為約98重量％以下，例如95重量％以下)。作為在此所公開的技術的一個優選方式，可以列舉至少構成平臺側粘合劑(粘合劑s)的基礎聚合物的單體成分含有約40重量％以上且約95重量％以下(例如約60重量％以上且約95重量％以下)的ba的方式。另外，上述ba的共聚比例例如可以為約60重量％以上且約90重量％以下。作為在此所公開的技術的另一個優選方式，可以列舉至少構成平臺側粘合劑(粘合劑s)的基礎聚合物的單體成分含有ba和上式(1)中的r2為c6-9的烷基的(甲基)丙烯酸烷基酯(即，(甲基)丙烯酸c6-9烷基酯)的方式。作為(甲基)丙烯酸c6-9烷基酯，可以優選採用後述的玻璃化轉變溫度(tg)低於ba的(甲基)丙烯酸c6-9烷基酯。作為這樣的(甲基)丙烯酸c6-9烷基酯的具體例，可以列舉2eha和丙烯酸異壬酯。例如，優選上述單體成分含有ba和2eha的組成的丙烯酸類聚合物。在所述組成的丙烯酸類聚合物中，2eha的使用量通常設定為少於ba的量是適當的，例如，將ba和2eha的合計量設為100重量％，其中2eha的比例優選設定為約45重量％以下，典型地為約40重量％以下，例如約35重量％以下，另外，優選設定為約5重量％以上，典型地為約10重量％以上，例如約20重量％以上。在含有ba和(甲基)丙烯酸c6-9烷基酯的方式中，它們的合計量在全部單體成分中所佔的比例例如可以設定為70重量％以上，典型地為80重量％以上，優選為85重量％以上，也可以為90重量％以上。另外，上述合計量在全部單體成分中所佔的比例可以為100重量％，典型地為99.5重量％以下，優選為99重量％以下，例如為98重量％以下。在不顯著損害本發明的效果的範圍內，在此所公開的技術中的丙烯酸類聚合物中可以共聚有上述以外的單體(其它單體)。上述其它單體例如可以出於調節丙烯酸類聚合物的玻璃化轉變溫度(tg)、調節粘合性能等目的而使用。例如，作為能夠提高粘合劑的凝聚力、耐熱性的單體，可以列舉含磺酸基單體、含磷酸基單體、含氰基單體、乙烯基酯類、芳香族乙烯基化合物等。作為它們中的優選例，可以列舉乙烯基酯類。作為乙烯基酯類的具體例，可以列舉乙酸乙烯酯(vac)、丙酸乙烯酯、月桂酸乙烯酯等。其中，優選vac。另外，作為能夠在丙烯酸類聚合物中引入可以形成交聯基點的官能團、或者能夠有助於提高膠粘力的其它單體，可以列舉含羥基(oh基)單體、含羧基單體、含酸酐基單體、含醯胺基單體、含氨基單體、含醯亞氨基單體、含環氧基單體、(甲基)丙烯醯嗎啉、乙烯基醚類等。作為在此所公開的技術中的丙烯酸類聚合物的一個優選例，可以列舉共聚有含羧基單體作為上述其它單體的丙烯酸類聚合物。作為含羧基單體，可以例示丙烯酸(aa)、甲基丙烯酸(maa)、(甲基)丙烯酸羧基乙酯、(甲基)丙烯酸羧基戊酯、衣康酸、馬來酸、富馬酸、巴豆酸、異巴豆酸等。其中，作為優選的含羧基單體，可以列舉aa和maa。這些化合物可以單獨使用一種或組合使用兩種以上。作為在此所公開的技術中的丙烯酸類聚合物的另一個優選例，可以列舉共聚有含羥基單體作為上述其它單體的丙烯酸類聚合物。作為含羥基單體的例子，可以列舉(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-3-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸-4-羥基丁酯等(甲基)丙烯酸羥烷基酯；聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯；n-羥乙基(甲基)丙烯醯胺等。其中，作為優選的含羥基單體，可以列舉烷基為碳原子數2～4的直鏈狀的(甲基)丙烯酸羥烷基酯。作為優選的具體例，可以列舉丙烯酸-2-羥基乙酯和丙烯酸-4-羥基丁酯。這樣共聚有含羥基聚合物的丙烯酸類聚合物例如可以優選與後述的異氰酸酯類交聯劑組合使用上述「其它單體」可以單獨使用一種或組合使用兩種以上。其它單體的合計含量沒有特別限制。例如，可以設定為全部單體成分的約40重量％以下(典型地為約0.001重量％以上且約40重量％以下)，通常更優選設定為約30重量％以下(典型地為約0.01重量％以上且約30重量％以下)，例如可以設定為約10重量％以下(典型地為約0.1重量％以上且約10重量％以下)。使用含羧基單體作為上述其它單體時，其含量沒有特別限制，通常設定為全部單體成分的約0.1重量％以上(例如約0.2％重量％以上、典型地為約0.5重量％以上、優選為約1重量％以上)是適當的，另外，設定為約10重量％以下(例如約8重量％以下、典型地為約5重量％以下、優選為約4重量％以下)是適當的。在此所公開的技術可以優選以下述方式實施：至少構成平臺側粘合劑(粘合劑s)的基礎聚合物的單體成分含有約0.5重量％以上且約5重量％以下(更優選為約1重量％以上且約4重量％以下)的含羧基單體。使用含羥基單體作為上述其它單體時，其含量沒有特別限制，通常設定為全部單體成分的約0.001重量％以上(例如約0.01重量％以上、典型地為約0.02重量％以上)是適當的，另外，設定為約10重量％以下(優選為約5重量％以下、典型地為約2重量％以下、例如約1重量％以下)是適當的。可以將含羥基單體的含量設定為全部單體成分的約0.5重量％以下(例如約0.2重量％以下、進一步為約低於0.1重量％)。在此所公開的技術可以優選以下述方式實施：至少構成平臺側粘合劑(粘合劑s)的基礎聚合物的單體成分含有約0.01重量％以上且約1重量％以下(更優選為約0.02重量％以上且約0.2重量％以下)的含羥基單體。丙烯酸類聚合物的共聚組成以使得該聚合物的玻璃化轉變溫度(tg)為約-15℃以下(典型地為約-70℃以上且約-15℃以下)的方式進行設計是適當的，優選為約-25℃以下(例如約-65℃以上且約-25℃以下)，更優選為約-40℃以下(例如約-65℃以上且約-40℃以下)。