防塵薄膜組件收納容器的包裝構造體以及其包裝方法與流程

2023-05-24 02:16:11

本發明涉及收納在半導體裝置、IC封裝體、印刷基板、液晶面板或者有機EL顯示器等製造時作為防塵器使用的防塵薄膜組件中的至少一個邊長為大於500mm的大型防塵薄膜組件的防塵薄膜組件的收納容器的包裝構造體以及其包裝方法。

背景技術：

LSI、超LSI等半導體或為液晶顯示器等製造中，要向半導體晶片或者液晶用玻璃板照射紫外光進行圖案的製作，此時使用的光掩模如灰塵附著，灰塵就會對紫外光進行遮擋、反射，就會發生轉印的圖案的變形、短路，從而品質受損。

因此，這些操作通常在無塵室中進行，但即使如此，也難以總是保持光掩模的清潔。因此，要將作為除灰塵器的防塵薄膜組件貼附在光掩模表面之後再進行露光。在這種場合下，異物不附著在光掩模的表面上，而是附著在防塵薄膜組件上，在光刻時只要將焦點對準光掩模的圖案上，防塵薄膜組件上的異物就與轉印無關係了。

通常如此形成該防塵薄膜組件，將透光良好的由硝化纖維素、酢酸纖維素或者氟樹脂等形成的透明防塵薄膜組件膜接著在由鋁、不鏽鋼、工程塑料等形成的防塵薄膜組件框架的上端面。另外，防塵薄膜組件框架的下端設置為了在光掩模上裝著的聚丁烯樹脂、聚酢酸乙烯基酯樹脂、丙烯酸樹脂、有機矽樹脂等形成的粘著層，以及設置用來保護粘著層的離型層(分離片)。

另外，對邊長為大於500mm的大型防塵薄膜組件進行收納的防塵薄膜組件收納容器通常由將防塵薄膜組件載置的容器本體和在其上周緣部嵌合密封的蓋體構成，這些容器本體和蓋體這樣製造，將厚度2mm-8mm左右的樹脂板真空成形或者壓空成形。這種製法使大型的也可一體成形，除了具有內部發塵源少的優點之外，還具有生產性高、低成本的優點。

作為大型的防塵薄膜組件收納容器的材質，從機械性質和成形性優良性出發，在幾乎所有的場合下，容器本體使用ABS樹脂，蓋體使用ABS樹脂或者PMMA樹脂。由於這些樹脂具有可燃性，大型的防塵薄膜組件收納容器作為可燃物的容積以及重量也很大，所以該防塵薄膜組件收納容器在一個場所大量保管的場合下，有安全性的擔心，所以要求賦予難燃性。

對這樣的防塵薄膜組件收納容器進行保管的場合，通常是用防塵薄膜組件收納容器包裝袋中收納保管。因此，該包裝袋要求具有清潔性之外，還要使內部的防塵薄膜組件收納容器上沒有異物附著的密閉性、防帶電性能等，所以，以前使用厚度100-300μm的聚乙烯(PE)、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)等樹脂材質形成的包裝袋。另外，為了確保防帶電性能，通常在材質中混入帶電防止劑或者導電材料，或與導電材質進行貼合，或者進行導電印刷。

例如，專利文獻1記載了為了防止防塵薄膜組件的汙染，最內側的第一袋要使用在清潔度1000以下的無塵室內製造的潔淨袋，第二、第三的袋使用具有帶電防止功能的袋的防塵薄膜組件收納容器的收納方法。但是，該收納方法在適用於一邊大於500mm的大型的防塵薄膜組件收納容器的場合使用的包裝袋要用吹漲法成形，考慮到其設備的尺寸以及需要量少等問題，具有難以在無塵室等清潔的環境中製造的問題。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：特開2012-208158

由此，在一般環境中製造的包裝袋多在無塵室內清潔之後再加以使用，作為此場合的清潔方法，除了用水洗以及用純水擦拭等溼法洗淨之外，還有用粘著棍以及吹風等幹法洗淨等方法，但是對於大型的包裝袋，特別是袋內側的清潔極為困難，在製造工程以及品質上有大問題。

因此，本發明就是鑑於上述那樣的問題而成的，本發明的目的為提供一種在包裝使用前清潔容易、包裝時內部密閉性優良的同時，具有防塵薄膜組件收納容器的收納、取出操作容易的防塵薄膜組件收納容器的包裝構造體以及其包裝方法。

