測試裝置及測試方法
2023-04-27 10:01:31
專利名稱：測試裝置及測試方法
技術領域：
本發明涉及一種測試裝置及測試方法。
背景技術：
被稱為源同步的、與數據信號一起並行輸出同步用的時鐘信號的接口已廣為人知。專利文獻I記載了對採用這樣接口的被測試器件進行測試的測試裝置。專利文獻I記載的測試裝置，根據被測試器件輸出的時鐘信號對數據信號的數據值進行取樣，將取樣得到的數據值與期望值進行比較。專利文獻I美國專利第7644324號說明書專利文獻2特開2002-222591號公報 專利文獻3美國專利6556492號說明書
發明內容
發明要解決的問題但是，存在時鐘信號沒有從被測試器件正常輸出的情況。測試裝置也必須檢測出這樣的不良情況。解決問題的手段為了解決上述問題，在本發明的第I方式中，提供一種測試裝置以及測試方法，所述試裝置是測試輸出數據信號和表示所述數據信號取樣時序的時鐘信號的被測試器件的測試裝置，包括數據取得部，以與所述被測試器件輸出的所述時鐘信號對應的取樣時鐘的時序或與該測試裝置的測試周期對應的時序信號的時序取得所述被測試器件輸出的所述數據信號；判斷部，基於將所述數據取得部取得的所述數據信號與期望值比較後的結果，判定所述被測試器件的好壞；指定部，指定所述數據取得部根據與所述取樣時鐘對應的時序或與所述時序信號對應的時序的哪一個取得所述數據信號。另外，上述發明的概要並未列舉出本發明的必要技術特徵的全部，同時，這些特徵群的次級組合也能成為發明。
圖I表示被測試器件200，及測試被測試器件200的本實施方式涉及的測試裝置10。圖2表示從被測試器件200輸出的數據信號及時鐘信號的時序。圖3表示本實施方式涉及的測試裝置10的構成。圖4表示時鐘生成部36構成的一個例子，及數據取得部38構成的一個例子。圖5表示數據信號，時鐘信號，延遲信號，第I選通信號，第2選通信號，以及，取樣時鐘的時序的一個例子。圖6示出了表示被測試器件200的測試順序的流程圖。
圖7示出了進行作為存儲器器件的被測試器件200的功能測試時的時序圖。圖8表示在讀出處理時，從測試裝置10發送到被測試器件200的命令及讀使能信號、從被測試器件200發送到測試裝置10的時鐘信號及數據信號、屏蔽信號及取樣時鐘的時序，以及從緩衝部58向判斷部42轉送的數據的時序的一個例子。圖9表示在本實施方式涉及的測試裝置10中的調整時的處理流程。圖10表示緩衝部58的檢查處理(S31)中的測試裝置10的功能構成。圖11表示時鐘信號的延遲量的調整處理(S32)中的測試裝置10的功能構成。圖12表示時鐘信號的延遲量的調整處理(S32)中的測試裝置10的處理流程。
具體實施方式
以下通過發明的實施方式說明本發明，但以下實施方式並不限定權利要求所涉及的發明，另外，在實施方式中說明的特徵組合併非全部都是發明的解決手段所必須的。圖1，表示被測試器件200，及對被測試器件200進行測試的本實施方式涉及的測試裝置10。圖2，表示從被測試器件200輸出的數據信號及時鐘信號的時序。本實施方式涉及的測試裝置10，對被測試器件200進行測試。在本實施方式中，測試器件200，通過作為雙向總線的DDR(Double Data Rate)接口，和其它器件進行數據的收發。DDR接口，並行轉送多條數據信號DQ和表示取樣數據信號DQ的時序的時鐘信號DQS。在本例中，DDR接口，比如，如圖2所示，對4條數據信號DQ0、DQ1、DQ2、DQ3轉送I條時鐘信號DQS。同時，DDR接口轉送相對於時鐘信號DQS的速率，同步於時鐘信號DQS的2倍的速率的數據信號DQ。在本實施方式中，被測試器件200，比如是非易失性存儲器器件，通過DDR接口，從其他的控制用器件寫入及讀出數據。