從提高粘合劑的低溫下的粘合性、對研磨墊的膠粘性的觀點考慮，優選將丙烯酸類聚合物的tg調節為上述上限值以下。可以通過適當改變單體組成(即，用於該聚合物的合成的單體的種類、使用量比)來調節丙烯酸類聚合物的tg。在此，丙烯酸類聚合物的tg是指基於該聚合物的合成中使用的單體成分的組成、並利用fox式求出的tg。fox式如下所示，是共聚物的tg與將構成該共聚物的單體各自單獨聚合得到的均聚物的玻璃化轉變溫度tgi的關係式。1/tg＝σ(wi/tgi)需要說明的是，上述fox式中，tg表示共聚物的玻璃化轉變溫度(單位：k)、wi表示該共聚物中的單體i的重量分數(重量基準的共聚比例)、tgi表示單體i的均聚物的玻璃化轉變溫度(單位：k)。作為tg的計算中使用的均聚物的玻璃化轉變溫度，使用公知資料中記載的值。例如，關於以下所列舉的單體，使用以下的值作為該單體的均聚物的玻璃化轉變溫度。關於上述例示的以外的單體的均聚物的玻璃化轉變溫度，使用「polymerhandbook」(聚合物手冊)(第3版，johnwiley&sons,inc,1989年)中記載的數值。本文獻中記載有多個種類的值時，採用最高值。關於上述polymerhandbook中也未記載其均聚物的玻璃化轉變溫度的單體，使用通過以下的測定方法得到的值(參見日本專利申請公開2007-51271號公報)。具體而言，在具有溫度計、攪拌器、氮氣引入管和回流冷凝管的反應器中，投入100重量份單體、0.2重量份偶氮二異丁腈和200重量份作為聚合溶劑的乙酸乙酯，在使氮氣流通的同時攪拌1小時。以這樣的方式將聚合體系內的氧氣除去，然後升溫到63℃並反應10小時。接下來，冷卻到室溫，得到固形分濃度33重量％的均聚物溶液。接下來，將該均聚物溶液流延塗布到剝離襯墊上並乾燥，從而製作厚度約2mm的試驗樣品(片狀的均聚物)。將該試驗樣品衝裁為直徑7.9mm的圓盤狀，用平行板夾住，使用粘彈性試驗機(ares，rheometrics公司製造)，在施加頻率1hz的剪切應變的同時以5℃/分鐘的升溫速度在-70℃～150℃的溫度範圍內通過剪切模式測定粘彈性，並將tanδ的峰頂溫度作為均聚物的tg。獲得丙烯酸類聚合物的方法沒有特別限制，可以適當採用溶液聚合法、乳液聚合法、本體聚合法、懸浮聚合法、光聚合法等作為丙烯酸類聚合物的合成方法而已知的各種聚合方法。例如，可以優選使用溶液聚合法。作為進行溶液聚合時的單體供給方法，可以適當採用一次性供給全部單體原料的分批方式、連續供給(滴加)方式、分步供給(滴加)方式等。聚合溫度可以根據使用的單體和溶劑的種類、聚合引發劑的種類等進行適當選擇，例如可以設定為約20℃以上(典型地為約40℃以上)，另外，可以設定為約170℃以下(典型地為約140℃以下)。溶液聚合中使用的溶劑(聚合溶劑)可以從現有公知的有機溶劑中適當選擇。例如，可以使用選自甲苯、二甲苯等芳香族化合物類(典型地為芳香烴類)；乙酸乙酯、乙酸丁酯等乙酸酯類；己烷、環己烷、甲基環己烷等脂肪族或脂環式烴類；1,2-二氯乙烷等滷代烷烴類；異丙醇等低級醇類(例如，碳原子數1～4的一元醇類)；叔丁基甲基醚等醚類；甲基乙基酮、丙酮等酮類；等中的任意一種溶劑、或兩種以上的混合溶劑。聚合中使用的引發劑可以根據聚合方法的種類從現有公知的聚合引發劑中適當選擇。例如可以優選使用2,2』-偶氮二異丁腈(aibn)等偶氮類聚合引發劑的一種或兩種以上。作為聚合引發劑的其它例子，可以列舉過硫酸鉀等過硫酸鹽；過氧化苯甲醯、過氧化氫等過氧化物類引發劑；苯基取代乙烷等取代乙烷類引發劑；芳香族羰基化合物；等。作為聚合引發劑的其它例子，可以列舉：過氧化物與還原劑組合而成的氧化還原型引發劑。這樣的聚合引發劑可以單獨使用一種或者組合使用兩種以上。聚合引發劑的使用量為通常的使用量即可，例如，相對於全部單體成分100重量份，可以從約0.005重量份～約1重量份(典型地為約0.01重量份～約1重量份)的範圍內選擇。在此所公開的技術中，丙烯酸類聚合物的重均分子量(mw)沒有特別限制，例如可以為約10×104以上且約500×104以下。從適當地兼顧適合於研磨墊固定用途的粘合性和凝聚性的觀點考慮，丙烯酸類聚合物的mw優選為約20×104以上(典型地為約35×104以上)，另外，從塗布性等觀點考慮，通常為約150×104以下(典型地為約100×104以下、優選為約小於70×104、更優選為約65×104以下、例如約60×104以下)是適當的。在此，mw是指通過gpc(凝膠滲透色譜法)得到的標準聚苯乙烯換算的值。作為gpc裝置，可以使用例如型號名「hlc-8320gpc」(柱：tskgelgmh-h(s)，東曹公司製造)。上述mw可以優選應用於至少平臺側粘合劑(粘合劑s)的丙烯酸類聚合物。平臺側粘合劑的基礎聚合物和墊側粘合劑的丙烯酸類聚合物可以均具有上述mw。(增粘樹脂)在此所公開的技術中的丙烯酸類粘合劑除了上述丙烯酸類聚合物(基礎聚合物)以外，可以根據需要含有增粘樹脂。優選至少平臺側粘合劑(粘合劑s)含有增粘樹脂。平臺側粘合劑和墊側粘合劑可以均含有增粘樹脂。這種情況下，平臺側粘合劑所含的增粘樹脂的種類和量與墊側粘合劑所含的增粘樹脂的種類和量可以相同也可以不同。增粘樹脂的含量(含有多種增粘樹脂的情況下為它們的合計含量)沒有特別限制。例如，相對於丙烯酸類聚合物100重量份，可以設定為約3重量份以上(優選約5重量份以上、更優選約9.5重量份以上、典型地為約10重量份以上、例如約15重量份以上)。另外，增粘樹脂的含量相對於丙烯酸類聚合物100重量份，通常設定為約小於50重量份(典型地為約45重量份以下、例如約43重量份以下)是適當的，優選設定為約40重量份以下(例如約小於40重量份)，可以設定為約35重量份以下。