技術實現要素：

本發明為一種收納至少一個邊長為大於500mm的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器的包裝構造體，其特徵在於：其由用具有防帶電性的平面狀的包裝膜將防塵薄膜組件收納容器覆蓋捆包而成的內側包裝體以及將此內側包裝體收納的袋狀的外側包裝體形成的至少二重的包裝體構成。

另外，本發明的包裝膜優選軟質聚氯乙烯或聚(1,1-二氯乙烯)，其厚度優選50-300μm。進一步，本發明的外側包裝體優選從聚乙烯、聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯中選擇。

本發明的包裝方法為收納至少一個邊長大於500mm的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器的包裝方法，其特徵在於：包括將具有防帶電性的平面狀的包裝膜進行多次反折、對防塵薄膜組件收納容器進行捆包而製作內側包裝體的工序和將該內側包裝體收納於袋狀的外側包裝體的工序。

發明效果

根據本發明特別是要求清潔的內側包裝體，不是如以往那樣將防塵薄膜組件收納容器收納於袋中，而是用平面狀的包裝膜對防塵薄膜組件收納容器進行覆蓋捆包，所以捆包使用前的平面狀的包裝膜的清潔容易，從而使極為清潔變為可能。另外，在多次反折彎曲將防塵薄膜組件收納容器捆包時，由於該包裝膜與防塵薄膜組件收納容器密著，所以可以充分確保密閉性，因此可以保持內部的防塵薄膜組件收納容器清潔。

附圖說明

圖1是本發明的防塵薄膜組件收納容器的包裝構造體的示意性截面圖。

圖2是內側包裝體的示意性透視圖。

圖3是將內側包裝體收納於外側包裝體的示意性透視圖。

圖4是將防塵薄膜組件收納容器用平面狀膜捆包工序(1)至(3)的平面圖。

圖5是包裝的防塵薄膜組件收納容器的透視圖。

圖6是實施例2的包裝構造體的示意性截面圖。

圖7是比較例的包裝構造體的示意性截面圖。

具體實施方式

下面基於附圖對本發明的實施方式進行詳細說明，但是本發明並不限於此。

圖1、圖2以及圖3為本發明的防塵薄膜組件收納容器的包裝構造體的實施方式的圖。圖1為表示本發明的包裝構造體的整體示意性截面圖，圖2為僅進行了將防塵薄膜組件收納容器50用平面狀的包裝膜11進行覆蓋捆包的內側包裝體11』的狀態的透視圖，圖3為在其外側進一步進行了用袋狀的外側包裝體12的包裝的狀態的透視圖。

本發明的防塵薄膜組件收納容器的包裝構造體為由內側包裝體11』和外側包裝體12構成的至少二重的包裝體來構成的。其中內側包裝體11』為使用平面狀的包裝膜11將防塵薄膜組件收納容器50覆蓋捆包而構成的，在用於捆包之前將該平面狀的包裝膜11進行清潔的操作比以前的包裝袋容易，這確保內側包裝體11』的清潔度以及有利於製造效率。

為了防止異物附著，在該平面狀的包裝膜11中優選加入了帶電防止劑或導電物質，使其具有防帶電性。另外，包裝膜的顏色優選如為透明或半透明的，易於對內部進行確認，但相反地，有時為了防止使容器變色退化的紫外線，也可使其為不透明的黑色等。

另外，如果沒有特別的限定，包裝膜11的材料可以從聚乙烯、聚(1,1-二氯乙烯)、聚氯乙烯、聚甲基戊烯等可以膜狀成形的材料中進行自由選擇。進一步，製成聚乙烯/聚丙烯那樣的多層構造。從難燃性以及密著性的方面考慮，特別優選軟質聚氯乙烯或聚(1,1-二氯乙烯)制的膜，如考慮成本，更優選軟質聚氯乙烯制的膜。

在此，所謂軟質聚氯乙烯是指含有鄰苯二甲酸酯等構成的可塑劑按重量比為10％以上。

優選地，如果將如軟質聚氯乙烯或聚(1,1-二氯乙烯)那樣的具有密著性的材料作為包裝膜11的材料而使用的話，在將包裝膜11多次反折而對防塵薄膜組件收納容器50進行捆包時，由於包裝膜11相互接觸密切，即使不使用袋狀也容易構成密閉空間。