本實施方式涉及的測試裝置10，通過作為這樣的雙向總線的DDR的接口與被測試器件200進行數據信號DQ及時鐘信號DQS的收發，來測試被測試器件200。並且，測試裝置10還與被測試器件200之間進行寫使能信號及讀使能信號等的控制用信號的收發。圖3，表示本實施方式涉及的測試裝置10的構成。測試裝置10，具有多個數據端子12、時鐘端子14、時序發生部22、圖案發生部24、多個數據用比較儀32、時鐘用比較儀34、時鐘生成部36、多個數據取得部38、時鐘取得部40、判斷部42、測試信號供給部44、指定部48以及調整部50。多個數據端子12各自通過為雙向總線的DDR的接口，連接於被測試器件200中的數據信號的輸入輸出端子。在本例中，測試裝置10具有4個數據端子12。4個數據端子12分別通過DDR接口連接於被測試器件200中的4條數據信號的DQO、DQU DQ2、DQ3的各自的輸入輸出端子。時鐘端子14，經由DDR接口與被測試器件200中的時鐘信號DQS的輸入輸出端子連接。時序發生部22按照在該測試裝置10內部中發生的基準時鐘，發生與該測試裝置10的測試周期對應的時序信號。時序發生部22，作為一個例子，發生與測試周期同步的時
序信號。圖案發生部24發生期望值圖案，該期望值圖案表示從被測試器件200輸出的數據信號的期望值。同時，圖案發生部24，發生表示供給於被測試器件200的測試信號的波形的測試圖案。圖案發生部24，作為一個例子，根據程序的執行而發生期望值圖案及測試圖案。多個數據用比較儀32，對應經由DDR接口和被測試器件200之間進行收發的多個數據信號的各個而設置。在本例中，測試裝置10，具有與4條數據信號DQO、DQU DQ2、DQ3各自對應的4個數據用比較儀32。多個數據用比較儀32各自經由所對應的數據端子12接收從被測試器件200輸出的對應的數據信號。多個數據用比較儀32分別將接收到的數據信號與被預定的閾值電平進行比較並邏輯值化，輸出邏輯值化得到的數據信號。和經由DDR接口在與被測試器件200之間進行收發的時鐘信號DQS相對應設置時鐘用比較儀34。時鐘用比較儀34，經由對應的時鐘端子14，接收從被測試器件200輸出的對應的時鐘信號。並且，時鐘用比較儀34，將所接收的時鐘信號與預定的閾值電平比較後邏輯值化，輸出邏輯值化後的時鐘信號。
時鐘生成部36，根據被時鐘用比較儀34邏輯值化得到的時鐘信號，生成用於對從被測試器件200輸出的數據信號取樣的取樣時鐘。在本例中，時鐘生成部36生成時鐘信號的2倍的速率的取樣時鐘。多個數據取得部38，與被測試器件200通過DDR接口輸出的多個數據信號分別對應設置。在本例中，測試裝置10具有與4條數據信號DQO、DQU DQ2、DQ3分別對應的4個數據取得部38。多個數據取得部38的每個，分別以與時鐘信號對應的取樣時鐘的時序，或以該測試裝置10的測試周期對應的時序信號的時序取得被測試器件200輸出的數據信號。在本實施方式中，多個數據取得部38分別在由時鐘生成部36生成的取樣時鐘的時序或者時序發生部22發生的時序信號的時序中的一個，取得對應的數據信號的數據值。多個數據取得部38，按照指定部48的指定，來轉換以取樣時鐘或時序信號的哪一個的時序取得數據信號。並且，多個數據取得部38分別按照在該測試裝置10內部發生的時序信號的時序輸出所取得的數據信號。在本實施方式中，多個數據取得部38分別輸出按照時序發生部22生成的時序信號的時序取得的數據信號的各數據值。這樣，多個數據取得部38各自能夠以與從被測試器件200輸出的時鐘信號對應的時序，取得從被測試器件200輸出的數據信號，以與測試裝置10內部的基準時鐘同步的時序輸出取得的時鐘。在這種情況中，多個數據取得部38各自能將數據信號的時鐘從由被測試器件200輸出的時鐘信號，替換成在該測試裝置10內部發生的基準時鐘。