作為增粘樹脂，可以使用選自松香類樹脂、萜烯樹脂、改性萜烯樹脂、酚類樹脂、石油樹脂、苯乙烯類樹脂、香豆酮-茚樹脂、酮類樹脂等公知的各種增粘樹脂中的一種或兩種以上。在此所說的松香類樹脂的概念中包括松香類和松香衍生物樹脂二者。松香類樹脂的例子中包括：脂松香、木松香、浮油松香等未改性松香(生松香)；將這些未改性松香通過氫化、歧化、聚合等改性而得到的改性松香(氫化松香、歧化松香、聚合松香、其它化學修飾的松香等)。松香衍生物樹脂典型地為如上所述的松香類的衍生物。在此所說的松香類樹脂的概念中包括未改性松香的衍生物和改性松香(包括氫化松香、歧化松香和聚合松香)的衍生物。作為松香衍生物樹脂，可以列舉例如：作為未改性松香與醇類的酯的未改性松香酯、作為改性松香(氫化松香、歧化松香、聚合松香等)與醇類的酯的改性松香酯等松香酯類；例如：將松香類用不飽和脂肪酸改性而得到的不飽和脂肪酸改性松香類；例如：將松香酯類用不飽和脂肪酸改性而得到的不飽和脂肪酸改性松香酯類；例如：對松香類或上述的各種松香衍生物(包括松香酯類、不飽和脂肪酸改性松香類和不飽和脂肪酸改性松香酯類)的羧基進行還原處理而得到的松香醇類；例如：松香類或上述各種松香衍生物的金屬鹽；將酚與松香類(未改性松香、改性松香、各種松香衍生物等)在酸催化劑下加成並進行熱聚合而得到的松香酚樹脂；等。萜烯樹脂的例子中包括：α-蒎烯、β-蒎烯、d-檸檬烯、l-檸檬烯、雙戊烯等萜烯類(典型地為單萜烯類)的聚合物。可以是一種萜烯類的均聚物，也可以是兩種以上的萜烯類的共聚物。作為一種萜烯類的均聚物，可以列舉α-蒎烯聚合物、β-蒎烯聚合物、松油精聚合物等。作為改性萜烯樹脂的例子，可以列舉將上述萜烯樹脂改性而得到的改性萜烯樹脂。具體而言，可以例示苯乙烯改性萜烯樹脂、氫化萜烯樹脂等。酚類樹脂的例子中包括：萜烯酚樹脂、氫化萜烯酚樹脂和烷基酚樹脂。萜烯酚樹脂是包括萜烯類與酚化合物的共聚物(萜烯-酚共聚物樹脂)、和將萜烯類的均聚物或共聚物進行酚改性而得到的樹脂(酚改性萜烯樹脂)二者的概念。氫化萜烯酚樹脂是指具有將這樣的萜烯酚樹脂氫化而得到的結構的樹脂。烷基酚樹脂為由烷基酚與甲醛得到的樹脂，可以例示酚醛清漆型和甲階酚醛樹脂型。關於在此所公開的粘合片，典型而言，至少平臺側粘合劑(粘合劑s)含有聚合松香類增粘樹脂。平臺側粘合劑和墊側粘合劑可以均含有聚合松香類增粘樹脂。在此所說的聚合松香類增粘樹脂的概念中包括作為未改性松香的聚合改性物的聚合松香和聚合松香衍生物。上述聚合松香衍生物的非限定性的例子中包括：作為聚合松香與醇類的酯的聚合松香酯、將聚合松香用不飽和脂肪酸改性而得到的不飽和脂肪酸改性聚合松香、將聚合松香酯用不飽和脂肪酸改性而得到的不飽和脂肪酸改性聚合松香酯、對這些聚合松香類(包括聚合松香、聚合松香酯、不飽和脂肪酸改性聚合松香和不飽和脂肪酸改性聚合松香酯)的羧基進行還原處理而得到的聚合松香醇類等。一個方式中，作為聚合松香類增粘樹脂，可以優選使用作為聚合松香與醇類的酯的聚合松香酯。作為上述醇類，可以列舉例如甲醇、乙醇等一元醇；乙二醇、二乙二醇、丙二醇等二元醇；甘油、三羥甲基乙烷、三羥甲基丙烷等三元醇；季戊四醇、二甘油等四元醇；二季戊四醇等六元醇；等。作為在此所公開的技術中使用的聚合松香酯的一個優選例，可以列舉聚合松香的季戊四醇酯。作為在此所公開的技術中的增粘樹脂，從適當地兼顧適合於研磨墊固定用途的粘合性和凝聚性的觀點考慮，軟化點為約60℃以上(典型地為約80℃以上、優選約100℃以上、更優選約110℃以上、例如約120℃以上)的增粘樹脂是適當的，另外，軟化點為約180℃以下(優選約160℃以下、更優選約小於150℃、例如約小於140℃)的增粘樹脂是適當的。在一個優選方式中，可以採用軟化點約小於130℃(典型地為約100℃以上且約小於130℃、例如約120℃以上且約小於130℃)的增粘樹脂。在此所公開的粘合片可以優選以至少平臺側粘合劑(優選平臺側粘合劑和墊側粘合劑二者)含有具有上述軟化點的聚合松香類增粘樹脂(例如聚合松香酯)的方式實施。需要說明的是，增粘樹脂的軟化點可以基於jisk2207規定的軟化點試驗方法(環球法)來測定。在此所公開的技術中的粘合劑s(即，至少構成平臺側粘合劑層、優選構成平臺側粘合劑層和墊側粘合劑層的粘合劑)相對於丙烯酸類聚合物100重量份，優選含有約3重量份以上的聚合松香類增粘樹脂。從得到更高的粘合力(例如，對平臺的粘合力)的觀點考慮，相對於丙烯酸類聚合物100重量份的聚合松香類增粘樹脂的量優選為約5重量份以上(例如7重量份以上)，更優選為約9.5重量份以上(典型地為約10重量份以上，例如約15重量份以上)。另外，從將使用後的研磨墊從平臺剝離時的作業性的觀點考慮，相對於丙烯酸類聚合物100重量份的聚合松香類增粘樹脂的量通常設定為約小於50重量份是適當的，優選為約45重量份以下，更優選為約40重量份以下(例如約小於40重量份)，可以設定為約38重量份以下，可以進一步設定為約35重量份以下。在此所公開的粘合片可以優選以下述方式實施：相對於丙烯酸類聚合物100重量份，粘合劑s含有約5重量份以上且約40重量份以下(更優選約9.5重量份以上且約小於40重量份，例如約15重量份以上且約38重量份以下)的聚合松香類增粘樹脂。將聚合松香類增粘樹脂的含量設定為上述範圍，從對研磨墊的膠粘性的觀點考慮也可能是有利的。因此，在此所公開的技術可以優選以下述方式實施：平臺側粘合劑和墊側粘合劑均為粘合劑s，相對於丙烯酸類聚合物100重量份，所述粘合劑s含有上述的量的聚合松香類增粘樹脂。上述粘合劑s除了含有聚合松香類增粘樹脂以外可以含有其它增粘樹脂。這種情況下，將粘合劑s中所含的全部增粘樹脂的約30重量％以上(優選約50重量％以上、更優選約70重量％以上)設定為聚合松香類增粘樹脂是適當的。在此所公開的技術可以優選以下述方式實施：粘合劑s僅含有一種或兩種以上的(典型地為一種)聚合松香類增粘樹脂作為增粘樹脂。