內側包裝體11』中使用的包裝膜11的厚度優選為50-300μm，但是從密著性、成本、處理的容易度來看，更優選70-200μm的範圍。另外，將防塵薄膜組件收納容器50覆蓋捆包的內側包裝體11』的膜端原封不動地密著也可，如果需要用熱封等接著也可。最好優選用數枚的粘著帶13固定住，這樣在開捆時易於將膜端剝離。

另外，由於內側包裝體11』不是使用包裝袋而是使用平面狀的包裝膜11，在需要將大重量的大型的防塵薄膜組件收納容器50插入袋中或從袋中拉出時，捆包、開捆極為容易。進一步，在包裝膜11的材料為軟質聚氯乙烯或聚氯(1,1-二氯乙烯)的場合，由於具有高的難燃性，所以從安全性的點來看也優選。

防塵薄膜組件收納容器50用包裝膜11來捆包成為內側包裝體11』的捆包工序為使用最小限度大小的包裝膜11來以少的捆包工序將防塵薄膜組件收納容器50完全覆蓋即可，但是優選的捆包工序例如圖4(1)至(3)所示。

首先，如圖4(1)所示，在包裝膜11上放上防塵薄膜組件收納容器50，沿著防塵薄膜組件收納容器50的外緣50a、50b的由橫槓和點組成的虛線將包裝膜11反折，由此防塵薄膜組件收納容器50的上面被完全覆蓋。圖4(2)為反折後的狀態。此時，反折的包裝膜11的周緣為相互重疊的狀態，防塵薄膜組件收納容器50被包裝膜11完全覆蓋，故而優選。

然後，沿著防塵薄膜組件收納容器的外緣50c、50d，在圖4(2)中的由橫槓和點組成的虛線，將包裝膜11向著防塵薄膜組件收納容器頂面反折。圖4(3)為反折後的狀態。內側包裝體11』在該狀態就完成了，但是優選以將反折的包裝膜11的先端在頂面的包裝膜11上的數處用粘著帶13貼附。

另外，優選將包裝膜的大小設定成使各包裝膜11相互的重疊100-300mm，由於包裝膜11的密著性而使重疊部分相互密著，從而得到確實的密閉。

另一方面，如圖3所示，外側包裝體12將內側包裝體11』進一步包覆，內側包裝體11』從而可以防止灰塵附著，這是為了在保管以及輸送中包裝內不讓灰塵侵入。

此外，外側包裝體12為袋狀，其材料優選從由聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)樹脂構成的群中選擇。作為袋狀物的製造方法沒有特別的要求，優選以將袋的開口部熱封來進一步密封，或多次反折彎曲，用粘著帶14固定。

外側包裝體12的厚度從50-300μm的範圍選擇即可，但從成本、強度、制袋的難易度等的方面來考慮，優選為100-150μm。該外側包裝體12與內側包裝體11』一樣也混入帶電防止劑以及導電物質或與導電材質進行貼合，優選使其具有防帶電性。另外，顏色可以為有色，但是優選為透明或半透明的以對內部進行確認。

由於該外側包裝體12為袋狀的形狀，特別易於防止灰塵向內部的侵入，以保持內側包裝體11』的清潔。另外，外側包裝體12的材料優選聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)樹脂，其中，任一個都為硬材質，滑動性良好，對於具有微粘著性的內側包裝體11』也很容易收納。

內側包裝體11』具有微粘著性，所以灰塵易於附著，而且具有對其接觸的各種各樣的物品的貼附操作性變差的問題，但是由於在該內側包裝體11』的外側上設置有使用上述材料的外側包裝體12(使內側包裝體11』被收納於袋狀的外側包裝體12)，所以具有可以防止灰塵附著的優點。另外，在向捆包箱以及收納棚的收納以及取出的搬送操作中，其操作性被改善，非常適用。

在一般環境下，由於該外側包裝體12附著很多灰塵，所以通常在防塵薄膜組件使用時，在向無塵室將防塵薄膜組件搬入時，特別優選以將外側包裝體12除掉僅剩內側包裝體11』的狀態搬入無塵室進行保管。