同時，多個數據取得部38的各個，以與該測試裝置10內部的基準時鐘同步的時序取得從被測試器件200輸出的數據信號。時鐘取得部40，與被測試器件200經由DDR接口輸出的時鐘信號DQS對應設置。時鐘取得部40，根據與該測試裝置10的測試周期對應的時序信號的時序取得被測試器件200輸出的時鐘信號。時鐘取得部40，在測試該測試裝置10測試從被測試器件200輸出正常的時鐘信號與否的情況中，以與該測試裝置10的測試周期對應的時序信號的時序取得。在本實施方式中，時鐘取得部40取得表示在時序發生部22發生的時序信號的時序中所對應的時鐘信號的水平的邏輯值。判斷部42，基於將多個數據取得部38分別取得的數據信號與期望值比較後的結果，判斷測試器件200的好壞。在本實施方式中，判斷部42，對多個數據取得部38各自輸出的數據信號的數據值和從判斷部42發生的期望值圖案表示的期望值進行比較。並且，在本實施方式中，當多個數據取得部38取得的數據信號的數據值分別和期望值一致，則判斷部42判定被測試器件200為正常。同時，並且，判斷部42，在該測試裝置10進行從被測試器件200輸出正常的時鐘信號與否的測試的情況中，比較時鐘取得部40取得的時鐘信號的邏輯值和該時鐘信號的期望值。並且，此時，判斷部42，根據時鐘取得部40取得的時鐘信號的各邏輯值分別與期望值一致的情況，判定從被測試器件200輸出 正常的時鐘信號。測試信號供給部44，根據圖案發生部24發生的測試圖案對被測試器件200供給測試信號。在本實施方式中，測試信號供給部44，作為測試信號，經由雙向總線DDR接口對被測試器件200輸出多個數據信號，同時，經由DDR接口將表示所輸出數據信號的取樣時序的時鐘信號輸出給被測試器件200。即，測試信號供給部44，經由多個數據端子12對被測試器件200輸出多個數據信號DQO、DQU DQ2、DQ3，同時，經由時鐘端子14向被測試器件200輸出時鐘信號DQS。並且，測試信號供給部44，將允許數據的輸出的讀使能信號作為控制用信號提供給被測試器件200。由此，測試信號供給部44，能夠經由DDR接口，使被測試器件200輸出含存儲在內部的數據的數據信號DQ。指定部48，指定數據取得部38根據與取樣時鐘對應的時序或與時序信號對應的時序的哪個取得數據信號。作為一個例子，指定部48對數據取得部38指定是按照測試程序的實行，以與取樣時鐘對應的時序取得數據信號，還是以與時序信號對應的時序取得數據信號。調整部50在測試之前，調整該測試裝置10。更具體地，調整部50在測試之前，檢查數據取得部38內的緩衝器是否正常動作。同時，調整部50，在測試之前，調整由於生成取得從被測試器件200輸出的數據信號的取樣時鐘被延遲的時鐘信號的延遲量。圖4，表示時鐘生成部36的構成的一個例子，及數據取得部38的構成的一個例子。圖5，表示數據信號、時鐘信號、延遲信號、第I選通信號、第2選通信號、及，取樣時鐘的時序的一個例子。數據取得部38，輸入如圖5(A)所示的、包含以預定的數據速率被傳送的數據值的數據信號DQ。並且，數據取得部38，按照時鐘生成部36生成的取樣時鐘的時序，順次對數據信號DQ中包含的各數據值進行取樣。時鐘生成部36，作為一個例子，具有延遲器62、選通發生部64和合成部66。延遲器62，作為一個例子，輸入如圖5(B)所示的、被測試器件200輸出的數據信號DQ的2倍速率的時鐘信號DQS。並且，延遲器62輸出如圖5(C)所示的，將所輸入的時鐘信號DQS時間延遲該時鐘信號DQS的1/4周期後的延遲信號。選通發生部64，發生如圖5(D)所示，在延遲信號的上升沿中有微小時間幅度的脈衝的第I選通信號。由此,時鐘生成部36，能夠輸出表示取樣數據信號DQ中的奇數位的數據值的時序的第I選通信號。