(交聯劑)在此所公開的技術中，用於形成粘合劑層的粘合劑組合物可以根據需要含有交聯劑。即，構成粘合劑層的粘合劑可以具有利用上述交聯劑進行交聯而得到的結構。交聯劑的種類沒有特別限制，可以適當選擇使用現有公知的交聯劑。作為這樣的交聯劑，可以列舉例如異氰酸酯類交聯劑、環氧類交聯劑、唑啉類交聯劑、氮丙啶類交聯劑、三聚氰胺類交聯劑、過氧化物類交聯劑、尿素類交聯劑、金屬醇鹽類交聯劑、金屬螯合物類交聯劑、金屬鹽類交聯劑、碳二亞胺類交聯劑、胺類交聯劑等。交聯劑可以單獨使用一種，也可以組合使用兩種以上。交聯劑的使用量沒有特別限制。例如，相對於丙烯酸類聚合物100重量份，可以設定為約10重量份以下，優選可以選自約0.001重量份以上(例如，約0.01重量份以上)、約10重量份以下(例如，約5重量份以下)的範圍內。從適當地兼顧適合於研磨墊固定用途的粘合性和凝聚性的觀點、對基材(特別是pet膜等塑料膜基材)的錨固性的觀點考慮，可以優選採用異氰酸酯類交聯劑。例如，優選至少平臺側粘合劑(粘合劑s)為利用異氰酸酯類交聯劑進行交聯而得到的粘合劑。作為異氰酸酯類交聯劑，可以優選使用各種多官能異氰酸酯(是指每一分子中具有平均兩個以上異氰酸酯基的化合物，包括具有異氰脲酸酯結構的化合物)。作為多官能異氰酸酯，可以使用選自一分子中具有兩個以上異氰酸酯基的各種異氰酸酯化合物(多異氰酸酯)的一種或兩種以上。作為所述多官能異氰酸酯的例子，可以列舉脂肪族多異氰酸酯類、脂環族多異氰酸酯類、芳香族多異氰酸酯類等。作為脂肪族多異氰酸酯類的具體例，可以列舉：1,2-亞乙基二異氰酸酯；1,2-四亞甲基二異氰酸酯、1,3-四亞甲基二異氰酸酯、1,4-四亞甲基二異氰酸酯等四亞甲基二異氰酸酯；1,2-六亞甲基二異氰酸酯、1,3-六亞甲基二異氰酸酯、1,4-六亞甲基二異氰酸酯、1,5-六亞甲基二異氰酸酯、1,6-六亞甲基二異氰酸酯、2,5-六亞甲基二異氰酸酯等六亞甲基二異氰酸酯；2-甲基-1,5-戊二異氰酸酯、3-甲基-1,5-戊二異氰酸酯、賴氨酸二異氰酸酯等。作為脂環族多異氰酸酯類的具體例，可以列舉：異佛爾酮二異氰酸酯；1,2-環己基二異氰酸酯、1,3-環己基二異氰酸酯、1,4-環己基二異氰酸酯等環己基二異氰酸酯；1,2-環戊基二異氰酸酯、1,3-環戊基二異氰酸酯等環戊基二異氰酸酯；氫化苯二亞甲基二異氰酸酯、氫化甲苯二異氰酸酯、氫化二苯基甲烷二異氰酸酯、氫化四甲基二甲苯二異氰酸酯、4,4』-二環己基甲烷二異氰酸酯等。作為芳香族多異氰酸酯類的具體例，可以列舉：2,4-甲苯二異氰酸酯、2,6-甲苯二異氰酸酯、4,4』-二苯基甲烷二異氰酸酯、2,4』-二苯基甲烷二異氰酸酯、2,2』-二苯基甲烷二異氰酸酯、4,4』-二苯醚二異氰酸酯、2-硝基聯苯-4,4』-二異氰酸酯、2,2』-二苯基丙烷-4,4』-二異氰酸酯、3,3』-二甲基二苯基甲烷-4,4』-二異氰酸酯、4,4』-二苯基丙烷二異氰酸酯、間苯二異氰酸酯、對苯二異氰酸酯、萘-1,4-二異氰酸酯、萘-1,5-二異氰酸酯、3,3』-二甲氧基聯苯-4,4』-二異氰酸酯、苯二亞甲基-1,4-二異氰酸酯、苯二亞甲基-1,3-二異氰酸酯等。作為優選的異氰酸酯類交聯劑，可以例示每一分子平均具有三個以上異氰酸酯基的多官能異氰酸酯。所述三官能以上的異氰酸酯可以為兩官能或三官能以上的異氰酸酯的多聚物(典型地為二聚物或三聚物)、衍生物(例如，多元醇與兩分子以上的多官能異氰酸酯的加成反應產物)、聚合物等。可以列舉例如：二苯基甲烷二異氰酸酯的二聚物或三聚物、六亞甲基二異氰酸酯的異氰脲酸酯形式(異氰脲酸酯結構的三聚物加成物)、三羥甲基丙烷與甲苯二異氰酸酯的反應產物、三羥甲基丙烷與六亞甲基二異氰酸酯的反應產物、多亞甲基多苯基異氰酸酯、聚醚多異氰酸酯、聚酯多異氰酸酯等多官能異氰酸酯。作為所述多官能異氰酸酯的市售品，可以列舉旭化成化學公司製造的商品名「duranatetpa-100」、東曹公司製造的商品名「coronatel」、東曹公司製造的商品名「coronatehl」、東曹公司製造的商品名「coronatehk」、東曹公司製造的商品名「coronatehx」、東曹公司製造的商品名「coronate2096」等。使用異氰酸酯類交聯劑的情況下，其使用量沒有特別限制，例如相對於丙烯酸類聚合物100重量份可以設定為約10重量份以下(優選為約5重量份以下、例如約3重量份以下)，另外，通常相對於丙烯酸類聚合物100重量份，設定為約0.01重量份以上(典型地為約0.1重量份以上、優選為約0.5重量份以上、更優選為約1重量份以上、例如約1.5重量份以上)是適當的。通過在所述範圍內使用異氰酸酯類交聯劑，可以實現特別是性能平衡優異的研磨墊固定用粘合片。(其它成分)在此所公開的粘合劑根據需要可以含有流平劑、交聯劑、交聯助劑、增塑劑、軟化劑、填充劑、著色劑(顏料、染料等)、防靜電劑、抗老化劑、紫外線吸收劑、抗氧化劑、光穩定劑等粘合劑領域中的普通的各種添加劑。關於這樣的各種添加劑，可以通過常規方法使用現有公知的添加劑。在一個優選方式中，上述粘合劑可以為丙烯酸類聚合物與增粘樹脂的合計量佔該粘合劑的總重量(即，由該粘合劑構成的粘合劑層的重量)的約90重量％以上(典型地為約90重量％以上且100重量％以下)的組成。上述粘合劑中丙烯酸類聚合物與增粘樹脂的合計量可以為該粘合劑的總重量的約95重量％以上(典型地為約超過95重量％且100重量％以下、例如約97.5重量％以上且100％重量％以下)。在一個優選方式中，上述粘合劑s可以為丙烯酸類聚合物與聚合松香類增粘樹脂的合計量佔該粘合劑s的總重量的約90重量％以上(典型地為約90重量％以上且100重量％以下)的組成。上述粘合劑s中丙烯酸類聚合物與聚合松香類增粘樹脂的合計量可以為該粘合劑s的總重量的約95％以上(典型地為約超過95重量％且100重量％以下、例如約97.5％重量％以上且100重量％以下)。