本發明中，被收納的防塵薄膜組件收納容器50，其構造、材質沒有特別的要求，通常優選使用ABS、PMMA、PC等樹脂板進行真空成形來製作。如圖5所示，該防塵薄膜組件收納容器50通常由將防塵薄膜組件53載置的收納容器本體51在其周緣部嵌合，將防塵薄膜組件53和收納容器本體51覆蓋的蓋體52來構成。然後，其周緣部用夾子等進行固定，或用粘著帶密封(未圖示)。

特別地，在邊長大於1米的大型的防塵薄膜組件收納容器50的場合，為了提高剛性，在樹脂用真空成形製作的防塵薄膜組件收納容器的外側可以通過貼附金屬以及纖維強化樹脂制的補強體，另外，也可以用鋁合金、鎂合金等輕量金屬製作防塵薄膜組件收納容器自身或特別是製作下側的容器本體。

另外，可以在防塵薄膜組件收納容器50的外側安裝作業用把手以及腳部，由於本發明使用的平面狀的包裝膜11具有柔軟性，可以與扳手以及腳部等的突起物良好地對應。

進一步，優選的是防塵薄膜組件收納容器50的例如平坦的表面與內側包裝體11』的密著性良好，但也可以特意在防塵薄膜組件收納容器50的表面設置凹凸，由此考慮操作性等，對密著性進行控制。

實施例

下面對本發明的實施例以及比較例進行具體說明，實施例以及比較例的各操作在10級無塵室內進行。

實施例1

在實施例1中，製作如圖1～圖3所示的防塵薄膜組件收納容器的包裝構造體10。該包裝構造體10由內側包裝體11』和外側包裝體12的二重的包裝體來構成，內側包裝體11』的內部使用平面狀的包裝膜11對圖5所示的防塵薄膜組件收納容器50捆包。

防塵薄膜組件收納容器50由用厚度5mm的黑顏色的難燃帶電防止ABS樹脂將真空成形的防塵薄膜組件收納容器本體51和在其周緣部嵌合的用同樣材料製成的真空成形的蓋體52構成，其組合後的外尺寸為1350x1532x高度120mm。然後，將此防塵薄膜組件收納容器50用界面活性劑和純水洗淨、良好乾燥。

然後，對外尺寸為1146x1366mm、高度7mm的防塵薄膜組件53在暗室內用集光燈進行目視異物檢查後，將防塵薄膜組件收納容器50收納，周圍用粘著帶(未圖示)密閉。防塵薄膜組件53中使用的防塵薄膜組件框架為將A5052鋁合金進行機械加工並施以黑顏色氧化膜，外尺寸為1146x1366mm、內尺寸為1122x1342mm、高度為5.8mm、角部為外側R3、內側R2。

在該防塵薄膜組件框架的一個面上，在作為防塵薄膜組件膜接著層上塗布有機矽樹脂，將厚度4.5μm的氟系樹脂構成的防塵薄膜組件膜接著。另外，在另外一個面上，作為光掩模粘著層將有機矽粘著劑塗布，在其表面上將在與框架外形大略同形狀切斷的PET樹脂塗離型劑製作的分離片貼附。將該收納防塵薄膜組件53的防塵薄膜組件收納容器50的外面用純水擦拭洗淨，將周圍弄暗，用集光燈進行目視檢查，將可以看到的附著異物全部除去。

另外，作為平面狀的包裝膜11，準備切成1830x3300mm大小，且厚度100μm的帶電防止透明軟質PVC膜，將該膜用純水擦洗淨、良好乾燥。該洗淨操作，由於準備的包裝膜11為平板狀，具有極其良好的操作性，另外乾燥的目視確認也容易。

然後，使用該包裝膜11按圖4所示的捆包工序將防塵薄膜組件收納容器50捆包。首先，如圖4(1)所示，在平面上放置的包裝膜11上，放上防塵薄膜組件收納容器50，在沿著防塵薄膜組件收納容器50的外緣50a、50b的點橫虛線將包裝膜11反折，使防塵薄膜組件收納容器50的頂面完全覆蓋，成為圖4(2)所示的狀態。然後，沿著容器外緣50c、50d，在圖4(2)中的點橫虛線將包裝膜11向容器頂面的方面反折，成為圖4(3)所示的狀態。最後，使反折的包裝膜11的周緣部良好密著，將其先端用PVC制粘著帶13粘貼在頂面上的包裝膜11上，圖2所示的內側包裝體11』完成。