同時，選通發生部64，發生如圖5(E)所示的，在延遲信號的下降沿中具有微小時間幅度的脈衝的第2選通信號。由此，時鐘生成部36，能夠輸出表示取樣數據信號DQ中的偶數位的數據值的時序的第2選通信號。再者，也可以第I選通信號表示對數據信號DQ中的偶數位的數據進行取樣的時序，第2選通信號表示對數據信號DQ中的奇數位的數據取樣的時序。合成部66，輸出如圖5(F)所示的、合成了第I選通信號及第2選通信號得到的取樣時鐘。合成部66，作為一個例子，輸出將第I選通信號及第2選通信號進行邏輯和運算後的取樣時鐘。這樣，合成部66，能輸出表示數據信號DQ所包含的各數據值的眼開(Eye-opening)的大致中心的時序的取樣時鐘。同時，數據取得部38具有第I取得部51、第2取得部52、數據選擇器54、時鐘選擇器56、緩衝部58。第I取得部51，在圖5(F)的取樣時鐘的時序中取得圖5 (A)所示的數據信號DQ的各數據值。作為一個例子，第I取得部51包含奇數側觸發器72和偶數側觸發器74和多路復用器76。奇數側觸發器72，在第I選通信號的時序中取得從被測試器件200輸出的數據信號DQ的數據值並保持在內部。偶數側觸發器74，在第2選通信號的時序中取得從被測試器 件200輸出的數據信號DQ的數據值保持在內部。多路復用器76，在取樣時鐘的時序中交替選擇奇數側觸發器72保持的數據信號DQ的數據值和，偶數側觸發器74保持的數據信號DQ的數據值，經由數據選擇器54向緩衝部58供給。這樣，第I取得部51，能夠以與時鐘生成部36生成的取樣時鐘對應的時序取得數據信號DQ的數據值。第2取得部52，在與被時序發生部22發生的時序信號對應的時序中取得圖5(A)所表示的數據信號DQ的邏輯值。時序發生部22發生的時序信號的速率，作為一個例子，也可比從被測試器件200輸出的數據信號DQ及時鐘信號DQS的速率還高。此時，第2取得部52，能取得表示數據信號DQ的波形的數據列。第2取得部52，作為一個例子，至少包含I個觸發器82。觸發器82，在時序發生部22發生的時序信號的時序中，取得數據信號DQ的數據值。數據選擇器54，按照指定部48的指定，選擇第I取得部51取得的數據值或第2取得部52取得的數據值的任何一個，供給緩衝部58。數據選擇器54，在指定部48指定以與取樣時鐘對應的時序取得數據信號的時候，向緩衝部58轉送被第I取得部51輸出的數據值。同時，數據選擇器54，在指定部48指定以與時序信號對應的時序取得數據信號的時候，向緩衝部58轉送從第2取得部52輸出的數據值。時鐘選擇器56，按照指定部48的指定，選擇時鐘生成部36生成的取樣時鐘或時序發生部22發生的時序信號的任何一方供給至緩衝部58。時鐘選擇器56，在指定部48指定以與取樣時鐘對應的時序取得數據信號的時候，向緩衝部58供給時鐘生成部36生成的取樣時鐘。同時，時鐘選擇器56，在指定部48指定以與時序信號對應的時序取得數據信號的時候，將時序發生部22發生的時序信號供給到緩衝部58。緩衝部58，有多個條目。緩衝部58，將從數據選擇器54轉送的數據值，以時鐘選擇器56輸出的信號的時序，依次在各條目進行緩衝。S卩，緩衝部58，在指定部48指定以對應於取樣時鐘的時序取得數據信號DQ的時候，以被時鐘生成部36生成的取樣調查時鐘的時序，依次在各條目緩衝從第I取得部51的多路復用器76順序輸出的數據信號DQ的數據值。或者，緩衝部58，在指定部48指定以對應於時序信號的時序取得數據信號DQ的時候，以被時序發生部22發生的時序信號的時序，依次在各條目緩衝從第2取得部52被順序輸出的數據信號DQ的數據值。並且，緩衝部58，按輸入順序，根據該測試裝置10的測試周期發生的時序信號的時序從各條目輸出被在各條目緩衝後的數據信號DQ的數據值。