在此所公開的粘合片可以優選以具有由這樣的組成的粘合劑s構成的平臺側粘合劑層和墊側粘合劑層的方式實施。(粘合劑層的形成)在此所公開的技術中，用於形成粘合劑層的粘合劑組合物的形態沒有特別限制，例如可以是在有機溶劑中含有上述組成的粘合劑(粘合成分)的形態(溶劑型)的粘合劑組合物、粘合劑分散於水性溶劑中的形態(水分散型，典型地為水性乳液型)的粘合劑組合物、熱熔型粘合劑組合物等。從塗布性和基材的選擇自由度等觀點考慮，可以優選採用溶劑型或水分散型的粘合劑組合物。從實現更高的粘合性能的觀點考慮，特別優選溶劑型粘合劑組合物。所述溶劑型粘合劑組合物典型地製備成在有機溶劑中含有上述各成分的溶液形態。上述有機溶劑可以從公知或慣用的有機溶劑(例如上述作為溶液聚合中使用的的溶劑而例示的有機溶劑)中適當選擇。沒有特別限制，通常將上述溶劑型粘合劑組合物製備成固形分(nv)為約30重量％以上(例如約40重量％以上)且約65重量％以下(例如約55重量％以下)是適當的。nv過低時，製造成本容易提高，nv過高時，有時塗布性等操作性下降。作為由粘合劑組合物得到粘合片的方法，可以應用現有公知的各種方法。例如，可以優選採用將粘合劑組合物直接施加(典型地是塗布)到基材上並乾燥由此形成粘合劑層的方法(直接法)。另外，也可以採用將上述粘合劑組合物施加到剝離性好的表面(例如，剝離襯墊的表面、經脫模處理的支撐基材背面等)上並乾燥由此在該表面上形成粘合劑層、並將該粘合劑層轉印到基材上的方法(轉印法)。粘合劑組合物的塗布可以使用例如凹版輥式塗布機、反轉輥式塗布機、輥式舔塗機、浸漬輥式塗布機、刮棒塗布機、刮刀塗布機、噴塗機等公知或慣用的塗布機進行。從促進交聯反應、提高製造效率等觀點考慮，優選在加熱下進行粘合劑組合物的乾燥。粘合劑層典型地是連續形成，但是根據目的和用途也可以形成為點狀、條紋狀等規則或不規則的圖案。粘合劑層的厚度沒有特別限制，從發揮良好的粘合力的觀點考慮，優選為約10μm以上(更優選為約20μm以上，典型地為約30μm以上，例如約40μm以上)。另外，粘合劑層的厚度過大時，具有保持力等下降的傾向。考慮這樣的情況，將粘合劑層的厚度設定為約300μm以下(優選為約150μm以下，典型地為約100μm以下，例如約80μm以下)是適當的。第一粘合劑層(墊側粘合劑層)的厚度和第二粘合劑層(平臺側粘合劑層)的厚度可以相同也可以不同。一個優選方式中，為了使對研磨墊的粘合力成為更強的粘合力，可以將第一粘合劑層的厚度設定為超過第二粘合劑層的厚度的至少0.6倍的厚度。即，可以使第一粘合劑層的厚度(t1)相對於第二粘合劑層的厚度(t2)之比(t1/t2)大於0.6。上述厚度比(t1/t2)可以設定為例如1.0以上(典型地為大於1.0)，優選為1.2以上。從對墊和平臺二者良好地膠粘、並且避免粘合片的厚度變得過大的觀點考慮，上述厚度之比(t1/t2)通常設定為5.0以下是適當的，優選設定為4.0以下(例如3.0以下)。粘合劑層的凝膠分數沒有特別限制，可以為例如約1重量％以上且約60重量％以下。從更適當地兼顧作為研磨墊固定用粘合劑的粘合性和凝聚性的觀點考慮，上述凝膠分數通常優選為約3重量％以上(更優選為約5重量％以上，典型地為約10重量％以上，例如約20重量％以上)，另外，優選為約60重量％以下(更優選為約55重量％以下，例如約50重量％以下)。粘合劑的凝膠分數可以根據例如丙烯酸類聚合物的組成或分子量、是否使用交聯劑以及其種類和使用量的選擇等進行調節。需要說明的是，凝膠分數的上限原則上為100重量％。在此，粘合劑的凝膠分數通過以下方式得到：將重量w1的測定樣品包裹於四氟乙烯樹脂制多孔片中並在室溫下在乙酸乙酯中浸漬一周，然後乾燥該測定樣品並測量乙酸乙酯不溶解成分的重量w2，並將w1和w2代入下式：凝膠分數[％]＝w2/w1×100。作為上述四氟乙烯樹脂制多孔片，可以使用日東電工公司製造的商品名「nitoflon(註冊商標)ntf1122」或其等效品。一個優選方式中，可以將構成第二粘合劑層的粘合劑(平臺側粘合劑)的凝膠分數g2調節為與構成第一粘合劑層的粘合劑(墊側粘合劑)的凝膠分數g1大致相等或其以上。例如，平臺側粘合劑的凝膠分數g2相對於墊側粘合劑的凝膠分數g1之比(g2/g1)可以設定為0.8以上(例如0.9以上)，優選為1.0以上(典型地為大於1.0)，可以為1.1以上(進一步為1.2以上)。上述比(g2/g1)的上限沒有特別限制，通常設定為5.0以下是適當的，優選設定為4.0以下(典型地為3.0以下)。在此所公開的技術中的粘合片的總厚度(不包括剝離襯墊的粘合片的厚度)沒有特別限制。粘合片的厚度可以設定為例如約50μm以上(典型地為約75μm以上，優選為約100μm以上，更優選為約120μm以上)，另外，可以設定為例如約500μm以下(典型地為約450μm以下，優選為約400μm以下，例如約350μm以下)。具有上述總厚度的粘合片可以成為例如容易粘貼到更大型的研磨墊上的粘合片。另外，在粘貼到更大型的研磨墊上使用的方式中，可以形成將研磨墊粘貼於平臺時、將使用後的研磨墊與粘合片一起從平臺剝離時的作業性良好的粘合片。作為在此所公開的剝離襯墊，可以使用慣用的剝離紙等，沒有特別限制。例如，作為構成剝離襯墊的支撐體用基材(剝離處理對象)，可以適當選擇使用各種樹脂膜類、紙類、布類、橡膠片類、發泡體片類、金屬箔、它們的複合物(例如，在紙的兩面層疊有烯烴樹脂的層疊結構的片)等。剝離處理可以使用公知或慣用的剝離處理劑(例如，聚矽氧烷類、含氟型、長鏈烷基類等剝離處理劑)通過常規方法進行。例如，可以優選採用用聚矽氧烷類剝離劑對在兩面層疊有pe樹脂的道林紙進行處理而得到的剝離襯墊。另外，可以在不對該基材的表面實施剝離處理的情況下將烯烴類樹脂(例如，pe、pp、乙烯-丙烯共聚物、pe/pp混合物)、含氟型聚合物(例如聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯)等低膠粘性基材作為剝離襯墊使用。