然後，關於外側捆包體12，先準備1700x1650的大小、厚度100μm的可以防止帶電的PE制透明袋，將該袋蓋在內側包裝體11』的外側將其收納，其開口進行二次反折捲起，用PVC制粘著帶14固定，圖3所示的包裝構造體10完成。

將該包裝構造體10從無塵室搬出，在溫度20-30℃、溼度30-80％的一般室中保管3個月，然後為了進行內部確認，再次搬入無塵室。在進行所述搬入時，將灰塵大量附著的外側包裝體12在馬上就要搬入無塵室時取下，以僅具有內側包裝體11』的狀態搬入無塵室內。

最後，將內側包裝體11』按和圖4所示的捆包工序相反的工序放開。然後，使周圍變暗對防塵薄膜組件收納容器50的外面用集光燈照射進行觀察，確認到沒有髒汙以及異物的附著，保持著清潔的狀態。另外，將防塵薄膜組件收納容器50的蓋體52小心地打開，對在防塵薄膜組件收納容器本體51上的防塵薄膜組件53進行觀察，可以確認到防塵薄膜組件53沒有異物的附著，保持著清潔的狀態。

實施例2

在實施例2中，製作如圖6所示的防塵薄膜組件收納容器的包裝構造體60。在該製作中，首先將防塵薄膜組件收納容器64用平面狀的包裝膜61捆包，得到內側包裝體61』，將其收納於袋狀的外側包裝體62中，製得包裝構造體60。

在實施例2中收納的防塵薄膜組件收納容器64由鋁合金制本體64a以及將厚度5mm的透明PC樹脂板真空成形製作的蓋體64b構成，其外部安裝有把手64c、64d，腳部64e。另外，其周圍被PVC制粘著帶(未圖示)密閉，用搭扣64f固定。

另外，在該防塵薄膜組件收納容器64內收納的防塵薄膜組件65這樣製作，在進行了黑色氧化膜的A5052鋁合金制框架上接著了厚度4μm的氟系樹脂構成的防塵薄膜組件膜，外尺寸為1526x1748mm、內尺寸為1493x1715mm、防塵薄膜組件框架高度為6.2mm。角部外側R6mm、內側R2mm，含光掩模粘著層的高度為8mm。

對該防塵薄膜組件65在暗室內進行集光燈目視檢查異物，將其收納於防塵薄膜組件收納容器64中，在該防塵薄膜組件收納容器64的外面，使周圍變暗，用集光燈照射，目視確認，將附著的異物全部除去。

實施例2中，作為平面狀的包裝膜61，準備與上述實施例1同樣的材料的帶電防止透明軟質PVC膜，將其切斷為1830x4200mm的大小作為包裝膜61a，接著以915x4200mm的大小切2枚作為包裝膜61b，進一步以500x400mm的大小切4枚作為包裝膜61c。將這7枚的包裝膜的兩面用純水擦淨洗乾淨，進行良好乾燥。

然後，將包裝膜61a配置於腳部64e的內側，將防塵薄膜組件收納容器64包覆，使端部重合密著，用粘著帶貼附，由於防塵薄膜組件收納容器64比包裝膜61a的寬度還要大，所以從腳部64e的外側的兩端具有沒有包裝的區域。

另外，將2枚包裝膜61b分別配置在包裝膜61a的外側進行包裝，使在包裝膜61a上有200mm重疊，端部重合密著。此時，在包裝膜61b中預先設置相當於腳部64e部分的開口，通過該開口，腳部露在外部。然後，包裝膜61b的端部，其剩餘部被向上方反折，在包裝膜61a的頂面用粘著膜63貼附。

進一步，將包裝膜61c插入各腳部64e的下面，向上方反折在將腳部64e包覆的同時，將端部用粘著帶63貼附密閉，內側包裝體61』完成。

在該實施例2的防塵薄膜組件收納容器64中，在腳部64e外具有把手64c、64d，搭扣64f的突起部，由於包裝膜61有柔軟性，可以在突起部使包裝膜61密著包裝。

然後，作為外側包裝體62，準備2700x5000mm的大小的帶電防止透明PE袋，在該PE袋的內部收納將防塵薄膜組件收納容器64捆包的內側包裝體61』，其開口部反折用粘著帶63貼附，得到圖6所示的包裝構造體60。