並且，緩衝部58，對判斷部42供給所輸出的數據信號DQ的數據值。這樣的時鐘生成部36及數據取得部38，能夠以時鐘信號DQS對應的時序或在該測試裝置10內部發生的時序信號的時序的任何一方取得從被測試器件200輸出的數據信號DQ0並且，時鐘生成部36及數據取得部38，在與時鐘信號DQS對應的時序取得從被測試器件200輸出的數據信號DQ的時候，能將所取得的數據信號DQ的各數據值替換成按照該測試裝置10的內部時鐘發生的時序信號的時序而輸出。圖6，給出了表示被測試器件200的測試順序的流程圖。本實施方式涉及的測試裝置10，在測試作為存儲器器件的被測試器件200時，作為一個例子，執行如下測試。首先，在階段Sll中，測試裝置10選擇在該測試裝置10內部中發生的時序信號，作為取得從被測試器件200輸出的信號的時序。繼續，在階段S12中，測試裝置10，測試從被測試器件200是否正常輸出數據信號及時鐘信號。更詳細而言，測試裝置10，讓被測試器件200輸出數據信號及時鐘信號，以從時序發生部22輸出的時序信號的時序取得數據信號及時鐘信號的波形。測試裝置10，按照所取得的數據信號及時鐘信號的波形的測量結果，判斷數據信號及時鐘信號是否被正常輸出。當從被測試器件200正常輸出數據信號及時鐘信號時，繼續，在階段S13中，測試裝置10，選擇從被測試器件200輸出的時鐘信號對應的取樣時鐘作為取得從被測試器件200輸出的信號的時序。繼續，在階段S14中，測試裝置10，測試被測試器件200作為存儲器的功能是否正常。如以上所述，測試裝置10，能夠以在該測試裝置10內部發生的時序信號的時序取得從被測試器件200輸出的數據信號及時鐘信號。因此，根據測試裝置10，能夠在進行被測試器件200的功能測試之前，測試數據信號及時鐘信號是否正常工作。圖7，表示在進行作為存儲器器件的被測試器件200的功能測試時的時序圖。被測試器件200，是經由雙向總線DDR接口與其他的設備之間收發數據的存儲器器件。測試作為存儲器器件的被測試器件200時，測試裝置10做以下動作。首先，在階段S21中，測試裝置10，對成為在被測試器件200中的測試對象的地址區域，寫入預定的數據。繼續，在階段S22中，測試裝置10，讀出被寫入成為被測試器件200中的測試對象的地址區域的數據。並且，在階段S23中，測試裝置10將讀出的數據與期望值比較，判斷成為被測試器件200中的測試對象的地址區域是否正常動作。測試裝置10，通過對被測試器件200中的全部地址區域實行這樣的處理，來判定被測試器件200的好壞。圖8，給出了在讀出處理的時間中，從測試裝置10發送到被測試器件200的命令及讀使能信號、從被測試器件200發送到測試裝置10的時鐘信號及數據信號、屏蔽信號及取樣時鐘的時序，以及從緩衝部58向判斷部42轉送數據的時序的一個例子。當經由DDR接口從作為存儲器器件的被測試器件200讀出數據時，測試裝置10做如下所示的動作。首先，測試裝置10的測試信號供給部44，通過DDR接口對被測試器件200輸出表示對被測試器件200指示數據信號的輸出的命令(比如讀命令)的數據信號及時鐘信號，(時刻t31)。繼續，測試信號供給部44，對被測試器件200供給準許數據輸出的讀使能信號(時刻t32)。繼續，被給予讀命令的被測試器件200，通過DDR接口在讀命令被給予起經過一定時間後，輸出包含了被讀命令表示的地址中存儲的數據值的數據信號DQ(時刻t35)。與此同時，被測試器件200通過DDR接口輸出表示數據信號DQ的取樣時序的時鐘信號DQS (時刻t35)。並且，被測試器件200，一輸出一定的數據量的數據信號DQ，馬上結束數據信號DQ及時鐘信號DQS的輸出(時刻t37)。再者，被測試器件200，在數據信號DQ的輸出期間(時刻t35 t37間)以外的期間中，不驅動數據信號DQ的輸入輸出端子，為高阻抗(HiZ)。同時，被測試器件200，在自數據信號DQ的輸出期間(時刻t35 t37間)之前的一定期間(時刻t33 時刻t35)中，時鐘信號DQS固定成預定的信號電平比如低邏輯電平。同時，被測試器件200，在將時鐘信號DQS固定在預定的信號電平的期間之前(時刻t33之前)，及數據信號DQ的輸出期間以後(時刻t37後)，不驅動時鐘信號DQS的輸入輸出端子，為高阻抗(HiZ)。