或者，可以使用對所述低膠粘性基材實施剝離處理後的基材。剝離襯墊的厚度從作業性等觀點考慮設定為約10μm以上(例如約50μm以上，典型地為約60μm以上)、約300μm以下(例如約200μm以下，典型地為約160μm以下)是適當的。在此所公開的粘合片的第二粘合劑層的粘合面(平臺側粘合面)的粘合力f2優選為超過10n/20mm的值。從更牢固的進行研磨墊向平臺的固定的觀點考慮，上述粘合力f2優選為11n/20mm以上，更優選為12n/20mm以上(例如13n/20mm以上)。另外，從將使用後的研磨墊與粘合片一起從平臺剝離時的作業性的觀點考慮，上述粘合力f2通常為30n/20mm以下是適當的，優選25n/20mm以下。對於粘合力f2而言，在23℃、50％rh的環境下，通過使2kg的輥一次往返而將上述粘合面壓接到作為被粘物的不鏽鋼(sus)板的表面，放置30分鐘，然後根據jisz0237，在剝離角度180度、拉伸速度300mm/分鐘的條件下進行測定。更具體地，按照後述的實施例中記載的方法進行測定。在此所公開的粘合片的第一粘合劑層的粘合面(墊側粘合面)的低溫粘合力f1優選為8n/20mm以上。低溫粘合力f1更高的粘合面對被粘物表面的粘附性優異，因此一般情況下傾向於對研磨墊(例如，硬質聚氨酯類研磨墊等聚氨酯泡沫類研磨墊)顯示出更好的膠粘性。從所述觀點考慮，低溫粘合力f1優選為10n/20mm以上，更優選為12n/20mm以上(例如14n/20mm以上)。低溫粘合力f1的上限沒有特別限制，考慮到與其它粘合特性(例如保持力)的平衡，通常為30n/20mm以下是適當的，優選為25n/20mm以下。除了將測定環境設定為-10℃以外，低溫粘合力f1以與粘合力f2的測定相同的方式進行測定。更具體地，可以按照後述的實施例中記載的方法進行測定。在此所公開的粘合片可以以使上述低溫粘合力f1[n/20mm]為上述粘合力f2[n/20mm]的0.6倍以上(例如0.7倍以上)的方式構成。通過以這樣的方式構成，可以形成將粘合片與研磨墊一起從平臺剝離時的作業性良好的粘合片。例如，當與第一粘合面對研磨墊的粘合力相比，第二粘合面對平臺的粘合力過高時，將粘合片與研磨墊一起從平臺剝離時，第一粘合面與研磨墊之間產生局部翹起，在該部分，剝離變得不穩定，可能有時在平臺上容易產生膠粘殘留。或者，即使從研磨墊的一端將該研磨墊與粘合片一起從平臺開始剝離，可能有時在上述剝離操作的過程中，粘合片從研磨墊脫離垂下而使剝離作業性降低。通過以使低溫粘合力f1大於上述粘合力f2的方式構成，由此傾向於容易在使粘合片的第一粘合面粘附於研磨墊的狀態下將粘合片與研磨墊一起從平臺剝離。在將被固定的研磨墊為硬質聚氨酯類研磨墊、或為大面積的研磨墊的情況下，這種方式是特別有意義的。在此所公開的技術的一個優選方式中，低溫粘合力f1[n/20mm]相對於粘合力f2[n/20mm]的比(f1/f2)可以設定為0.8以上，更優選為1.0以上(典型地為大於1.0、例如1.1以上)，可以為1.2以上。另外，低溫粘合力f1減去粘合力f2得到的值(f1-f2)優選為-5.0n/20mm以上，更優選為-3.0n/20mm以上，典型地為大於1.0n/20mm，例如為3.0n/20mm以上。低溫粘合力f1和粘合力f2可以通過例如粘合劑層的厚度、丙烯酸類聚合物的共聚組成(單體成分的組成或組成比)、丙烯酸類聚合物的重均分子量(mw)、增粘樹脂的種類或使用量、是否使用交聯劑、使用交聯劑的情況下的交聯劑的種類或使用量、粘合劑層的凝膠分數等進行調節。在此所公開的粘合片可以優選以平臺側粘合劑和墊側粘合劑均為粘合劑s的方式實施。使用這樣的粘合片將研磨墊固定於研磨裝置平臺時，在研磨環境(例如，根據使用的研磨液的組成，酸性、鹼性、含金屬鹽、含氧化劑等的研磨液可以與研磨墊固定用粘合片接觸的環境)下，具有粘合片的變質在該粘合片的兩面大致同樣地進行的傾向。因此，例如如上所述以使低溫粘合力f1和粘合力f2滿足規定的關係的方式設計的粘合片中，即使該粘合片在研磨環境中變質，也不易使上述f1和f2的相對關係被破壞。從容易對於各種研磨液實現將粘合片與使用後的研磨墊一起從平臺剝離時的良好的作業性的觀點考慮，這種方式是優選的。在此所公開的技術可以優選以下述方式實施，例如，平臺側粘合劑和墊側粘合劑均為粘合劑s，並且相比於平臺側粘合劑層，墊側粘合劑厚(例如，上述厚度比(t1/t2)大於1.0且為5.0以下)。在此所公開的粘合片中，平臺側粘合劑和墊側粘合劑可以為相同組成的粘合劑s，也可以為不同組成的粘合劑s。一個優選方式中，可以採用相同組成的粘合劑s作為平臺側粘合劑和墊側粘合劑。從將粘合片與使用後的研磨墊一起從平臺剝離時的作業性的觀點考慮，這樣構成的粘合片是優選的。在此，所謂平臺側粘合劑和墊側粘合劑為相同組成典型地是指至少構成兩粘合劑的丙烯酸類聚合物的共聚組成、增粘樹脂的種類和使用量相同。一個優選方式中，可以設定為以下構成：兩粘合劑均含有交聯劑，並且該交聯劑的種類相同(更優選交聯劑的使用量也相同)。在基材的兩面具有由相同的粘合劑組合物形成的平臺側粘合劑和墊側粘合劑的粘合片為平臺側粘合劑和墊側粘合劑為相同組成的粘合劑s的方式的一個典型例。在此所公開的技術例如可以優選以下述方式實施：平臺側粘合劑和墊側粘合劑為相同組成的粘合劑s，並且相比於平臺側粘合劑層，墊側粘合劑厚(例如，上述厚度比(t1/t2)大於1.0且為5.0以下)。一個優選方式的粘合片中，至少平臺側粘合面(優選為平臺側粘合面和墊側粘合面二者)具有1小時以上的保持力。根據具有上述保持力的粘合片，傾向於能經受由研磨造成的應力從而更好地保持研磨墊在平臺上的良好的固定狀態。