其後，與上述實施例1同樣將包裝構造體60，從無塵室搬出在溫度20-30℃、溼度30-80％的一般室中保管3個月，其後，為了進行內部確認，再次搬入無塵室。在該搬入時，將灰塵大量附著的外側包裝體62在馬上就要搬入無塵室的時刻取下，以僅有內側包裝體61』的狀態搬入無塵室內。

最後，將內側包裝體61』打開，接著使周圍變暗，對防塵薄膜組件收納容器60的外面用集光燈照射觀察，確認沒有髒汙以及異物的附著，保持了清潔的狀態。另外，小心將防塵薄膜組件收納容器60的蓋體64b打開，對防塵薄膜組件收納容器本體64b上收納的防塵薄膜組件65用集光燈照射目視觀察，沒有發現異物的附著，保持為清潔的狀態。

比較例

比較例中，以與上述實施例1同樣的樣式以及工序製作的防塵薄膜組件53和防塵薄膜組件收納容器50，在10級無塵室內製作如圖7所示的包裝構造體70。此包裝構造體70與實施例1，2相比，相同的是以內側包裝體71以及外側包裝體72的二重包裝體構成以及收納的防塵薄膜組件53和防塵薄膜組件收納容器50相同，但不同的是，內側包裝體71不是平面狀的包裝膜，為與外側包裝體72同樣的包裝袋。

在該比較例中，首先將在上述實施例1、2中作為外側包裝體12使用的同樣的帶電防止透明PE袋加以準備，在將該PE袋的內側和外側用純水擦拭洗淨的同時，敞開開口部，良好乾燥。此時，在PE袋的內側的洗淨中，操作者要將身體插入袋內操作，操作性極差。

然後，將收納防塵薄膜組件53的防塵薄膜組件收納容器50收納於PE袋內，其開口部進行熱封密封，內側包裝體71完成。進而，在將防塵薄膜組件收納容器50在PE袋內收納前，使周圍變暗用集光燈目視確認防塵薄膜組件收納容器50的表面附著的異物並除去。

其後，將該內側包裝體71整體用與外側包裝體72同樣的帶電防止透明PE袋，其開口部進行二重反折用粘著帶73固定，比較例的包裝構造體70完成。

然後，將該包裝構造體70從無塵室搬出，與上述實施例1，2同樣的溫度20-30℃、溼度30-80％的一般室中進行3個月保管後，為了進行內部確認再次搬入無塵室。在該搬入時，在馬上就要搬入的時刻去除灰塵大量附著的外側包裝體72，僅以內側包裝體71的狀態快速搬入無塵室內。

最後，將內側包裝體71開封，周圍變暗，對防塵薄膜組件收納容器50的外面用集光燈照射觀察，可以確認儘管處於密封的狀態在防塵薄膜組件收納容器50的角附近的周緣部1處有100μm以下的數十個的異物構成的髒汙。

另外，將收納的防塵薄膜組件收納容器50的蓋體52小心打開，對在防塵薄膜組件收納容器本體51上載置的防塵薄膜組件53是否有異物附著進行目視確認，看到在防塵薄膜組件膜面上有2個20μm大小的異物的附著。這些異物，由於可以用離子化的氣體槍容易地除去，所以可以推測為是剛剛附著之物，可以推測是蓋體52打開時從蓋體52飛來或者落下而附著之物。

附圖標記說明

10 防塵薄膜組件收納容器的包裝構造體

11 平面狀的包裝膜

11』 內側包裝體

12 袋狀的外側包裝體

13 粘著帶

14 粘著帶

50 防塵薄膜組件收納容器

50a 防塵薄膜組件收納容器外緣

50b 防塵薄膜組件收納容器外緣

50c 防塵薄膜組件收納容器外緣

50d 防塵薄膜組件收納容器外緣

51 防塵薄膜組件收納容器本體

52 防塵薄膜組件收納容器蓋體

53 防塵薄膜組件

60 防塵薄膜組件收納容器的包裝構造體

61a 平面狀的包裝膜

61b 平面狀的包裝膜

61c 平面狀的包裝膜

61』 內側包裝體

62 袋狀的外側包裝體

63 粘著帶

64 防塵薄膜組件收納容器

64a 防塵薄膜組件收納容器本體

64b 防塵薄膜組件收納容器蓋體

64c 把手

64d 把手

64e 腳部

64f 搭扣

65 防塵薄膜組件

70 防塵薄膜組件收納容器的包裝構造體

71 內側包裝體

72 袋狀的外側包裝體

73 粘著帶