並且，測試裝置10的數據取得部38，在被測試器件200輸出數據信號期間(時刻t35 t37間)，按照被測試器件200輸出的時鐘信號DQS的時序，順次取得數據信號DQ的各數據值。數據取得部38，把已取得的數據在各條目依次緩衝。如上所述測試裝置10，在讀出處理中，通過DDR接口從是存儲器器件的被測試器件200讀出數據信號DQ，以時鐘信號DQS的時序取得數據信號DQ的數據值。圖9，表示在本實施方式涉及的測試裝置10的調整時的處理流程。測試裝置10，在被測試器件200的測試之前，執行該測試裝置10的調整處理。測試裝置10，在調整處理中，譬如進行如下所示動作。首先，在階段S31中，測試裝置10檢查多個數據取得部38各自具有的緩衝部58是不是正常動作。繼續，在階段S32中，測試裝置10，調整用於生成表示在測試時取得數據信 號的時序的取樣時鐘的時鐘信號的延遲量。在本例中，測試裝置10調整時鐘生成部36的延遲器62的延遲量，以使輸出能夠在眼開的中心正確取得2倍速率的數據信號的數據值的取樣時鐘。圖10，表示緩衝部58的檢查處理(S31)中的測試裝置10的功能構成。在階段S31中的緩衝部58的檢查處理中，指定部48對數據取得部38指定以與該測試裝置10的測試周期對應的時序信號的時序取得經由DDR接口輸入的數據信號。這樣，數據取得部38在階段S31中，以從時序發生部22輸出的時序信號的時序取得被輸入的數據信號後進行緩衝。繼續，調整部50，使測試信號供給部44輸出具有預定的數據值的調整用數據信號，讓在數據取得部38內的緩衝部58緩衝調整用數據信號。在這裡，從測試信號供給部44輸出的數據信號，經由為雙向總線的DDR接口向被測試器件200輸出。因此，在該測試裝置10沒有連接被測試器件200的狀態中，被測試信號供給部44輸出的數據信號，環回而被提供給對應的數據取得部38。因此，調整部50，通過在使測試信號供給部44輸出調整用數據信號的同時，在時序信號的時序中取得被數據取得部38輸入的信號，而能使數據取得部38內的緩衝部58緩衝調整用數據信號。繼續，調整部50，通過比較供給至緩衝部58的調整用數據信號的數據值和緩衝部58緩衝的調整用數據信號的數據值，檢查緩衝部58正常與否。調整部50，作為一個例子，向判斷部42轉送由緩衝部58緩衝後的數據值，判斷部42，通過對緩衝部58緩衝後的數據值和測試信號供給部44輸出的調整用數據信號的數據值進行是否一致的比較，來檢查緩衝部58正常與否。調整部50，在緩衝部58緩衝後的數據值和調整用數據信號的數據值一致時，判斷緩衝部58為正常。同時，在不一致的情況下調整部50判斷緩衝部58為不正常。調整部50，在判斷緩衝部58為不正常時，通知使用者緩衝部58不正常。調整部50，在判斷調整部50正常時，進到時鐘信號的延遲量的調整處理(S32)。如上所述，本實施方式涉及的測試裝置10，在測試之前檢測數據取得部38內的緩衝部58是否正常動作。由此，測試裝置10， 能精度良好地測試被測試器件200。圖11，表示在時鐘信號的延遲量的調整處理(S32)中的測試裝置10的功能構成。圖12，表示在時鐘信號的延遲量的調整處理(S32)中的測試裝置10的處理流程。