在此，上述保持力可以通過下述保持力試驗進行評價：將粘合片的評價對象的粘合面以寬度10mm、長度20mm的膠粘面積壓接到作為被粘物的酚樹脂板上，在40℃的環境下垂下並放置30分鐘，然後施加500g的載荷並在相同環境下放置1小時。上述保持力試驗更具體地可以按照後述的實施例中記載的方法進行。上述保持力試驗中，更優選施加上述載荷1小時後的粘合片的偏移距離(mm)為6mm以下(例如5mm以下、典型地為4mm以下)的粘合片。在此所公開的研磨構件(帶有粘合片的研磨墊)典型而言可以通過以下方式得到：將在此所公開的任一粘合片的第一粘合面壓接到研磨墊的背面。在此所公開粘合片即使通過在常溫下(例如，未加熱到約40℃或其以上的溫度)進行上述壓接，也可以適當地粘貼於上述研磨墊，從而構成在此所公開的研磨構件。這在寬幅的(例如寬度600mm以上、進一步為1050mm以上的)粘合片或使用了相應尺寸的研磨墊的研磨構件中特別有意義。實施例以下，對本發明涉及的一些實施例進行說明，但是無意將本發明限於實施例所示的方案。需要說明的是，以下說明中的「份」和「％」如果沒有特別說明為重量基準。(例1)將作為單體成分的丙烯酸正丁酯(ba)70份、丙烯酸-2-乙基己酯(2eha)30份、丙烯酸(aa)3份和丙烯酸-4-羥基丁酯(4hba)0.05份、作為聚合引發劑的2,2』-偶氮二異丁腈(aibn)0.08份和作為聚合溶劑的甲苯150份投入具有攪拌器、溫度計、氮氣導入管、回流冷凝器和滴液漏鬥的反應容器中，在65℃下進行8小時的溶液聚合從而得到了丙烯酸類聚合物p1的甲苯溶液。上述丙烯酸類聚合物p1的mw為44×104。在上述丙烯酸類聚合物p1的甲苯溶液中，相對於其固形分100份，加入2份異氰酸酯類交聯劑(東曹公司製品，商品名「coronatel」)，從而製備了丙烯酸類粘合劑組合物a1。準備了厚度50μm的pet膜作為基材。在該基材的第一面上塗布粘合劑組合物a1，並進行乾燥處理，形成厚度50μm的第一粘合劑層。在該第一粘合劑層上，貼合利用聚矽氧烷類剝離劑進行了剝離處理的剝離襯墊(第一剝離襯墊)。接下來，另外準備與上述第一剝離襯墊相同構成的剝離襯墊(第二剝離襯墊)，在該第二剝離襯墊的表面塗布粘合劑組合物a1，並進行乾燥處理，從而形成厚度50μm的第二粘合劑層，將該第二粘合劑層側表面層疊(轉印)到上述pet膜基材的第二面(與第一面相反側的面)。以這樣的方式製作了例1的雙面粘合片(作為基材的pet膜的兩面上具有厚度50μm的第一粘合劑層和厚度50μm的第二粘合劑層的粘合片)。該粘合劑層的凝膠分數(通過上述方法得到的測定值，下同)為52.5％。(例2～例7)在上述丙烯酸類聚合物p1的甲苯溶液中，相對於其固形分100份，加入如表1所示的量的增粘樹脂r1(荒川化學公司製造的聚合松香季戊四醇酯，商品名「penseld125」，軟化點125℃)和2份異氰酸酯類交聯劑(東曹公司製品，商品名「coronatel」)，從而分別製備了丙烯酸類粘合劑組合物a2～a7。除了使用粘合劑組合物a2～a7代替粘合劑組合物a1以外，以與例1相同的方式分別製作了例2～例7的雙面粘合片。粘合劑層的凝膠分數如下：例2為46.9％、例3為39.6％、例4為25.0％、例7為0.9％。(例8)將作為單體成分的ba100份和aa5份、作為聚合引發劑的過氧化苯甲醯0.2份和作為聚合溶劑的甲苯120份投入具有攪拌器、溫度計、氮氣導入管、回流冷凝器和滴液漏鬥的反應容器中，在60℃下進行7小時的溶液聚合從而得到了丙烯酸類聚合物p2的甲苯溶液。上述丙烯酸類聚合物p2的mw為55×104。在上述丙烯酸類聚合物p2的甲苯溶液中，相對於其固形分100份，加入30份增粘樹脂r1和2份異氰酸酯類交聯劑(東曹公司製品，商品名「coronatel」)，從而製備了丙烯酸類粘合劑組合物a8。除了使用粘合劑組合物a8代替粘合劑組合物a1以外，以與例1相同的方式製作了例8的雙面粘合片。粘合劑層的凝膠分數為1.6％。(例9)在上述丙烯酸類聚合物p1的甲苯溶液中，相對於其固形分100份，加入30份增粘樹脂r2(安原化學公司製造的萜烯酚樹脂，商品名「yspolyster145」和2份異氰酸酯類交聯劑(東麗公司製品，商品名「coronatel」)，從而製備了丙烯酸類粘合劑組合物a9。除了使用粘合劑組合物a9代替粘合劑組合物a1以外，以與例1相同的方式製作了例9的雙面粘合片。粘合劑層的凝膠分數為40.0％。(例10)將作為基礎聚合物的天然橡膠(門尼粘度75)100份和苯乙烯-異戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物(日本瑞翁公司製造，商品名「quintac3460c」)30份、增粘樹脂r3(日本瑞翁公司製造，馬來酸酐改性c5,c9樹脂，商品名「quintoned-200」)40份、增粘樹脂r4(住友電木公司製造、苯酚改性松香、商品名「sumilitepr12603n」)40份、酚類抗老化劑(大內新興化學工業公司製造、商品名「noctecns-6」)1份溶解於甲苯，然後加入3份異氰酸酯類交聯劑(東曹公司製品，商品名「coronatel」)，從而製備了橡膠類粘合劑組合物a10。除了使用粘合劑組合物a10代替粘合劑組合物a1以外，以與例1相同的方式製作了例10的雙面粘合片。(評價)[粘合力]將厚度25μm的pet膜貼合於各例的雙面粘合片的第一粘合面(第一粘合劑層的粘合面)，將其切割為寬度20mm、長度100mm的尺寸而製作了測定樣品。在23℃、50％rh的標準環境下，使上述測定樣品的第二粘合面(第二粘合劑層的粘合面)露出，通過使2kg的輥一次往返而將該第二粘合面壓接到被粘物的表面。將其在相同環境下放置30分鐘，然後使用萬能拉伸壓縮試驗機(裝置名「拉伸壓縮試驗機tcm-1knb」，美蓓亞公司製造)，根據jisz0237，在剝離角度180度、拉伸速度300mm/分鐘的條件下測定了剝離強度。