在階段S32中的時鐘信號的延遲量的調整處理中，測試裝置10執行圖12所示的處理。首先，在階段S41中，指定部48對數據取得部38，指定以被時鐘生成部36生成的取樣時鐘的時序使之取得經由DDR接口被輸入的數據信號。由此，數據取得部38，根據被時鐘生成部36生成的取樣時鐘的時序取得被輸入的數據信號並緩衝。繼續，在階段S42中，調整部50將時鐘生成部36內的延遲器62的延遲量設定成被預先確定的初期延遲量。繼續，在階段S43中，調整部50，使測試信號供給部44輸出預定的調整用數據信號及調整用時鐘信號，數據取得部38以與調整用時鐘信號對應的時序取得調整用數據信號。在這裡，被測試信號供給部44輸出的數據信號及時鐘信號，經由作為雙向總線的DDR接口向被測試器件200輸出。因此，在被該測試裝置10沒連接被測試器件200的狀態中，從測試信號供給部44輸出的數據信號，環回向對應的數據取得部38供給。同時，被測試信號供給部44輸出的時鐘信號，環回向時鐘生成部36供給。因此，調整部50，通過從測試信號供給部44輸出調整用數據信號及調整用時鐘信號，能夠以調整用時鐘信號對應的時序使數據取得部38取得調整用數據信號。並且，調整部50，在階段S43中，使判斷部42比較數據取得部38的取得結果和使測試信號供給部44輸出的調整用數據信號的數據值，根據比較結果判斷數據取得部38能否取得正確的數據值。調整部50，作為一個例子，如果數據取得部38的取得結果和從測試信號供給部44輸出的調整用數據信號的數據值一致，則判斷數據取得部38取得了正確的數據，如果不一致則判斷數據取得部38沒能取得正確的數據。繼續，調整部50，在階段S44中，判斷在階段S43處理中是否只執行了被預定的處理次數。如果判斷為在階段S43沒有執行預定次數的處理(階段S44No)，則調整部50，將處理前進到階段S44。在階段S45中，調整部50變更數據取得部38內的延遲器62的延遲量。調整部50，作為一個例子，使延遲器62的延遲量按照預定的變化量增加或減少。並且，階段S45處理一結束，調整部50馬上將處理返回到階段S43，使階段S43的處理再次執行。如果在階段S44判斷出已經執行了預定次數的處理(階段S44Yes)時，調整部50將處理前進到階段S46。在階段S46中，調整部50，按照數據取得部38的調整用數據信號的取得結果，調整用於生成取得數據信號的時序的時鐘信號的延遲量。更具體地，調整部50，按照在階段S43的判斷結果及在得到該判斷結果的狀態中設定的延遲器62的延遲量，檢測出延遲器62的最適合的延遲量。作為一個例子，調整部50檢測出在被判斷為數據取得部38取得了正確數據後的延遲量的範圍內的大致中心作為最適合的延遲量。並且，調整部50，將延遲器62設定為以所檢測出的最適合的延遲量延遲時鐘信號的狀態。如上所述，本實施方式涉及的測試裝置10，能夠在測試之前，將時鐘生成部36內的延遲器62延遲量設定成最佳值。由此，測試裝置10，能以從被測試器件200輸出的時鐘信號的時序高精度地取得被測試器件200輸出的數據信號。以上用實施的方式說明了本發明，但本發明的技術範圍不受上述實施的方式記載的範圍所限定。本領域的技術人員明白，對上述實施方式能夠進行多種多樣的變更或改良。根據權利要求的記載可知該施加有各種變更或改良的方式也包含在本發明的技術範圍內。應該注意的是，在權利要求、說明書和附圖中表示的裝置、系統、程序，和在方法中的動作、次序、步驟和階段等的各處理的執行順序，只要沒有特別註明「比…先」、「在…之前」等，或者只要不是後邊的處理必須使用前面的處理的輸出，就可以以任意順序實施。有關權利要求、說明書和附圖中的動作流程，為了說明上的方便，說明中使用了「首先」、「其次」等字樣，但即使這樣也不意味著以該程序實施是必須的條件。 附圖標記說明10測試裝置12數據端子14時鐘端子22時序發生部24圖案發生部32數據用比較儀34時鐘用比較儀36時鐘生成部38數據取得部40時鐘取得部42判斷部44測試信號供給部48指定部50調整部51第I取得部52第2取得部54數據選擇器56時鐘選擇器58緩衝部62延遲器64選通發生部66合成部72奇數側觸發器74偶數側觸發器76多路復用器