使用不鏽鋼板(sus304板)作為被粘物。測定進行三次，並記錄了其平均值。結果如表1所示。[低溫粘合力]上述粘合力測定中，將粘合片壓接於被粘物的環境、壓接後進行保持的環境和進行剝離強度測定的環境均由上述標準環境變更為-10℃的環境。以其它方面與上述粘合力測定相同的方式測定了低溫粘合力。結果如表1所示。[剪切膠粘力]將各例的雙面粘合片切割為20mm×20mm的尺寸而製作了測定樣品。在23℃、50％rh的環境下，將上述測定樣品的第一粘合面(第一粘合劑層的粘合面)和第二粘合面(第二粘合劑層的粘合面)各自層疊在不鏽鋼板(sus304ba板，30mm×100mm×0.4mm厚)上，通過使5kg的輥一次往返而進行了壓接。將其在23℃、50％rh的標準環境下放置1小時，然後使用萬能拉伸壓縮試驗機(裝置名「拉伸壓縮試驗機tcm-1knb」，美蓓亞公司製造)，在拉伸速度50mm/分鐘、剝離角度0度的條件下進行剝離，記錄了此時的最大強度作為剪切膠粘力(n)。具體地如圖3所示，將測定樣品100的第一粘合面100a和第二粘合面100b貼合到不鏽鋼板201、202上，並在上述條件下進行了壓接。將其在上述溫度氛圍下放置1小時，然後以上述速度沿圖3中的箭頭方向(即剪切方向)拉伸不鏽鋼板201、202，測定了20mm×20mm(400mm2)的粘貼面積下的剝離強度(n)。測定進行三次，並記錄了其平均值。結果如表1所示。[保持力]將厚度25μm的pet膜貼合於各例的雙面粘合片的第一粘合面(第一粘合劑層的粘合面)，然後將其切割為寬度10mm，從而由各例的粘合片分別製作了3個試驗片。通過使2kg的輥一次往返而將這些試樣片的第二粘合面以寬度10mm、長度20mm的膠粘面積壓接到作為被粘物的酚樹脂板上。將該酚樹脂板在40℃的環境下垂下並放置30分鐘，然後對試樣片的自由端施加了500g的載荷。根據jisz0237，在施加有該載荷的狀態下在40℃的環境下放置了1小時。經過1小時後，3個試驗片中即使一個試樣片落下的情況也判定為保持時間小於1小時(表1中表示為「落下」)。除此以外的情況下，對3個試驗片測定各自從最初的粘貼位置起的試驗片的偏移距離(mm)，並求出了它們的算術平均值。結果如表1所示。表1如表1所示，在平臺側粘合劑和墊側粘合劑均為丙烯酸類粘合劑的例1～例9中，利用雙面具有含有適當的量的聚合松香類增粘樹脂的粘合劑層的例2～5和例8的粘合片，得到了作為平臺側粘合劑適當的粘合力。這些粘合片顯示出比例6、7、9、10的粘合片高的低溫粘合力，因此認為其對研磨墊顯示出更好的膠粘性。(例11)準備了厚度50μm的pet膜作為基材。在該基材的第一面塗布粘合劑組合物a4，並進行乾燥處理，形成了厚度60μm的第一粘合劑層(墊側粘合劑層)。在該第一粘合劑層上，貼合利用聚矽氧烷類剝離劑進行了剝離處理的剝離襯墊(第一剝離襯墊)。接下來，另外準備與上述第一剝離襯墊相同構成的剝離襯墊(第二剝離襯墊)，在該第二剝離襯墊的表面塗布粘合劑組合物a4，並進行乾燥處理，從而形成厚度40μm的第二粘合劑層(平臺側粘合劑層)，將該第二粘合劑層側表面層疊(轉印)到上述pet膜基材的第二面(與第一面相反側的面)。以這樣的方式製作了例11的雙面粘合片。(例12～例18)作為用於形成墊側粘合劑層和平臺側粘合劑層的粘合劑組合物，分別使用了如表2所示的粘合劑組合物。以其它方面與例11相同的方式分別製作了例12～例18的雙面粘合片。(評價)[低溫粘合力(f1)]將厚度25μm的pet膜貼合於各例的雙面粘合片的第二粘合面，並切割為寬度20mm、長度100mm的尺寸而製作了測定樣品。在-10℃的環境下，使上述測定樣品的第一粘合面(墊側粘合劑層的表面)露出，通過使2kg的輥一次往返而將該第一粘合面壓接到被粘物的表面。將其在相同環境下放置30分鐘，然後使用萬能拉伸壓縮試驗機(裝置名「拉伸壓縮試驗機tcm-1knb」，美蓓亞公司製造)，根據jisz0237，在剝離角度180度、拉伸速度300mm/分鐘的條件下測定了剝離強度。使用了不鏽鋼板(sus304板)作為被粘物。測定進行三次，並記錄了其平均值。結果如表2所示。[粘合力(f2)]將厚度25μm的pet膜貼合於各例的雙面粘合片的第一粘合面，並切割為寬度20mm、長度100mm的尺寸而製作了測定樣品。在23℃、50％rh的標準環境下，使上述測定樣品的第二粘合面(平臺側粘合劑層的表面)露出，通過使2kg的輥一次往返而將該第二粘合面壓接到被粘物的表面。將其在相同環境下放置30分鐘，然後使用萬能拉伸壓縮試驗機(裝置名「拉伸壓縮試驗機tcm-1knb」，美蓓亞公司製造)，根據jisz0237，在剝離角度180度、拉伸速度300mm/分鐘的條件下測定了剝離強度。使用了不鏽鋼板(sus304板)作為被粘物。測定進行三次，並記錄了其平均值。結果如表2所示。表2例11例12例13例14例15例16例17例18墊側粘合劑層(60μm)a4a3a1a4a1a1a10a7低溫粘合力f1[n/20mm]18201618161677平臺側粘合劑層(40μm)a4a3a2a8a10a1a3a7粘合力f2[n/20mm]21141115691422如表2所示，例11～例14的粘合片顯示出作為平臺側粘合劑適合的粘合力f2，低溫粘合力f1也良好。另外，這些粘合片的低溫粘合力f1為粘合力f2的0.7倍以上，因此認為將使用該粘合片固定的研磨墊與上述粘合片一起從平臺剝離時顯示良好的作業性。另一方面，例15～例18的粘合片為平臺側或研磨墊側的粘合力低、或者平臺側與研磨墊側的粘合力欠缺平衡的粘合片。以上，對本發明的具體例子進行了詳細說明，但是這些例子僅僅是例示，不限定權利要求的範圍。權利要求書記載的技術中包括對以上例示的具體例子進行各種變形、變更而得到的技術方案。當前第1頁12