82觸發器200被測試器件 ·
權利要求
1.一種測試裝置，是對輸出數據信號和表示所述數據信號取樣時序的時鐘信號的被測試器件進行測試的測試裝置，其特徵在於，包括 數據取得部，以與所述被測試器件輸出的所述時鐘信號對應的取樣時鐘的時序或與該測試裝置的測試周期對應的時序信號的時序取得所述被測試器件輸出的所述數據信號；判斷部，基於將所述數據取得部取得的所述數據信號與期望值進行比較的比較結果判斷所述被測試器件的好壞； 指定部，指定所述數據取得部根據與所述取樣時鐘對應的時序或與所述時序信號對應的時序的哪一個取得所述數據信號。
2.根據權利要求I所述的測試裝置，其特徵在於，還具有 時序發生部，基於在該測試裝置內部發生的基準時鐘而發生所述時序信號； 時鐘生成部，其基於被所述被測試器件輸出的所述時鐘信號生成所述取樣時鐘。
3.根據權利要求2所述的測試裝置，其特徵在於，還具有 時鐘取得部，以與所述時序信號對應的所述時序取得被測試器件輸出的所述時鐘信號; 所述數據取得部，以與所述時序信號對應的時序取得所述數據信號； 所述判斷部，在將所述數據取得部取得的所述數據信號與期望值比較的同時，將所述時鐘取得部取得的所述時鐘信號與期望值比較，根據比較結果判斷所述被測試器件的好壞。
4.根據權利要求I所述的測試裝置，其特徵在於，所述數據取得部包括第I取得部，按照與所述時鐘信號對應的時序取得所述被測試器件輸出的數據信號；第2取得部，按照與所述時序信號對應的時序取得所述被測試器件輸出的數據信號；緩衝部，具有多個條目，將所述時鐘信號或所述時序信號中被所述指定部指定的信號對應的時序中被取得的數據信號，依次在各條目進行緩衝，輸出按照所述時序信號的時序在各條目緩衝後的數據信號。
5.根據權利要求I所述的測試裝置，其特徵在於 該測試裝置，通過雙向總線與所述被測試器件之間收發數據信號及時鐘信號。
6.根據權利要求I所述的測試裝置，其特徵在於 所述被測試器件，是通過雙向總線收發數據信號及時鐘信號的存儲器器件。
7.—種測試方法,是對輸出數據信號和表不所述數據信號取樣時序的時鐘信號的被測試器件進行測試的測試裝置中的測試方法，其特徵在於，所述測試裝置具有 數據取得部，以與所述被測試器件輸出的所述時鐘信號對應的取樣時鐘的時序或與該測試裝置的測試周期對應的時序信號的時序取得所述被測試器件輸出的所述數據信號；判斷部，基於將所述數據取得部取得的所 述數據信號與期望值的比較結果判斷所述被測試器件的好壞；在測試之前，指定所述數據取得部是根據所述取樣時鐘對應的時序還是根據所述時序信號對應的時序的哪一個取得所述數據信號。
全文摘要
提供一種測試裝置，取得從被測試器件輸出的時鐘信號進行測試。具有數據取得部，以與被測試器件輸出的時鐘信號對應的取樣時鐘的時序或與該測試裝置的測試周期對應的時序信號的時序取得被測試器件輸出的所述數據信號；判斷部，基於將所述數據取得部取得的所述數據信號與期望值進行比較的比較結果判斷所述被測試器件的好壞；指定部，指定所述數據取得部根據與所述取樣時鐘對應的時序或與所述時序信號對應的時序的哪一個取得數據信號。
文檔編號G11C29/08GK102798774SQ20121017024
公開日2012年11月28日 申請日期2012年5月28日 優先權日2011年5月27日
發明者大島廣美 申請人:愛德萬測試株式會社